JPS63206912A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。

従来の技術 回転磁気ヘッドによるヘリカル走査方式による音声、画
像の記録、再生を行なう技術は、磁気記録の中でも、記
録密度が高くなってきている。そのため、今後更に短波
長化するには、新しい構成の磁気記録媒体が必要で高分
子フィルム等の弊社性基板上に、Ｃｏ−Ｃｒのスパック
リング法で得られた垂直磁化膜や、Ｃｏ　−Ｎ　ｉ　−
００斜め蒸着膜を配した蒸着テープが有望視されている
。〔例えば、外国論文誌、ＩＥＥＥ　ＴＲＡＮＳＡＣＴ
ＩＯＮＳＯＮ　　ＭＡＧＮＥＴＩＣ８ＶＯＬ、ＭＡＧ−
２１、Ｎｏ−３、Ｐ、Ｐ、１２１７〜１２２０　（１９
８５）参照〕。

第２図は従来の蒸着チーブの一例を示す拡大断面図であ
る。第２図で１はポリエチレンテレツクレートフィルム
等の高分子フィルムで必要に応じて凹凸を付与するため
の下塗多層を配したものも用いられる。２は電子ビーム
蒸着法、高周波スパッタリング法等で形成される０、０
６μｍから０．３μｍ保度の強磁性金属薄膜からなる磁
気記録層で、３は保護油滑層でアモルファスカーボン膜
と、フッ素オイルの積層等数多くの提案がなされている
ものから適宜選択して用いることができる。４はバッタ
コート層で、走行性を助けるためにフィラー、油滑剤等
を含む樹脂からなる塗布層である〔特公昭５６−２３２
０８号公報、特開昭５８−４１４１８号公報、特開昭６
１−１５１８３５号公報、特開昭６１−１８７１２２号
公報等参照〕 又、ｌｉａ気テープは体積記録密度が大きくできること
も特徴であシ、長時間記録の手段として、テープの薄型
化の動向も重要であり、その点からみても蒸着テープは
薄型化に有利で開発が進められているのが現状である。

確かに磁気記録層が従来の塗布型磁性層に比べて１／１
０ぐらいに薄くなるのと、磁気記録層のヤング率が１０
倍以上大きいので、全厚を薄くできると考えられるが、
広範囲の温度範囲での実用化を目指した時、バイメタル
構造となっている不利な面が目立ってくるので、両面に
蒸着層を配したテープ構成も提案されている〔特開昭６
１−１１０３４３号公報等参照〕。

第３図は従来の両面蒸着型の磁気テープを示す拡大断面
図である。第３図で５は高分子フィルムで両面にミミズ
状の凹凸を配したポリエチレンテレフタレートフィルム
等が用いられる。６は垂直磁化膜、斜め蒸着膜等の強磁
性金属薄膜から成る磁気記録層で、７は両面アクセス型
とする場合は。

強磁性金属薄膜から構成し、片面アクセスの場合は、Ｓ
　：Ｏ，Ｓ　：０２、Ａｌ２Ｏ３、Ｍ　ｇ　Ｆ　２等の
非磁性薄膜で、反応性蒸着、高周波スパックリング等の
方法で形成されるもので、８は保護潤滑膜である。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら上記のような構成の両面に薄膜を配した磁
気記録媒体を大量に製造するには下記の問題がある。一
般に両面に薄膜を形成する装置は、２つの回転支持体と
、２つの蒸発源を対向配設し、高分子フィルムの一方に
磁気記録層、もう一方に非磁性薄膜を電子ビーム蒸着法
、スパッタリング法等によシ形成するようにしたもので
、蒸着条件、スバ・ツタリング条件の調整によシ、仕上
シのテープ又はディスク状態で平坦性を保つようにして
いるため、長尺、広幅の大面積に渡シ、平坦性を維持す
るのは困難で、改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みてなされたもので、大面積
に渡って、均一な平坦性を確保できる磁気記録媒体の製
造方法を提供するものである。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するために、本発明の磁気記録媒
体の製造方法は、高分子フィルムの両面に薄膜を配した
磁気記録媒体を薄膜形成後、熱処理するようにしたもの
である。

作　　　用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、薄膜のもつ内部歪みが軽減し、薄膜形成時に高分子
フィルムと薄膜との界面に残った歪みも緩和されるため
、平坦性が薄膜の構成厚みで決ることに実質できるので
、現状の厚み制御技術で十分な平坦性を大面積に渡シ確
保できるこるになる。

実施例 以下図面を参照しながら、本発明の一実施例について詳
しく説明する。第１図は本発明の一実施例による方法に
よシ得られる磁気記録媒体の拡大断面図である。

第１図で、９は厚みが１０μｍ以下のポリフェニレンテ
レフタレー；ト、ポリエチレンナプ久、レート、ポリフ
ェニレンプル７アイ　ド、ポリサル７オン、ポリイミド
、ポリアミドイミド博の高分子フィルム１０．１１は表
面性付与のだめの下塗り層で、Ｓ：０２、ＴｉＯ２、ポ
リエステル球等を樹脂で固定したものか、水溶性高分子
物質からなるミミズ状隆起、或いはミミズ状隆起と微粒
子突起の混合などが適している。これらは高分子フィル
ムを製膜する際に付与してもよいし、製媒後、塗布工程
を別にもってもよい。

１２はＣｏ％Ｇ　ｏ−Ｆ　ｅ％Ｆ　ｅ−Ａ　ｇ、Ｃｏ−
Ｎ　ｉ、Ｃｏ−０、Ｃｏ−０８，Ｃｏ　　Ｔ　ｉ％Ｃｏ
−８ｉ。

Ｇｏ−Ｃｒ、Ｇ　ｏ　−Ｎ　Ｉ　−０等の強磁性金属薄
膜で、電子ビーム蒸着法、高周波スパッタリング法等に
よシ形成されるもので、１３は非磁性薄膜で、酸化物、
窒化物、炭化物、カーボン等の電子ビーム蒸着膜、スパ
ッタリング膜などから成るもので、１４は保護潤滑剤で
、脂肪酸、パー７０ロポリエーテル、パーフロロカルボ
ン酸等の油滑剤又は、アモルファスカーボンやプラズマ
重合膜との積層などが適している。

以下、更に具体的に本発明の一実施例を、製造した磁気
記録媒体の特性を中心に説明する。

厚み７μｍのポリエチレンナフタレートフィルムを用い
、両方の面にＳ　ｉ０２の微粒子（直径１００人）を、
平均１０ケ／（μｍ）２ポリエステル樹脂で固定した下
塗シ層を配し、直径１ｍの円筒キャンに治わせて、最小
入射角３５度で、３×１Ｏ−５（Ｔｏｒｒ）の酸素中で
Ｃｏ　−Ｎ　：　（Ｎ　ｉ　：　２０ｗｔ形）を電子ビ
ーム蒸着した。ＰＩＡ厚は０．１３μｍとした。幅方向
の膜厚の均一性は４５側の範囲で１０％以内であるよう
に電子ビームの走査を調整した。

長さ方向も３０００ｍの範囲で１０％以内になるように
、電子ビームの投入電力を調整した。

更に反対側の面に直径５０ｃｍの円筒キャンに治わせて
、入射角は１５度以内の垂直に近い成分でＡｌをｌＸ１
０　　　（Ｔｏｒｒ）の酸素中で電子ビーム蒸着した。

厚みの精度は１０％以内となるように調整し、０．１６
μｍとした。

上記仕様で５０　ａｍ幅、３５００ｍのロールを２本製
造し、１０−ルは、そのま＼８ミリ幅にスリットし、任
意の位置５０巻（１巻、１３０ｍ）をカセットＡとして
準備した。一方、ロール状で、５０℃、１日の熱処理を
行ったのち、直径３０ｃ！ｎ゛　　の９５度Ｃの熱ロー
ルに治わせて、５０ｍ／ｍｉｎで巻き取りながら熱処理
を行ったものを、同じく８ミリ幅にスリットし、位置は
ランダム抽出し１３０ｍの長さをカセットに入れ、５０
巻をカセットＢとして準備した。両者を市販の８ミリビ
デオ（ＶＸ−８０１，松下電器産Ｎ（株）製〕にて、記
録再生し、再生波形の平坦率で、テープの平坦性を比較
した。カセットＡは５０巻中、再生波形が９０％以上の
平坦率をもつものは４巻しかなく、カセッｌ−Ｂは５０
巻すべて９０％以上の平坦率であった。尚カセットＡに
は、７０％以下の平坦率のものが７巻あった。

膜厚制御の精度は同じ程度にしたにも拘らず、両者の差
からみても、本発明のｐｐ：処理の重要性がよくわかる
。

尚、熱処理条件は、４０°〜６０℃の長時間（１日〜１
週間）と短時間（０，５〜１０（６））の高温側熱処理
（８０°〜１２０°Ｃ）を組み合わせるのが好ましいが
、必ずしもこれによらず、高分子フィルムの熱物性に応
じて、又、膜厚条件に応じて調整すればよい。

発明の効果 以上のように本発明によれば、平坦性の良好な薄いテー
プを大量に得られるといったすぐれた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明により製造される磁気記録媒体の一例の
拡大断面図、第２図および第３図は従来の製造方法によ
り得られる磁気記録媒体の拡大断面図である。 ９・・・・・・高分子フィルム、１０・１１・・・・・
・下塗り層、１２・・・・・・強磁性金属薄膜。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名？−
高分子フィルム ＩＱＩｌ　“′　下　」艷　リ　ノ１ １？・・−踵ａ忙全萬違膜 第１図 第２図 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 高分子のフィルムの両面に薄膜を配した磁気記録媒体を
   製造する際、薄膜形成後に熱処理することを特徴とする
   磁気記録媒体の製造方法。