JPS6334728A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6334728A JPS6334728A JP17694386A JP17694386A JPS6334728A JP S6334728 A JPS6334728 A JP S6334728A JP 17694386 A JP17694386 A JP 17694386A JP 17694386 A JP17694386 A JP 17694386A JP S6334728 A JPS6334728 A JP S6334728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- recording medium
- hard carbon
- oxide layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 26
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 229910021385 hard carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 12
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 claims abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 20
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 16
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 4
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 150000001868 cobalt Chemical class 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
高分子フィルム上に直接又は、下地層を介して、電子ビ
ーム蒸着法で、Ｃｏ−Ｎｉを斜め蒸着した、いわゆる蒸
着テープは、蒸着時に酸素ガスを導入することで、保磁
力を制御すると共に、耐久性。
ーム蒸着法で、Ｃｏ−Ｎｉを斜め蒸着した、いわゆる蒸
着テープは、蒸着時に酸素ガスを導入することで、保磁
力を制御すると共に、耐久性。
耐食性の向上をはかっている。〔外国論文誌：アイイー
イーイー トランザクションズ オン マグネティクス
（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧ
ＮＥＴＩＣ３）Ｖｏ ｅｏＭＡＧ−２０，Ｎｏ、−６，
ｐ、ｐ。
イーイー トランザクションズ オン マグネティクス
（ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧ
ＮＥＴＩＣ３）Ｖｏ ｅｏＭＡＧ−２０，Ｎｏ、−６，
ｐ、ｐ。
８２４〜Ｂ２８（１９８４））
蒸着テープの耐久性の向上にとって有力な手段は、磁気
記録層の微細凹凸化である〔外国論文誌：アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグ＄ｆイクス（Ｉ
ＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮ
ＥＴＩＣ８）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、、ｐ、ｐ。
記録層の微細凹凸化である〔外国論文誌：アイイーイー
イー トランザクションズ オン マグ＄ｆイクス（Ｉ
ＥＥＥ ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ ＯＮＭＡＧＮ
ＥＴＩＣ８）Ｖｏｌ、ＭＡＧ−２１、、ｐ、ｐ。
１５２４〜１５２６（１９８５））が、最近、より耐久
性能の向上をはかるために、ダイアモンド状硬質炭素薄
膜（以下、Ｄ、Ｌ、Ｃ膜と記す）を保護膜として検討が
進み、スチル耐久性の向上が確認されている〔電子通信
学会、磁気記録研究会資料、ＭＲ５ｓ−６ｅ （１ｓ８
ｅ ） ）。
性能の向上をはかるために、ダイアモンド状硬質炭素薄
膜（以下、Ｄ、Ｌ、Ｃ膜と記す）を保護膜として検討が
進み、スチル耐久性の向上が確認されている〔電子通信
学会、磁気記録研究会資料、ＭＲ５ｓ−６ｅ （１ｓ８
ｅ ） ）。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、Ｃｏ−Ｎｉ−０膜やＣｏ−〇膜等の部分
酸化膜を磁気記録層とする蒸着テープの保護膜としてり
、Ｌ、Ｃ膜を直接磁気記録層上に形成した磁気記録媒体
は、短波長での信号出力に変動が生じるといった問題が
あり、改善が望まれていた。
酸化膜を磁気記録層とする蒸着テープの保護膜としてり
、Ｌ、Ｃ膜を直接磁気記録層上に形成した磁気記録媒体
は、短波長での信号出力に変動が生じるといった問題が
あり、改善が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みてなさｎたものであり、長
手方向で再生出力が安定し、且つ耐久性能の向上した磁
気記録媒体を製造することの出来る方法を提供するもの
である。
手方向で再生出力が安定し、且つ耐久性能の向上した磁
気記録媒体を製造することの出来る方法を提供するもの
である。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体
の製造方法は、高分子フィルム上に部分酸化された強磁
性金属薄膜を配した処理体を回転支持体に沿って移動し
ながら、表面酸化層をドライエツチング直後、ダイアモ
ンド状硬質炭素薄膜を形成するものである。
の製造方法は、高分子フィルム上に部分酸化された強磁
性金属薄膜を配した処理体を回転支持体に沿って移動し
ながら、表面酸化層をドライエツチング直後、ダイアモ
ンド状硬質炭素薄膜を形成するものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は、上記した構成によ
り、ダイアモンド状硬質炭素薄膜の形成過程で、表面酸
化層がエツチングさ扛ることかなくなるため、該薄膜の
厚みを一定に制御できるようになり、スペーシングが安
定な磁気記録媒体を得ることができるのと、表面酸化層
によるスペーシング損失分をダイアモンド状硬質炭素薄
膜の厚み分にふり向ければ、耐久性−７）；一層面上し
た磁気記録媒体が確実に得ら扛ることになる。
り、ダイアモンド状硬質炭素薄膜の形成過程で、表面酸
化層がエツチングさ扛ることかなくなるため、該薄膜の
厚みを一定に制御できるようになり、スペーシングが安
定な磁気記録媒体を得ることができるのと、表面酸化層
によるスペーシング損失分をダイアモンド状硬質炭素薄
膜の厚み分にふり向ければ、耐久性−７）；一層面上し
た磁気記録媒体が確実に得ら扛ることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら、本発明の実施例について説
明する。第１図は、本発明の製法により得られる磁気記
録媒体の拡大断面図で、図中、１は厚みが９．５μｍの
ポリエチレンテレフタレートフィルムのごとき高分子フ
ィルム、２は微粒子塗布層で、平均１７０へのチタニア
粒子を１０９個／ｄポリエステル樹脂で固定したもので
ある。３は部分酸化された柱状結晶微粒子から成る磁気
記録層、４はダイアモンド状硬質炭素薄膜、５は潤滑剤
層である。３と４の界面は、柱状結晶微粒子表面の酸化
層は後述するようにエツチングされて無視できる厚み（
磁気記録のスペーシング損失面からみて、２０〜３０Å
以下好ましくは０人）になっている。
明する。第１図は、本発明の製法により得られる磁気記
録媒体の拡大断面図で、図中、１は厚みが９．５μｍの
ポリエチレンテレフタレートフィルムのごとき高分子フ
ィルム、２は微粒子塗布層で、平均１７０へのチタニア
粒子を１０９個／ｄポリエステル樹脂で固定したもので
ある。３は部分酸化された柱状結晶微粒子から成る磁気
記録層、４はダイアモンド状硬質炭素薄膜、５は潤滑剤
層である。３と４の界面は、柱状結晶微粒子表面の酸化
層は後述するようにエツチングされて無視できる厚み（
磁気記録のスペーシング損失面からみて、２０〜３０Å
以下好ましくは０人）になっている。
第・１図に示した磁気記録媒体を・製造するのに用いた
処理装置は第２図に示した通りである。すなわち、第２
図で、６は磁気記録層として直径が１ｍのクーリングキ
ャンに沿わせて、４Ｘ１０−５（Ｔｏｒｒ ）の酸素中
で、Ｃｏ −Ｎｉ （Ｎｉ ： ２０ｗ ｔ％）を最小
入射角４０度で電子ビーム蒸着で形成したもので、膜厚
ｏ、１６μｍ２表面酸化層１２０八とした層を有する被
処理体で、微粒子塗布、高分子フィルムは前記した通り
である。７はエツチングで表面酸化層（１００人）を除
去後、ダイアモンド状硬質炭素膜を配した原反で、８は
送り出し軸、９は巻取り軸、１０はクーリングキャン（
直径５０Ｃｒｎ ＋回転方向は矢印Ａ）、１１はエツチ
ングのための放電電極で、電極のクーリングキャ／との
対向面に微細な孔を複数個あけて、放電ガスとしてＡｒ
＋ Ｈ２（Ａｒ ：Ｈ２＝２ ： １ ）を０．０１
４１ ／ ｍ ｉ ｎ導入できるよう構成したものであ
る。１２はプラズマ管で、１３は外部励起高周波コイル
、１４はメツシュ状電極で、■１２００Ｖにした。１６
は真空槽、１７は真空排気系、１８は絶Ｒ導入端子であ
る。
処理装置は第２図に示した通りである。すなわち、第２
図で、６は磁気記録層として直径が１ｍのクーリングキ
ャンに沿わせて、４Ｘ１０−５（Ｔｏｒｒ ）の酸素中
で、Ｃｏ −Ｎｉ （Ｎｉ ： ２０ｗ ｔ％）を最小
入射角４０度で電子ビーム蒸着で形成したもので、膜厚
ｏ、１６μｍ２表面酸化層１２０八とした層を有する被
処理体で、微粒子塗布、高分子フィルムは前記した通り
である。７はエツチングで表面酸化層（１００人）を除
去後、ダイアモンド状硬質炭素膜を配した原反で、８は
送り出し軸、９は巻取り軸、１０はクーリングキャン（
直径５０Ｃｒｎ ＋回転方向は矢印Ａ）、１１はエツチ
ングのための放電電極で、電極のクーリングキャ／との
対向面に微細な孔を複数個あけて、放電ガスとしてＡｒ
＋ Ｈ２（Ａｒ ：Ｈ２＝２ ： １ ）を０．０１
４１ ／ ｍ ｉ ｎ導入できるよう構成したものであ
る。１２はプラズマ管で、１３は外部励起高周波コイル
、１４はメツシュ状電極で、■１２００Ｖにした。１６
は真空槽、１７は真空排気系、１８は絶Ｒ導入端子であ
る。
この構成でガス導入孔１６より、Ａｒとメタンガスを混
合比１：１で混合した状態で。−０１９ｅ／ｍ導入し、
１３に１３．５６ （ＭＨｚ ） １９００ （Ｗ）を
投入し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜を１４０人形成し
た。この上に、別の蒸着機で、潤滑剤層としてステアリ
ン酸のコバルト塩を約４０人蒸着形成した。１１には１
３．５６（ＭＨｚ）を実施例では２４００（Ｗ）投入し
たが、比較例では、ガス導入と高周波の印加をしないで
直接、ダイアモンド状硬質炭素膜を実施例と同じ条件で
形成した。
合比１：１で混合した状態で。−０１９ｅ／ｍ導入し、
１３に１３．５６ （ＭＨｚ ） １９００ （Ｗ）を
投入し、ダイアモンド状硬質炭素薄膜を１４０人形成し
た。この上に、別の蒸着機で、潤滑剤層としてステアリ
ン酸のコバルト塩を約４０人蒸着形成した。１１には１
３．５６（ＭＨｚ）を実施例では２４００（Ｗ）投入し
たが、比較例では、ガス導入と高周波の印加をしないで
直接、ダイアモンド状硬質炭素膜を実施例と同じ条件で
形成した。
比較テープと実施例のテープを任意に１ｏｄ”ｘ１ｄ’
を選び、０．７６μｍの記録波長を記録し、再生出力を
モニターしたところ、実施例では、±ｏ、２（ｄＢ）の
範囲内に全て入っていたが、比較テープは、±１．４（
ｄＢ）と変動が大きかった。−６°Ｃでのメチル特性を
比較したところ、任意の３Φケ所で、再生出力が２ （
ｄＢ）低下する時間は、実施例は７５分〜７９分と均一
であったが、比較例では、１９分〜７２分とバラツキが
大きかった。
を選び、０．７６μｍの記録波長を記録し、再生出力を
モニターしたところ、実施例では、±ｏ、２（ｄＢ）の
範囲内に全て入っていたが、比較テープは、±１．４（
ｄＢ）と変動が大きかった。−６°Ｃでのメチル特性を
比較したところ、任意の３Φケ所で、再生出力が２ （
ｄＢ）低下する時間は、実施例は７５分〜７９分と均一
であったが、比較例では、１９分〜７２分とバラツキが
大きかった。
なお、初期出力でも本実施例に対して、平均値比較で比
較例は−１，ｅ（ｄＢ）と低く、スペース損失が大きい
ことを示している。このことは、本実施例を、更に、７
０〜１００人ダイアモンド状硬質炭素膜を厚くして耐久
性向上に主体をおいた改良のために適用することができ
ることを物語るものである。
較例は−１，ｅ（ｄＢ）と低く、スペース損失が大きい
ことを示している。このことは、本実施例を、更に、７
０〜１００人ダイアモンド状硬質炭素膜を厚くして耐久
性向上に主体をおいた改良のために適用することができ
ることを物語るものである。
本実施例に述べた条件に本発明が限定されるものでない
ことは勿論で、高分子フィルム材料、磁気記録層材料の
選択は自由であり、ダイアモンド状硬質炭素膜の製法使
用ガス等も適宜工夫できるものである。
ことは勿論で、高分子フィルム材料、磁気記録層材料の
選択は自由であり、ダイアモンド状硬質炭素膜の製法使
用ガス等も適宜工夫できるものである。
発明の効果
以上のように本発明によれば、短波長出力が安定してい
て、かつ出力と耐久性が共に良好な磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
て、かつ出力と耐久性が共に良好な磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
第１図は本発明により製造できる磁気記録媒体の一例の
拡大断面図、第２図は本発明を実施するのに用いた処理
装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子
塗布層、３・・・・・・磁気記録層、４・・・・・・ダ
イアモンド状硬質炭素膜、６・・・・・・被処理体、１
ｏ川・・・クーリングキャン、１１・・・・・・放電電
極、１２・・・・・・プラズマ管。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 イー１翫′釘２トフイルム ４−−−ダイアもンレイＸ面東債々灸ル（イし一方廻１
乞を権
拡大断面図、第２図は本発明を実施するのに用いた処理
装置の一例の要部構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・微粒子
塗布層、３・・・・・・磁気記録層、４・・・・・・ダ
イアモンド状硬質炭素膜、６・・・・・・被処理体、１
ｏ川・・・クーリングキャン、１１・・・・・・放電電
極、１２・・・・・・プラズマ管。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名第１
図 イー１翫′釘２トフイルム ４−−−ダイアもンレイＸ面東債々灸ル（イし一方廻１
乞を権
Claims (1)
- 高分子フィルム上に部分酸化された強磁性金属薄膜を配
した処理体を回転支持体に沿って移動しながら、表面酸
化層をドライエッチング直後、ダイアモンド状硬質炭素
薄膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17694386A JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17694386A JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6334728A true JPS6334728A (ja) | 1988-02-15 |
| JPH0740357B2 JPH0740357B2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=16022448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17694386A Expired - Lifetime JPH0740357B2 (ja) | 1986-07-28 | 1986-07-28 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0740357B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02128321A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1986
- 1986-07-28 JP JP17694386A patent/JPH0740357B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02128321A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0740357B2 (ja) | 1995-05-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2563425B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6334728A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0546013B2 (ja) | ||
| JPH01105326A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS62185246A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0154776B2 (ja) | ||
| JPH01176327A (ja) | 垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH02110829A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2951892B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2548231B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6063723A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP2594380B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2953138B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS63251928A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS6174133A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01166332A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0125144B2 (ja) | ||
| JPS63121120A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH01287821A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01251312A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH01320643A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPS61110333A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS6378339A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH01140420A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0226294B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |