JPS63121120A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPS63121120A JPS63121120A JP26700186A JP26700186A JPS63121120A JP S63121120 A JPS63121120 A JP S63121120A JP 26700186 A JP26700186 A JP 26700186A JP 26700186 A JP26700186 A JP 26700186A JP S63121120 A JPS63121120 A JP S63121120A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する磁気記録媒体の製造方
法に関する。
法に関する。
従来の技術
近年磁気記録の高密度化の進歩は著しいものがあり、強
磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実用化
が強く望まれている。
磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実用化
が強く望まれている。
〔例えば外国論文誌：ＩＥＥＥ）ランザクシ冒ンオンマ
グネｆイ／ス （ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ ＭＡ
ＧＮＥＴＩＣ３） ＶＯＡ’、 ＭＡＧ−２１、Ｎｏ
−３゜ＰＰ、１２１７〜１２２０ （１９８５）参照
〕第２図は磁気記録媒体の構成の一例を示すもので、１
は、ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム、
２はＣｏ−Ｃｒ、Ｇｏ−Ｎｉ−０等の強磁性金属薄膜か
ら成る磁気記録層、３はステアリン酸等の滑剤層である
。
グネｆイ／ス （ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳＯＮ ＭＡ
ＧＮＥＴＩＣ３） ＶＯＡ’、 ＭＡＧ−２１、Ｎｏ
−３゜ＰＰ、１２１７〜１２２０ （１９８５）参照
〕第２図は磁気記録媒体の構成の一例を示すもので、１
は、ポリエチレンテレフタレート等の高分子フィルム、
２はＣｏ−Ｃｒ、Ｇｏ−Ｎｉ−０等の強磁性金属薄膜か
ら成る磁気記録層、３はステアリン酸等の滑剤層である
。
２の形成は、電子ビーム蒸着法、イオンブレーティング
法、スパッタリング法、無電解メッキ法等〔例えば特開
昭５３−４２０１０号公報、特公昭４１−１９３８９号
公報等参照〕で行われ、３は溶液中に滑剤を含ませて、
塗布、乾燥する方法〔例えば特開昭５７−１７９９４８
号公報、特開昭６１−１７８７１８号公報等参照〕 真
空蒸着する方法〔特開昭６７−１６４４３４号公報、特
公昭６７−４６１２９号公報等参照〕が検討されている
。
法、スパッタリング法、無電解メッキ法等〔例えば特開
昭５３−４２０１０号公報、特公昭４１−１９３８９号
公報等参照〕で行われ、３は溶液中に滑剤を含ませて、
塗布、乾燥する方法〔例えば特開昭５７−１７９９４８
号公報、特開昭６１−１７８７１８号公報等参照〕 真
空蒸着する方法〔特開昭６７−１６４４３４号公報、特
公昭６７−４６１２９号公報等参照〕が検討されている
。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら、真空蒸着する前に、強磁性金属薄膜表面
をグロー放電処理することで、滑剤の耐久持続性を改善
する検討がなされているものの。
をグロー放電処理することで、滑剤の耐久持続性を改善
する検討がなされているものの。
耐食性、耐久性を満足せしめる磁気記録媒体を大量に歩
留りよく得られる方法は見出されていない。
留りよく得られる方法は見出されていない。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、耐食性、
耐久性の改良された磁気記録媒体を大量に得ることの出
来る製造方法を提供するものである。
耐久性の改良された磁気記録媒体を大量に得ることの出
来る製造方法を提供するものである。
問題点を解決するための手段
本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した問題を解決
するため、滑剤を真空蒸着する際、エネルギービーム照
射を行うものである。
するため、滑剤を真空蒸着する際、エネルギービーム照
射を行うものである。
作用
本発明は上記した構成により、滑剤と強磁性金属薄膜の
間の反応が均一になり、かつ強固になるのと、エネルギ
ービームでスパッタされた金属原子との間で金属塩が形
成されるので耐久性が改善されると同時に耐食性も改善
されることになる。
間の反応が均一になり、かつ強固になるのと、エネルギ
ービームでスパッタされた金属原子との間で金属塩が形
成されるので耐久性が改善されると同時に耐食性も改善
されることになる。
実施例
以下１図面を参照しながら本発明の実施例について詳し
く説明する。
く説明する。
第１図は本発明を実施するのに用いた蒸着装置の要部構
成図で、４はテープＡ、５はテープＢで、テープＡはポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート
、ボリフエニレンサルフ１イド等の高分子フィルム上に
、 Ｇｏ−Ｎｉ 、Ｃｏ −Ｆａ 、Ｃｏ−Ｃｒ 。
成図で、４はテープＡ、５はテープＢで、テープＡはポ
リエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート
、ボリフエニレンサルフ１イド等の高分子フィルム上に
、 Ｇｏ−Ｎｉ 、Ｃｏ −Ｆａ 、Ｃｏ−Ｃｒ 。
Ｃｏ−Ｍｏ、Ｃｏ−ＴＬ、Ｃｏ−０，Ｃｏ−０Ｂ、Ｃｏ
−Ｙ、Ｃｏ−Ｗ。
−Ｙ、Ｃｏ−Ｗ。
Ｃｏ −Ｎｉ −０、Ｇｏ−Ｎｉ−Ｐ等の強磁性金属薄
膜を配したもので、テープＢは、滑剤をその上に蒸着し
たものである。６は円筒キャン等の回転支持体で７は滑
剤、８は蒸発容器％９は滑剤の蒸気流を模式的に示した
もので、１０はイオン源、１１はイオンビームを模式的
に示したもので、１２はマスク、１３は真空容器、１４
は真空排気系である。尚イオン源は、中性ビーム発生源
に置きかえることもできる。イオンビーム又は中性ビー
ムはエネルギービームと呼ぶことにしているが、運動エ
ネルギーは３００ ＠Ｖ以上あればよ（，３０ＫｅＶ以
下でよい。滑剤は脂肪酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステ
ル、弗素化合物等いずれでもよく、蒸発容器は、容器自
身を抵抗加熱で昇温するか、誘導加熱、電子衝撃等いず
れの手段で昇温制御してもよい。
膜を配したもので、テープＢは、滑剤をその上に蒸着し
たものである。６は円筒キャン等の回転支持体で７は滑
剤、８は蒸発容器％９は滑剤の蒸気流を模式的に示した
もので、１０はイオン源、１１はイオンビームを模式的
に示したもので、１２はマスク、１３は真空容器、１４
は真空排気系である。尚イオン源は、中性ビーム発生源
に置きかえることもできる。イオンビーム又は中性ビー
ムはエネルギービームと呼ぶことにしているが、運動エ
ネルギーは３００ ＠Ｖ以上あればよ（，３０ＫｅＶ以
下でよい。滑剤は脂肪酸、脂肪酸アミド、脂肪酸エステ
ル、弗素化合物等いずれでもよく、蒸発容器は、容器自
身を抵抗加熱で昇温するか、誘導加熱、電子衝撃等いず
れの手段で昇温制御してもよい。
更に具体的に比較例と比べた結果の一例について述べる
。高分子フィルムとして厚み１０μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に平均１ｏＯ入のＡｌ２Ｏ３の
微粒子を１０ケ／（μｍ） 塗布し、その上に直径１
ｍの円筒キャン（温度３０度Ｃ）に沿わせて、最小入射
角４０度、酸素分圧４、２Ｘ１０ （Ｔｏｒｒ）の条
件でＣｏ −Ｎｉ （Ｎｉ 、２４ｗｔ％ ）を０．１
３μｍ電子ビーム蒸着した５膜ｍ幅。
。高分子フィルムとして厚み１０μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上に平均１ｏＯ入のＡｌ２Ｏ３の
微粒子を１０ケ／（μｍ） 塗布し、その上に直径１
ｍの円筒キャン（温度３０度Ｃ）に沿わせて、最小入射
角４０度、酸素分圧４、２Ｘ１０ （Ｔｏｒｒ）の条
件でＣｏ −Ｎｉ （Ｎｉ 、２４ｗｔ％ ）を０．１
３μｍ電子ビーム蒸着した５膜ｍ幅。
３０００ｍのテープＡを準備した。
テープＡを用い、ステアリン酸を平均厚みが６０人とな
る条件で真空蒸着した。その際、アルゴンイオンをＩ
ＫｅＶにして、３８μＡ／ｄの電流密度で強磁性金属薄
膜を照射したものをテープ■とし、窒素イオンで（２Ｋ
ｅＶ、１８μ八μ）照射したものをテープ■、従来例を
テープ■とし、テープＡからそれぞれ８００ ｍずつに
分けて、スリットした。８ミリ幅の磁気テープをテープ
ｔ、ｎ、ｍから任意に３０巻ずつ抽出して、スチル特性
を市販の８ミリデツキで比較した。環境条件は５°Ｃａ
ｓ％ＲＨで、再生出力が２ｄＢ低下するまでの時間で比
較した。又、耐食性についての比較は６０″Ｃａ ｓ
％ ＲＨに、テープを１ケ月間放置して、上記した条件
でスチルを比較することで行った。
る条件で真空蒸着した。その際、アルゴンイオンをＩ
ＫｅＶにして、３８μＡ／ｄの電流密度で強磁性金属薄
膜を照射したものをテープ■とし、窒素イオンで（２Ｋ
ｅＶ、１８μ八μ）照射したものをテープ■、従来例を
テープ■とし、テープＡからそれぞれ８００ ｍずつに
分けて、スリットした。８ミリ幅の磁気テープをテープ
ｔ、ｎ、ｍから任意に３０巻ずつ抽出して、スチル特性
を市販の８ミリデツキで比較した。環境条件は５°Ｃａ
ｓ％ＲＨで、再生出力が２ｄＢ低下するまでの時間で比
較した。又、耐食性についての比較は６０″Ｃａ ｓ
％ ＲＨに、テープを１ケ月間放置して、上記した条件
でスチルを比較することで行った。
初期のスチル特性はテープｌが１３３〜１３７分、テー
プ■が１４１〜１４６分、テープ■が６８分〜１１８分
、耐食テスト後のスチル特性はテープＩが１２９〜１３
６分、テープ■が１３９〜１４６分、テープ■が２１分
〜１０３分で、実施例は特性も良く、バラツキも小さい
。
プ■が１４１〜１４６分、テープ■が６８分〜１１８分
、耐食テスト後のスチル特性はテープＩが１２９〜１３
６分、テープ■が１３９〜１４６分、テープ■が２１分
〜１０３分で、実施例は特性も良く、バラツキも小さい
。
滑剤の蒸着を、アモルファスカーボンとりわけ。
ダイアモンド状硬質炭素膜やＭｏ Ｓ ２膜、５ｌｏ２
膜等の上に行う時にも適用でき、類似の効果があること
も確認している。
膜等の上に行う時にも適用でき、類似の効果があること
も確認している。
又磁気テープに限らず、厚み２６μｍのポリカーボネー
ト上に０．２μｒｎｃｏ−Ｃｘ垂直磁化膜を形成した上
にアルゴンイオ／ （１−５ＫｅＶ ｔ ２２ ｐＡ／
ｃｊ ）を照射しなから二硫化ジベンジルを約７０人蒸
着したものを３．５ インチのディスクに加工し。
ト上に０．２μｒｎｃｏ−Ｃｘ垂直磁化膜を形成した上
にアルゴンイオ／ （１−５ＫｅＶ ｔ ２２ ｐＡ／
ｃｊ ）を照射しなから二硫化ジベンジルを約７０人蒸
着したものを３．５ インチのディスクに加工し。
０．２μｍギャップ長のフェライトリングヘッドで０．
４μｍの記録波長の信号を記録し、再生信号出力が２ｄ
Ｂｌｉ下するまでに１２６０万パスの良好な耐久性を確
認した。
４μｍの記録波長の信号を記録し、再生信号出力が２ｄ
Ｂｌｉ下するまでに１２６０万パスの良好な耐久性を確
認した。
発明の効果
以上のように本発明によれば、耐久性、耐食性の良好な
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体を大量
に得ることができるといったすぐれた効果がある。
第１図は本発明の実施に用いた蒸着装置の要部構成図、
第２図は従来の磁気記録媒体の一例の拡大断面図である
。 ７・・・・・・滑剤、１０・・・・・・イオン源、１１
・・・・・・イオンビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 Ｕ−−−イオンビーム第２図
第２図は従来の磁気記録媒体の一例の拡大断面図である
。 ７・・・・・・滑剤、１０・・・・・・イオン源、１１
・・・・・・イオンビーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名菓
１ 図 Ｕ−−−イオンビーム第２図
Claims (1)
- 強磁性金属薄膜上に滑剤を真空蒸着する際にエネルギー
ビーム照射を行うことを特徴とする磁気記録媒体の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26700186A JPS63121120A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26700186A JPS63121120A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63121120A true JPS63121120A (ja) | 1988-05-25 |
Family
ID=17438679
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26700186A Pending JPS63121120A (ja) | 1986-11-10 | 1986-11-10 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63121120A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02110828A (ja) * | 1988-10-20 | 1990-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPH04319526A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-10 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 薄膜記憶媒体上に潤滑剤を結合する方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161233A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-29 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
| JPS61216125A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS61258333A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1986
- 1986-11-10 JP JP26700186A patent/JPS63121120A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6161233A (ja) * | 1984-09-03 | 1986-03-29 | Ulvac Corp | 耐摩耗性磁気記録体の製造法 |
| JPS61216125A (ja) * | 1985-03-22 | 1986-09-25 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
| JPS61258333A (ja) * | 1985-05-13 | 1986-11-15 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体の製造方法 |
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