JPH02110828A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する磁気記録媒体の製造
方法に関する。

従来の技術 磁気記録媒体を高めようとの要求は継続的にあって、最
近では、高密度記録に適する強磁性金属薄膜を磁気記録
層とする磁気記録媒体の実用化が強く望まれている〔ア
イイーイーイー　トクンザクションズ　オン　マグネテ
ィクス　（ＩＩＥＥＫＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮＳ　　Ｏ
Ｎ　　ＭＡＧＮＩｃＴＩＯ８）’１０１．　ＭＡＧ−２
１、Ｎｏ　−３、Ｐ、Ｐ、　　１　２１７〜１２２０（
１５ａｅｓ　））。

強磁性金属薄膜群の中で有望なものは、Ｇｏ　−Ｏｒ等
の垂直磁化膜〔特公昭５８−９１号公報、特開昭６１−
１２０３３１号公報〕やＣｏ−Ｎｉ、Ｇｏ−Ｎ１−〇　
等の斜め蒸着僕や湿式めっき膜〔特公昭４１−１９３８
９号公報、特開昭５３−４２０１０号公報〕等があり、
現在主たる改善検討は高密度磁気記録特性を低下させな
いか、低下量を実用上無視できるような保護潤滑層の形
成にあり、一般によく知られるメチルインブチルケトン
、メタノール、）／Ｌ／エン等の溶剤中に潤滑剤を含ま
せて、塗布乾燥する方法〔特開昭５７−１７９９４８号
公報、特開昭８１−１７８７１８号公報〕では、スピン
コード法、デイツプ法、リバースロールコート法等の方
法の如何を問わず、潤滑剤の種頌と瓜と溶液をうまく組
み合わせれば、磁気ディスク。

磁気テープのいずれの形態でも摩擦、摩耗特性を改善で
きる。

発明が解決しようとする課題 更に最近では一層耐久性を向上すべく提案されている酸
化物と潤滑剤層の組み合わせ（特開昭６１−１６１８３
０号公報）スパッタ法で形成した有機薄膜と含フツ素潤
滑油層の積１ｍ（特開昭６１−１３７２１９号公報）等
の中で、カーボン膜と７０ロカーボン系（特開昭６１−
１４２５２５号公報）の組み合わせをはじめカーボン膜
の採用が磁気ディスクを中心に進んでいるが潤滑剤の均
一性、耐久性が通常法で得たものは不十分でデイツプ法
で超音波印加する方法〔特開昭６３−１７７３１４号公
報〕やカーボン膜上にアミド系潤滑剤及びカップリング
剤を塗布した後加熱処理する等の改善が行われている。

しかしながらカーボン膜でも特にダイヤモンド状又はダ
イヤモンドに近いカーボン薄膜を配した上に各種の潤滑
剤を均一く付与しようとすると従来法では不十分で、耐
久性の向上に課題が残されている。本発明は上記した事
情に鑑みなされたもので、潤滑性、耐摩耗特性に優れた
高密度磁気記録媒体を製造する方法を提供するものであ
る。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため本発明の磁気記録媒体の製
造方法は粒状突起を有する強磁性金属薄膜上にカーボン
膜を配した被処理体をＰ　（Ｔｏｒｒ　）の真空中で巻
摩りながら、潤滑剤をＶ（人／５ｅｃ）で蒸着する際Ｐ
／ｖ値を１０　以下に保つようにしたものである。

作用 本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、潤滑剤がカーボン膜を均一に被覆できるようになり、
潤滑漠の破れによるカーボン膜の破壊並びに強磁性金属
薄膜の破壊を防止でき耐久性が改善されることになる。

実施例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。図は本発明の磁気記録媒体の製造方法によって製
造される磁気記録媒体の拡大断面図である。図で１はポ
リエチレンテレフタレート。

ポリエチレンナフタレート、ポリフェニレンサルファイ
ド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアミド、ポリイ
ミド等の高分子フィルムやムト１ｇ。

ムｌ　−Ｓｉ合金等の非磁性基板から成る基板で、２は
微粒子層で５ｉ０２　、ム１２０ｓ　、　Ｂｏｏ　、Ｔ
ｌＯ２゜Ｃｒ２Ｏ５、ＺｒＯ２、ＭｏＣｊ　、　ＭｎＯ
２、ＣａＦ２　、　テア　ｏ　ン粉末、アクリル樹脂ビ
ーズ等を塗布したものや、プラズマ重合条件の制御によ
り粒状突起を形成するようにしたもの等が用いられる。

３はＣｏ　−Ｎｉ　。

Ｃｏ−Ｃｘ　、　ｃｏ−Ｔｉ　、　Ｇｏ−Ｍｏ　、　Ｃ
ｏ−Ｐ　、　Ｇｏ−Ｔａ。

Ｃｏ−Ｗ　、　Ｇｏ−Ｎｉ−Ｐ　、　Ｃｊｏ　−Ｎｉ−
０、Ｃｏ−０ｒ　−Ｎｔｌ等の強磁性金属薄膜で電子ビ
ーム蒸着法、イオンブレーティング法、スパッタリング
法等で形成する。

４はカーボン膜で、スパッタリング法、イオンビームデ
ボジ°シロン法、プラズマアシスト法等で形成されるも
ので特にダイヤモンド状硬質炭素膜。

ダイヤモンド膜、或いはこれらの混合体に後述する方法
を適用することでの効果が大きいが、グラファイト等の
炭素状態でも効果を確認することができるものであるの
は勿論である。６は潤滑剤層で、脂肪酸、テレピン油、
ステアリン酸ナトリウム、パーフルオロアルキルポリエ
ーテル、パーフルオロアルキルカルボン酸、アルキル変
性シラン。

シランカップリング剤等で必要であれば、極圧潤滑剤、
防錆剤として一般に整理されているものの混合体でもよ
い。

本発明は磁気テープ、磁気ディスクのいずれでもよいが
以下更に具体的な実施例てついて比較例との対比で磁気
ディスクについて説明する。

厚み２６μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上
に直径１２０人のＴｌＯ２を平均２ｏケ４μｍ）２配し
その上に高周波スパッタリング法によりＣ。

−０ｒ（Ｏｒ：２０ｗｔ％）垂直磁化膜を１８００ｆん
配し、その上に、高周波スパッタリング法でグラファイ
トをターゲットにして、ムｒ＋Ｈ２”０．０７（Ｔｏｒ
ｒ　）　、ムｒ　：　Ｈ２’＝　１：　４　、１３．５
６　（Ｍｌｌｚ　）　。

１２００（Ｗ）の条件でダイヤモンド状硬質炭素膜を１
０５（Ａ）配し、その上に潤滑剤を蒸着し、３．６イン
チのフロッピーディスクに加工し特性比較を行った。

〔実施例−１〕 ダイヤモンド状硬質炭素膜を形成後、別の室で真空度Ｃ
Ｐ）をｐ　＝　Ｉ　Ｑ　　（Ｔｏｒｒ）とし、ステアリ
ン酸を蒸着速度（イ）を変えて蒸着してから３．６イン
チのフロッピーディスクを加工した。

〔実施例−２〕 Ｐ　＝　１０　　（ＴＯｒｒ）とし、ステアリン酸をＶ
を変えて蒸着してから３．６インチのフロッピーディス
クを加工した。

〔実施例−３〕 Ｐ　＝　１０　　（Ｔｏｒｒ）でミリスチン酸アミドを
Ｖを変えて蒸着してから３．６インチのフロッピーディ
スクを加工した。

尚比較例も含めて、条件と特性について表にまとめて示
した。特性は、ギャップ長０．１３μｍのメタルインギ
ヤラフ型アモルファスヘノ）”Ｋより）ラック幅１０μ
ｍでビット長０．２μ論を記録し、４０℃８５％ＲＨで
保存時間を変化させ、保存した後、再生出力が３（ｄＢ
）低下するまでの耐久時間を比較した。

上表に示した以外でもＰを１０　　（Ｔｏｒｒ）〜１０
　（Ｔｏｒｒ）の範囲で各種の材料について実施した結
果Ｐ／ｖ値か１０　以下であれば、経時変化がなく、耐
久性も良いことを確かめである。

発明の効果 以上のように本発明によれば、耐久性が良好な磁気記録
媒体を製造できるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

図は本発明の方法によって製造される磁気記録媒体の拡
大断面図である。 １・・・・・・基板、２・・・・・・微粒子層、３・・
・・・・強磁性金属薄膜、４・・・・・・ダイヤモンド
状硬質炭素膜、６・・・・・潤滑剤層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 粒状突起を有する強磁性金属薄膜上にカーボン膜を配し
   た被処理体をＰ（Ｔｏｒｒ）の真空中で巻き取りながら
   潤滑剤をＶ（Å／ｓｅｃ）で蒸着する際Ｐ／Ｖを１０＾
   −＾５以下に保持することを特徴とする磁気記録媒体の
   製造方法。