JPH02110814A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。

従来の技術 最近の記録技術の進歩により、単位面積当りの記録情報
量は飛躍的に増大し、　Ｇｏ−Ｎｉ、　Ｃｏ−０ｒ。

Ｃｏ−Ｎｉ−０等の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする
磁気記録媒体の実用化が強く望まれてきている。かかる
磁気記録媒体の実用化にはトライポロジーに関する理解
を深め、信頼性のある潤滑系を実現することが重要であ
る〔テレビジョン学会誌ｖｏ１．４０　、　Ｎｏ−５，
ａ　７２　（１９８６）参照〕。

第２図は、従来の磁気記録媒体の拡大断面図で。

第２図で１はポリエステルフィルムや１０合金等の非磁
性基板で、必要に応じて形状付与のための下塗シ層を配
したものが用いられ、２はＣｏ−Ｎｉ。

Ｇｏ−Ｎｉ−０、Ｇｏ−Ｎｉ−Ｐｒ−０、Ｃｏ−０ｒ、
　Ｃｏ　−０等の電子ビーム蒸着法やスパッタリング法
で形成される強磁性金属薄膜型の磁気記録層、３は保護
膜である。第２図に示した媒体では、保護膜の検討がト
ライポロジーの中心となり、スペーシング損失を極力小
さくして、保護効果の持続する材料。

製法が数多く提案されている。

脂肪酸金属塩の蒸着膜（特開昭５４−１１３３０３号公
報）、イミド基を有する高分子のスパッタ膜（特開昭５
７−１１６７７１号公報）、脂肪酸アミド等の塗膜（特
公昭５８−３０６０９号公報）。

脂肪酸金属塩の吸着層上にフロロカーボン系の潤滑層を
組み合わせたもの（特開昭６１−１２０３３１号公報）
、ダイアモンド状硬質炭素膜〔日本応用磁気学会、第４
６回研究会資料（１９ａ　ａ　）　）　ｅカーボン膜〔
アイイーイーイー　トランザクションズ　オン　マグネ
ティクス（ＸｘｘｘＴＲＡＮ８ＡＣＴＩＯＮＳ　　ＯＮ
　ＭＡＧＮＩＣＴＩＣ８）マＯＸ、ＭＡＧ−２２，Ｎｏ
−５，Ｐ、Ｐ。

９９９〜１００１　（１９８６））、硬質カーボン層の
上に含フツ素潤滑油層を配したもの（特開昭６１−１２
６６２７号公報）等が一例として挙げられる。

発明が解決しようとする課題 しかしながら上記した構成では、潤滑性の維持が十分で
ない場合があり、更に改善案として、カーボンをフッ素
化処理して有機潤滑層を配する（特開昭６２−９２１１
４号公報）方法や、硬質カーボン上に潤滑性のカーボン
を配したり（特開昭８２−１０９２３１号公報）する構
成が提案され、より耐久性の向上がはかれてきているが
、より広帯域化する記録再生に対応して磁気ヘッドが複
合材料化が進み、磁性体部が薄膜化する（日本応用磁気
学会誌マ０１．１２．ＮＯ，２，９７〜１０６（１９５
ｇ　））Ｋ従い１合金系の塗布型テープ（以下ＭＰテー
プという）との互換性に於て課題がちり改善が望まれて
いる。本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、Ｍ
Ｐテープとの互換性が良好で、単体使用時にも良好な出
力特性を維持できる耐久性の優れた磁気記録媒体を提供
するものである。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
強磁性金属薄膜上にダイヤモンド薄膜ＬＢ膜を積層した
ものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成によυ、強磁性金
属薄膜が十分保護されることで各種のヘッド構成材料と
の凝着摩耗が起らないため、ＭＰテープとの互換性も改
良されることになる。

実施例 以下１図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。第１図は本発明の磁気記録媒体の拡大断面図であ
る。第１図で、４はポリエチレンテレフタレート、ポリ
エーテルエーテルケトン。

ポリフェニレンサルファイド、ポリアミド等の高分子フ
ィルムで、必要に応じて、微粒子塗布や山脈状の凹凸形
成のための下塗多層を付与したものを用いてもよい。６
はＣｏ　、　Ｃｏ−Ｔｉ　、　Ｇｏ−Ｍｉ。

Ｃｏ　−０、Ｃｏ−０ｒ　、　Ｃｏ−Ｍｏ、　Ｃｏ　−
Ｗ　、　Ｃｏ−Ｎｉ−０ｒ。

Ｃｏ−Ｎｉ−０、Ｃｏ−０ｒ−Ｗｂ　、　ＣｏＣｏ−８
ｎ−等の強磁性金属薄膜で電子ビーム蒸着法、イオンブ
レーティング法、スパッタリング法等により形成される
もので磁化容易軸の方向には無関係であるが、必要であ
れば、Ｔｉ　、　Ｓｉ　、　Ｇｅ、　Ｎｉ−Ｆｅ等の下
地層を配した上で構成してもよい。

又強磁性金属薄膜は多層構造をとってもよく、多層の組
み合わせについても特に制限はない。６はダイヤモンド
薄膜で通常は炭化水素系の気体のグロー放電を利用する
方法や、グツファイトをターゲットにしたスパッタリン
グ法で構成されるダイヤモンド状硬質炭素膜が用いられ
るもので、スペーシング損失の点からも膜厚は薄くでき
るのが望ましいが、本発明ではそれが可能で高々１５０
人までの膜厚でよい。γはラングミュア・プロジェット
法により形成した、いわゆるＬＢ膜で、ステアリン酸、
トリデカン酸、ミリスチン酸、オクタン酸、アラキン酸
等の直鎖型脂肪酸又はそれらのＬｉ、Ｈａ、Ｋ　、Ｍｇ
、Ｃａ、Ｂａ、Ｎｉ　塩等であり１ｗ合によっては部分
的に弗素化したものを用いることも出来る。以上の構成
の本発明の磁気記録媒体は磁気テープに限らず、磁気デ
ィスクとして実施できるのは勿論である。以下、更に具
体的に比較例との対比で説明する。

〔実施例−１〕 厚み９μｍのポリエチレンナフタレートフィルム上に直
径１００人のＴｌＯ２微粒子を＊ｓケ／（ｐｍ）２の密
度で配し直径１１ａの円筒キャンに沿わせて、最小入射
角６０度、酸素分圧３Ｘ１０−５（ＴＯｒｒ）テＧｏ−
Ｎｉ　（Ｃｏ：　８０　ｗｔ％）を１８０ＯＡ電子ビ一
ム蒸着し、その上にグツファイトをターゲットに−しム
ｒ＋Ｈ２＝ｏ、ｏａ　（Ｔｏｒｒ）　　ムｒ　：Ｈ２＝
１　：　２゜１３．５　ｓ　（ＭＨｚ　）　、　１．４
　（ＫＷ）　、でダイヤモンド状硬質炭素膜を１００人
配し、ＬＢ法でステアリン酸のＮ１塩を２眉ＬＢ膜とし
て配し８ミリテープとした。

〔実施例−２〕 実施例−１でＬＢ法でステアリン酸のＮｉ塩を単層で配
し次に、ステアリン酸を単層で配した以外は同じ構成の
８ミリテープを試作した。

〔実施例−３〕 実施例−１でダイヤモンド状硬質炭素膜を８０人としパ
ーフルオロアラキン酸のＬＢ膜を単層配した以外は同じ
構成の８ミリテープを試作した。

〔実施例−４〕 厚み１１μｍのポリエチレンナフタレートフィルム上に
直径１４０人のｃｒ２ｏ、　微粒子を平均１０ケ／（ｘ
ａｍ）配し、直径５０１ｙＩＩ、表面温度１１５°Ｃの
円筒キャンに沿わせＧｏ−Ｃｒ（Ｃｏニアｓｗｔ％）を
ターゲットにしムｒ　：　８Ｘ１０−’（Ｔｏｒｒ）　
１３．５６（ＭＨｚ）　　１．５　（ＫＷ）でスパッタ
リングして、（ｊｏ−Ｏｒ垂直磁化膜を２０００人形成
し、その上にメタンガスをｏ、１（Ｔｏｒｒ）　２００
　（ＫＨｚ）　９００　（Ｗ）（７）アラズマ化をして
、９００（Ｖ）で直流加速し、ダイヤモンド状硬質炭素
膜を９０人形成し、その上にＬＢ法でトリデカン酸のＣ
ｒ塩を２層配した８ミリテープを試作した。

〔比較例−１〕 実施例−１で、ＬＢ法の代）に真空蒸着法で、ステアリ
ン酸のＮ１塩を１ａｑ／ｉ蒸着し、８ミリテープとした
。

〔比較例−２〕 実施例−４でＬＢ法代夛に真空蒸着法でトリデカン酸の
Ｃｒ塩を２０Ｍｆ／ｙｙｉ’蒸着し、８ミリテープとし
た。

以上のテープを市販の８ミリテープ（１２０分長デープ
）との互換性と実施例、比較例それ自体の耐久性を改造
した８ミリビデオにより比較評価した。改造はギャップ
長０．２２μｍのメタルインギャップ型と、積層薄膜型
のヘッドを用い、広帯域化したハイバンド仕様にした点
である。互換性は、実施例テープ、比較例テープをくり
返し１００回使用する前後の出力差を比較し、耐久性は
、輝度Ｃ／Ｎの変化で調べた。それらの結果を表にまと
めて示した。

発明の効果 以上のように本発明によれば、耐久性に於ても。

又ＭＰテープとの互換性についても良好な高密度磁気記
録媒体が得られるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面図、
第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ４・・・・・・高分子フィルム、６・・・・・・強磁性
金属薄膜、６・・・・・・ダイヤモンド薄膜、７・・・
・・・ＬＢ膜。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属薄膜上にダイヤモンド薄膜、ＬＢ膜を積層し
   たことを特徴とする磁気記録媒体。