JPH01204214A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は高密度磁気記録に適する強磁性金属薄膜を磁気
記録層とする磁気記録媒体に関するものである。

従来の技術 近年、磁気記録の高密度化の進歩は目覚しく。

短波長信号化と狭トラツク化の両面から磁気記録媒体に
求められる対応も技術的にみて、従沫の磁性粉末を結合
剤で基板上に固定したいわゆる塗布型の磁気記録層から
結合剤を持たない強磁性金属薄膜を磁気記録層とするい
わゆる薄膜型の蒸着テープへの切換えが必要となってき
ている。短波長信号のやりとりをするに必要な磁気記録
層の表面性はより平滑化する傾向にあり、走行性、耐久
性をいかにして確保するかは実用化にとって重要な課題
で数多くの提案がなされている。第２図は薄膜型の蒸着
テープの拡大断面図の一例である。第２図に於て、１は
中心線平均粗さ（Ｒａ）が０Ωｏ１〜０．０１μｍと平
滑なポリエチレンテレフタレートフィルム等の高分子フ
ィルムで、必要に応じて高分子をミミズ状に配したり、
微粒子を高分子で固定した下塗り層を高分子フィルムの
片面又は両面に配したものが用いられる。２は酸素雰囲
気中でＣｏ−Ｎｉを斜め蒸着して得た部分酸化されたＧ
　ｏ　−Ｎ　ｉ膜や、スパッタ法で形成したＣｏ−０ｒ
−Ｗｂ。

Ｇｏ−Ｃｒの垂直磁化膜等の強磁性金属薄膜、３は保護
潤滑層で、アモルファスカーボン膜とフルオロカーボン
系の潤滑層の積層、プラズマ重合膜と有機物蒸着膜の積
層等の膜が用いられている。４は走行性を改善するため
のバックコート層で、結合剤の中にＣａＣ０，、カーボ
ン、ム１２０３等の微粒子、必要に応じて、脂肪酸、脂
肪酸エステル等の潤滑剤を含ませて成るもので、カーボ
ンは適量含ませることが一般的である。

発明が解決しようとする課題 上記した構成の中にあって、゛ダイアモンド状硬質炭素
膜の保護性の高さが注目されるが、スペーシング損失を
配慮して薄くしていくと、ピンホールが多くなり、その
部分での腐食が進行し、界面が弱くなり、保護膜が欠落
し、欠落粉によるテープ表面がダメージを受けたり、磁
気ヘッドがダメージを受け、Ｃ／Ｎが低下する問題があ
り、改善が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、スペーシ
ング損失の小さい領域で耐久性の良好な磁気記録媒体を
提供するものである。

課題を解決するための手段 上記した課題を解決するため、本発明の磁気記録媒体は
、強磁性金属薄膜上に８１又はＴｉを含むプラズマ重合
膜を配し、その上にダイアモンド状硬質炭素薄膜を配し
更にシランカップリング剤又はチタネートカップリング
剤を含む潤滑剤を配するようにしたものである。

作用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、ピンホー
ル部はシランカップリング剤又はチタネートカップリン
グ剤で十分保護されるので、ダイアモンド状硬質炭素薄
膜がある程度薄くなっても十分トータルとしての耐久性
が確保されることになる。

実施例 以下１図面を参照しながら本発明の一実施例について詳
しく説明する。図は本発明に係る一実施例の磁気記録媒
体の拡大断面図である。図において６はポリエチレンテ
レフタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエー
テルサルフォン等の高分子フィルムで、６は下塗り層で
、微細な凹凸を形成するためのもので、５ｉｎ２．Ｅｕ
２Ｏ３ポリエステル球等を樹脂で固定したものか、水溶
性高分子等の山脈状の凹凸層等から成るものである。７
ばＣｏ−０ｒ　、　Ｃｏ　−０、Ｃｊｏ−Ｎｉ　、Ｃｏ
−Ｔｉ　、Ｇｏ−３ｉ　。

Ｃｏ−Ｎｉ−０，Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等の強磁性金属薄膜
で、電子ビーム蒸着法、高周波スパッタリング法等によ
り形成したもので、８はＳｉ又はＴｉを含むプラズマ重
合膜を配した上にダイアモンド状硬質炭素薄膜を配した
保護層である。例えば ＣＦ２ＯＦ３ から成る化合物の蒸気を出発物質とし、１３．５６ＣＭ
田）の高周波グロー放電を生じさせ、平均したとして膜
厚が２０人程度の薄いプラズマ重合膜を配し、更にグラ
ファイトをヌーゲットにしてＨ２を含む放電ガスによる
プラズマを誘起したスパッタリング法でダイアモンド状
硬質炭素薄膜を６０人から１００人の範囲に構成したも
のが用いられる。９は潤滑剤であり、チタンを含むプラ
ズマ重合膜とはチタネートカップリング剤、シリコンを
含むプラズマ重合膜とはシランカップリング剤を混合し
た潤滑剤を使用するチタネートカップリング剤は、モノ
アルコキシタイプ、キレートタイプ。

コーデイネートタイプ等で市販の味の素社製のＫＲ−Ｔ
ＴＳ　、ＫＲ−１３８３等は勿論、合成したものでもよ
い。シランカップリング剤は、市販品の信越化学工業製
（７）Ｋ　Ｂ　Ｃ１００３、ＫＢＭ９０３や日本ユニチ
カ製のＹ９１８７　、ムラ８フ等はもとより合成したも
のでもよい。潤滑剤はパーフルオロカルボン酸、脂肪酸
、脂肪酸エステル等の市販品又は合成したいずれでもよ
い。

以下、更に具体的に本発明の一実施例について詳しく説
明する。厚み１０μｍのポリエチレンテレフタレートフ
ィルム上に２００Ａ（７）ム１２０．微粒子を６０ケ／
（μＨ）ｚ配し、その上に直径１ｍの円筒キャンに沿わ
せて最小入射角４６度、酸素分圧７Ｘ１０　　（Ｔｏｒ
ｒ）で、Ｇｏ−Ｎｉ（Ｎｉ：２０ｖｔ％）を電子ビーム
蒸着し、０．１μｍの強磁性金属薄膜を形成した。次に
、プラズマ重合装置により。

厚みが均一として換算して、８人の厚みのプラズマ重合
膜を形成した。モノマーガスは ＣＦ、−０Ｆ（−ＯＣＦ２−ＣＦ２→５ｉ（ＯＣＲ，）
。

ＣＦ３　　　　０Ｆ３ で１３，５６（Ｍ服）　１．１５（Ｋｗ）のプラズマを
用いた。

プラズマ重合に続いて、ブラフアイトラターゲットにし
、ムｒ＋Ｈ２＝８Ｘ　１０　　（Ｔｏｒｒ）　、ムｒ：
Ｈ２＝１　：３　。

１３．５８　（ＭＨ２）　、　１．６　（Ｋｗ　）のス
パッタリング条件テスパッタリングを行い、ダイアモン
ド状硬質炭素薄膜を６０人形成し、その上にシランカッ
プリング剤〔日本ユニチカ製の商品名Ｙ−９３４２）と
ミリスチン酸を１：４混合したシクロヘキサノンとトル
エンの１：１混合溶液を塗布乾燥し、乾燥膜厚（均一に
付着したとしての換算厚み）５０人を配し、８ミリ幅の
磁気テープとした。比較例は、プラズマ重合膜をなくし
、かつ、滑剤として、モンテフルオス社製のパーフルオ
ロポリエーテルＮフォンブリンｚ−２５”を６０人塗布
した以外は実施例と同じ構成の８ミリテープを準備した
。

両者のテープを６０℃８５％ＲＨに３Ｗ放置してから記
録再生を行った。実施例のテープは。

１５μＳｅＣ，−１ｅｄＢのドロップアウトが１２〜２
０ケ／ｗｉｎで初期値とほぼ同じであったが、比較例は
２４〜５７ケ／ｍｉｎで２〜３倍に増加していた。記録
したテープを３０回走行させてＣ／Ｎを測定した（ギャ
ップ長０．２６μｍのメタルインギャップ型アモルファ
スヘッドをつんだ８ミリビデオで測定した）結果、実施
例は初期値に対して−ｏ、５（ｄＢ）以内であったのに
比し、比較例は初期値に対して−２，３〜−２，５（ｄ
Ｂ）と（ｊ／Ｎ低下がみられた。

発明の効果 以上のように本発明によれば、高Ｃ／Ｎｆ：うると共に
、高温、高湿で保存したとしてもＣ／Ｎ劣化やドロップ
アウト増加のない良好な磁気記録媒体が得られるといっ
たすぐれた効果を発揮するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の磁気記録媒体の拡大断面図
、第２図は従来の磁気記録媒体の拡大断面図である。 ６・・・・・・高分子フィルム、７・・・・・・強磁性
金属薄膜、８・・・・・・プラズマ重合膜（Ｓｉ含有）
、９・・・・・・ダイアモンド状硬質炭素薄膜、１ｏ・
・・・・・シランカップリング剤含有潤滑剤。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第２
図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 強磁性金属薄膜上にＳｉ又はＴｉを含むプラズマ重合膜
   を配した膜上にダイアモンド状硬質炭素薄膜を配し、更
   にシランカップリング剤又はモタネートカップリング剤
   を含む潤滑剤を配したことを特徴とする磁気記録媒体。