JP2808738B2 - 薄膜磁気記録媒体 - Google Patents
薄膜磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2808738B2 JP2808738B2 JP1283243A JP28324389A JP2808738B2 JP 2808738 B2 JP2808738 B2 JP 2808738B2 JP 1283243 A JP1283243 A JP 1283243A JP 28324389 A JP28324389 A JP 28324389A JP 2808738 B2 JP2808738 B2 JP 2808738B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic recording
- fine particles
- film magnetic
- substrate
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は機械的耐久性に優れた薄膜磁気記録媒体に関
するものである。
するものである。
従来の技術 情報化社会の進展に伴い情報記録担体の大容量化・高
密度化が進められている。磁気記録の分野においても高
密度記録を目指した研究開発が盛んであり、これに応え
る新しい記録方式として薄膜型磁気記録媒体が盛んに研
究されている。一方薄膜型磁気記録媒体においては高密
度記録の実現と実用耐久性の両立がきわめて重要な課題
である。即ち、ヘッドと媒体間のスペーシングの低減と
耐久性確保という相反する課題を解決する必要がある。
薄膜磁気記録媒体における耐久性を向上するためには一
般に媒体表面に微細な形状を設けることが有効であると
いわれている。また、こうした微細形状を設けるには基
板上に予め微粒子を分散させておき、その後に薄膜磁性
層を形成することによって磁性層表面に微粒子形状を保
存することが有効であるとされている。
密度化が進められている。磁気記録の分野においても高
密度記録を目指した研究開発が盛んであり、これに応え
る新しい記録方式として薄膜型磁気記録媒体が盛んに研
究されている。一方薄膜型磁気記録媒体においては高密
度記録の実現と実用耐久性の両立がきわめて重要な課題
である。即ち、ヘッドと媒体間のスペーシングの低減と
耐久性確保という相反する課題を解決する必要がある。
薄膜磁気記録媒体における耐久性を向上するためには一
般に媒体表面に微細な形状を設けることが有効であると
いわれている。また、こうした微細形状を設けるには基
板上に予め微粒子を分散させておき、その後に薄膜磁性
層を形成することによって磁性層表面に微粒子形状を保
存することが有効であるとされている。
発明が解決しようとする課題 高密度磁気記録の実現と実用耐久性の確保を両立させ
るためには基板表面に分散させる微粒子の大きさができ
るだけ小さい方がよい。しかしながら耐久性向上に必要
な微粒子径については十分明らかではなかった。
るためには基板表面に分散させる微粒子の大きさができ
るだけ小さい方がよい。しかしながら耐久性向上に必要
な微粒子径については十分明らかではなかった。
課題を解決するための手段 本発明は高分子基板上に微粒子が分散され、その上に
直接あるいは下地層を介して薄膜磁性層が形成されて成
る磁気記録媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有
し、かつ前記微粒子の直径が、前記柱状構造を形成する
コラム（柱）の磁性層表面における直径の1/4〜2/5倍と
することによって構成される。
直接あるいは下地層を介して薄膜磁性層が形成されて成
る磁気記録媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有
し、かつ前記微粒子の直径が、前記柱状構造を形成する
コラム（柱）の磁性層表面における直径の1/4〜2/5倍と
することによって構成される。
作用 微粒子の存在によって媒体表面には比較的急峻な微小
突起形状が形成される。一方柱状構造を有する薄膜磁性
層においては磁性層表面にそれぞれのコラムが磁性層表
面近傍でのコラム直径に対応した曲率を持って終端して
いる。また、磁性層表面でのコラム直径はかなりそろっ
ているがそれぞれのコラムの高さにはコラム径の1/4程
度のばらつきがある。従って、基板上に分散された微粒
子の粒径が柱状構造を形成するコラムの直径の1/4より
も小さいと、微粒子の存在に依って形成された微小突起
はコラムの先端形状に隠れてしまい、結果として媒体と
ヘッドの真実接触面積を小さくする効果がほとんどな
い。従って基板上に予め分散させておく微粒子の直径を
磁性層表面のコラム直径の1/4以上とすることによって
耐久性の大幅な向上を得ることが出来る。
突起形状が形成される。一方柱状構造を有する薄膜磁性
層においては磁性層表面にそれぞれのコラムが磁性層表
面近傍でのコラム直径に対応した曲率を持って終端して
いる。また、磁性層表面でのコラム直径はかなりそろっ
ているがそれぞれのコラムの高さにはコラム径の1/4程
度のばらつきがある。従って、基板上に分散された微粒
子の粒径が柱状構造を形成するコラムの直径の1/4より
も小さいと、微粒子の存在に依って形成された微小突起
はコラムの先端形状に隠れてしまい、結果として媒体と
ヘッドの真実接触面積を小さくする効果がほとんどな
い。従って基板上に予め分散させておく微粒子の直径を
磁性層表面のコラム直径の1/4以上とすることによって
耐久性の大幅な向上を得ることが出来る。
実施例 以下に、本発明の一実施例を、図面を参照しながら説
明する。
明する。
第１図は微粒子の粒径とスチル耐久時間の関係を示す
図である。厚さ10μｍのポリイミド基板上に膜厚250nm
のCoCr垂直磁気異方性膜またはCoNiCr垂直磁気異方性膜
を蒸着したのちテープ状に裁断したテープを用い、回転
シリンダ上に搭載したMnZnフェライトヘッドを用いて記
録再生した時に記録波長0.5μｍの再生出力が3dB低下す
る時間でスチル耐久時間を定義した。測定にあたっては
媒体表面に含弗素液体潤滑剤の塗布を行った。蒸着時の
基板温度の変化と併せて蒸発原子を強制的にイオン化さ
せて加速して成膜することによりコラム径を変化させ
た。柱状構造の確認及びコラム径の測定は電子顕微鏡を
用いて行なった。なお、高分子基板上の微粒子の密度は
１μm2当り40個である。高分子基板上への微粒子の分散
は微粒子を有機溶剤中に分散させたものを高分子基板に
塗布・乾燥することによって行なった。また、第２図は
第１図と同じ媒体を用いたときの微粒子の粒径と記録波
長0.5μｍでの再生出力の関係を、それぞれの媒体に於
て微粒子のない場合を基準にして示した図である。第１
図からわかるように微粒子の粒径がコラムの直径の1/4
以上となるとスチル耐久性は大幅に向上する。一方再生
出力は微粒子の粒径の増加にともなって、急激に低下
し、コラム直径以上では耐久性向上の程度が小さい割に
出力低下が大きく、高密度の磁気記録媒体としては不適
当である。又、蒸発源の直上での上記入射角（基板法線
と入射蒸発のなす角）が略０度（略垂直入射）となる位
置関係で、連続蒸着法によってCoCr膜を構成した場合に
は、蒸着初期における蒸気流の入射角が＋60度以下であ
れば蒸着終期での蒸気流の入射角が＋20度（即ち垂直入
射成分を含まない構成）であっても膜の充填率は90％以
上となった。これに対して蒸着初期における蒸気流の入
射角が＋90度であると蒸着終期での蒸気流の入射角を＋
20度としたときの膜の充填率は80％に低下する。このこ
とから両者の間には蒸着初期（基板と膜の界面側）にお
ける膜の充填率にはかなりの差があることが推測され
る。電子顕微鏡によって上述のふたつの膜の断面を観察
した結果、初期入射角が60度の膜について基板との界面
にほとんど空隙が認められなかった。これに対して初期
入射角が90度の膜については基板との界面に空隙の多い
ことが実際に観測された。そこで基板に接した、蒸気入
射角が高く、空隙を形成する部分（以下この部分を高入
射角部分と呼ぶ）の膜厚を、入射角を変えることによっ
て変えて微粒子塗布の効果を調べた。その結果、高入射
角部分の膜厚が微粒子粒径よりも大きな場合には微粒子
粒径がコラム径の1/4〜1/2での耐久性の向上は高入射角
部分の小さな場合に比べてやや小さいことが分かった。
これは高入射角部分が大きな場合にはコラムの成長過程
で微粒子の形状が緩和さてしまうためではないかと思わ
れる。従ってコラム径の1/4倍の微粒子径においても耐
久性の顕著な向上を有する本発明の実施には、高入射角
部分の膜厚が微粒子径よりも小さな事が望ましい。な
お、ポリイミド以外の高分子基板、およびAl上にNiPを
メッキしたものを用いた場合、また、CoCr系の垂直磁気
異方性膜以外の柱状構造磁性層を用いた場合にも本発明
に述べた構成を採用することによって耐久性の向上が確
認された。
図である。厚さ10μｍのポリイミド基板上に膜厚250nm
のCoCr垂直磁気異方性膜またはCoNiCr垂直磁気異方性膜
を蒸着したのちテープ状に裁断したテープを用い、回転
シリンダ上に搭載したMnZnフェライトヘッドを用いて記
録再生した時に記録波長0.5μｍの再生出力が3dB低下す
る時間でスチル耐久時間を定義した。測定にあたっては
媒体表面に含弗素液体潤滑剤の塗布を行った。蒸着時の
基板温度の変化と併せて蒸発原子を強制的にイオン化さ
せて加速して成膜することによりコラム径を変化させ
た。柱状構造の確認及びコラム径の測定は電子顕微鏡を
用いて行なった。なお、高分子基板上の微粒子の密度は
１μm2当り40個である。高分子基板上への微粒子の分散
は微粒子を有機溶剤中に分散させたものを高分子基板に
塗布・乾燥することによって行なった。また、第２図は
第１図と同じ媒体を用いたときの微粒子の粒径と記録波
長0.5μｍでの再生出力の関係を、それぞれの媒体に於
て微粒子のない場合を基準にして示した図である。第１
図からわかるように微粒子の粒径がコラムの直径の1/4
以上となるとスチル耐久性は大幅に向上する。一方再生
出力は微粒子の粒径の増加にともなって、急激に低下
し、コラム直径以上では耐久性向上の程度が小さい割に
出力低下が大きく、高密度の磁気記録媒体としては不適
当である。又、蒸発源の直上での上記入射角（基板法線
と入射蒸発のなす角）が略０度（略垂直入射）となる位
置関係で、連続蒸着法によってCoCr膜を構成した場合に
は、蒸着初期における蒸気流の入射角が＋60度以下であ
れば蒸着終期での蒸気流の入射角が＋20度（即ち垂直入
射成分を含まない構成）であっても膜の充填率は90％以
上となった。これに対して蒸着初期における蒸気流の入
射角が＋90度であると蒸着終期での蒸気流の入射角を＋
20度としたときの膜の充填率は80％に低下する。このこ
とから両者の間には蒸着初期（基板と膜の界面側）にお
ける膜の充填率にはかなりの差があることが推測され
る。電子顕微鏡によって上述のふたつの膜の断面を観察
した結果、初期入射角が60度の膜について基板との界面
にほとんど空隙が認められなかった。これに対して初期
入射角が90度の膜については基板との界面に空隙の多い
ことが実際に観測された。そこで基板に接した、蒸気入
射角が高く、空隙を形成する部分（以下この部分を高入
射角部分と呼ぶ）の膜厚を、入射角を変えることによっ
て変えて微粒子塗布の効果を調べた。その結果、高入射
角部分の膜厚が微粒子粒径よりも大きな場合には微粒子
粒径がコラム径の1/4〜1/2での耐久性の向上は高入射角
部分の小さな場合に比べてやや小さいことが分かった。
これは高入射角部分が大きな場合にはコラムの成長過程
で微粒子の形状が緩和さてしまうためではないかと思わ
れる。従ってコラム径の1/4倍の微粒子径においても耐
久性の顕著な向上を有する本発明の実施には、高入射角
部分の膜厚が微粒子径よりも小さな事が望ましい。な
お、ポリイミド以外の高分子基板、およびAl上にNiPを
メッキしたものを用いた場合、また、CoCr系の垂直磁気
異方性膜以外の柱状構造磁性層を用いた場合にも本発明
に述べた構成を採用することによって耐久性の向上が確
認された。
発明の効果 以上の様に本発明によれば、機械的耐久性に優れた磁
気記録媒体を実現することが出来る。
気記録媒体を実現することが出来る。
第１図は微粒子の粒径とスチル耐久時間の関係を示すグ
ラフ、第２図は微粒子の粒径と再生出力の関係を示すグ
ラフである。
ラフ、第２図は微粒子の粒径と再生出力の関係を示すグ
ラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 東間 清和 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 川分 康博 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (72)発明者 石田 達朗 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電 器産業株式会社内 (56)参考文献 特開 昭64−46220（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/66
Claims (4)
- 【請求項１】基板上に微粒子が分散され、その上に直接
あるいは下地層を介して薄膜磁性層が形成されてなる磁
気記録媒体であって、前記磁性層が柱状構造を有し、か
つ前記微粒子の直径が、前記柱状構造を形成するコラム
の磁性層表面における直径の1/4〜2/5倍とすることを特
徴とする薄膜磁気記録媒体。 - 【請求項２】基板として可とう性高分子基板を用いるこ
とを特徴とする請求項（１）記載の薄膜磁気記録媒体。 - 【請求項３】磁性層表面に保護層あるいは／および潤滑
剤が配されていることを特徴とする請求項（１）または
（２）のいずれかに記載の薄膜磁気記録媒体。 - 【請求項４】磁性層がCoとCrあるいはCoとCrとNiを主成
分として含むことを特徴とする請求項（１）、（２）ま
たは（３）のいずれかに記載の薄膜磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283243A JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1283243A JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03144912A JPH03144912A (ja) | 1991-06-20 |
| JP2808738B2 true JP2808738B2 (ja) | 1998-10-08 |
Family
ID=17662944
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1283243A Expired - Lifetime JP2808738B2 (ja) | 1989-10-30 | 1989-10-30 | 薄膜磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2808738B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6446220A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
-
1989
- 1989-10-30 JP JP1283243A patent/JP2808738B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03144912A (ja) | 1991-06-20 |
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Legal Events
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