JPH01166334A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH01166334A JPH01166334A JP32462487A JP32462487A JPH01166334A JP H01166334 A JPH01166334 A JP H01166334A JP 32462487 A JP32462487 A JP 32462487A JP 32462487 A JP32462487 A JP 32462487A JP H01166334 A JPH01166334 A JP H01166334A
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- perpendicularly magnetized
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- magnetized film
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録として好適な垂直磁気記録用の
磁気記録媒体の製造方法に関する。
磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化の進歩には著しいものがあり
、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実
用化に期待がかけられている〔アイイーイーイー トラ
ンプクシ３ンズ オン マグネティクス（Ｉ Ｋ ｇ
Ｅ ＴＲＡＮＳＡＣ！Ｔｌ０）ｉｓＯＮ ＭＡＧＮ
ＫＴＩＣ８）ｖｏｌ、ＭＡＧ ２１ 、 ＆３゜１
２１７〜１２２０（１９８５））。中でも、短波長にな
る程減磁損失が有利忙なる垂直磁気記録は、膜面に垂直
方向に磁化可能な特別な膜を必要とするものの実用化に
向は鋭意検討が続けられている。
、強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実
用化に期待がかけられている〔アイイーイーイー トラ
ンプクシ３ンズ オン マグネティクス（Ｉ Ｋ ｇ
Ｅ ＴＲＡＮＳＡＣ！Ｔｌ０）ｉｓＯＮ ＭＡＧＮ
ＫＴＩＣ８）ｖｏｌ、ＭＡＧ ２１ 、 ＆３゜１
２１７〜１２２０（１９８５））。中でも、短波長にな
る程減磁損失が有利忙なる垂直磁気記録は、膜面に垂直
方向に磁化可能な特別な膜を必要とするものの実用化に
向は鋭意検討が続けられている。
垂直磁気記録用の磁気記録媒体は、ｃｏ −ｃｒ 。
Ｃｏ −Ｏｒ −Ｗｂ 、 Ｃｏ−Ｎｉ−−０等で垂直
方向に磁化可能な異方性をもった膜が、高分子フィルム
上に直接或いは、τｉ 、 Ｇｏ 等の下地層を介し
て、形成されることで構成されるもので、実験室的には
スパッタリング法で薄膜形成が行われている。しかし周
知のごとく、スパッタリング法では、薄膜形成速度が小
さいことから、磁気テープとしての垂直磁気記録媒体を
製造するのには適さず、特性は必ずしも満足できないが
、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等が高速
化の可能性が大きく、検討されている〔特開昭６２−２
１９２３４号公報、同６２−２１９２３５号公報号公報
間が解決しようとする問題点 上記した構成で、あらかじめ高分子フィルムから十分ガ
スを放出させる前処理を行ったり、バックグラウンドの
真空度を改善する等により、均一性は改良される傾向に
はあるが、スパッタリング法で得られるような物性を均
一に大面積に渡って得るＫは至っていないことから改善
が望まれていた。
方向に磁化可能な異方性をもった膜が、高分子フィルム
上に直接或いは、τｉ 、 Ｇｏ 等の下地層を介し
て、形成されることで構成されるもので、実験室的には
スパッタリング法で薄膜形成が行われている。しかし周
知のごとく、スパッタリング法では、薄膜形成速度が小
さいことから、磁気テープとしての垂直磁気記録媒体を
製造するのには適さず、特性は必ずしも満足できないが
、電子ビーム蒸着法、イオンプレーティング法等が高速
化の可能性が大きく、検討されている〔特開昭６２−２
１９２３４号公報、同６２−２１９２３５号公報号公報
間が解決しようとする問題点 上記した構成で、あらかじめ高分子フィルムから十分ガ
スを放出させる前処理を行ったり、バックグラウンドの
真空度を改善する等により、均一性は改良される傾向に
はあるが、スパッタリング法で得られるような物性を均
一に大面積に渡って得るＫは至っていないことから改善
が望まれていた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、垂直磁化
膜の性能と均一性の両方共改善できる製造方法を提供す
るものである。
膜の性能と均一性の両方共改善できる製造方法を提供す
るものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、高分子フィルムに入射角７０度以上で下地
層をイオンプレーティングにより形成した後、電子ビー
ム蒸着法により垂直磁化膜を形成するようにしたもので
ある。
製造方法は、高分子フィルムに入射角７０度以上で下地
層をイオンプレーティングにより形成した後、電子ビー
ム蒸着法により垂直磁化膜を形成するようにしたもので
ある。
作用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、高分子フィルム上に直接垂直磁化膜の形成を行う従来
法に対比して、下地層の結晶性が良好で均一な構成とで
きることから、垂直磁化膜の形成を低温で行っても十分
な特性を得られるようになり、高速で且つ大面積に渡っ
て均一な垂直磁化膜形成が行えることになる。
、高分子フィルム上に直接垂直磁化膜の形成を行う従来
法に対比して、下地層の結晶性が良好で均一な構成とで
きることから、垂直磁化膜の形成を低温で行っても十分
な特性を得られるようになり、高速で且つ大面積に渡っ
て均一な垂直磁化膜形成が行えることになる。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例について説
明する。図は本発明によって製造される磁気記録媒体の
拡大断面図で、図で１はポリエチレンテレフタレート６
ボリフエニレンサルフアイド、ポリイミド等の高分子フ
ィルムで必要に応じて、微粒子塗布層を配したものを用
いてもよい１．２は、Ｏｒ 、 Ｔｉ 、 Ｍｏ
、 Ｓｉ 、 Ｇｏ等の下地層で高分子フィルムを巻取
りながら入射角７０度以上でイオングレーティング法に
て形成されたものである。３はＣｏ−０ｒ 、 Ｇｏ
−Ｔｉ 、 Ｇｏ −０、Ｇｏ −Ｍｏ 、 Ｇｏ −
Ｔａ 、 Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜で、電子ビ
ーム蒸着法にて高速で形成される。４は保護潤滑剤層で
、プラズマ重合層、ダイアモンド状硬質炭素膜、 ５ｉ
０２膜等とパーフルオロカルボン酸、パーフルオロポリ
エーテル等の積層体から成るものである。
明する。図は本発明によって製造される磁気記録媒体の
拡大断面図で、図で１はポリエチレンテレフタレート６
ボリフエニレンサルフアイド、ポリイミド等の高分子フ
ィルムで必要に応じて、微粒子塗布層を配したものを用
いてもよい１．２は、Ｏｒ 、 Ｔｉ 、 Ｍｏ
、 Ｓｉ 、 Ｇｏ等の下地層で高分子フィルムを巻取
りながら入射角７０度以上でイオングレーティング法に
て形成されたものである。３はＣｏ−０ｒ 、 Ｇｏ
−Ｔｉ 、 Ｇｏ −０、Ｇｏ −Ｍｏ 、 Ｇｏ −
Ｔａ 、 Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜で、電子ビ
ーム蒸着法にて高速で形成される。４は保護潤滑剤層で
、プラズマ重合層、ダイアモンド状硬質炭素膜、 ５ｉ
０２膜等とパーフルオロカルボン酸、パーフルオロポリ
エーテル等の積層体から成るものである。
以下、更に具体的に実施例に基づいて製造した磁気記録
媒体の性能について比較例との対比で説明する。厚み１
１μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に溶液
塗布法で直径１６０人のＥｕ２Ｏ，微粒子を３ケ／（μ
ｍ）２ 配し、直径６０ＣＭの円筒キャンを２ケ配設
した蒸着機により、イオンプレーティングと電子ビーム
蒸着を実施した。
媒体の性能について比較例との対比で説明する。厚み１
１μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム上に溶液
塗布法で直径１６０人のＥｕ２Ｏ，微粒子を３ケ／（μ
ｍ）２ 配し、直径６０ＣＭの円筒キャンを２ケ配設
した蒸着機により、イオンプレーティングと電子ビーム
蒸着を実施した。
イオンプレーティングは、円筒キャンの直下に３ターン
の高周波コイルを配し、１３．５６（ＭＨｚ）ｓ３ｏ（
ｗ）の高周波電力を投入し、Ｏｒを蒸発させ、ムｒを２
Ｘ １０−’（Ｔｏｒｒ ）まで導入しり条件で、入
射角７５度以上で２００人形成されるよう調整し行った
。引き続き、もう一方の円筒キャンの直下３０３に配し
たＣｏ−ｃｒ蒸発源より電子ビーム加熱蒸着で入射角１
０度以内の垂直蒸着を行い、０．２ μｍのＣｏ−０ｒ
（Ｏｒ 、 ２０．２ ｗｔ ％ ）垂直磁化膜を形
成した。フィルムの巻取り速度は３３ ｍ／Ｘｏｉｎ
で、幅４０ｍ、長さ２．２００ ｍに渡って蒸着した
。次に溶液塗布法でモンテフルオス社裂のパーフルオロ
ポリエーテル′フォンブリンＺ−２５’を約６０人塗布
し、８ミリ幅の磁気テープに加工した。
の高周波コイルを配し、１３．５６（ＭＨｚ）ｓ３ｏ（
ｗ）の高周波電力を投入し、Ｏｒを蒸発させ、ムｒを２
Ｘ １０−’（Ｔｏｒｒ ）まで導入しり条件で、入
射角７５度以上で２００人形成されるよう調整し行った
。引き続き、もう一方の円筒キャンの直下３０３に配し
たＣｏ−ｃｒ蒸発源より電子ビーム加熱蒸着で入射角１
０度以内の垂直蒸着を行い、０．２ μｍのＣｏ−０ｒ
（Ｏｒ 、 ２０．２ ｗｔ ％ ）垂直磁化膜を形
成した。フィルムの巻取り速度は３３ ｍ／Ｘｏｉｎ
で、幅４０ｍ、長さ２．２００ ｍに渡って蒸着した
。次に溶液塗布法でモンテフルオス社裂のパーフルオロ
ポリエーテル′フォンブリンＺ−２５’を約６０人塗布
し、８ミリ幅の磁気テープに加工した。
一方比較例は、円筒キャン（直径１ｍ）に沿わせて、幅
６０ｔｙｌ、長さ１５αのＣｏ −Ｏｒ （Ｏｒ ：２
０．２Ｗｔ係）ターゲットを４枚配し、１３．５６（Ｍ
Ｈｚ） ３ＫＷＸ４の電力を投入し、巻取り速度０．
５ （ｍ／ｍｉｎ ）で０．２１１ｍのＧｏ−Ｏｒ垂直
磁化膜を形成した以外は、実施例に用いたフィルムを用
い、微粒子塗布、潤滑剤塗布は同じ材料で製造した。夫
々８ミリ幅で長さ９０７７ｊの磁気テープを任意の１５
巻を抽出し、改造した８ミリビデオにより比較評価した
。
６０ｔｙｌ、長さ１５αのＣｏ −Ｏｒ （Ｏｒ ：２
０．２Ｗｔ係）ターゲットを４枚配し、１３．５６（Ｍ
Ｈｚ） ３ＫＷＸ４の電力を投入し、巻取り速度０．
５ （ｍ／ｍｉｎ ）で０．２１１ｍのＧｏ−Ｏｒ垂直
磁化膜を形成した以外は、実施例に用いたフィルムを用
い、微粒子塗布、潤滑剤塗布は同じ材料で製造した。夫
々８ミリ幅で長さ９０７７ｊの磁気テープを任意の１５
巻を抽出し、改造した８ミリビデオにより比較評価した
。
ギヤ・ソフ長０．１２μｍのメタルインギヤ・ツブのセ
ンダストヘッドにより、ビット長０．２μｍの矩形波を
記録し帯域１０ （ＭＨｚ ）のＣ／Ｎを測定した。実
施例の１巻をレファレンスとしてこのＣ／Ｎを０（ｄＢ
）とした時、実施例の１６巻は−０，２（ｄＢ）から＋
ｏ、７（ｄＢ）の範囲で、平均値は＋０．２（ｄＢ）で
あった。一方比較例は、−ｏ、４（ｄＢ）から＋０．６
（ｄＢ）で平均値は＋０．１（＋ｉＢ）であった。
ンダストヘッドにより、ビット長０．２μｍの矩形波を
記録し帯域１０ （ＭＨｚ ）のＣ／Ｎを測定した。実
施例の１巻をレファレンスとしてこのＣ／Ｎを０（ｄＢ
）とした時、実施例の１６巻は−０，２（ｄＢ）から＋
ｏ、７（ｄＢ）の範囲で、平均値は＋０．２（ｄＢ）で
あった。一方比較例は、−ｏ、４（ｄＢ）から＋０．６
（ｄＢ）で平均値は＋０．１（＋ｉＢ）であった。
以上より実施例はスパッタリング法に対比して高速で、
同等の性能、均一性を得ていることがわかる。
同等の性能、均一性を得ていることがわかる。
尚入射角が７０’以下であっても結晶性の均一性は改善
できるが、下地層を厚くする必要があり、へ、フドタフ
チを態化させるので、Ｃ／Ｎは逆にばらつく原因となる
ので、７０°以下で下地層を高々３６０人までで構成す
るのが好ましい。
できるが、下地層を厚くする必要があり、へ、フドタフ
チを態化させるので、Ｃ／Ｎは逆にばらつく原因となる
ので、７０°以下で下地層を高々３６０人までで構成す
るのが好ましい。
発明の効果
以北のように本発明によれば、均一で高性能な垂直磁気
記録用の磁気記録媒体が高速で得られるといったすぐれ
た効果がある。
記録用の磁気記録媒体が高速で得られるといったすぐれ
た効果がある。
図は本発明の製造方法によって得られる磁気記録媒体の
拡大断面図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・下地層
、３・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−高分子フィルム ？−−下戴１ ３−一一食運磁化裏
拡大断面図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・下地層
、３・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名／−
−−高分子フィルム ？−−下戴１ ３−一一食運磁化裏
Claims (1)
- 高分子フィルムに入射角７０°以上で下地層をイオンプ
レーティングで形成後、電子ビーム蒸着法により垂直磁
化膜を形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32462487A JPH01166334A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32462487A JPH01166334A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01166334A true JPH01166334A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18167895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32462487A Pending JPH01166334A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01166334A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03207014A (ja) * | 1990-01-10 | 1991-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32462487A patent/JPH01166334A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03207014A (ja) * | 1990-01-10 | 1991-09-10 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 磁気記録媒体 |
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