JPH01166332A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH01166332A JPH01166332A JP32462287A JP32462287A JPH01166332A JP H01166332 A JPH01166332 A JP H01166332A JP 32462287 A JP32462287 A JP 32462287A JP 32462287 A JP32462287 A JP 32462287A JP H01166332 A JPH01166332 A JP H01166332A
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Landscapes
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録として好適な垂直磁気記録用の
磁気記録媒体の製造方法に関する。
磁気記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
近年磁気記録の高密度化の進歩には著しいものかあり、
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実用
化に期待がかけられている〔アイイーイーイートランザ
クションズオンマグネテ4 クス(IIEERTRAN
SACTIONS ON−ムGNKTIC8)Toll
MAG−21、N13.1217〜1220(1985
))o中でも、短波長になる程減磁損失が有利になる、
垂直磁気記録は、膜面に垂直方向に磁化可能な特別な膜
を必要とするものの実用化に向は鋭意検討が続けられて
いる。垂直磁気記録用の磁気記録媒体は、Co−0r。
強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の実用
化に期待がかけられている〔アイイーイーイートランザ
クションズオンマグネテ4 クス(IIEERTRAN
SACTIONS ON−ムGNKTIC8)Toll
MAG−21、N13.1217〜1220(1985
))o中でも、短波長になる程減磁損失が有利になる、
垂直磁気記録は、膜面に垂直方向に磁化可能な特別な膜
を必要とするものの実用化に向は鋭意検討が続けられて
いる。垂直磁気記録用の磁気記録媒体は、Co−0r。
Go−Or−Wb 、 Co−Ni−0等で垂直方向に
磁化可能な異方性をもった膜が、高分子フィルム上に直
接或いは、Ti、Go等の下地層を介して、形成される
ことで構成されるもので、笑験呈的には、スパッタリン
グ法で薄膜形成が行われている。しかし周知のごとく、
スパッタリング法では、薄膜形成速度が小さいことから
、磁気テープとしての垂直磁気記録媒体を製造するのに
は適さず、特性は必ずしも満足できないが、電子ビーム
蒸着法、イオンブレーティング法等が尚連化の可能性が
大きく、検討されている〔特開昭62−219234号
公報、同62−219235号公報号公報間が解決しよ
うとする問題点 上記した構成で、あらかじめ高分子フィルムから十分ガ
スを放出させる前処理を行ったり、バッフグラウンドの
真空度を改善する等により、均一性は改善される傾向に
はあるが、スパッタリング法で得られるような物性を均
一に大面積に渡って得るには至っていないことから改善
が望まれていた0 本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、垂直磁化
膜の性能と均一性の両方共改善できる製造方法を提供す
るものである。
磁化可能な異方性をもった膜が、高分子フィルム上に直
接或いは、Ti、Go等の下地層を介して、形成される
ことで構成されるもので、笑験呈的には、スパッタリン
グ法で薄膜形成が行われている。しかし周知のごとく、
スパッタリング法では、薄膜形成速度が小さいことから
、磁気テープとしての垂直磁気記録媒体を製造するのに
は適さず、特性は必ずしも満足できないが、電子ビーム
蒸着法、イオンブレーティング法等が尚連化の可能性が
大きく、検討されている〔特開昭62−219234号
公報、同62−219235号公報号公報間が解決しよ
うとする問題点 上記した構成で、あらかじめ高分子フィルムから十分ガ
スを放出させる前処理を行ったり、バッフグラウンドの
真空度を改善する等により、均一性は改善される傾向に
はあるが、スパッタリング法で得られるような物性を均
一に大面積に渡って得るには至っていないことから改善
が望まれていた0 本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、垂直磁化
膜の性能と均一性の両方共改善できる製造方法を提供す
るものである。
問題点を解決するための手段
上記した問題点を解決するため本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、高分子フィルム表面をチタン、クロム、ゲ
ルマニウムのいずれかを放電電極としたグロー放電処理
により表面処理した後、電子ビーム蒸着にて垂直磁化膜
を形成するようにしたものである。
製造方法は、高分子フィルム表面をチタン、クロム、ゲ
ルマニウムのいずれかを放電電極としたグロー放電処理
により表面処理した後、電子ビーム蒸着にて垂直磁化膜
を形成するようにしたものである。
作用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成により
、グロー放電処理による表面洗浄効果と、放電電極がス
パッタされて表面を微視的に汚染する作用との競合過程
で表面が処理され、特に高速化を図るためにグロー放電
電力を増大させた時、スパッタ付着材がチタン、クロム
、ゲルマニウムの時はむしろ、垂直磁化膜形成に対して
良好に作用するので、大面積に均一な性能確保ができる
のである。
、グロー放電処理による表面洗浄効果と、放電電極がス
パッタされて表面を微視的に汚染する作用との競合過程
で表面が処理され、特に高速化を図るためにグロー放電
電力を増大させた時、スパッタ付着材がチタン、クロム
、ゲルマニウムの時はむしろ、垂直磁化膜形成に対して
良好に作用するので、大面積に均一な性能確保ができる
のである。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の一実施例の製造方法
について詳しく説明する。図は本発明の一実施例により
得られる磁気記録媒体の拡大断面図である。
について詳しく説明する。図は本発明の一実施例により
得られる磁気記録媒体の拡大断面図である。
図で1はポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナ
フタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテ
ルサルフオン、ポリサルフォン。
フタレート、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテ
ルサルフオン、ポリサルフォン。
ポリエーテルイミド、ポリアミド、ポリイミド等の高分
子フィルムで、表面はチタン、クロム、ゲルマニウムの
いずれかを放電電極として、60H2〜5oMHz 、
sowΔ〜60oW/dでグロー放電された後、後述す
るように電子ビーム蒸着により垂直磁化膜の形成に供さ
れる。その際、チタン。
子フィルムで、表面はチタン、クロム、ゲルマニウムの
いずれかを放電電極として、60H2〜5oMHz 、
sowΔ〜60oW/dでグロー放電された後、後述す
るように電子ビーム蒸着により垂直磁化膜の形成に供さ
れる。その際、チタン。
ゲルマニウム、クロムは、微量スパッタされ表面に付着
する。2は島状に形成されたチタン、ゲルマニウム、ク
ロムのいずれかのスパッタ付着材で3は電子ビーム蒸着
法により垂直に近い入射角で製膜して得たGo−Cr
、 Go−Mo 、 Go−Ti 、 Co −0等の
垂直磁化膜で、4は保護潤滑剤層で、プラズマ重合法゛
、スパッタリング法、イオンブレーティング法等で形成
したBN膜、硬質炭素膜、5i02膜や、溶液塗布法、
真空蒸着法等により形成した脂肪酸、バーフルオロカル
ボン酸、パーフルオロポリエーテル等の潤滑剤層から成
るものである。
する。2は島状に形成されたチタン、ゲルマニウム、ク
ロムのいずれかのスパッタ付着材で3は電子ビーム蒸着
法により垂直に近い入射角で製膜して得たGo−Cr
、 Go−Mo 、 Go−Ti 、 Co −0等の
垂直磁化膜で、4は保護潤滑剤層で、プラズマ重合法゛
、スパッタリング法、イオンブレーティング法等で形成
したBN膜、硬質炭素膜、5i02膜や、溶液塗布法、
真空蒸着法等により形成した脂肪酸、バーフルオロカル
ボン酸、パーフルオロポリエーテル等の潤滑剤層から成
るものである。
以下、更に具体的に本発明により製造した磁気記録媒体
と、比較例により製造した磁気記録媒体との比較検討結
果について説明する。
と、比較例により製造した磁気記録媒体との比較検討結
果について説明する。
厚み10μmのポリエチレンテレフタレートフィルム表
面を、直径10mmのバー電極をチタンで製造し該電極
を16本配し、16 KHz 、 220W/dでグロ
ー放電処理を2.6秒間行った。放電ガスはムr+H2
= 0.08Torr 、ムr:H2=1:1 の条
件とした。一方比較例は従来よりよく用いられていたス
テンレス電極で、グロー放電条件は同じょうに調整した
0次に電子ビーム蒸着金高分子フィルムを80℃に保ち
、入射角を10度以内の圭直に近い成分で行ッテ0.1
5 pmのGo−cr(cr:20.5wt%)垂直磁
化膜を形成し、その上にパーフルオロポリエーテルとし
て、モンテフルオス社製の“フオンプリンZ−26″全
約60入浴液塗布法で塗布し、8ミリ幅にスリットしテ
ープを準備した。幅方向から10本、長平方向から3ケ
所任意の位置から抽出した30本のテープを改造した8
ミリビデオにより、ギャップ長0.13μmのアモルフ
ァススパッタ型のメタルインギャップ方式の磁気ヘッド
を用い、ビット長0.22μmf記録し、再生出力を比
較した。実施例の任意の1巻全レファレンステープとし
その出力’io dBとした時、実施例は30巻の再生
出力は−0,2dBから+0.4dBの範囲に入り平均
値は+0.1dBだったが、比較例は−2,OdBから
−0,4dBと様様な値となり平均値も−1,3dBと
低かった。尚実施例はグロー放電の電力を増大させるこ
とで、むしろ再生出力は改善する傾向をもつが、比較例
は最適値があり、しかもその最適値を越えるとむしろ電
力増大により再生出力のバラツキは場所により大きくな
るし、最適値で処理したものでもバラツキは実施例に比
べて3倍以上で実施例の有用性がわかる。
面を、直径10mmのバー電極をチタンで製造し該電極
を16本配し、16 KHz 、 220W/dでグロ
ー放電処理を2.6秒間行った。放電ガスはムr+H2
= 0.08Torr 、ムr:H2=1:1 の条
件とした。一方比較例は従来よりよく用いられていたス
テンレス電極で、グロー放電条件は同じょうに調整した
0次に電子ビーム蒸着金高分子フィルムを80℃に保ち
、入射角を10度以内の圭直に近い成分で行ッテ0.1
5 pmのGo−cr(cr:20.5wt%)垂直磁
化膜を形成し、その上にパーフルオロポリエーテルとし
て、モンテフルオス社製の“フオンプリンZ−26″全
約60入浴液塗布法で塗布し、8ミリ幅にスリットしテ
ープを準備した。幅方向から10本、長平方向から3ケ
所任意の位置から抽出した30本のテープを改造した8
ミリビデオにより、ギャップ長0.13μmのアモルフ
ァススパッタ型のメタルインギャップ方式の磁気ヘッド
を用い、ビット長0.22μmf記録し、再生出力を比
較した。実施例の任意の1巻全レファレンステープとし
その出力’io dBとした時、実施例は30巻の再生
出力は−0,2dBから+0.4dBの範囲に入り平均
値は+0.1dBだったが、比較例は−2,OdBから
−0,4dBと様様な値となり平均値も−1,3dBと
低かった。尚実施例はグロー放電の電力を増大させるこ
とで、むしろ再生出力は改善する傾向をもつが、比較例
は最適値があり、しかもその最適値を越えるとむしろ電
力増大により再生出力のバラツキは場所により大きくな
るし、最適値で処理したものでもバラツキは実施例に比
べて3倍以上で実施例の有用性がわかる。
発明の効果
以上のように本発明によれば、均一で高性能な垂直磁気
記録媒体が高速で得られるといったすぐれた効果がある
。
記録媒体が高速で得られるといったすぐれた効果がある
。
図は本発明の一実施例によシ製造される磁気記録媒体の
拡大断面図である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・スパッ
タ付着材(チタン、ゲルマニウム、クロムのいずれか)
、3・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名!−
高分子フィルム ?−スパッタ何1材 (TJ:、(、ど、θとのい7電力υ 3−一一垂直石良イ巳膜
拡大断面図である。 1・・・・・・高分子フィルム、2・・・・・・スパッ
タ付着材(チタン、ゲルマニウム、クロムのいずれか)
、3・・・・・・垂直磁化膜。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名!−
高分子フィルム ?−スパッタ何1材 (TJ:、(、ど、θとのい7電力υ 3−一一垂直石良イ巳膜
Claims (1)
- 高分子フィルム表面をチタン、クロム、ゲルマニウムの
いずれかを放電電極としたグロー放電処理により表面処
理した後、電子ビーム蒸着にて垂直磁化膜を形成するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32462287A JPH01166332A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP32462287A JPH01166332A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01166332A true JPH01166332A (ja) | 1989-06-30 |
Family
ID=18167872
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP32462287A Pending JPH01166332A (ja) | 1987-12-22 | 1987-12-22 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01166332A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5532774A (en) * | 1992-03-05 | 1996-07-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Film data recording/reproducing apparatus for a camera by writing/reading pits recorded on a film |
-
1987
- 1987-12-22 JP JP32462287A patent/JPH01166332A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5532774A (en) * | 1992-03-05 | 1996-07-02 | Olympus Optical Co., Ltd. | Film data recording/reproducing apparatus for a camera by writing/reading pits recorded on a film |
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