JPS62246129A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、高密度磁気記録に適する磁気記録媒体に関す
る。

従来の技術 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、通
常、金属もしくは合金などを電子ビーム蒸着、スパッタ
リング等によって基板である高分子フィルムに直接又は
下地薄膜を介して強磁性金属薄膜を蒸着形成することに
より製造され、短波長として記録された信号の再生出力
を大きくできることで、高密度磁気記録の担い手として
期待されている。

〔外国論文誌アイイーイーイートランスアクション　オ
ン　マグネティクス　（ＩＥＥＥ　Ｔｒａｒｘｔｓａｃ
ｔｉｏｎ６ＨＭａｇｎｅｔｉｃｓ）　ｖｏｌｏＭＡＧ−
２１、Ｐ、Ｐ、１２１７〜１２２０（１９８５）参照〕 一方、磁気記録の高密度化を実現するには、狭ギャップ
長、狭トラツクの磁気ヘッドとの直接高速摺動が不可欠
であり、磁気記録層の摩耗や損傷が問題となり、改良の
ため数多くの提案がなされている。

例えば強磁性金属薄膜表面上に潤滑剤を塗布する方法（
特公昭３９−２５２４６号公報参照）では潤滑剤が磁気
ヘッド、走行系等に拭きとられるため永続性に乏しかっ
た。又、磁気記録層の反対側の面に液状又は半固体状の
潤滑剤及び有機バインダを主成分とするバックコート層
を設ける方法（特公昭５７−２９７６９号公報参照）も
提案されたがテープ状のものについて効果を奏するが、
欠点として転写量が環境条件で異なる点とスチル状態に
対しては効果がない点およびディスク状媒体に対しては
効果がない点があげられるものであった０ その他、フッ素系有機化合物のプラズマ重合保護層、ケ
イ素系有機化合物のプラズマ重合保護層。

粒子を含むポリマー塗布層等の保護膜による耐久性向上
あるいはこれら該保護膜と潤滑剤の併用等は、強磁性金
属薄膜がＣｏ−Ｎｉ−〇膜等の表面に酸化層をもつ場合
には和尚の改良が確認されている（例えば特開昭６８−
８８８２８号、特開昭６７−８２２２９号、特開昭５８
−６０４２７号、特開昭６１−１１９３０号公報参照）
。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記した構成では、Ｃｏ−Ｃｒ系垂直磁
化膜等の磁気記録層を充分保護できないため、くり返し
記録再生を行うとエラー率が急増したり、損傷して出力
がでなくなる問題があった。また、Ｃｏ−Ｎｉ−０系の
膜であっても、磁気ヘッドが合金で構成されている場合
には上記した問題が湿度の高い環境下で起こるため改良
が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、広範囲の
環境条件下での耐久性の改良された磁気記録媒体を提供
するものである。

問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
は、強磁性金属薄膜上にダイヤモンド状炭素と炭素の連
続皮膜を形成したものである。

作　　　用 本発明の磁気記録媒体は上記した構成により、ダイアモ
ンド状炭素の硬度と、炭素の固体潤滑作用により、磁気
ヘッドと高速で摺接しても損傷が防止でき、かつ連続皮
膜であることがら炭素の潤滑作用の接続性は極めて良好
なものとなり、優れた高密度磁気記録特性を長時間に渡
って与えることができることになる。

実施例 以下、図面を参照しながら、本発明の実施例の磁気記録
媒体について説明する。

第１図は本発明の第１の実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第１図で１は厚さ２１μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルムのごとき高分子フィルムで、表
面粗さはビークトウ・バレー値で１ｏｏ入である。２は
高分子フィルム１の上面に塗布した粒子径３００人の高
分子ラテックスよりなる粒状突起層で、粒子密度は１ｏ
ｏ万イＶ−とした（例えば特開昭６１−９８２２号参照
）。

３は高周波スパッタリング法で形成した膜厚Ｑ、１５μ
ｍの垂直磁化可能なＣｏ−Ｃｒ（Ｃｒ　；２０ｗｔ％）
膜である。４は厚さ１６０人の保護膜で、厚み方向に状
態が変化した炭素膜である。即ちＧｏ−Ｃｒ膜３の表面
に近い方はダイアモンド状硬質炭素で表面にいくにつれ
て徐々に炭素に変化するようにしたもので、形成方法と
してはグラファイトへの水素スパッタリングから始めて
、水素にＡｒ　　を加えて導入する位置を制御すること
により上記した条件の炭素膜を得るようにするものであ
る。

このような本実施例の磁気記録媒体に対して比較例とし
て、水素とＡｒを用いたグラファイトのスパッタリング
により厚み方向に一定の炭素皮膜を厚さ１５０人形成し
たものを準備した。

この両者を３．６インチディスクとして形成し比較した
ところ本発明品は０．２４μｍのビット長の矩形波の再
生出力がａｄＢｌｉ下するまでの時間は、３．６インチ
ディスクの最外周トラワクで２．５００万パスであった
のに、比較例は４４７万パスであった。

第２図は本発明の第２の実施例の磁気記録媒体の拡大断
面図である。第２図に於て、５は厚み１０μｍ　（７）
　ホ＋）エチレンテレフタレートフィルムのごとき高分
子フィルム、６は例えば、特開昭５８−６８２２４号公
報に記載されるように、シリコーン樹脂或いはスチレン
、ブタジエンゴムト水溶性高分子材料とを混合したもの
をフィルム上に塗布して連続皮膜を作り、これを延伸し
てその表面に形成したいわゆるミミズ状皮膜で、高さは
８０入である。７は直径１ＴｒＬの円筒キャンに沿わせ
た状態で９０度から４０度までの入射角範囲で斜め蒸着
により形成した膜厚０．１２μｍのＣｏ−Ｎｉ−０膜で
、保磁力は１１００　（Ｏｓ　）、角形比０、７Ｂ、Ｃ
ｏＨＮｉ　；Ｏは原子φ比で６３；１６；２１とした。

８はグラファイトのスパッタリング法で形成した炭素膜
で、膜厚は１４０人とし厚み方向にダイアモンド状硬質
炭素からグラファイトまで連続的に変化するように、ス
パッタ雰囲気を水素単独に近い状態から水素とアルゴン
の混合ガス雰囲気が連続的に変るようにグラファイトタ
ーゲットの長手方向に３ケ所、ガス導入ノズルを設けて
最適条件を実験的に求めて構成した。９は炭素１１へ８
の上に真空蒸着法で形成した厚さ３０人のミリスチン酸
膜、１ｏはバックコート層で、結合剤のポリエステル樹
脂１１と、フィラーのＣａＣ０ｓ粒子１２からなるもの
である。

このような本実施例の磁気記録媒体に対して比較例とし
て、水素とアルゴンガスを用いだグラファイトのスパッ
タリングにより厚み方向に一定の炭素皮膜を１５０人形
成し、その他の構成は上記実施例と同じ条件で構成した
ものを準備した。

この両者を８咽幅の磁気テープとして準備し、ギャップ
長０．２９μｍのセンダストスパッタ複合型リングヘッ
ドにより０．７５μｍの記録波長の信号を記録し、同一
トラックをくり返し再生して出力状態をｒＷ　１ｌｌ１
１し、ノイズの発生するまでの時間を６Ｉす定した。温
度湿度条件は４ｏ″Ｃ５チＲＨ、ａｏ°Ｃ８４チＲＨＳ
ｏ″Ｃ４６％ＲＨで夫々行ったところ、本実施例のもの
は、４７分、４４分、４９分であったのに比し、比較例
は１６分、９分、１１分であった。

なお、上記実施例において高分子フィルムはボ等でもよ
い。

また強磁性金属薄膜としては、Ｃｏ　−Ｃｒ　、Ｃｏ−
Ｎｉ−０の他にＣｏ−０，Ｃｏ−Ｐｒ　、Ｃｏ−Ｐｔ　
、Ｃｏ　−Ｐ　、Ｃｏ−Ｒｈ、Ｃｏ−Ｒｕ　。

Ｃｏ−Ｂ１　、Ｃｏ−Ｂ　、Ｃｏ−３Ｌ　、Ｃｏ−Ｔｉ
　、Ｃｏ　−Ｍｏ　、Ｃｏ−Ｗ。

Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等でもよい。

発明の効果 以上のように本発明によれば、強磁性金属薄膜上に設け
たダイヤモンド状炭素の硬度と、炭素の固体潤滑作用に
よって短波長記録再生での出力［氏上が多数回のくり返
し使用でもみられず、優れた高密度磁気記録特性を有す
る磁気記録媒体を得ることができ、その効果は犬である
。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の各実施例の磁気
記録媒体の拡大断面図である。 １．５・・・・・・高分子フィルム、３，７・・・・・
・強磁性金属薄膜、４，８・・・・・・炭素皮膜。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）強磁性金属薄膜上にダイアモンド状炭素と炭素よ
   りなる連続皮膜を形成してなることを特徴とする磁気記
   録媒体。
2. （２）連続皮膜は厚さ方向に炭素とダイヤモンド状炭素
   との構成比を変えてなる特許請求の範囲第１項記載の磁
   気記録媒体。