JPH02273315A

JPH02273315A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH02273315A
Application number: JP9454389A
Authority: JP
Inventors: Masamichi Tagami; 勝通田上
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1989-04-13
Filing date: 1989-04-13
Publication date: 1990-11-07

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、薄膜型磁気記録媒体を用いたフレキシブル磁
気ディスクに関する。

（従来の技術）近年、フレキシブル磁気ディスク装置、オーディオ用磁
気テープ装置、ＶＴＲ用磁気テープ装置等、各種の磁気
記録装置の小型化、高密度化が進められている。磁気記
録における高密度化は主として磁気記録媒体の磁性層の
高保磁力化と薄層化とによって実現されている。従来使
用されている媒体は、磁性体微粒子を高分子バインダ中
に分散させたものをベースフィルム上に塗布した、いわ
ゆる塗布型磁気記録媒体である。

最近これらの記憶密度を１〜２桁はど向上できる垂直磁
気記録方式が注目されている。ここに用いられる記録媒
体としてスパッタまたは蒸着などによって形成されるＣ
ｏＣｒ合金薄膜の単層媒体及びＣｏＣｒ合膜／ＮｉＦｅ
軟磁性膜の２層媒体が主に開発されている。これらの高
密度磁気記録用の薄膜型磁気媒体をフレキシブル磁気デ
ィスク、磁気テープ等として実用化するためには機械的
耐久性、特にパスウェア耐久性を保証する必要がある。

（発明が解決しようとする課題）垂直記録フレキシブル磁気ティスフにはＣｏＣｒ合金薄
膜が広く用いられているが、最近フレキシブル磁気ディ
スク装置（ＦＤＤ）の大容量化のために従来の片面型の
ＦＤＤがらディスクの両面を用いる両面型のＦＤＤの検
問がなされている。片面型ＦＤＤのヘッドでは、球面ヘ
ッドと柔らかいパッドを対で用いているが、両面型ＦＤ
Ｄでは２つのフラットで硬質なスライダーからなるヘッ
ドで媒体を挟んで使用している。そのため両面型ＦＤＤ
では、ヘッド摺動時に硬いスライダー同士が振動によっ
て衝突したりゴミや摩擦粉の混入によって、媒体にスク
ラッチなどが発生ずることがＨ測され、パスウェア耐久
性は片面型ＦＤＤを用いたときと較べて著しく低かった
。

本発明は、パスウェア耐久性のよい磁気記録媒体を提供
することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明の磁気記録体は、第１図に示すように基体上に薄
膜記録媒体が形成され、該薄膜記録媒体上に保護膜が形
成される。上述の課題を解決するための手段の特徴を以
下に示す。

（１）薄膜記録媒体のヤング率が１．４Ｘ　１０４Ｋｇ
／ｍ、ｍ２より大きいことを特徴とする。

（２）基板上に形成された薄膜記録媒体がＣｏＣｒＴａ
合金、またはＣｏＣｒＴａ合金にＴｉ、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｎ
ｂ、Ｈｆ、○、Ｈの中の１つもしくは２つ以上の元素を
含有していることを特徴とする。

保護膜としては、ダイヤモンド状カーボン、グラファイ
ト状カーボン、ＳＬもしくはシリコン酸化膜、シリコン
窒化膜などがある。

なお、保護膜上には摩擦磨耗特性を向」ニさせるために
潤滑層を形成してもよい。潤滑層としては、液体潤滑剤
として側鎖パーフロロアルギルエーテル、パーフロロポ
リエーテルまたは極性終端分子を有するそれぞれの側鎖
及び直鎖パーフロロアルキルエーテル及びパーフロロポ
リエーテル、フッ素オイルなどがある。また、固体潤７
ｆ：剤としてはフッ素系固体潤滑剤、硫化モリブデンな
どがある。塗布法としては、液体潤滑剤だけを、または
液体潤滑剤と固体潤溺剤を混合して適当な溶剤に溶解も
しくは分散させたものを保護膜−にに形成する浸漬法、
スプレー法、ローラコート法、たはスピンコード法等が
ある。

（作用）基板上に形成した薄膜記録媒体のヤング率を１．４Ｘ　
１０４Ｋｇ／ｍｍ２以上にし、さらに保護膜を形成する
ことにより、パスウェア耐久性の劣化の原因であったヘ
ッドスライダ−、ゴミや摩擦粉によるスクラッチに対す
る耐性が向上し、高パスウェア爵］久性が可能となる。

薄膜記録媒体の作製方法として、マグネトロンスパッタ
方式もしくは夕づ内式ターゲットスパッタ方式などを用
いて０．５ｍＴｏｒｒがら６ｍＴｏｒｒの範囲、もしく
はＲＦスパッタ方式を用いてスパッタ圧力が１ｍＴｏｒ
ｒがら１０ｍＴｏｒｒの範囲でスパッタすることにより
膜のヤング率を劣化することなく機械的強度の良好な膜
が作製出来る。また、ＣｏＣｒ膜にＴａ元素を含有さぜ
、さらにＴｉ、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｒ、Ｏ，Ｈを含有
サセルコトニヨリヤンク率が増大する。

（実施例）以下に実施例を示し、本発明の詳細な説明する。本実施
例では、パスウェア耐久性の評価には全て市販３５イン
チ両面型ＦＤＤ（回転数６００ｒｐｍ）を用いた。パス
ウェア耐久性は同一トランクで走行させ、再生出力が初
期出力の７０％以下になるまでバス回数とした。

（実施例１〜５）基体にはポリイミドフィルム（３０μｍ厚）を用い、薄
膜記録媒体としてＣｏＣｒをターゲットとし、タゲノト
上にＴａチップをのぜてＲＦマグネトロンスパッタによ
り３０００Ａ厚の膜を成膜した。ＲＦマグネトロンスパ
ンタパワーは一定（３Ｗ／ｃｍ”）とした。

比較例として同じターゲット及びＴａチップを置かない
ＣｏＣｒターゲットを用いてスパッタ圧力を変えて成膜
した例を示した。

保護層は薄膜記録媒体作製後、マグネトロンスパッタ方
式によりカーボン保護膜をＡｒカス雰囲気中で形成した
。また、保護膜」−にはフッ素系潤滑剤をスピンコード
により塗布した。

表１に本実施例の条件と評価結果を示す。膜組成は、表
に示した組成の残部のパーセントはＣｏであ（実施例６
〜１４）基体にはポリイミドフィルム（３０ｐｍ厚）を用い、薄
膜記１ス媒体としてＣｏＣｒをターゲットとして、ター
ゲット上に添加元素チップをのぜてＲＦマグネトロンス
パッタにより３０００Ａ厚の膜を成膜した。また、酸素
Ｏ及び水素Ｈの添力［」については、Ａｒガス中にそれ
ぞれ０２．Ｈ２Ｏ及びＨ２を混ぜて膜を形成した。

ＲＦマグネトロンスパッタパワーは一定（６Ｗ／ｃｍ２
）とした。

保護層は薄膜記録媒体作製後、スパッタによりカーホン
、５ｉ０２、Ｓ１保護膜をＡｒガス雰囲気中で形成した
。また、保護膜」二にはフッ素系潤滑剤をスピンコード
により塗布した。

以上の実施例ではＲＦマグネトロンスパッタ方式を用い
て成膜したが、ターゲットのプラズマ収束を狙った対向
式ターゲット方式またはＳガンスパンタ方式でもよい。

また、蒸着法でもよい。

（実施例１５〜１８）基体にはポリイミドフィルム（３０１１ｍ厚）を用い、
薄膜記録媒体としてＣｏＣｒをターゲットとし、ターゲ
ット上にＴａチップをのせてＲＦスパッタにより３００
０Ａ厚の膜を成膜した。ＲＦスパッタパワーは一定（１
，５Ｗ／ｃｍ２）とした。比較例として同じターゲット
を用いて成膜圧力変えて作製した例を示した。

保護層は薄膜記録媒体作製後、ＲＦスパッタ法によりカ
ーボン保護膜をＡｒガス雰囲気中で形成した。また、保
護膜状には又ツ素系潤滑剤をスピンコードにより塗布し
た。

（発明の効果）実施例１から１８及び比較例１がら９に示されるように
、本発明により、薄膜記録媒体のヤング率を１．４Ｘ　
１０４Ｋｇ／ｍｍ２以」二とすることで、パスウェア耐
久性を向上することができる。また、ＣｏＣｒ膜にＴａ
元素を含有さぜ、さらにＴｉ、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ
、Ｏ，Ｈを含有さぜることにより、さらに効果の高い膜
を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明のフレギシブル磁気記録媒体の部分断面
図である。１・・・基体、２・・・薄膜磁気媒体、３・・・保護膜
。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基体上に薄膜記録媒体が形成され、該薄膜記録媒
体上にさらに保護膜が形成された磁気記録媒体において
、薄膜記録媒体のヤング率が１．４×１０＾４Ｋｇ／ｍｍ＾２より大きいことを特徴
とする磁気記録媒体。
（２）薄膜記録媒体がＣｏＣｒＴａ合金、またはＣｏＣ
ｒＴａ合金にＴｉ、Ｎｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｏ、Ｈの
中の１つもしくは２つ以上の元素を含有していることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒体。