JPH0442424A

JPH0442424A - 磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH0442424A
Application number: JP15105690A
Authority: JP
Inventors: Masamichi Tagami; 勝通田上; Hiroshi Hayashida; 林田　博史
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1990-06-08
Filing date: 1990-06-08
Publication date: 1992-02-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、薄膜型磁気記録媒体を用いたフレキシブル磁
気ディスクに関する。

（従来の技術）近年、フレキシブル磁気ディスク装置、オーディオ用磁
気テープ装置、ＶＴＲ用磁気テープ装置等、各種の磁気
記録装置の小型化、高密度化が進められている。磁気記
録における高密度化は主として磁気記録媒体の磁性層の
高保磁力化と薄層化とによって実現されている。従来使
用されている媒体は、磁性体微粒子を高分子バインダ中
に分散させたものをベースフィルム上に塗布した、いわ
ゆる塗布型磁気記録媒体である。

最近これらの記録密度１〜２桁はど向上できる垂直Ｆｎ
気記録方式が注目されている。ここに用いられる記録媒
体としてスパッタまたは蒸着などによって形成されるＣ
ｏＣｒ合金薄膜の単層媒体及びＣｏＣｒ膜／ＮｉＦｅ軟
磁性膜の２層媒体が主に開発されている。これらの高密
度磁気記録用の薄膜型磁気媒体をフレキシブル磁気ディ
スク、磁気テープ等として実用化するためには機械的耐
久性、特にバスウェア耐久性を保証する必要がある。

（発明が解決しようとする課Ｍ）垂直記録フレキシブル磁気ディスクにはＣｏＣｒ合金薄
膜が広く用いられているが、最近フレキシブル磁気ディ
スク装置（ＦＤＤ）の大容量化ために従来の片面型のＦ
ＤＤからディスクの両面を用いる両面型のＦＤＤの検討
がなされている。片面型ＦＤＤのヘッドでは、球面ヘッ
ドと柔らかいパッドを対で用いているが、両面型ＦＤＤ
では２つのフラットで硬質なスライダーからなるヘッド
で媒体を挟んで使用している。そのため両面型ＦＤＤで
は、ヘッド摺動時に硬いスライダー同士が振動によって
衝突したりゴミや磨耗粉の混入によって、媒体にスクラ
ッチなどが発生することが観測され、パスウェア耐久性
は片面型ＦＤＤを用いたときと較べて著しく低かった。

本発明は、パスウェア耐久性のよい磁気記録媒体を提供
することを目的とする。

（課題を解決するための手段）本発明の磁気記録体は、第１図に示すように基体上に薄
膜記録媒体が形成され、該薄膜記録媒体上に保護膜が形
成される。上述の課題を解決するための手段の特徴を以
下に示す。

１）薄膜記録媒体のヤング率が１．４Ｘ　１０’Ｋｇ／
ｍｍ２以上であることを特徴とする。

２）基体上に形成された薄膜記録媒体がＣｏＣｒＴａ合
金、またはＣｏＣｒＴａ合金にＮｉ、　Ｍｏ、　Ｔｉ、
　Ｚｒ、Ｎｂ、　Ｈｆ、　Ｏ，Ｈの中の１つもしくは２
つ以上の元素を含有していることを特徴とする。

保護膜としては、ダイヤモンド状カーボン、グラファイ
ト状カーボン、Ｓｉもしくはシリコン酸化膜、シリコン
窒化膜などがある。

なお、保護膜上には摩擦摩耗特性を向上させるために潤
滑層を形成してもよい。潤滑層としては、液体潤滑剤と
して側鎖バー７０ロアルキルエーテル、パーフロロポリ
エーテルまたは極性終端分子を有するそれぞれの側鎖及
び直鎖パーフロロアルキルエーテル及びパーフロロポリ
エーテル、フッ素オイルなどがある。また、固体潤滑剤
としてはフッ素系固体潤滑剤、硫化モリブデンなどがあ
る。塗布法としては、液体潤滑剤だけを、または液体潤
滑剤と固体潤滑剤を混合して適当な溶剤に溶解もしくは
分散させたものを保護膜上に形成する浸漬法、スプレー
法、ローラコート法、またはスピンコード法等がある。

（作用）基体上に形成した薄膜記録媒体のヤング率を１．４Ｘ１
０４Ｋｇ／ｍｍ２以上にし、さらに保護膜を形成するこ
とにより、パスウェア耐久性の劣化の原因であったヘッ
ドスライダ−、ゴミや磨耗粉によるスクラッチに対する
耐性が向上し、高パスウェア耐久性が可能となる。薄膜
記録媒体の作製方法として、マグネトロンスパッタ方式
もしくは対向式ターゲットスパッタ方式などを用いて０
．５ｍＴｏｒｒがら６　ｍＴｏｒｒの範囲、もしくはＲ
Ｆスパッタ方式を用いてスパッタ圧力が１ｍＴｏｒｒが
ら１０ｍＴｏｒｒの範囲でスパッタすることにより膜の
ヤング率を劣化することなく機械的強度の良好な膜が作
製８来る。また、ＣｏＣｒ膜にＴａ元素を含有させ、さ
らにＮｉ、　Ｍｏ、Ｔｉ、　Ｚｒ、　Ｎｂ、　Ｈｆ、０
、Ｈを含有させることによりヤング率が増大する。

（実施例）以下実施例を示し、本発明の詳細な説明する。

本実施例では、パスウェア耐久性の評価には全て市販３
．５インチ両面型ＦＤＤ（回転数６０Ｏｒｐｍ）を用い
た。パスウェア耐久性は同一トラックで走行させ、再生
出力が初期出力の７０以下になるまでのバス回数とした
。

（実施例１〜５）基本にはポリイミドフィルム（３０μｍ厚）を用い、薄
膜記録媒体としてＣｏＣｒをターゲットとし、ターゲッ
ト上にＴａチップをのせてＲＦマグネトロンスパッタに
より３０００Ａ厚の膜を成膜した。ＲＦマグ゛ネトロン
スパッタパワーは一定（３Ｗ／ａｍ２）とした。

比較例として同じターゲット及びＴａチップを置かない
ＣｏＣｒターゲットを用いてスパッタ圧力を変えて成膜
した例を示した。

保護層は薄膜記録媒体作製後、マグネトロンスパッ方式
によりカーボン保護膜をＡｒガス雰囲気中で形成した。

また、保護膜上にはフッ素糸潤滑剤ヲスビンコートによ
り塗布シた。

表１に本実施例の条件と評価結果を示す。膜組成は、表
に示した組成の残部のパーセントはＣｏであ（実施例６
〜２０）基体にはポリイミドフィルム（３０ｐｍ厚）を用い、薄
膜記録媒体としてＣｏＣｒをターゲットとして、ターゲ
ット上に添加元素チップをのせてＲＦマグネトロンスパ
ッタにより３０００Ａ厚の膜を成膜した。また、酸素Ｏ
及び水素Ｈの添加については、Ａｒガス中にそれぞれ０
２．　Ｈ２Ｏ及びＨ２を混ぜて膜を形成した。ＲＦマグ
ネトロンスパッタパワーは一定（６Ｗ／ｃｍ２）とした
。

保護層は薄膜記録媒体作製後、スパッタによりカーボン
、５ｉ０２、Ｓｉ保護膜をＡｒガス雰囲気中で形成した
。また、保護膜上にはフッ素系潤滑剤をスピンコードに
より塗布した。

た、保護股上にはフッ素系潤滑剤をスピンコードにより
塗布した。

表３に本実施例の条件及び評価結果を示す。

表３（実施例２１〜２４）基本にはポリイミドフィルム（３０ｐｍ厚）を用い、薄
膜記録媒体としてＣｏｅｒをターゲットとし、ターゲッ
ト上にＴａチップをのせてＲＦスパッタにより３０００
人厚の膜を成膜した。ＲＦツタ−ットパワーは一定（１
，５Ｗ／ａｍ２）とした。比較例として同じターゲット
を用いて成膜圧力を変えて作製した例を示した。

保護層は薄膜記録媒体作製後、ＲＦスパッタ法によりカ
ーボン保護膜をＡｒガス雰囲気中で形成した。ま以上の
実施例ではＲＦマグネトロンスパッタ方式を用いて成膜
したが、ターゲットのプラズマ収束を狙った対向式ター
ゲット方式またはＳガンスパッタ方式でもよい。また蒸
着法でもよい。

（発明の効果）実施例１から２４及び比較例１から９に示されるように
、本発明により、薄膜記録媒体のヤング率を１．４　Ｘ
　１０４Ｋｇ／ｍｍ２以上とすることで、バスウェア耐
久性を向上することができる。また、ＣｏＣｒ膜にＴａ
元素を含有させ、さらにＮｉ、　Ｍｏ、　Ｔｉ、　Ｚｒ
、　Ｎｂ、Ｈｆ、　Ｏ，Ｈを含有させることにより、さ
らに効果の高い膜を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の０記録媒体の部分断面図である。

Claims

【特許請求の範囲】１）基体上に薄膜記録媒体が形成され、該薄膜記録媒体
上にさらに保護膜が形成された磁気記録媒体において、
薄膜記録媒体のヤング率が１．４×１０＾４Ｋｇ／ｍｍ＾２以上であることを特徴
とする磁気記録媒体。２）薄膜記録媒体がＣｏＣｒＴａ合金、またはＣｏＣｒ
Ｔａ合金にＮｉ、Ｍｏ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｏ、
Ｈの中の１つもしくは２つ以上の元素を含有しているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の磁気記録媒
体。