JPS6243823A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPS6243823A
JPS6243823A JP18473785A JP18473785A JPS6243823A JP S6243823 A JPS6243823 A JP S6243823A JP 18473785 A JP18473785 A JP 18473785A JP 18473785 A JP18473785 A JP 18473785A JP S6243823 A JPS6243823 A JP S6243823A
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JP
Japan
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magnetic recording
protective film
recording medium
layer
lubricating agent
Prior art date
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Pending
Application number
JP18473785A
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English (en)
Inventor
Yoshihiro Motomura
嘉啓 本村
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Publication of JPS6243823A publication Critical patent/JPS6243823A/ja
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は金属薄膜型磁気記録媒体に関する〇(従来の技
術) 近年、フレキシブル磁気ディスク装置、オーディオ用磁
気テープ装置、VTR用磁気テープ装置等を含めて各種
の磁気記録装置の高記録密度化。
高信頼性化が進められている。磁気配録における高記録
密度化は主として磁気記録媒体の磁性記録媒体の磁性層
の高保磁力化と薄層化とによって実現されるが、従来使
用されている磁性体微粒子を高分子バインダ中に分散さ
せたものを媒体上に塗布した構造のいわゆる塗布型磁気
記録媒体に比べて高保磁力化が容易で薄層化に適したC
o−N+金合金 Co−Pt合金の蒸着膜或いはスパッ
タ膜等を       [用いる金属薄膜型磁気記録媒
体が注目されている。
一方このような磁気記録媒体の回内方向に記録を行う従
来の長手記録方式に比較して、磁気記録媒体の厚さ方向
に残留磁化を形成して信号の記録を行う垂直磁気記録方
式は、高い記録密度が得られる点て最近特に衆目の的と
なっておりその記録媒体としてCO−Cr 、D金の蒸
着膜またはスパッタ膜が研究されている。
こJlら篩密度磁気記録用金属薄膜型磁気記録媒体をフ
レキシブル磁気ディスク、磁気デーゾ等の回加性磁気記
録媒体として実用化するためには機械的耐久性を向上さ
せる8碩がある。一般にフレキシブル磁気ディスク装置
、騒気アーゾ装鰺では、イij号U)記録再生時には磁
気記録媒体と磁気ヘッドとは境界)It擦状、弗にある
0これは信号o)j己録杓生時には空気流により磁気ヘ
ッドを媒体上に浮上させているリジット出猟ディスクに
比べて苛酷な使用条件である。このような理由から磁気
記録装置のイ2籾性を実現するためには磁気記録媒体は
磁気ヘッドとの摺動に対する機械的耐久性に優れている
ことが要求される。
磁気記録媒体の機械的耐久性を而めるために一酸化シリ
コン蒸着膜そ用いることが米国性1「3109746号
、同3353166号、特開昭50−80102等によ
り知られている。
(発明が解決(−71うと−する問題点)しかしシリコ
ン酸化物の保4、φノミのみでは++JIJす[。
性、耐久+!t、((必る4’4kor改e、(’J 
* ラh 6 モZJ O+、壕だ充分でないことか分
った。また株1.9層としCアルコキシシアンaim水
分解生成吻り・用い乙こ2も知られている(特開昭52
−20844号)が、シリコン酸化物と1・iJ (i
に特性がイ・光分〒あり、浴液として偵イ1jI−に抜
力II熱する8四があるため、イJ機高分子フィルム等
耐熱性内を代い基hl (−用い乙nf撓性磁気記録媒
体にtま適用できないという欠点がある。
さらに磁気記録媒体の機械的+jt久性を尚める々めに
媒体表向に+iiJ滑層を形成する力法があり、従来よ
り種々の潤滑剤が提案されCいる。tすえば、パー70
ロアルギルボリエーテル、シリコーンオイル若シくハン
ロロシリコンオイル等u ) 、、J−イル川、ポリテ
トラ70ロエチレン名しくはリイロン等0)ポリマー擾
だはカーボンλ’、シ< iま二1p1.化モリブ)′
ン等の固体潤滑剤が知ら九ているが、いずれも−i気記
録媒体表面への付着力が弱いため、ヘッドとの摺動によ
り潤滑剤が容易に剥離し、充分な耐久t’lが得ら11
ないという問題点かあった0これは先に述べた酸化シリ
コン、アルコキシシランの加水分解物等の保護層の土に
潤滑剤を形成した場合でも同様である。
本発明の目的は機械的耐久性に優れた金J!!薄膜型磁
気記録媒体を折供することにある。
(問題点を解決するための手段) 本発明の磁気記録媒体は非磁性基体上に形成した強磁性
金員薄膜と、該強磁性金属薄膜上に形成した保護膜と、
さらに該保護膜上に潤滑層を有する磁気記録媒体におい
て、該保護膜が酸化シリコン中に固体潤滑剤を分散させ
た構造であることを特徴とする。また該保護膜と潤滑層
との間にフッ素化シランを含む表面処理層を設けること
によりさらに耐久性の高い磁気記録媒体が得られる。
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は第2の発明の磁気記録媒体の一例を示す部分断
面図で、1は非磁性基体であシ、2は強磁性全域薄膜、
3は保護膜、4はフッ素化シランよりなる表+IIi処
理層、5は潤滑層である。
本発明(・ζよる非磁性基体とし2ては酢酸セルロース
、ニトロセルロース、ポリアミド、ポリメチルメタクリ
レート、ポリテトラフルオルエチレン、ポリトリフルオ
ルエチレン、エチレン、プロピレン等α−オレフィンの
重合体あるいは共重合体、塩化ビニルの重合体あるいは
共重合体、ボIJ ta化ビニリデン、ポリカーボネー
ト、ポリイミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレート、等の有機高分子フィルムさらには
、A/金合金セラミックス、Sl、ガラス等が用いられ
る0 本発明に係る強磁性金属薄膜はl’ e 、 Co 、
 N iその他の強磁性金属、あるいはFe −Co、
 Fe −Nl 。
Do−Nl、 Fe −Nd、 Fe−Cr、 Fe−
81,Co −Cr。
Co−V、 Co−8m、 Co−I”t、 Co−P
、 Co−Ni −P。
Fe−Cr−Co等υ)強磁性合金、あるいはこれらに
添加物を加えたものを真空蒸着法、スパッタリング法、
イオンブレーティング法、電気メツキ法、無電解メッキ
法、等によって薄膜状に形成し、たものである。
強磁性金属薄膜の厚さは0.01〜2μmが好ましい0 保護層は8i0x(1<X<2 )  の組成を有する
酸化シリコン中にC,ON、 B4C,Mo5t、 W
Sl等の固体潤滑剤のうち一つ、もしくはいくつかを分
散させた構造で6凱sto、と上記固体潤滑剤の混合物
をターゲットとしたスパッタリング、StO,と上記固
体潤滑剤の混合物を蒸発源とした一A空蒸着、810、
、上記固体潤滑剤それぞれを蒸発源とした共蒸着等の方
法で強磁性金属薄膜上に形成される。
本保護膜は酸化シリコン中に固体潤滑剤が共晶しており
、固体潤滑剤が分散された構造になっているため、耐摩
耗性と共に自己潤滑性を有し、高い摺動耐久性が得られ
る0保−膜はアモルファス状又は結晶質になることがあ
るが、発明の効果は両者ともかわらない0また固体潤滑
材のうちBu についてはアモルファスが六方晶の状晶
が望ましい。
また固体潤滑材は先におげたものに限らない。保護層の
厚さはl0X−1oooXの範囲が好ましい0保護膜上
に直接潤滑剤を塗布しても耐久性の高い媒体が得られる
が、この間にフッ素化シランよすなる表面処理層を設け
るとさらに高い耐久性が得られる。
フッ素シランとしては (CnF2n+1 )mSi(R)4−m・・・・・・
・・・・・・・・・・・・・・・(11nは1から30
までの正の整数、mは1から3までの正の整数 (CnP’2n、11 (CT12 )m)zS l 
(R)4−1 ・・・叩・・−(Illn、 mは1か
ら30までの正の整数、lはlがら3までの正の整数 (CnF2n +10(CHz)m)zsi(R)4−
7・・・−・−・−ttir+n、 mは1から30ま
での正の整数、lは1から3までの正の整数 等の一般式で表わせる化合物が適している。ここで几は
OCH,、QC,H,、QC,1(□、 QC,H,、
QC,H,、等のアルコキシ基またはCHst Ctl
IHHCs1−11+ C411s+C5HI I 等
のアルキル基、またはF、 C1,BrI  等のハロ
ゲンである。
上記フッ素化シランは保護膜表面にそのまま、もしくハ
アルコール、ケトン、エステル、ノ・ロゲン化脂肪族炭
化水素等の溶液として、浸漬法、スプレー法、ローラー
コート法、またはスピンコード法等の塗布方法によって
塗布する。その際に前記フッ素化シランは空気中の水分
あるいは保護膜表面の吸着水によって加水分解され、保
護膜中の酸化シリコン表面と強固に反応、結合して優れ
た密着性が生ずる0このような反応は下地が酸化シリコ
ン以外の金属、化合物の場合でもある程度時められるが
、保−膜中に酸化シリコンを含む場合にはフッ素化シラ
ン末端のシランと同種質であるため反応性が高く、強固
な結合が生じ、他の下地に比べて著しく高い密着性が実
現される〇一方%#記フッ素化シランのCnF2n+1
の部分は磁気記録媒体の表面すなわちヘッドと摩擦する
面に配向する。
以上のようにして保護膜上には下地とは強固な密着性を
有し、表面に対してはフッ化炭素特有の撥水性、潤滑性
を有した表面処理層か形成される0前記保護膜上もしく
は表面処理層上にさらに潤滑層を形成することによシ、
実用に際して十分な耐久性が得られる。@滑層としては
脂肪酸、金属石けん等の炭化水素系の潤滑剤、シリコー
ンオイル、フロロシリコンオイル、パーフロロアルキル
ポリエーテル等の潤滑油、テトラフロロエチレン低重合
体、カーボン、二硫化モリブデン等の固体潤滑剤、もし
くはこれらの混合物を直接、または適当な溶剤に溶解も
しくは分散させたものを前記表面処理層上に浸漬法、ス
プレー法、蒸着法、ローラーコート法、スピンコード法
等の塗布方法によって塗布して形成する。
以上の構成の金属薄膜型磁気記録媒体は耐摩耗性と自己
潤滑性を備えた保護層を有し、その上に下地との密着性
に優れた潤滑層を有するためヘッドによる長時間の摺動
に対(−ても充分な耐久性を有する。
次に実施例を示し、本発明をさらに詳細に説明する。
(実施例) 厚さsoμmのポリエステルフィルム上にCOCr合金
庖・ターゲットとL7たArガス中でのスパッタリング
によつ)ワさjoooXL、))CoCr強磁性金b4
 i’JI Be&ダ形tノアL/こ。次にこθ】上に
表に示した保1.)模、フッ素化シラン(こよる表面処
J」層%−滑J−を形成して各々実施ell 1〜8と
した。保護膜は表中に示した組成比の複合ターゲットを
用いたA+ガス中でのスパッタリングで作製した。弄面
処刈1層は表中に示したフッ素化シラン6)05%イソ
プロピルアルコール溶液を塗布した後乾燥して形成した
。111(滑層は側鎖ポリパー70ロアルキルエーテル
、直鎖ボリパーフty o°アルキルエーテルについて
は0.1頭トリフロロトリクロルエタン溶液、ウートラ
フロロエチレン低重合体については0.05% トリフ
0口トリクロルエタン分散液、モノステアリンについて
は0.1差トルエン溶液をそれぞ)を表面処理層上に塗
、n」シた後乾燥させて形成した。次に比較例1.2と
[7て同様の工(呈で保内膜として810.を用いたも
(])を作製した。
以上())実施1刈l〜8、比較例1.2を51/4イ
ンチ径カフレギシブルディスクθ〕形状(′こ打抜いた
も0〕を市販の5/4インナフレギシブル磁気デイスク
装置に装着してヘッドロード状態で回転させ、ヘッドに
よりディスク表面に傷が生じるまで01回転数を611
1定することにより、ディスクの耐久性全比較した。そ
の結果5!:第1表に乃くす。第1表により本発明の構
成とすることにより、保護膜厚、7ノ累化シラン、潤滑
剤の種類に依らず、シリコン酸化物0〕みの保護膜厚に
比べ高い耐久性が実現されることがわかる。保護膜にお
いて、固体潤滑材の含有量は酸化シリコンの量より多く
なってもよいが、あまり多くなると、摩耗が進みすぎる
傾向が現れて適当でない。
(以 可″ 余 白し く12) (発明の効果) 以上のように、本発明によれば、非磁性基体上に形成し
た強磁性金属薄膜上に形成した保護膜と、該保護膜上に
形成したフッ素化シランを含む表面処理層とさらに該表
面処理層上に形成した潤滑層とを有する磁気記録媒体に
おいて、該保護膜を酸化シリコン中に固体潤滑剤を分散
させた構造にすることにより、磁気ヘッドとの摺動に対
して耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることが出来る効
果を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による磁気記録媒体の部分断面図である
。 図中1は非磁性基体であり、2は強磁性金属薄膜、3は
保護膜、4はフッ素化シランよりなる表面処理層、5は
潤滑層である。 代理入弁理1 内 原   Xバー \ 。 第1図

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)非磁性基体上に形成した強磁性金属薄膜と、該強
    磁性金属薄膜上に形成した保護膜と、さらに該保護膜層
    上に潤滑層を有する磁気記録媒体において、前記保護膜
    が酸化シリコン中に固体潤滑剤を分散させた構造である
    ことを特徴とする磁気記録媒体。
  2. (2)非磁性基体上に形成した強磁性金属薄膜と、該強
    磁性金属薄膜上に形成した保護膜と、該保護膜上に形成
    したフッ素化シランを含む表面処理層と、さらに該表面
    処理層上に形成した潤滑層とを有する磁気記録媒体にお
    いて、前記保護膜が酸化シリコン中に固体潤滑剤を分散
    させた構造であることを特徴とする磁気記録媒体。
JP18473785A 1985-08-21 1985-08-21 磁気記録媒体 Pending JPS6243823A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02201727A (ja) * 1989-01-31 1990-08-09 Matsushita Electric Ind Co Ltd 記録媒体潤滑材およびその製造方法
US5030494A (en) * 1989-01-26 1991-07-09 International Business Machines Corporation Carbon overcoat for a thin film magnetic recording disk containing discrete clusters of tungsten (W) or tungsten carbide (WC) which project from the surface of the overcoat
US5231613A (en) * 1990-01-19 1993-07-27 Sharp Kabushiki Kaisha Magneto-optical recording device
US5386400A (en) * 1990-01-19 1995-01-31 Sharp Kabushiki Kaisha Magneto-optical head device having a lubricated member
US5582224A (en) * 1992-12-22 1996-12-10 Kabushikika Taiheiseisakusho Methods and apparatus for centering a log and for supplying a log to be centered

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