JP2861150B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2861150B2 JP2861150B2 JP30492289A JP30492289A JP2861150B2 JP 2861150 B2 JP2861150 B2 JP 2861150B2 JP 30492289 A JP30492289 A JP 30492289A JP 30492289 A JP30492289 A JP 30492289A JP 2861150 B2 JP2861150 B2 JP 2861150B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic recording
- recording medium
- perpendicular magnetic
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Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜型磁気記録媒体に関する。
［従来の技術］ 近年、フレキシブル磁気ディスク装置、ハード磁気デ
ィスク装置、オーディオ用磁気テープ装置、VTR用磁気
テープ装置等、各種の磁気記録装置の小型化、高密度化
が進められている。磁気記録における高密度化は、主と
して磁気記録媒体の磁性層の高保磁力化と薄層化とによ
って実現されている。従来使用されている媒体は、磁性
体微粒子を高分子バインダ中に分散させたものをベース
フィルム上に塗布した、いわゆる塗布型磁気記録媒体で
ある。
ィスク装置、オーディオ用磁気テープ装置、VTR用磁気
テープ装置等、各種の磁気記録装置の小型化、高密度化
が進められている。磁気記録における高密度化は、主と
して磁気記録媒体の磁性層の高保磁力化と薄層化とによ
って実現されている。従来使用されている媒体は、磁性
体微粒子を高分子バインダ中に分散させたものをベース
フィルム上に塗布した、いわゆる塗布型磁気記録媒体で
ある。
最近、これらの記憶密度を１〜２桁ほど向上できる記
録方式が注目されている。これに用いられる記録媒体
は、膜面に垂直に磁気異方性を有する媒体であって、ス
パッタまたは蒸着などによって形成される。
録方式が注目されている。これに用いられる記録媒体
は、膜面に垂直に磁気異方性を有する媒体であって、ス
パッタまたは蒸着などによって形成される。
しかしながら、この垂直磁気記録媒体に用いられるCo
Cr系合金薄膜は、スパッタおよび蒸着条件や基板の種類
によって垂直磁気異方性が劣化し、高密度の記録特性を
得ることができないという欠点がある。そのため、CoCr
膜の下地膜を形成して垂直磁気異方性を増大させようと
する試みがなされており、その代表的な下地膜として
は、例えばTi膜が知られている。
Cr系合金薄膜は、スパッタおよび蒸着条件や基板の種類
によって垂直磁気異方性が劣化し、高密度の記録特性を
得ることができないという欠点がある。そのため、CoCr
膜の下地膜を形成して垂直磁気異方性を増大させようと
する試みがなされており、その代表的な下地膜として
は、例えばTi膜が知られている。
［発明が解決しようとする課題］ しかしながら、Ti膜は作製条件によって下地膜の効果
にばらつきがあるという問題点があった。また、この上
に作製したCoCr系合金膜の垂直磁気異方性も、CoCr膜厚
が小さいときにはそれほど大きくなく、垂直磁気記録媒
体の配向性を向上させる点から十分な効果を得ることが
できなかった。
にばらつきがあるという問題点があった。また、この上
に作製したCoCr系合金膜の垂直磁気異方性も、CoCr膜厚
が小さいときにはそれほど大きくなく、垂直磁気記録媒
体の配向性を向上させる点から十分な効果を得ることが
できなかった。
本発明は、以上述べたような従来の課題を解決するた
めになされたもので、垂直磁気異方性が大きく、かつそ
の変動の少ない磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
めになされたもので、垂直磁気異方性が大きく、かつそ
の変動の少ない磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、基体上に、TiとTaの合金からなり、Taの含
有率Ｘが、40at％≦Ｘ＜100at％である下地膜を形成
し、該下地膜上にCoとCrを少なくとも含む合金薄膜から
なる垂直磁気記録媒体膜を形成したことを特徴とする磁
気記録媒体である。
有率Ｘが、40at％≦Ｘ＜100at％である下地膜を形成
し、該下地膜上にCoとCrを少なくとも含む合金薄膜から
なる垂直磁気記録媒体膜を形成したことを特徴とする磁
気記録媒体である。
本発明に係る基体としては、フレキシブル基体として
ポリイミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリアミドイミドなどがあり、ハード基体として
NiP被覆のAl合金基板、セラミック基板、ガラス基板お
よびガラス被覆金属基板などがあり、特に材料を選ばな
い。
ポリイミド、ポリエステル（ポリエチレンテレフタレー
ト）、ポリアミドイミドなどがあり、ハード基体として
NiP被覆のAl合金基板、セラミック基板、ガラス基板お
よびガラス被覆金属基板などがあり、特に材料を選ばな
い。
垂直磁気記録媒体膜は、CoCr膜もしくはCoCrと他の元
素からなる合金薄膜である。なお、本磁気記録媒体を記
録体として用いるときは、磁気記録媒体膜上に保護膜お
よび潤滑層を施してもよい。
素からなる合金薄膜である。なお、本磁気記録媒体を記
録体として用いるときは、磁気記録媒体膜上に保護膜お
よび潤滑層を施してもよい。
軟磁性膜としては、いわゆるパーマロイ（NiFe系）、
Co系アモルファス合金、センダスト薄膜、Fe−Si系軟磁
性薄膜など、これも特に材料を選ばない。なお、垂直磁
気記録媒体膜、軟磁性膜およびTi−TaまたはTa薄膜の作
製法としては、スパッタ法、蒸着法、イオンビームスパ
ッタ法などが挙げられる。
Co系アモルファス合金、センダスト薄膜、Fe−Si系軟磁
性薄膜など、これも特に材料を選ばない。なお、垂直磁
気記録媒体膜、軟磁性膜およびTi−TaまたはTa薄膜の作
製法としては、スパッタ法、蒸着法、イオンビームスパ
ッタ法などが挙げられる。
保護膜としては、ダイヤモンド状カーボン、グラファ
イト状カーボン、Siもしくはシリコン酸化膜、シリコン
窒化膜などがある。
イト状カーボン、Siもしくはシリコン酸化膜、シリコン
窒化膜などがある。
また、保護膜上に形成する摩擦摩耗特性を向上させる
ための潤滑層としては、液体潤滑剤として側鎖パーフロ
ロアルキルエーテル、パーフロロポリエーテルまたは極
性終端分子を有する側鎖および直鎖パーフロロアルキル
エーテルおよびパーフロロポリエーテル、フッ素オイル
などがある。また、固体潤滑剤としてはフッ素系固体潤
滑剤、硫化モリブデンなどがある。塗布法としては、液
体潤滑剤だけを、または液体潤滑剤と固体潤滑剤を混合
して適当な溶剤に溶解もしくは分散させたものを、浸漬
法、スプレー法、ローラコート法、スピンコート法によ
って保護膜上に形成する。
ための潤滑層としては、液体潤滑剤として側鎖パーフロ
ロアルキルエーテル、パーフロロポリエーテルまたは極
性終端分子を有する側鎖および直鎖パーフロロアルキル
エーテルおよびパーフロロポリエーテル、フッ素オイル
などがある。また、固体潤滑剤としてはフッ素系固体潤
滑剤、硫化モリブデンなどがある。塗布法としては、液
体潤滑剤だけを、または液体潤滑剤と固体潤滑剤を混合
して適当な溶剤に溶解もしくは分散させたものを、浸漬
法、スプレー法、ローラコート法、スピンコート法によ
って保護膜上に形成する。
［作用］ 垂直磁気記録媒体として、CoCr膜もしくはCoCrと他の
元素からなる合金薄膜を用い、これらの下地膜として、
TiとTaの合金またはTaよりなる膜を用いる。従来、下地
膜として用いられていたTi膜と較べて垂直磁気異方性が
大きくなり、結晶配向の良好な垂直磁気記録媒体が得ら
れる。また作製条件による垂直磁気異方性の変動が少な
いという利点がある。
元素からなる合金薄膜を用い、これらの下地膜として、
TiとTaの合金またはTaよりなる膜を用いる。従来、下地
膜として用いられていたTi膜と較べて垂直磁気異方性が
大きくなり、結晶配向の良好な垂直磁気記録媒体が得ら
れる。また作製条件による垂直磁気異方性の変動が少な
いという利点がある。
［実施例］ 以下に本発明の実施例について図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
実施例１ 第１図は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図であ
る。基体１にはガラス基板を用い、Ti−Ta下地膜２とし
ては種々のTa組成Ｘ（at％）のTi−Ta合金またはTa（0.
5at％≦Ｘ≦100at％）をターゲットとし、RFスパッタに
より1000Å厚の下地膜２を成膜した。この後、作製した
組成の異なるTi−Ta膜２の上に、同一のスパッタ条件で
膜厚800ÅのCoCr（Cr:18at％）よりなる垂直磁気記録媒
体膜３を作製した。
る。基体１にはガラス基板を用い、Ti−Ta下地膜２とし
ては種々のTa組成Ｘ（at％）のTi−Ta合金またはTa（0.
5at％≦Ｘ≦100at％）をターゲットとし、RFスパッタに
より1000Å厚の下地膜２を成膜した。この後、作製した
組成の異なるTi−Ta膜２の上に、同一のスパッタ条件で
膜厚800ÅのCoCr（Cr:18at％）よりなる垂直磁気記録媒
体膜３を作製した。
従来例として、下地膜のないガラス基板上にCoCr膜を
形成した磁気記録媒体を作製した。またTiターゲットを
用いて、Tiよりなる下地膜を作製したほかは実施例１と
同一条件でCoCr膜を成膜し、実施例と比較した。
形成した磁気記録媒体を作製した。またTiターゲットを
用いて、Tiよりなる下地膜を作製したほかは実施例１と
同一条件でCoCr膜を成膜し、実施例と比較した。
表−１にTiとTaに含まれるTaの含有率をパラメータと
したそれぞれの膜の垂直磁気異方性を示す。
したそれぞれの膜の垂直磁気異方性を示す。
表−１からわかるように、本実施例によれば従来例よ
りも優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適した
磁気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性は、
作製条件による変動の少ないものであった。
りも優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適した
磁気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性は、
作製条件による変動の少ないものであった。
実施例２ 第２図は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図であ
る。基体１にはポリイミド基板を用い、軟磁性膜４とし
て厚さ5000Åのパーマロイ（NiFe）膜を蒸着法により形
成した。パーマロイ膜４上には、続けてTi−Ta下地膜２
として種々のTa組成Ｘ（0.5at％≦Ｘ≦100at％）のTi−
Ta合金を母材とし、同じく蒸着法により500Å厚の下地
膜２を成膜した。この後、成膜した組成の異なるTi−Ta
膜２の上に、同一の蒸着条件で膜厚1000ÅのCoCrTa（C
r:20at％、Ta:2at％）よりなる垂直磁気記録媒体膜３を
作製した。
る。基体１にはポリイミド基板を用い、軟磁性膜４とし
て厚さ5000Åのパーマロイ（NiFe）膜を蒸着法により形
成した。パーマロイ膜４上には、続けてTi−Ta下地膜２
として種々のTa組成Ｘ（0.5at％≦Ｘ≦100at％）のTi−
Ta合金を母材とし、同じく蒸着法により500Å厚の下地
膜２を成膜した。この後、成膜した組成の異なるTi−Ta
膜２の上に、同一の蒸着条件で膜厚1000ÅのCoCrTa（C
r:20at％、Ta:2at％）よりなる垂直磁気記録媒体膜３を
作製した。
従来例として、下地膜のないパーマロイ膜上にCoCrTa
膜を形成した磁気記録媒体を作製した。またTiを母材と
して用いて、Tiよりなる下地膜を形成したほかは実施例
２と同一条件でCoCrTa膜を作製し、実施例と比較した。
膜を形成した磁気記録媒体を作製した。またTiを母材と
して用いて、Tiよりなる下地膜を形成したほかは実施例
２と同一条件でCoCrTa膜を作製し、実施例と比較した。
表−２に、TiとTa合金に含まれるTaの含有率をパラメ
ータとしたそれぞれの膜の垂直磁気異方性を示す。
ータとしたそれぞれの膜の垂直磁気異方性を示す。
表−２からわかるように、本発明によれば従来例より
も優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適した磁
気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性は、作
製条件による変動の少ないものであった。
も優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適した磁
気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性は、作
製条件による変動の少ないものであった。
［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば基体と垂直磁気
記録媒体膜との間にTi−Ta合金またはTaよりなる下地膜
を設けることにより、垂直磁気異方性が大きく、かつ作
製条件による垂直磁気異方性の変動の少ない垂直磁気記
録媒体が得られる。
記録媒体膜との間にTi−Ta合金またはTaよりなる下地膜
を設けることにより、垂直磁気異方性が大きく、かつ作
製条件による垂直磁気異方性の変動の少ない垂直磁気記
録媒体が得られる。
第１図および第２図はそれぞれ本発明の磁気記録媒体の
一実施例の部分断面図である。 １……基体、２……下地膜 ３……垂直磁気記録媒体膜、４……軟磁性膜
一実施例の部分断面図である。 １……基体、２……下地膜 ３……垂直磁気記録媒体膜、４……軟磁性膜
Claims (2)
- 【請求項１】基体上に、TiとTaの合金からなり、Taの含
有率Ｘが、40at％≦Ｘ＜100at％である下地膜を形成
し、該下地膜上にCoとCrを少なくとも含む合金薄膜から
なる垂直磁気記録媒体膜を形成したことを特徴とする磁
気記録媒体。 - 【請求項２】基体と下地膜との間には軟磁性膜が形成さ
れている請求項（１）に記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30492289A JP2861150B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30492289A JP2861150B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03168918A JPH03168918A (ja) | 1991-07-22 |
| JP2861150B2 true JP2861150B2 (ja) | 1999-02-24 |
Family
ID=17938927
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30492289A Expired - Lifetime JP2861150B2 (ja) | 1989-11-27 | 1989-11-27 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2861150B2 (ja) |
-
1989
- 1989-11-27 JP JP30492289A patent/JP2861150B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03168918A (ja) | 1991-07-22 |
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Legal Events
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