JPH03168918A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、薄膜型磁気記録媒体に関する。

［従来の技術］ 近年、フレキシブル磁気ディスク装置、ハード磁気ディ
スク装置、オーディオ用磁気テープ装置、ＶＴＲ用磁気
テープ装置等、各種の磁気記Ｂ装置の小型化、高密度化
が進められている。磁気記録における高密度化は、主と
して磁気記録媒体の磁性層の高保磁力化と８層化とによ
って実現されている。従来使用されている媒体は、磁性
体微粒子を高分子バインダ中に分散させたものをベース
フィルム上に塗布した、いわゆる塗布型磁気記録媒体で
ある。

最近、これらの記憶密度を１〜２桁ほど向上できる記録
方式が注目されている。これに用いられる記録媒体は、
膜面に垂直に磁気異方性を有する媒体であって、スパッ
タまたは蒸着などによって形或される。

しかしながら、この垂直磁気記録媒体に用いられるＣＯ
Ｃｒ系合金薄膜は、スパッタおよび蒸着条件や基板の種
類によって垂直磁気異方性が劣化し、高密度の記録特性
を得ることができないという欠点がある。そのため、Ｃ
ｏｃｒ膜の下地膜を形成して垂直磁気異方性を増大させ
ようとする試みがなされており、その代表的な下地膜と
しては，例えば７ｉ膜が知られている。

［琵明がＶＲ−決しようとする課題］ しかしながら、Ｔｉ膜は作製条件によって下地膜の効果
にばらつきがあるという問題点があった，また、この上
に作製したｃｏ（：，ｒ系合金膜の垂直磁気異方性も、
ＣＯＣｒ膜厚が小さいときにはそれほど人きくなく、垂
直磁気記録媒体の配向性を向上させる点から十分な効果
を得ることができなかった。

本発明は、以上述べたような従来の課題を解決するため
になされたもので、垂直磁気異方性が大きく、かつその
変動の少ない磁気記録媒体を提供することを目的とする
。

［課題を解決するための千段コ 本発明は、基体上に７ｉとＴａの合金もしくはＴａから
なる下地膜を形成し、該下地膜上にＣｏとＣｒを少なく
とも含む合金薄膜からなる垂直磁気記録媒体膜を形成し
たことを特徴とする磁気記Ｂ媒体である。

本発明において、塁休と下地膜との間には軟磁杜躾が形
成されていてもＪ：い。また、下地膜として丁ｉとＴａ
の合金を用いる場合、Ｔａの含有率Ｘは、０．５　ａｔ
％≦Ｘ＜１００ａｔ％であることが望ましい。

本発明に係る基体としては、フレキシブル基体としてポ
リイミド、ポリエステル（ポリエチレンデレフタレート
）、ポリアミドイミドなどがあり、ハード基体としてＮ
ｉＰ被覆のＡｆ！合金基板、セラミック基板、ガラス基
板およびガラス被覆金属基板などがあり、特に材料を選
ばない。

垂直磁気記録媒体膜は、ＣＯＣ「膜もしくはＣＯＣ「と
他の元素からなる合金薄膜である。なお、本磁気記録媒
体を記録体として用いるときは、磁気記録媒体膜上に保
護膜および潤滑層を施してもよい。

軟磁性膜としては、いわゆるパーマロイ（ＮｉＦｅ系）
、ＣＯ系アモルファス合金、センダスト薄膜、「ｅ−３
ｉ系軟磁性薄膜など、これも特に材籾を選ばない。なお
、垂直磁気記録媒体膜、軟磁性膜およびＴ　ｉ　−Ｔａ
またはＴａｇ膜の作製法としては、スバッタ法、蒸着法
、イオンビームスバッタ法などが挙げられる。

保護膜としては、ダイヤモンド状カーボン、グラファイ
ト状カーボン、３ｉもしくはシリコン酸化膜、シリコン
窒化膜などがある。

また、保護膜上に形或する摩擦摩耗特性を向上させるた
めの潤滑囮としては、液体潤滑剤として側鎖パーフロロ
アルキルエーテル、パーフロ口ポリエーテルまたは極性
終端分子を有する側鎖および直鎖パーフロロアルキルエ
ーテルおよびパーフロ口ポリエーテル、フッ素オイルな
どがある。また、固体潤滑剤としてはフッ素系固体潤滑
剤、硫化一Ｅリブデンなどがある。塗布法としては、液
体潤滑剤だけを、または液体潤滑剤と固体潤涜剤を混合
して適当な溶剤に溶解もしくは分Ｗｉさせたものを、浸
漬法、スプレー法、ローラコート法、スピンコート法に
よって保護膜上に形或する。

［作用］ 垂直磁気記録媒体として、ＣＯＣｒ膜もしくはＣＯＣｒ
と他の元素からなる合金薄膜を用い、これらの下地膜と
して、Ｔ１とＴａの合金またはＴａよりなる膜を用いる
。従来、下地膜として用いられていたー「ｉ膜と較べて
垂直磁気異方性が大きくなり、結晶配向の良好な垂直磁
気記録媒体が得られる。また作製条件による垂直磁気異
方性の変動が少ないという利点がある。

［実施例］ 以下に本発明の実施例について図面を参照して詳細に説
明する。

実施例１ 第１図は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図である。

基体１にはガラス基板を用い、Ｔｉ−Ｔａ下地膜２とし
ては種々のＴａ組成Ｘ　（　ａｔ％）のＴ　ｉ　−Ｔａ
合金またはＴａ　（　０．５　ａｔ％≦Ｘ≦１００　ａ
ｔ％〉をターゲットとし、ＲＦスバッタにより１０００
　Ａ厚の下地膜２を成膜した。この後、作製した組戊の
異なるＴ　ｉ−Ｔａｌｌ！！２の上に、同一のスパッタ
条件で膜厚８００八のＣＯＣｒ　（Ｃｒ　：１８ａ（％
）よりなる垂直磁気記録媒休膜３を作製した。

従来例として、下地膜のないガラス基板上にｃｏｃｒｌ
Ｉ！を形或した磁気記録媒体を作製した。

また下ｉターゲットを用いて、Ｔｉよりなる下地膜を作
製したほかは実施例１と同一条件でＣｏＣ「膜を成膜し
、実施例と比較した。

表−１にＴｉとＴａに含まれるＴａの含有率をパラメー
タとしたそれぞれの膜の垂直磁気異方性をボす。

（以下余白〉 表 １ 表−１からわかるように、本実施例によれば従来例より
も優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適した磁
気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性は、作
製条件による変動の少ないものであった。

実施例２ 第２図は本実施例の磁気記録媒体の部分断面図である。

基体１にはポリイミド基板を用い、軟磁性膜４として厚
さ５０００入のパーマロイ（ＮｉＦｅ）膜を蒸着法によ
り形成した。パーマロイ膜４上には、続けてｌ’−ｉ　
−Ｔａ下地膜２として種々のＴａ組或Ｘ　（　ｏ．５ａ
ｔ％≦Ｘ≦１００　ａｔ％〉のｌｉ−Ｔａ合金を母材と
し、同じく蒸着法により５００入厚の下地ｆｆ！２を成
膜した。この後、或膜した組或の異なるＴｉ−Ｔａ膜２
の上に、同一の蒸着条件で膜厚１０００　ＡのＣｏＣｒ
Ｔａ　（Ｃｒ　：２０ａｔ％、Ｔａ：２ａｔ％）よりな
る垂直磁気記録媒体膜３を作製した。

従来例として、下地膜のないパーマロイ膜上にＣＯＣｒ
Ｔａ膜を形成した磁気記録媒体を作製した。またＴｉを
母材として用いて、Ｔｉよりなる下地膜を形或したほか
は実施例２と同一条件でＣＯＣｒＴａ膜を作製し、実施
例と比較した。

表−２に、ＴｉとＴａ合金に含まれる１’−ａの含有率
をパラメータとしたそれぞれの膜の垂直磁気異方性を示
す。

表−２からわかるように、 本発明によれば従来 例よりも優れた垂直磁気異方性を有し、高密度記録に適
した磁気記録媒体が得られる。またこの垂直磁気異方性
は、作製条件による変動の少ないものであった。

［発明の効果］ 以上説明したように、本発明によれば基体と垂直磁気記
録媒体膜との間にＴ　ｉ　−Ｔａ合金またはＴａよりな
る下地膜を設けることにより、垂直磁気異方性が大きく
、かつ作製条件による垂直磁気異方性の変動の少ない垂
直磁気記録媒体が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はそれぞれ本発明の磁気記録媒体の
一実施例の部分断面図である。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. （１）基体上にＴｉとＴａの合金もしくはＴａからなる
   下地膜を形成し、該下地膜上にＣｏとＣｒを少なくとも
   含む合金薄膜からなる垂直磁気記録媒体膜を形成したこ
   とを特徴とする磁気記録媒体。
2. （２）基体と下地膜との間には軟磁性膜が形成されてい
   る請求項（１）に記載の磁気記録媒体。
3. （３）ＴｉとＴａの合金は、Ｔａの含有率Ｘが、０．５
   ａｔ％≦Ｘ＜１００ａｔ％である請求項（１）または（
   ２）に記載の磁気記録媒体。