JPH03185623A

JPH03185623A - 蒸着磁気記録媒体

Info

Publication number: JPH03185623A
Application number: JP32470389A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Tateno; 舘野　裕昭
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-12-13
Filing date: 1989-12-13
Publication date: 1991-08-13

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、磁気記録テープ、磁気ディスクなどに用いる
蒸着磁気記録媒体の改良に関する。

［従来の技術］磁気記録テープ、磁気ディスクなどに用いる蒸着磁気記
録媒体は、たとえば録音テープ、ビデオテープとしてコ
ンピュータやワープロなどの再生記憶媒体などに広く用
いられている。

近年、磁気記録は、アナログ記録からディジタル記録へ
と高性能化、高密度記録化に進んでおり、それにともな
って記録媒体としても優れた高密度記録媒体が要求され
るようになった。

とくに磁気記録テープにおいては、Ｆｅ２Ｏ３・Ｃｏ１
Ｆｅ２Ｏ３・メタル等の塗布型のものから高エネルギー
の金属薄膜型のものへと移行しつつある。金属薄膜型テ
ープの記録方式としては、面内記録、垂直記録などがあ
り、製膜法としては、蒸着法、スパッタ法、イオンブレ
ーティング法等がある。現在、高密度記録化にともない
、わずかな異物付着、磁性層の欠陥も非常に大きな問題
となる。

第８図は、従来の一般的な蒸着磁気記録テープの構造で
あり、１はベースフィルムであるポリエチレンテレフタ
レートフィルムなどの基板、２はポリウレタン系などの
バックコート層、３はアンダーコート層、４は磁性層、
５は潤滑層である。

さらに、このような蒸着磁気記録テープの走行耐久性を
向上させ、さらに優れた実用信頼性を得るため、磁性層
上へのスパッタ、プラズマ重合等による無機、有機のオ
ーバーコートの開発が進められており、ダイヤモンド状
硬質炭素膜のオーバーコート品も提案されている。この
ようなオーバーコートをすることにより、物理的にヘッ
ドと磁性層との直接的な接触がなくなるため、耐久性が
改善される。

［発明が解決しようとする課題］しかしながら、前記ダイヤモンド状硬質炭素膜のオーバ
ーコート品であっても、ヘッドと磁性層間に実効的なス
ペーシングが発生するため、スペーシング損失として、
特に短波長領域での電磁変換特性に悪影響を及ぼすこと
が一般的に示されている。

また、耐腐食性おいて、オーバーコートのない場合では
、−殻内に蒸着中に酸素を導入し、その酸化層により磁
性層そのものの耐腐食性を向上させる工夫が行われてい
る。この酸素量を増加することにより潤滑剤との組み合
せで、高温高湿放置での耐腐食性がある程度改善される
が、実用上、まだ不十分であるため、さらに、この様な
磁性層に前記のオーバーコートを施こし、実用信頼性を
向上させる改善が行なわれている。

しかしながら、磁性層上の微細な表面欠陥により十分な
改善には至らず、わずかな点状の錆が発生し、ドロップ
アウトの増加要因となっているのが現状である。また、
この様な微細欠陥を完全に保護するには、数μｍの厚さ
のオーバーコートが必要であり、その厚みによるスペー
シング損失により、十分な電磁変換特性が得られず、実
用性に欠ける等の課題がある。

本発明は、前記従来技術の課題を解決するため、耐腐食
性を向上させオーバーコートによるスペーシング損失を
補ないつつ、磁性層の最適化をはかり、腐食によるドロ
ップアウト、目づまり等の信号欠落が発生することなく
、高出力の優れた電磁変換特性を有する蒸着磁気記録媒
体を提供する。

とくに、高温高湿中の長期保存性に優れる蒸着磁気記録
媒体を提供することを目的とする。

［課題を解決するための手段］前記目的を達成するため本発明は下記の構成からなる。

すなわち本発明は、基板の上に蒸着磁性層を有し、その
上にダイヤモンド状硬質炭素膜のオーバーコート層を有
する蒸着磁気記録媒体において、前記蒸着磁性層をコバ
ルト−ニッケル合金系の蒸着層により多層に形成し、該
蒸着層の少なくとも基板側の磁性層中には、１０〜３Ｑ
ａｔ％の０２量が存在し、表層側の磁性層には、前記基
板側の磁性層中の０２量の０．２〜０．６の０２量が存
在することを特徴とする蒸着磁気記録媒体である。

なお前記においてａｔ％とは原子（アトミック）％をい
う。

［作用］上記説明した本発明の構成によれば、蒸着磁性層をコバ
ルト−ニッケル合金系の蒸着層により多層に形成し、該
蒸着層の少なくとも基板側の磁性層中には１０〜３０ｘ
ｔ％の０２量が存在し、表層側の磁性層には、前記基板
側の磁性層中の０２量の０．　２〜０゜６の０２量が存
在するようにしたので、記録媒体表面の磁性層の酸素の
存在量が、内層の磁性層に比べて少ないので、磁性層表
面の微細欠陥を減少させ、耐腐食性を著るしく改善する
と共に、磁性層表面の酸化層も薄くなるため、スペーシ
ング損失も低減することができる。また、下層の磁性層
の酸素量を調整することにより、全体としての磁気特性
の最適化がはかれ、良好な電磁変換特性を持つ耐腐食性
の高い蒸着磁気記録媒体を得ることができる。

［実施例］以下、本発明の一実施例の蒸着磁気記録媒体について、
図面を参照しながら説明する。第１図は、本発明の一実
施例のダイヤモンド状硬質炭素膜をプラズマ重合により
、オーバーコートした蒸着磁気記録テープの構成を示す
。６はステアリン酸などの潤滑層、７はダイヤモンド状
硬質炭素膜、８゜９は蒸着磁性層（２層目）、１０はア
ンダーコート層、１１はポリエチレンテレフタレートフ
ィルム（ＰＥＴ）などの基板、１２はカーボン入りのポ
リウレタン系などのバックコート層である。そして、基
板１１の上に蒸着磁性層８，９を有し、その上にダイヤ
モンド状硬質炭素膜のオーバーコート層７を有する蒸着
磁気記録媒体において、前記蒸着磁性層８．９をコバル
ト−ニッケル合金系の蒸着層により多層に形成し、該蒸
着層の少なくとも基板側の蒸着磁性層９中にはｌＯ〜３
０ａ１％の０２量が存在し、表層側の蒸着磁性層８には
、前記基板側の蒸着磁性層９中の０２量の０．２〜０．
６の０２量が存在するように形成されている。

次に本発明の前記蒸着磁気記録媒体を製造する方法につ
いて説明する。まず、この蒸着磁気テープの磁性層を製
膜するための蒸着機を第２図に示す。１３は巻取軸、■
４は巻出軸、１５はポリエチレンテレフタレートフィル
ムなどのフィルム基板、１６は防着板、１７は酸素供給
ノズル、１８は冷却キャン、１９は蒸着源、２０はＮｉ
２０ａｔ％のＣｏＮｉ　　（コバルト−ニッケル）系合
金からなる蒸着合金である。

前記した蒸着機を用いて、蒸着速度をＬｏｏｍ／ｎ＋ｉ
ｎ、１層目の膜厚を約１００ＯＡ、酸素含有率が５、１
０．２０．３０．４０ｘｔ％となるように供給酸素量を
調整し、製膜した。２層目は、膜厚を１層目と同じ約１
０００人、酸素含有量がそれぞれ１層目の０．１〜０．
　８−迄０．１毎になるように酸素量を調整し、製膜し
た。

このような条件で得られた磁気記録媒体の磁気特性を第
３図、および第４図に示す。第３図の縦軸は保磁力、横
軸は１層目の酸素含有率を示し、その時の２層目の酸素
含有量を１層目の酸素含有量の０．　１から０．８まで
０．１毎に変えたものをそれぞれ記号で示す。第４図は
、縦軸は角形比を示し、横軸及び記号は第３図と同様で
ある。

以上の結果から、保磁力及び角形比という磁気特性につ
いては、１層目の酸素条件でほぼ決定づけられ、２層目
の酸素量はこの範囲では、あまり影響しないことが判明
した。

さらに、この磁気記録媒体を第１図の構成の如く８恥に
テープ化し、ソニー社製ハイバンド８閣デツキで、Ｙ出
力（７ＭＨ２）を測定した結果を第５図に示す。縦軸は
、Ｙ出力、横軸は、第３図、第４図と同様、１層目の酸
素含有率であり、その時の２層目の酸素含有率を記号で
示す。

これらの結果より保磁力、角形比が高く、２層目の酸素
含有率が低い程、Ｙ出力の高くなることが判明し、ゆえ
に１層目の酸素含有率ｌＯ〜３０８１％の範囲が最適で
あることがわかった。

次にこの蒸着磁気テープを４０℃９０％の環境に１週間
放置し、放置前後でのＤｏ（Ｄｏはドロップ・アウトの
略）の変化を測定した結果を第６図に示す。縦軸は、Ｄ
ｏ　（１５μｓｅｃ、１６ｄＢ）の増加量、横軸は、１
層目の酸素含有率でその時の２層目の酸素含有率を記号
で示す。１層目の酸素含有率にはあまり影響しないが、
２層目の酸素含有率が少なくても、多すぎてもＤｏが増
加し、２層目の酸素含有率が１層目の０．２〜０゜６の
範囲であれば良いことが判明した。また１層目酸素含有
率４０％は０．２〜０．４であった。

以上これらのＹ出力、高温高湿放置によるり。

の増加等における１層目の酸素含有率と２層目の酸素含
有率の最適範囲を第７図に示す。縦軸は、２層目酸素含
有率（１層目比率）、横軸は、１層目の酸素含有率Ｏ１
％）でＤｏ増加のない範囲、Ｙ出力の高い範囲をそれぞ
れ斜線で示す。この結果より１層目の酸素含有率が１０
〜３０ｉｔ％で２層目の酸素含有量が１層目の酸素含有
量の０．２〜０．　６となる範囲が最適であることが判
明した。

なお、実施例においては、潤滑剤をステアリン酸とした
が、他の脂肪酸、エステル、エーテル、パラフィン等の
単独又はその複合したもの及び、その部分フッ素化した
ものでも良く、潤滑剤の種類に関係なく同様の結果が得
られる。又、磁性層を２層としたが、磁気特性を確保し
、上層の磁性層の酸素含有量を少なくするならば、３層
以上の多層構造としても良い。

またバックコート層としては、前記実施例ではポリウレ
タン系のものを用いたが、これに限られることなく、い
かなる種類のバックコート層を用いてもよい。

し発明の効果１以上、のように本発明に上れば、ダイヤモンド状硬質炭
素膜のオーバーコー　ト品において、蒸着磁性層をコバ
ルト−ニッケル合金系の蒸着層により多層に形成（７、
該蒸着層の少なくとも基板側の磁性層中にはＬＯ＝３０
ａｔ％の０２量が存在１１表層側の磁性層には、前記基
板側の磁性層中の０゜社の０．２〜０．６の０２量が存
在するように１゜だので、記録媒体表面の磁性層の酸素
の存在型が、内層の磁性層に比べて少ないので、磁性層
表面の微細欠陥を減少させ、耐腐食性を著る１、り改讐
すると共に、磁性相表面の酸化層も薄くなるため、スペ
ーシング損失も低減することができるという顕著な効果
を達成することができた。また、下層の磁性層の酸素数
を調整することにより、全体とＩ／Ｃの磁気特性の最適
化がはかれ、良好な電磁変換特性を持つ耐腐食性の高い
蒸着磁気記録媒体を得ることができるという顕著な効果
を達成する、二ともできた。さらに、長期間の高温高湿
放置においても腐食によるド目ツブアウＩ・、目づまり
等の発生がなく、耐腐食性の高い、高出力の電磁変換特
性ををする優れた蒸着磁気記録媒体を得ることもできた
。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例で得られた蒸着磁気記録媒
体の構成図、第２図は同実施例の磁性層を製膜するため
の真空蒸着機の構成を示１〜だ概略図、第３図〜第７図
は本発明の−・実施例で得られた蒸着磁気ｊ己録媒体の
特性値を示１１、第８図は従来の蒸６磁気テープの構成
図である。６・・・潤滑層７・・・ダイヤモンド状硬質炭素膜８・・・蒸着磁性層（２層目）９・・・蒸着磁性層（１冶Ｅ１）１０・・・アンダーコート層１１・・・基板１２・・・バラフコ−１・層１３・・・巻取軸１４・・・巻出軸１５・・・フィルム基板 ■６・・・防着板１７・・・酸素供給ノズル１８・・・冷却キトン１９・・・蒸発源２０・・・蒸着合金ゝ１２・バックコート聯第ｊ−図第２図角形比ｃｏ　　−〇　卯　ム　ω　〜　− 保磁力（Ｏｅ）２層目酸素含有比（Ｍ１層目）１層目酸素含有率（ａｔ％）第６図１層目酸素含有率（ａｔ％）第７図第８図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）基板の上に蒸着磁性層を有し、その上にダイヤモ
ンド状硬質炭素膜のオーバーコート層を有する蒸着磁気
記録媒体において、前記蒸着磁性層をコバルト−ニッケ
ル合金系の蒸着層により多層に形成し、該蒸着層の少な
くとも基板側の磁性層中には１０〜３０ａｔ％のＯ＿２
量が存在し、表層側の磁性層には、前記基板側の磁性層
中のＯ＿２量の０．２〜０．６のＯ＿２量が存在するこ
とを特徴とする蒸着磁気記録媒体。