JPH0566648B2 - - Google Patents
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- JPH0566648B2 JPH0566648B2 JP21952084A JP21952084A JPH0566648B2 JP H0566648 B2 JPH0566648 B2 JP H0566648B2 JP 21952084 A JP21952084 A JP 21952084A JP 21952084 A JP21952084 A JP 21952084A JP H0566648 B2 JPH0566648 B2 JP H0566648B2
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 32
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 10
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 8
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 6
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 229920000307 polymer substrate Polymers 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000005566 electron beam evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 4
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 4
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000009849 vacuum degassing Methods 0.000 description 2
- 229910020632 Co Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020641 Co Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020637 Co-Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020646 Co-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020678 Co—Mn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020710 Co—Sm Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020709 Co—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020517 Co—Ti Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020516 Co—V Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020515 Co—W Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020514 Co—Y Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020521 Co—Zn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020520 Co—Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018553 Ni—O Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 229910052770 Uranium Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N pentostatin Chemical compound C1[C@H](O)[C@@H](CO)O[C@H]1N1C(N=CNC[C@H]2O)=C2N=C1 FPVKHBSQESCIEP-JQCXWYLXSA-N 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L zinc stearate Chemical compound [Zn+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCC([O-])=O XOOUIPVCVHRTMJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は強磁性薄膜を磁気記録層とする磁気記
録媒体に関する。 従来例の構成とその問題点 従来から磁気記録は高密度化を中心的課題とし
て、磁気記録媒体，磁気ヘツド，記録方式の開発
により進歩してきている。 しかし、ここにきて、従来技術の改良では面記
録密度的に限界がみえ、更に１桁記録密度を向上
させるには、磁気記録層に有機結合剤を全く用い
ない、いわゆる強磁性金属薄膜を用いた、薄膜型
磁気記録媒体の実用化が望まれ、各方面で開発が
進められている。 第１図は面内記録媒体、第２図は垂直記録媒体
の拡大断面図である。 第１図で１は高分子基板、２は磁気記録層とな
る強磁性金属薄膜、３は保護層である。 第２図で４は高分子基板、５は軟磁性層、６は
磁気記録層となる垂直磁化磁性膜、７は保護膜で
ある。 ２又は６に用いられる磁性材料はCo，Co−
Ni，Co−Cr，Co−Cu，Co−Ga，Co−Mn，Co
−Mg，Co−Nd，Co−Ｐ，Co−Ru，Co−Sm，
Co−Sn，Co−Ti，Co−Ta，Co−Ｕ，Co−Ｖ，
Co−Ｗ，Co−Ｙ，Co−Zn，Co−Zr，Co−Ni−
Ｐ，Co−Ni−Cr，Co−Zn−Ｐ，Co−Ni−Ｏ等
で、薄膜化技術としては、スパツタリング法，イ
オンプレーテイング法，電子ビーム蒸着法等が挙
げられる。 現状では、フエライトヘツドとCo−Ni−Ｏ系
薄膜の組み合わせが最も進んでおり、高密度化を
進めるには、合金ヘツドとの組み合わせが必要と
なり、合金ヘツドによる録再に対する耐久性の改
良が望まれる。 特にスチル状態で高速摺接時の耐久性は、保護
膜のみでは解決されないため、改良が必要であ
る。 発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、耐久
性の改良された強磁性金属薄膜を磁気記録層とす
る磁気記録媒体を提供することを目的とする。 発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、強磁性薄膜を構成す
る微結晶粒子が空孔を有し、空孔率で体積比率で
３％から15％であることを特徴とし、合金ヘツド
との高速摺接に於ける耐久性が改良されたもので
ある。 実施例の説明 以下、図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。 第３図は本発明の磁気記録媒体の部分拡大断面
図である。 ８は高分子基板或いは軟磁性層で、９は微結晶
粒子で、１０は空孔である。 本発明は微結晶粒子内の空孔率を体積％で３％
から15％までに制御することで、合金ヘツドに対
する高速摺接時に発生するスリキズにより磁気記
録層がやがて破壊するに至る時間を大幅に延長す
ることができるものである。 空孔の作用は、局部的な応力に対する歪をかん
和するものと思われるもので３％以上50％までそ
の効果をかくにんしたが15％以上になると、面内
磁化膜でも、垂直磁化磁性膜でも、短波長記録で
の雑音が増えることから、最適の範囲が決る。 本発明の磁気記録媒体の製造は、例えば、高分
子基板を真空乾燥してから、置換ガスとしてヘリ
ウムを用い、基板に飽和量吸着させ、その基板を
用いて、電子ビーム蒸着法，スパツタリング法等
で磁気記録層を形成すれば、微結晶内にヘリウム
がトラツプされ、磁気記録層形成後、長時間（最
低24h）真空中で加熱することで、トラツグされ
たヘリウムガスを追い出せばよい。 なお、本発明の磁気記録層の保護のために、脂
肪酸アミド，脂肪酸，フツ素オイル等の塗布を行
うことや、プラズマ重合膜を形成する等は周知の
範囲で実施し、かつ良好な結果を得られるもので
あることは勿論である。 以下さらに具体的に本発明の実施例について説
明する。 （実施例） 厚み10μｍのポリアミド基板を用い（）真空
脱ガス（），ガス吸着（），電子ビーム蒸着
（），真空加熱のプロセスで、磁気記録媒体を製
造し、センダストヘツドとCo系非品質合金ヘツ
ドでＳ／Ｎ（信号対雑音比）とスチル寿命を調べ
た。スチル寿命は初期の出力さら3dB出力が低下
するまでの時間で、スチル寿命に至つたサンプル
は光学顕微鏡にて表面かん察を行つた。 (i) 真空脱ガス条件範囲、基板温度：190℃，処
理時間：10時間〜48時間，真空度：10-3Torr
以下 (ii) ガス吸着条件：基板温度：−20℃，ガス：
He真空度：50Torr〜300Torr，処理時間：24h
〜120h， (iii) 電子ビーム蒸着条件：基板温度：０℃，基板
移動速度：5m／min〜24m／min，蒸着材料：
Co100％，真空度：１×10-4Torr，最大分圧：
酸素９×10-5Torr，入射角：14度以内のほぼ
垂直入射 (iv) 真空加熱：基板温度：140℃，処理時間：
48h〜120h，真空度：４×10-5Torr以下、 使用したヘツドは、センダストヘツド，非品質
合金ヘツド共、コア幅100μｍ，ギヤツプ長0.25μ
ｍのリング型ヘツドで記録波長は0.5μｍ，トラツ
ク幅は9.6μｍである。 テープ幅は８mmで、スチル時の張力は25ｇ一定
とした。 なお、表面保護層は、ステアリン酸亜鉛をほぼ
35Åの厚みとなるよう塗布したものである。
録媒体に関する。 従来例の構成とその問題点 従来から磁気記録は高密度化を中心的課題とし
て、磁気記録媒体，磁気ヘツド，記録方式の開発
により進歩してきている。 しかし、ここにきて、従来技術の改良では面記
録密度的に限界がみえ、更に１桁記録密度を向上
させるには、磁気記録層に有機結合剤を全く用い
ない、いわゆる強磁性金属薄膜を用いた、薄膜型
磁気記録媒体の実用化が望まれ、各方面で開発が
進められている。 第１図は面内記録媒体、第２図は垂直記録媒体
の拡大断面図である。 第１図で１は高分子基板、２は磁気記録層とな
る強磁性金属薄膜、３は保護層である。 第２図で４は高分子基板、５は軟磁性層、６は
磁気記録層となる垂直磁化磁性膜、７は保護膜で
ある。 ２又は６に用いられる磁性材料はCo，Co−
Ni，Co−Cr，Co−Cu，Co−Ga，Co−Mn，Co
−Mg，Co−Nd，Co−Ｐ，Co−Ru，Co−Sm，
Co−Sn，Co−Ti，Co−Ta，Co−Ｕ，Co−Ｖ，
Co−Ｗ，Co−Ｙ，Co−Zn，Co−Zr，Co−Ni−
Ｐ，Co−Ni−Cr，Co−Zn−Ｐ，Co−Ni−Ｏ等
で、薄膜化技術としては、スパツタリング法，イ
オンプレーテイング法，電子ビーム蒸着法等が挙
げられる。 現状では、フエライトヘツドとCo−Ni−Ｏ系
薄膜の組み合わせが最も進んでおり、高密度化を
進めるには、合金ヘツドとの組み合わせが必要と
なり、合金ヘツドによる録再に対する耐久性の改
良が望まれる。 特にスチル状態で高速摺接時の耐久性は、保護
膜のみでは解決されないため、改良が必要であ
る。 発明の目的 本発明は上記事情に鑑みなされたもので、耐久
性の改良された強磁性金属薄膜を磁気記録層とす
る磁気記録媒体を提供することを目的とする。 発明の構成 本発明の磁気記録媒体は、強磁性薄膜を構成す
る微結晶粒子が空孔を有し、空孔率で体積比率で
３％から15％であることを特徴とし、合金ヘツド
との高速摺接に於ける耐久性が改良されたもので
ある。 実施例の説明 以下、図面を参照しながら本発明の実施例を説
明する。 第３図は本発明の磁気記録媒体の部分拡大断面
図である。 ８は高分子基板或いは軟磁性層で、９は微結晶
粒子で、１０は空孔である。 本発明は微結晶粒子内の空孔率を体積％で３％
から15％までに制御することで、合金ヘツドに対
する高速摺接時に発生するスリキズにより磁気記
録層がやがて破壊するに至る時間を大幅に延長す
ることができるものである。 空孔の作用は、局部的な応力に対する歪をかん
和するものと思われるもので３％以上50％までそ
の効果をかくにんしたが15％以上になると、面内
磁化膜でも、垂直磁化磁性膜でも、短波長記録で
の雑音が増えることから、最適の範囲が決る。 本発明の磁気記録媒体の製造は、例えば、高分
子基板を真空乾燥してから、置換ガスとしてヘリ
ウムを用い、基板に飽和量吸着させ、その基板を
用いて、電子ビーム蒸着法，スパツタリング法等
で磁気記録層を形成すれば、微結晶内にヘリウム
がトラツプされ、磁気記録層形成後、長時間（最
低24h）真空中で加熱することで、トラツグされ
たヘリウムガスを追い出せばよい。 なお、本発明の磁気記録層の保護のために、脂
肪酸アミド，脂肪酸，フツ素オイル等の塗布を行
うことや、プラズマ重合膜を形成する等は周知の
範囲で実施し、かつ良好な結果を得られるもので
あることは勿論である。 以下さらに具体的に本発明の実施例について説
明する。 （実施例） 厚み10μｍのポリアミド基板を用い（）真空
脱ガス（），ガス吸着（），電子ビーム蒸着
（），真空加熱のプロセスで、磁気記録媒体を製
造し、センダストヘツドとCo系非品質合金ヘツ
ドでＳ／Ｎ（信号対雑音比）とスチル寿命を調べ
た。スチル寿命は初期の出力さら3dB出力が低下
するまでの時間で、スチル寿命に至つたサンプル
は光学顕微鏡にて表面かん察を行つた。 (i) 真空脱ガス条件範囲、基板温度：190℃，処
理時間：10時間〜48時間，真空度：10-3Torr
以下 (ii) ガス吸着条件：基板温度：−20℃，ガス：
He真空度：50Torr〜300Torr，処理時間：24h
〜120h， (iii) 電子ビーム蒸着条件：基板温度：０℃，基板
移動速度：5m／min〜24m／min，蒸着材料：
Co100％，真空度：１×10-4Torr，最大分圧：
酸素９×10-5Torr，入射角：14度以内のほぼ
垂直入射 (iv) 真空加熱：基板温度：140℃，処理時間：
48h〜120h，真空度：４×10-5Torr以下、 使用したヘツドは、センダストヘツド，非品質
合金ヘツド共、コア幅100μｍ，ギヤツプ長0.25μ
ｍのリング型ヘツドで記録波長は0.5μｍ，トラツ
ク幅は9.6μｍである。 テープ幅は８mmで、スチル時の張力は25ｇ一定
とした。 なお、表面保護層は、ステアリン酸亜鉛をほぼ
35Åの厚みとなるよう塗布したものである。
【表】
【表】
上表より明らかに本発明品は、合金ヘツドに対
してＳ／Ｎと、スチル寿命の双方共が良好である
ことがわかる。 なお、本発明は磁気テープに限らず、磁気デイ
スクに於ても効果を発揮するのは勿論、前述の他
の材料の組み合わせでも十分効果のあることを確
認した。 発明の効果 以上のように、本発明は磁気記録層を空孔を体
積比率で３〜15％有する微結晶粒子から成る強磁
性薄膜で構成することで合金ヘツド系に対するス
チル寿命が改良され、かつ優れたＳ／Ｎの磁気記
録媒体を得ることができるもので、その効果はき
わめて大きい。
してＳ／Ｎと、スチル寿命の双方共が良好である
ことがわかる。 なお、本発明は磁気テープに限らず、磁気デイ
スクに於ても効果を発揮するのは勿論、前述の他
の材料の組み合わせでも十分効果のあることを確
認した。 発明の効果 以上のように、本発明は磁気記録層を空孔を体
積比率で３〜15％有する微結晶粒子から成る強磁
性薄膜で構成することで合金ヘツド系に対するス
チル寿命が改良され、かつ優れたＳ／Ｎの磁気記
録媒体を得ることができるもので、その効果はき
わめて大きい。
第１図は面内磁気記録媒体の拡大断面図、第２
図は垂直記録用の磁気記録媒体の拡大断面図、第
３図は本発明の磁気記録媒体の一例の部分拡大断
面図である。 ８……高分子基板、９……微結晶粒子、１０…
…空孔。
図は垂直記録用の磁気記録媒体の拡大断面図、第
３図は本発明の磁気記録媒体の一例の部分拡大断
面図である。 ８……高分子基板、９……微結晶粒子、１０…
…空孔。
Claims (1)
- １ 強磁性薄膜を構成する微結晶粒子が空孔を有
し、空孔率が体積比率で３％から15％であること
を特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21952084A JPS6199922A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21952084A JPS6199922A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6199922A JPS6199922A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH0566648B2 true JPH0566648B2 (ja) | 1993-09-22 |
Family
ID=16736755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21952084A Granted JPS6199922A (ja) | 1984-10-19 | 1984-10-19 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6199922A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101372250B1 (ko) * | 2013-08-02 | 2014-03-10 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101372251B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-10 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101372253B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-11 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101374050B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-12 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
-
1984
- 1984-10-19 JP JP21952084A patent/JPS6199922A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101372250B1 (ko) * | 2013-08-02 | 2014-03-10 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101372251B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-10 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101372253B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-11 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
| KR101374050B1 (ko) * | 2013-12-17 | 2014-03-12 | (주)미가람 | 자이로밀형 풍력 터빈을 구비한 풍력 발전 타워 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6199922A (ja) | 1986-05-19 |
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