JP2848833B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JP2848833B2
JP2848833B2 JP63303900A JP30390088A JP2848833B2 JP 2848833 B2 JP2848833 B2 JP 2848833B2 JP 63303900 A JP63303900 A JP 63303900A JP 30390088 A JP30390088 A JP 30390088A JP 2848833 B2 JP2848833 B2 JP 2848833B2
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/64Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
    • G11B5/66Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気記録媒体に関し、更に詳しくはCoを主体
とした強磁性金属薄膜を比磁性基体に支持させた水平記
録型の磁気記録媒体に関する。本発明は特に電磁変換特
性が優れたこの型の磁気記録媒体を提供し、望ましい例
では耐酸化性に優れたこの型の磁気記録媒体に関する。
(従来技術) 近年磁気記録媒体はますます高密度化しており、中で
もCoを主体としNi等を添加した強磁性金属薄膜を用いた
磁気記録媒体は飽和磁束密度が大きくしかも保磁力が高
いので盛んに研究されている。この型の磁気記録媒体は
種々の方法で製造されるが、特に優れた方法としては斜
め蒸着法により2層以上の多層構造とすることが提案さ
れている。すなわち斜め蒸着法においては強磁性金属薄
膜各層は、蒸着等の気相法により強磁性金属の蒸気を非
磁性基体の表面に特定の角度で差し向けることにより強
磁性金属の柱状結晶粒を他の強磁性金属薄膜の柱状結晶
粒の成長方向と交差した特定の方向に成長させた強磁性
金属膜を形成する(特公昭56−26891、56−42055、63−
21254及び60−37528、特開昭54−603、54−147010、56
−94520、57−3233、57−30228、57−13519、57−14102
7、57−41028、57−141029、57−143730、57−143731、
57−147129、58−14324、58−50628、60−76025、61−1
10333、61−187122、63−10315、63−13117、63−1431
7、63−14320及び63−39127等)。これにより保磁力そ
の他の電磁変換特性、あるいは機械特性が向上するがな
お不十分であった。本発明者はこのうちの水平記録用の
磁気記録媒体を種々の点から検討したところ各強磁性薄
膜における柱状粒子の成長方向と相互関係、厚さと相互
関係の検討が充分でなく、電磁変換特性及び耐久性が不
十分であったことを見出した。
このような問題点を解決するために本出願人は柱状粒
子の成長方向が交差する2層のCo−Ni系強磁性金属薄膜
を有する磁気記録媒体において、上層を薄く下層を厚く
することにより電磁変換特性及び耐久性を改善し更に走
行性を改善した(特開昭、63−9015)。しかし走行性と
耐久性は向上するものの電磁変換特性の向上は不十分で
ある。他の試みとして同様な2層型電磁記録媒体におい
て最小入射角(各強磁性金属薄膜層の最終蒸着部分にお
ける金属粒子の入射方向)を調整することにより電磁変
換特性と耐久性を向上することを提案した(特開昭63−
10314)。しかし上層の最小入射角が比較的大きいこと
及び2層であることにより耐久性とくに高温高湿下の耐
久性に劣りまた電磁変換特性が充分でなかった。
更に3層以上の強磁性金属薄膜を有する斜め蒸着型の
磁気記録媒体では各強磁性金属の厚さの検討がなくまた
金属粒子の入射角が大きすぎるために充分な電磁変換特
性を得ることができなかったりあるいは耐湿耐温度性に
劣る問題(特開昭56−134317)、各層がほぼ同一の500
〜700Åの厚さを有すると共に金属粒子の入射角が各層
とも22−72度と大きい角度を有するために耐食性に劣る
問題(特開昭53−60205)、最上層の強磁性金属薄膜を
酸化して酸化物にして耐久性を増すと酸化物による電磁
変換特性の低下が生じる問題(特開昭63−39127、特開
昭63−10315)などがある。
(発明の目的) 本発明の目的は多層の強磁性金属薄膜を有する斜め蒸
着型磁気記録媒体において電磁変換特性を向上すること
にあり、他の目的は更にこれに加えて耐候性を改善する
ことを目的とする。
(発明の構成の概要) 本発明は、非磁性基体に少なくとも3層のCoを主体と
する強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて成る
水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属薄膜
のうち少なくとも2層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜
の面の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少
なくとも2層の各々における前記入射方向は、前記法線
から測って表面側で10〜40度の最小入射角度を有し、非
磁性基体側の層でそれよりも小さい最小入射角度を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。好ましく
は、強磁性金属薄膜はモル比でCo約80%、Ni約20%の合
金であり、さらに好ましくは、各強磁性金属薄膜の厚み
が400〜1000Åである。
(発明の作用効果の概要) 本発明によれば、3層構造にして逆方向の成分を持た
せながら最上層の磁性層の厚みをコントロールすること
により7.0MHzなどの高域出力を向上させることができ、
また磁性層の全厚を厚くすることにより0.75MHzなどの
低域出力も高くすることができる。従来の多層構造では
同一の全厚でも高い出力は期待できない。
(発明の具体的な構成) 次ぎに本発明を詳しく説明する。
本発明で3層構造の強磁性金属薄膜を有する型の磁気
記録媒体に使用する強磁性金属材料としてはCoを主体と
する合金である。特にCo−Ni合金、中でもCoがモル比で
約80%、Niが約20%より成る合金が好適である。場合に
より10%までの少量のCrを含有していても良い。場合に
より少量の酸素を表面層に含有させて耐久性を増すこと
も出来る。その他の金属成分を含有させても良い(特開
昭63−10315等に記載の金属が使用可能)。
各層の強磁性金属薄膜の厚みは約400〜1000Åにする
ことが好ましい。好ましくは最上層から下層に向けて厚
さが増すことである。最上層の厚さが400Åより薄くな
ると7.0MHzなどの高域信号の記録が充分にできなくなり
出力が低下する。一方1000Åよりも厚くなると雑音が増
えて信号体雑音比が低下する。強磁性金属薄膜の全厚は
2000Å以上にする。これにより0.75MHzにおける出力を
充分に大きくすることができる。
3層以上の強磁性金属薄膜はそれぞれ斜め蒸着法によ
り製作される。斜め蒸着装置及び方法は上に引用した各
種の文献に記載されているのでそれらの任意のものを採
用すれば良いのでここでは詳述しない。蒸着は一般に回
転するドラムの表面にポリエチレンテレフタレート等の
フイルム(特開昭63−10315に記載の各種材料が使用可
能)を添わせて送りながら一個以上の定置金属源から斜
め蒸着をするものであるが、蒸発金属粒子のフイルムの
法線に対して初期の最大入射角から最終の最小入射角に
及ぶ蒸着を行ない柱状粒子が弧状に整列する様に成長さ
せるのが一般である。なお、金属粒子の入射方向と柱状
結晶粒子の成長方向は比例関係にあるが一致しないの
で、本明細書では方向を定めるのに金属粒子の入射方向
を使用することにする。
本発明の好ましい実施例では最小入射角は40度以下、
好ましくは10〜40度、更に好ましくは10〜30度である。
また最大入射角は90度以下である。最小入射角をこのよ
うに選定する理由は斜め蒸着法の利点を保ちながら強磁
性金属薄膜の密度を高めて緻密化し耐食性を上昇させる
ことにあり、また記録媒体の平面性を高くするためであ
る。すなわち最小入射角及び最大入射角を小さく押える
ことにより蒸着効率を上げ、基体のポリエステル等に対
する熱的な損傷効果を最小限度に押えることができるの
である。
次ぎに斜め蒸着の方向は隣接した強磁性金属薄膜間で
法線方向に関して交差することが好ましい。各層内でも
金属粒子の入射方向が変化するため必ずしも全部の隣接
強磁性金属薄膜の柱状結晶粒の成長方向が交差する必要
はないが、最上層とその隣接層又は1層おいた層との間
では交差する必要がある。これにより電磁変換特性の向
上が見られる。
以下に本発明の実施例を述べる。
参考例1、2、3、6及び比較例1〜8 厚さ7μのポリエチレンテレフタレートを円筒上冷却
キャンの周面に添わせて移動させ、アルゴンの10-4とし
たチャンバー内でCo80%のCo−Ni合金を溶解し、各層と
も最大入射角90度、最小入射角20度の条件で第1表の様
に入射角の方向を変えて3層の成膜を行なった。なお第
1表中L、M、Uは下層、中間層、最上層の強磁性金属
薄膜をそれぞれ表わす。得られた磁気記録媒体の中心周
波数0.75MH及び7MHzのC/Nを測定した。測定はソニー株
式会社製のA−300ビデオデッキ、ヘッドとしてスパッ
タセンダスト製のものを使用し、走行モードはSPモード
で測定した。C/N比はビデオテープのカラー信号の記録
再生特性の評価に使用される周知の指標である。またエ
ンベロープ平坦度はRF出力の単周期の変動すなわち(RF
min/RFmax)×100%、また瞬間ヘッド目づまり回数は、
ヘッドの瞬間的に回復する目づまりであり、ドロップア
ウトはそのとき数千個発生する。測定はレベルレコーダ
の瞬間的な出力低下を検出して行う。
上表から分かる様に、最上層の厚さが400〜1000Åで
あることが先ず重要であることが分かる。下限より薄い
と高域の出力特性がC/N比1.5以上(比較例8を基準)に
ならない。上限値より厚いと同様に高域のC/N比が低下
するがこれは雑音Nの増加によるものと思われる。下側
の層の厚みは本例ではいずれも同一の厚さに取ってある
が最上層と同等以上の厚さでなければならないことが分
かる。また強磁性金属薄膜の全厚は約2000Å以上である
ときに電磁変換特性が良くなる。これより薄いと低域高
域とも充分なC/Nが取れない。第1表のうち記号1−
1、2−1、3−1、4−1、5−1の試料のC/Nをグ
ラフ化したものを第1図に示す。
さらに2層構造に比べて3層構造にすると磁気ヘッド
に対する当たりが全く異なることが分った。これを実施
例1の試料と第1層、第2層共1000Åの試料とを比較し
たところ、エンベロープ平滑度は本発明で95%、比較試
料で87%であった。さらに瞬間目づまりはそれぞれ平均
1回/200時間及び10回/200時間であった。
また、最小入射角の影響はかなり顕著であり高域及び
低域両方の電磁変換特性を改善するには少なくとも3層
のうち2層の間で金属粒子の入射方向が交差していなけ
ればならない。
実施例1〜2、比較例11〜15 次ぎに先の実施例と同様にして、中間層700Å、最上
層600Å、全厚1500Å〜2000Åの強磁性金属薄膜を有す
る磁気記録媒体を、各層の最小入射角を変えて実験し
た。なお最大入射角は90度とした。得られた磁気記録媒
体のカッピング、初透磁率、初期残留磁束密度、及び60
℃及び相対湿度90%で1週間保存後の残留磁束密度減少
率ΔBrを測定した。カッピングは基体の変形の度合いを
示す指標であり、テープ幅8mmのサンプルを光学式メジ
ャースコープにより測定し高さを測定した。結果を第2
表に示す。
第2表から明らかな様に最小入射角が大きくなるとカ
ッピングが大きくなる。従って、約40度以下の入射角が
必要である。また入射角と高温高湿下の耐久性は同様に
入射角に大きく依存することが分かり、その面でも40度
以下の入射角が重要であることが分かる。これは入射角
を小さく選択することにより強磁性金属薄膜の表面が緻
密化して水分の侵入を防止できることによるものと考え
られる。また2層及び単層の場合と比較するとカッピン
グが著しく少なくなっており、平面性の良い記録媒体を
得るには3層以上の強磁性金属薄膜が必須であることが
分かる。比較例14によると最上層の最小入射角が耐候性
にもっとも影響があることが分かる。
(作用効果) 以上の様に本発明によると、3層構造で膜厚の相互関
係を規定することにより電磁変換特性を向上させること
ができた。更に最小入射角を押えることにより耐久性と
磁気テープの変面性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は3層の強磁性金属薄膜の最上層の膜厚と出力特
性の関係を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大草 貴博 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 小林 康二 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 葉山 真志 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−3223(JP,A)

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】非磁性基体に少なくとも3層のCoを主体と
    する強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて成る
    水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属薄膜
    のうち少なくとも2層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜
    の面の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少
    なくとも2層の各々における前記入射方向は、前記法線
    から測って表面側で10〜40度の最小入射角度を有し、非
    磁性基体側の層でそれよりも小さい最小入射角度を有す
    ることを特徴とする磁気記録媒体。
  2. 【請求項2】強磁性金属薄膜はモル比でCo約80%、Ni約
    20%の合金である前記第1項に記載の磁気記録媒体。
  3. 【請求項3】各強磁性金属薄膜の厚みが400〜1000Åで
    ある前記第1項または第2項に記載の磁気記録媒体。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0477641A3 (en) * 1990-09-11 1993-05-05 Tdk Corporation Magnetic recording medium for digital recording
JPH064850A (ja) * 1992-06-22 1994-01-14 Sony Corp 磁気記録媒体及び磁気記録方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54141608A (en) * 1978-04-26 1979-11-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium
JPS5634139A (en) * 1979-08-22 1981-04-06 Ulvac Corp Magnetic recording medium
JPS5694520A (en) * 1979-12-28 1981-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd Magnetic recording medium
JPS56134317A (en) * 1980-03-25 1981-10-21 Tdk Corp Magnetic recording medium
JPS573223A (en) * 1980-06-03 1982-01-08 Tdk Corp Magnetic recording medium

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GB2227116A (en) 1990-07-18
GB2227116B (en) 1993-01-13
DE3939625A1 (de) 1990-06-07

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