JP2848833B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2848833B2 JP2848833B2 JP63303900A JP30390088A JP2848833B2 JP 2848833 B2 JP2848833 B2 JP 2848833B2 JP 63303900 A JP63303900 A JP 63303900A JP 30390088 A JP30390088 A JP 30390088A JP 2848833 B2 JP2848833 B2 JP 2848833B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ferromagnetic metal
- metal thin
- magnetic recording
- recording medium
- thin film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims description 32
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 claims description 35
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 7
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 43
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 14
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910020630 Co Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002440 Co–Ni Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910000702 sendust Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は磁気記録媒体に関し、更に詳しくはCoを主体
とした強磁性金属薄膜を比磁性基体に支持させた水平記
録型の磁気記録媒体に関する。本発明は特に電磁変換特
性が優れたこの型の磁気記録媒体を提供し、望ましい例
では耐酸化性に優れたこの型の磁気記録媒体に関する。
とした強磁性金属薄膜を比磁性基体に支持させた水平記
録型の磁気記録媒体に関する。本発明は特に電磁変換特
性が優れたこの型の磁気記録媒体を提供し、望ましい例
では耐酸化性に優れたこの型の磁気記録媒体に関する。
(従来技術) 近年磁気記録媒体はますます高密度化しており、中で
もCoを主体としNi等を添加した強磁性金属薄膜を用いた
磁気記録媒体は飽和磁束密度が大きくしかも保磁力が高
いので盛んに研究されている。この型の磁気記録媒体は
種々の方法で製造されるが、特に優れた方法としては斜
め蒸着法により2層以上の多層構造とすることが提案さ
れている。すなわち斜め蒸着法においては強磁性金属薄
膜各層は、蒸着等の気相法により強磁性金属の蒸気を非
磁性基体の表面に特定の角度で差し向けることにより強
磁性金属の柱状結晶粒を他の強磁性金属薄膜の柱状結晶
粒の成長方向と交差した特定の方向に成長させた強磁性
金属膜を形成する(特公昭56−26891、56−42055、63−
21254及び60−37528、特開昭54−603、54−147010、56
−94520、57−3233、57−30228、57−13519、57−14102
7、57−41028、57−141029、57−143730、57−143731、
57−147129、58−14324、58−50628、60−76025、61−1
10333、61−187122、63−10315、63−13117、63−1431
7、63−14320及び63−39127等)。これにより保磁力そ
の他の電磁変換特性、あるいは機械特性が向上するがな
お不十分であった。本発明者はこのうちの水平記録用の
磁気記録媒体を種々の点から検討したところ各強磁性薄
膜における柱状粒子の成長方向と相互関係、厚さと相互
関係の検討が充分でなく、電磁変換特性及び耐久性が不
十分であったことを見出した。
もCoを主体としNi等を添加した強磁性金属薄膜を用いた
磁気記録媒体は飽和磁束密度が大きくしかも保磁力が高
いので盛んに研究されている。この型の磁気記録媒体は
種々の方法で製造されるが、特に優れた方法としては斜
め蒸着法により2層以上の多層構造とすることが提案さ
れている。すなわち斜め蒸着法においては強磁性金属薄
膜各層は、蒸着等の気相法により強磁性金属の蒸気を非
磁性基体の表面に特定の角度で差し向けることにより強
磁性金属の柱状結晶粒を他の強磁性金属薄膜の柱状結晶
粒の成長方向と交差した特定の方向に成長させた強磁性
金属膜を形成する(特公昭56−26891、56−42055、63−
21254及び60−37528、特開昭54−603、54−147010、56
−94520、57−3233、57−30228、57−13519、57−14102
7、57−41028、57−141029、57−143730、57−143731、
57−147129、58−14324、58−50628、60−76025、61−1
10333、61−187122、63−10315、63−13117、63−1431
7、63−14320及び63−39127等)。これにより保磁力そ
の他の電磁変換特性、あるいは機械特性が向上するがな
お不十分であった。本発明者はこのうちの水平記録用の
磁気記録媒体を種々の点から検討したところ各強磁性薄
膜における柱状粒子の成長方向と相互関係、厚さと相互
関係の検討が充分でなく、電磁変換特性及び耐久性が不
十分であったことを見出した。
このような問題点を解決するために本出願人は柱状粒
子の成長方向が交差する2層のCo−Ni系強磁性金属薄膜
を有する磁気記録媒体において、上層を薄く下層を厚く
することにより電磁変換特性及び耐久性を改善し更に走
行性を改善した(特開昭、63−9015)。しかし走行性と
耐久性は向上するものの電磁変換特性の向上は不十分で
ある。他の試みとして同様な2層型電磁記録媒体におい
て最小入射角(各強磁性金属薄膜層の最終蒸着部分にお
ける金属粒子の入射方向)を調整することにより電磁変
換特性と耐久性を向上することを提案した(特開昭63−
10314)。しかし上層の最小入射角が比較的大きいこと
及び2層であることにより耐久性とくに高温高湿下の耐
久性に劣りまた電磁変換特性が充分でなかった。
子の成長方向が交差する2層のCo−Ni系強磁性金属薄膜
を有する磁気記録媒体において、上層を薄く下層を厚く
することにより電磁変換特性及び耐久性を改善し更に走
行性を改善した(特開昭、63−9015)。しかし走行性と
耐久性は向上するものの電磁変換特性の向上は不十分で
ある。他の試みとして同様な2層型電磁記録媒体におい
て最小入射角(各強磁性金属薄膜層の最終蒸着部分にお
ける金属粒子の入射方向)を調整することにより電磁変
換特性と耐久性を向上することを提案した(特開昭63−
10314)。しかし上層の最小入射角が比較的大きいこと
及び2層であることにより耐久性とくに高温高湿下の耐
久性に劣りまた電磁変換特性が充分でなかった。
更に3層以上の強磁性金属薄膜を有する斜め蒸着型の
磁気記録媒体では各強磁性金属の厚さの検討がなくまた
金属粒子の入射角が大きすぎるために充分な電磁変換特
性を得ることができなかったりあるいは耐湿耐温度性に
劣る問題(特開昭56−134317)、各層がほぼ同一の500
〜700Åの厚さを有すると共に金属粒子の入射角が各層
とも22−72度と大きい角度を有するために耐食性に劣る
問題(特開昭53−60205)、最上層の強磁性金属薄膜を
酸化して酸化物にして耐久性を増すと酸化物による電磁
変換特性の低下が生じる問題(特開昭63−39127、特開
昭63−10315)などがある。
磁気記録媒体では各強磁性金属の厚さの検討がなくまた
金属粒子の入射角が大きすぎるために充分な電磁変換特
性を得ることができなかったりあるいは耐湿耐温度性に
劣る問題(特開昭56−134317)、各層がほぼ同一の500
〜700Åの厚さを有すると共に金属粒子の入射角が各層
とも22−72度と大きい角度を有するために耐食性に劣る
問題(特開昭53−60205)、最上層の強磁性金属薄膜を
酸化して酸化物にして耐久性を増すと酸化物による電磁
変換特性の低下が生じる問題(特開昭63−39127、特開
昭63−10315)などがある。
(発明の目的) 本発明の目的は多層の強磁性金属薄膜を有する斜め蒸
着型磁気記録媒体において電磁変換特性を向上すること
にあり、他の目的は更にこれに加えて耐候性を改善する
ことを目的とする。
着型磁気記録媒体において電磁変換特性を向上すること
にあり、他の目的は更にこれに加えて耐候性を改善する
ことを目的とする。
(発明の構成の概要) 本発明は、非磁性基体に少なくとも3層のCoを主体と
する強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて成る
水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属薄膜
のうち少なくとも2層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜
の面の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少
なくとも2層の各々における前記入射方向は、前記法線
から測って表面側で10〜40度の最小入射角度を有し、非
磁性基体側の層でそれよりも小さい最小入射角度を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。好ましく
は、強磁性金属薄膜はモル比でCo約80%、Ni約20%の合
金であり、さらに好ましくは、各強磁性金属薄膜の厚み
が400〜1000Åである。
する強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて成る
水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属薄膜
のうち少なくとも2層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜
の面の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少
なくとも2層の各々における前記入射方向は、前記法線
から測って表面側で10〜40度の最小入射角度を有し、非
磁性基体側の層でそれよりも小さい最小入射角度を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体を提供する。好ましく
は、強磁性金属薄膜はモル比でCo約80%、Ni約20%の合
金であり、さらに好ましくは、各強磁性金属薄膜の厚み
が400〜1000Åである。
(発明の作用効果の概要) 本発明によれば、3層構造にして逆方向の成分を持た
せながら最上層の磁性層の厚みをコントロールすること
により7.0MHzなどの高域出力を向上させることができ、
また磁性層の全厚を厚くすることにより0.75MHzなどの
低域出力も高くすることができる。従来の多層構造では
同一の全厚でも高い出力は期待できない。
せながら最上層の磁性層の厚みをコントロールすること
により7.0MHzなどの高域出力を向上させることができ、
また磁性層の全厚を厚くすることにより0.75MHzなどの
低域出力も高くすることができる。従来の多層構造では
同一の全厚でも高い出力は期待できない。
(発明の具体的な構成) 次ぎに本発明を詳しく説明する。
本発明で3層構造の強磁性金属薄膜を有する型の磁気
記録媒体に使用する強磁性金属材料としてはCoを主体と
する合金である。特にCo−Ni合金、中でもCoがモル比で
約80%、Niが約20%より成る合金が好適である。場合に
より10%までの少量のCrを含有していても良い。場合に
より少量の酸素を表面層に含有させて耐久性を増すこと
も出来る。その他の金属成分を含有させても良い(特開
昭63−10315等に記載の金属が使用可能)。
記録媒体に使用する強磁性金属材料としてはCoを主体と
する合金である。特にCo−Ni合金、中でもCoがモル比で
約80%、Niが約20%より成る合金が好適である。場合に
より10%までの少量のCrを含有していても良い。場合に
より少量の酸素を表面層に含有させて耐久性を増すこと
も出来る。その他の金属成分を含有させても良い(特開
昭63−10315等に記載の金属が使用可能)。
各層の強磁性金属薄膜の厚みは約400〜1000Åにする
ことが好ましい。好ましくは最上層から下層に向けて厚
さが増すことである。最上層の厚さが400Åより薄くな
ると7.0MHzなどの高域信号の記録が充分にできなくなり
出力が低下する。一方1000Åよりも厚くなると雑音が増
えて信号体雑音比が低下する。強磁性金属薄膜の全厚は
2000Å以上にする。これにより0.75MHzにおける出力を
充分に大きくすることができる。
ことが好ましい。好ましくは最上層から下層に向けて厚
さが増すことである。最上層の厚さが400Åより薄くな
ると7.0MHzなどの高域信号の記録が充分にできなくなり
出力が低下する。一方1000Åよりも厚くなると雑音が増
えて信号体雑音比が低下する。強磁性金属薄膜の全厚は
2000Å以上にする。これにより0.75MHzにおける出力を
充分に大きくすることができる。
3層以上の強磁性金属薄膜はそれぞれ斜め蒸着法によ
り製作される。斜め蒸着装置及び方法は上に引用した各
種の文献に記載されているのでそれらの任意のものを採
用すれば良いのでここでは詳述しない。蒸着は一般に回
転するドラムの表面にポリエチレンテレフタレート等の
フイルム(特開昭63−10315に記載の各種材料が使用可
能)を添わせて送りながら一個以上の定置金属源から斜
め蒸着をするものであるが、蒸発金属粒子のフイルムの
法線に対して初期の最大入射角から最終の最小入射角に
及ぶ蒸着を行ない柱状粒子が弧状に整列する様に成長さ
せるのが一般である。なお、金属粒子の入射方向と柱状
結晶粒子の成長方向は比例関係にあるが一致しないの
で、本明細書では方向を定めるのに金属粒子の入射方向
を使用することにする。
り製作される。斜め蒸着装置及び方法は上に引用した各
種の文献に記載されているのでそれらの任意のものを採
用すれば良いのでここでは詳述しない。蒸着は一般に回
転するドラムの表面にポリエチレンテレフタレート等の
フイルム(特開昭63−10315に記載の各種材料が使用可
能)を添わせて送りながら一個以上の定置金属源から斜
め蒸着をするものであるが、蒸発金属粒子のフイルムの
法線に対して初期の最大入射角から最終の最小入射角に
及ぶ蒸着を行ない柱状粒子が弧状に整列する様に成長さ
せるのが一般である。なお、金属粒子の入射方向と柱状
結晶粒子の成長方向は比例関係にあるが一致しないの
で、本明細書では方向を定めるのに金属粒子の入射方向
を使用することにする。
本発明の好ましい実施例では最小入射角は40度以下、
好ましくは10〜40度、更に好ましくは10〜30度である。
また最大入射角は90度以下である。最小入射角をこのよ
うに選定する理由は斜め蒸着法の利点を保ちながら強磁
性金属薄膜の密度を高めて緻密化し耐食性を上昇させる
ことにあり、また記録媒体の平面性を高くするためであ
る。すなわち最小入射角及び最大入射角を小さく押える
ことにより蒸着効率を上げ、基体のポリエステル等に対
する熱的な損傷効果を最小限度に押えることができるの
である。
好ましくは10〜40度、更に好ましくは10〜30度である。
また最大入射角は90度以下である。最小入射角をこのよ
うに選定する理由は斜め蒸着法の利点を保ちながら強磁
性金属薄膜の密度を高めて緻密化し耐食性を上昇させる
ことにあり、また記録媒体の平面性を高くするためであ
る。すなわち最小入射角及び最大入射角を小さく押える
ことにより蒸着効率を上げ、基体のポリエステル等に対
する熱的な損傷効果を最小限度に押えることができるの
である。
次ぎに斜め蒸着の方向は隣接した強磁性金属薄膜間で
法線方向に関して交差することが好ましい。各層内でも
金属粒子の入射方向が変化するため必ずしも全部の隣接
強磁性金属薄膜の柱状結晶粒の成長方向が交差する必要
はないが、最上層とその隣接層又は1層おいた層との間
では交差する必要がある。これにより電磁変換特性の向
上が見られる。
法線方向に関して交差することが好ましい。各層内でも
金属粒子の入射方向が変化するため必ずしも全部の隣接
強磁性金属薄膜の柱状結晶粒の成長方向が交差する必要
はないが、最上層とその隣接層又は1層おいた層との間
では交差する必要がある。これにより電磁変換特性の向
上が見られる。
以下に本発明の実施例を述べる。
参考例1、2、3、6及び比較例1〜8 厚さ7μのポリエチレンテレフタレートを円筒上冷却
キャンの周面に添わせて移動させ、アルゴンの10-4とし
たチャンバー内でCo80%のCo−Ni合金を溶解し、各層と
も最大入射角90度、最小入射角20度の条件で第1表の様
に入射角の方向を変えて3層の成膜を行なった。なお第
1表中L、M、Uは下層、中間層、最上層の強磁性金属
薄膜をそれぞれ表わす。得られた磁気記録媒体の中心周
波数0.75MH及び7MHzのC/Nを測定した。測定はソニー株
式会社製のA−300ビデオデッキ、ヘッドとしてスパッ
タセンダスト製のものを使用し、走行モードはSPモード
で測定した。C/N比はビデオテープのカラー信号の記録
再生特性の評価に使用される周知の指標である。またエ
ンベロープ平坦度はRF出力の単周期の変動すなわち(RF
min/RFmax)×100%、また瞬間ヘッド目づまり回数は、
ヘッドの瞬間的に回復する目づまりであり、ドロップア
ウトはそのとき数千個発生する。測定はレベルレコーダ
の瞬間的な出力低下を検出して行う。
キャンの周面に添わせて移動させ、アルゴンの10-4とし
たチャンバー内でCo80%のCo−Ni合金を溶解し、各層と
も最大入射角90度、最小入射角20度の条件で第1表の様
に入射角の方向を変えて3層の成膜を行なった。なお第
1表中L、M、Uは下層、中間層、最上層の強磁性金属
薄膜をそれぞれ表わす。得られた磁気記録媒体の中心周
波数0.75MH及び7MHzのC/Nを測定した。測定はソニー株
式会社製のA−300ビデオデッキ、ヘッドとしてスパッ
タセンダスト製のものを使用し、走行モードはSPモード
で測定した。C/N比はビデオテープのカラー信号の記録
再生特性の評価に使用される周知の指標である。またエ
ンベロープ平坦度はRF出力の単周期の変動すなわち(RF
min/RFmax)×100%、また瞬間ヘッド目づまり回数は、
ヘッドの瞬間的に回復する目づまりであり、ドロップア
ウトはそのとき数千個発生する。測定はレベルレコーダ
の瞬間的な出力低下を検出して行う。
上表から分かる様に、最上層の厚さが400〜1000Åで
あることが先ず重要であることが分かる。下限より薄い
と高域の出力特性がC/N比1.5以上(比較例8を基準)に
ならない。上限値より厚いと同様に高域のC/N比が低下
するがこれは雑音Nの増加によるものと思われる。下側
の層の厚みは本例ではいずれも同一の厚さに取ってある
が最上層と同等以上の厚さでなければならないことが分
かる。また強磁性金属薄膜の全厚は約2000Å以上である
ときに電磁変換特性が良くなる。これより薄いと低域高
域とも充分なC/Nが取れない。第1表のうち記号1−
1、2−1、3−1、4−1、5−1の試料のC/Nをグ
ラフ化したものを第1図に示す。
あることが先ず重要であることが分かる。下限より薄い
と高域の出力特性がC/N比1.5以上(比較例8を基準)に
ならない。上限値より厚いと同様に高域のC/N比が低下
するがこれは雑音Nの増加によるものと思われる。下側
の層の厚みは本例ではいずれも同一の厚さに取ってある
が最上層と同等以上の厚さでなければならないことが分
かる。また強磁性金属薄膜の全厚は約2000Å以上である
ときに電磁変換特性が良くなる。これより薄いと低域高
域とも充分なC/Nが取れない。第1表のうち記号1−
1、2−1、3−1、4−1、5−1の試料のC/Nをグ
ラフ化したものを第1図に示す。
さらに2層構造に比べて3層構造にすると磁気ヘッド
に対する当たりが全く異なることが分った。これを実施
例1の試料と第1層、第2層共1000Åの試料とを比較し
たところ、エンベロープ平滑度は本発明で95%、比較試
料で87%であった。さらに瞬間目づまりはそれぞれ平均
1回/200時間及び10回/200時間であった。
に対する当たりが全く異なることが分った。これを実施
例1の試料と第1層、第2層共1000Åの試料とを比較し
たところ、エンベロープ平滑度は本発明で95%、比較試
料で87%であった。さらに瞬間目づまりはそれぞれ平均
1回/200時間及び10回/200時間であった。
また、最小入射角の影響はかなり顕著であり高域及び
低域両方の電磁変換特性を改善するには少なくとも3層
のうち2層の間で金属粒子の入射方向が交差していなけ
ればならない。
低域両方の電磁変換特性を改善するには少なくとも3層
のうち2層の間で金属粒子の入射方向が交差していなけ
ればならない。
実施例1〜2、比較例11〜15 次ぎに先の実施例と同様にして、中間層700Å、最上
層600Å、全厚1500Å〜2000Åの強磁性金属薄膜を有す
る磁気記録媒体を、各層の最小入射角を変えて実験し
た。なお最大入射角は90度とした。得られた磁気記録媒
体のカッピング、初透磁率、初期残留磁束密度、及び60
℃及び相対湿度90%で1週間保存後の残留磁束密度減少
率ΔBrを測定した。カッピングは基体の変形の度合いを
示す指標であり、テープ幅8mmのサンプルを光学式メジ
ャースコープにより測定し高さを測定した。結果を第2
表に示す。
層600Å、全厚1500Å〜2000Åの強磁性金属薄膜を有す
る磁気記録媒体を、各層の最小入射角を変えて実験し
た。なお最大入射角は90度とした。得られた磁気記録媒
体のカッピング、初透磁率、初期残留磁束密度、及び60
℃及び相対湿度90%で1週間保存後の残留磁束密度減少
率ΔBrを測定した。カッピングは基体の変形の度合いを
示す指標であり、テープ幅8mmのサンプルを光学式メジ
ャースコープにより測定し高さを測定した。結果を第2
表に示す。
第2表から明らかな様に最小入射角が大きくなるとカ
ッピングが大きくなる。従って、約40度以下の入射角が
必要である。また入射角と高温高湿下の耐久性は同様に
入射角に大きく依存することが分かり、その面でも40度
以下の入射角が重要であることが分かる。これは入射角
を小さく選択することにより強磁性金属薄膜の表面が緻
密化して水分の侵入を防止できることによるものと考え
られる。また2層及び単層の場合と比較するとカッピン
グが著しく少なくなっており、平面性の良い記録媒体を
得るには3層以上の強磁性金属薄膜が必須であることが
分かる。比較例14によると最上層の最小入射角が耐候性
にもっとも影響があることが分かる。
ッピングが大きくなる。従って、約40度以下の入射角が
必要である。また入射角と高温高湿下の耐久性は同様に
入射角に大きく依存することが分かり、その面でも40度
以下の入射角が重要であることが分かる。これは入射角
を小さく選択することにより強磁性金属薄膜の表面が緻
密化して水分の侵入を防止できることによるものと考え
られる。また2層及び単層の場合と比較するとカッピン
グが著しく少なくなっており、平面性の良い記録媒体を
得るには3層以上の強磁性金属薄膜が必須であることが
分かる。比較例14によると最上層の最小入射角が耐候性
にもっとも影響があることが分かる。
(作用効果) 以上の様に本発明によると、3層構造で膜厚の相互関
係を規定することにより電磁変換特性を向上させること
ができた。更に最小入射角を押えることにより耐久性と
磁気テープの変面性を向上することができる。
係を規定することにより電磁変換特性を向上させること
ができた。更に最小入射角を押えることにより耐久性と
磁気テープの変面性を向上することができる。
第1図は3層の強磁性金属薄膜の最上層の膜厚と出力特
性の関係を示すグラフである。
性の関係を示すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大草 貴博 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 小林 康二 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (72)発明者 葉山 真志 東京都中央区日本橋1丁目13番1号 テ ィーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−3223(JP,A)
Claims (3)
- 【請求項1】非磁性基体に少なくとも3層のCoを主体と
する強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて成る
水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属薄膜
のうち少なくとも2層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜
の面の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少
なくとも2層の各々における前記入射方向は、前記法線
から測って表面側で10〜40度の最小入射角度を有し、非
磁性基体側の層でそれよりも小さい最小入射角度を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項2】強磁性金属薄膜はモル比でCo約80%、Ni約
20%の合金である前記第1項に記載の磁気記録媒体。 - 【請求項3】各強磁性金属薄膜の厚みが400〜1000Åで
ある前記第1項または第2項に記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63303900A JP2848833B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 磁気記録媒体 |
DE3939625A DE3939625C2 (de) | 1988-12-02 | 1989-11-30 | Verfahren zum Herstellen eines magnetischen Aufzeichnungsträgers |
GB8927275A GB2227116B (en) | 1988-12-02 | 1989-12-01 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63303900A JP2848833B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 磁気記録媒体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31661897A Division JP2882524B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02152007A JPH02152007A (ja) | 1990-06-12 |
JP2848833B2 true JP2848833B2 (ja) | 1999-01-20 |
Family
ID=17926620
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63303900A Expired - Fee Related JP2848833B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 磁気記録媒体 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2848833B2 (ja) |
DE (1) | DE3939625C2 (ja) |
GB (1) | GB2227116B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0477641A3 (en) * | 1990-09-11 | 1993-05-05 | Tdk Corporation | Magnetic recording medium for digital recording |
JPH064850A (ja) * | 1992-06-22 | 1994-01-14 | Sony Corp | 磁気記録媒体及び磁気記録方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54141608A (en) * | 1978-04-26 | 1979-11-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
JPS5634139A (en) * | 1979-08-22 | 1981-04-06 | Ulvac Corp | Magnetic recording medium |
JPS5694520A (en) * | 1979-12-28 | 1981-07-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
JPS56134317A (en) * | 1980-03-25 | 1981-10-21 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
JPS573223A (en) * | 1980-06-03 | 1982-01-08 | Tdk Corp | Magnetic recording medium |
-
1988
- 1988-12-02 JP JP63303900A patent/JP2848833B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1989
- 1989-11-30 DE DE3939625A patent/DE3939625C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1989-12-01 GB GB8927275A patent/GB2227116B/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3939625C2 (de) | 1999-11-11 |
JPH02152007A (ja) | 1990-06-12 |
GB8927275D0 (en) | 1990-01-31 |
GB2227116A (en) | 1990-07-18 |
GB2227116B (en) | 1993-01-13 |
DE3939625A1 (de) | 1990-06-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH0573881A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
US5900323A (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording drive | |
JP2897840B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2848833B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH03185623A (ja) | 蒸着磁気記録媒体 | |
JP3665221B2 (ja) | 面内磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
JP2882524B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP3359706B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP2625169B2 (ja) | 磁気ディスク媒体の製造方法 | |
JPH05114128A (ja) | メタル薄膜型磁気デイスク媒体およびその製造方法 | |
JPH06243451A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録装置 | |
JPH0737237A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記録装置 | |
JP3434845B2 (ja) | 磁気記録媒体、該磁気記録媒体の製造方法及び磁気記憶装置 | |
JPS61187122A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JP3491778B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH08273140A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
JP2549769B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0426914A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0766484B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
JP2977618B2 (ja) | 磁気記録方法 | |
JP3429777B2 (ja) | 磁気記録媒体およびそれを用いた磁気記憶装置 | |
JPH0567320A (ja) | 磁気記録媒体 | |
JPH0760505B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録方法 | |
JPH05120663A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および製造装置 | |
JPH07121857A (ja) | 磁気記録媒体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |