JP2882524B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に関
し、更に詳しくはＣｏを主体とした強磁性金属薄膜を非
磁性基体に支持させた水平記録型の磁気記録媒体に関す
る。本発明は特に電磁変換特性が優れたこの型の磁気記
録媒体を提供し、望ましい例では耐酸化性に優れたこの
型の磁気記録媒体に関する。
し、更に詳しくはＣｏを主体とした強磁性金属薄膜を非
磁性基体に支持させた水平記録型の磁気記録媒体に関す
る。本発明は特に電磁変換特性が優れたこの型の磁気記
録媒体を提供し、望ましい例では耐酸化性に優れたこの
型の磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年磁気記録媒体はますます高密度化し
ており、中でもＣｏを主体としＮｉ等を添加した強磁性
金属薄膜を用いた磁気記録媒体は飽和磁束密度が大きく
しかも保磁力が高いので盛んに研究されている。この型
の磁気記録媒体は種々の方法で製造されるが、特に優れ
た方法としては斜め蒸着法により２層以上の多層構造と
することが提案されている。すなわち斜め蒸着法におい
ては強磁性金属薄膜各層は、蒸着等の気相法により強磁
性金属の蒸気を非磁性基体の表面に特定の角度で差し向
けることにより強磁性金属の柱状結晶粒を他の強磁性金
属薄膜の柱状結晶粒の成長方向と交差した特定の方向に
成長させた強磁性金属膜を形成する（特公昭 56-26891、
56-42055、63-21254 及び 60-37528、特開昭 54-603、 54-
147010、 56-94520、57-3233、57-30228、57-13519、57-1410
27、57-41028、57-141029、 57-143730、 57-143731、 57-14
7129、58-14324、58-50628、60-76025、61-110333、61-18712
2、63-10315、63-13117、63-14317、63-14320 及び 63-3912
7 等）。これにより保磁力その他の電磁変換特性、ある
いは機械特性が向上するがなお不十分であった。本発明
者はこのうちの水平記録用の磁気記録媒体を種々の点か
ら検討したところ各強磁性薄膜における柱状粒子の成長
方向と相互関係、厚さと相互関係の検討が充分でなく、
電磁変換特性及び耐久性が不十分であったことを見出し
た。
ており、中でもＣｏを主体としＮｉ等を添加した強磁性
金属薄膜を用いた磁気記録媒体は飽和磁束密度が大きく
しかも保磁力が高いので盛んに研究されている。この型
の磁気記録媒体は種々の方法で製造されるが、特に優れ
た方法としては斜め蒸着法により２層以上の多層構造と
することが提案されている。すなわち斜め蒸着法におい
ては強磁性金属薄膜各層は、蒸着等の気相法により強磁
性金属の蒸気を非磁性基体の表面に特定の角度で差し向
けることにより強磁性金属の柱状結晶粒を他の強磁性金
属薄膜の柱状結晶粒の成長方向と交差した特定の方向に
成長させた強磁性金属膜を形成する（特公昭 56-26891、
56-42055、63-21254 及び 60-37528、特開昭 54-603、 54-
147010、 56-94520、57-3233、57-30228、57-13519、57-1410
27、57-41028、57-141029、 57-143730、 57-143731、 57-14
7129、58-14324、58-50628、60-76025、61-110333、61-18712
2、63-10315、63-13117、63-14317、63-14320 及び 63-3912
7 等）。これにより保磁力その他の電磁変換特性、ある
いは機械特性が向上するがなお不十分であった。本発明
者はこのうちの水平記録用の磁気記録媒体を種々の点か
ら検討したところ各強磁性薄膜における柱状粒子の成長
方向と相互関係、厚さと相互関係の検討が充分でなく、
電磁変換特性及び耐久性が不十分であったことを見出し
た。
【０００３】このような問題点を解決するために本出願
人は柱状粒子の成長方向が交差する２層のＣｏ−Ｎｉ系
強磁性金属薄膜を有する磁気記録媒体において、上層を
薄く下層を厚くすることにより電磁変換特性及び耐久性
を改善し更に走行性を改善した（特開昭63-9015 ）。し
かし走行性と耐久性は向上するものの電磁変換特性の向
上は不十分である。他の試みとして同様な２層型磁気記
録媒体において最小入射角（各強磁性金属薄膜層の最終
蒸着部分における金属粒子の入射方向）を調整すること
により電磁変換特性と耐久性を向上することを提案した
（特開昭63-10314）。しかし上層の最小入射角が比較的
大きいこと及び２層であることにより耐久性とくに高温
高湿下の耐久性に劣りまた電磁変換特性が充分でなかっ
た。
人は柱状粒子の成長方向が交差する２層のＣｏ−Ｎｉ系
強磁性金属薄膜を有する磁気記録媒体において、上層を
薄く下層を厚くすることにより電磁変換特性及び耐久性
を改善し更に走行性を改善した（特開昭63-9015 ）。し
かし走行性と耐久性は向上するものの電磁変換特性の向
上は不十分である。他の試みとして同様な２層型磁気記
録媒体において最小入射角（各強磁性金属薄膜層の最終
蒸着部分における金属粒子の入射方向）を調整すること
により電磁変換特性と耐久性を向上することを提案した
（特開昭63-10314）。しかし上層の最小入射角が比較的
大きいこと及び２層であることにより耐久性とくに高温
高湿下の耐久性に劣りまた電磁変換特性が充分でなかっ
た。
【０００４】更に３層以上の強磁性金属薄膜を有する斜
め蒸着型の磁気記録媒体では各強磁性金属の厚さの検討
がなくまた金属粒子の入射角が大きすぎるために充分な
電磁変換特性を得ることができなかったりあるいは耐湿
耐温度性に劣る問題（特開昭56-134317 )、各層がほぼ
同一の５００〜７００Åの厚さを有すると共に金属粒子
の入射角が各層とも22-72 度と大きい角度を有するため
に耐食性に劣る問題（特開昭53-60205）、最上層の強磁
性金属薄膜を酸化して酸化物にして耐久性を増すと酸化
物による電磁変換特性の低下が生じる問題（特開昭 63-
39127、特開昭63-10315）などがある。
め蒸着型の磁気記録媒体では各強磁性金属の厚さの検討
がなくまた金属粒子の入射角が大きすぎるために充分な
電磁変換特性を得ることができなかったりあるいは耐湿
耐温度性に劣る問題（特開昭56-134317 )、各層がほぼ
同一の５００〜７００Åの厚さを有すると共に金属粒子
の入射角が各層とも22-72 度と大きい角度を有するため
に耐食性に劣る問題（特開昭53-60205）、最上層の強磁
性金属薄膜を酸化して酸化物にして耐久性を増すと酸化
物による電磁変換特性の低下が生じる問題（特開昭 63-
39127、特開昭63-10315）などがある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は多層の強磁性
金属薄膜を有する斜め蒸着型磁気記録媒体において電磁
変換特性を向上すること及び耐候性を改善することを課
題とする。
金属薄膜を有する斜め蒸着型磁気記録媒体において電磁
変換特性を向上すること及び耐候性を改善することを課
題とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、非磁性基体に
少なくとも３層のＣｏを主体とする強磁性金属薄膜を順
次互いに隣接させて設けて成る水平記録型磁気記録媒体
において、前記強磁性金属薄膜はそれぞれ厚さが４００
〜１０００Åであり、前記強磁性金属薄膜のうち少なく
とも隣接する２層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜の面
の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少なく
とも２層の各々における前記入射方向は、前記法線から
測って前記少なくとも２層の各々の表面付近で１０〜４
０度の最小入射角度を有しいることを特徴とする磁気記
録媒体を提供する。好ましくは、強磁性金属薄膜はモル
比でＣｏ約８０％、Ｎｉ約２０％の合金であり、好まし
くは、各強磁性金属薄膜の厚みが４００〜１０００Åで
ある。良好な特性は、前記少なくとも隣接する２層の強
磁性金属薄膜の一方に隣接する他の層の入射方向が該一
方の層の入射方向と逆の方向にあることであるが、前記
少なくとも隣接する２層の強磁性金属薄膜の一方に隣接
する他の層の入射方向が該一方の層の入射方向と同じ方
向にあっても良い。また、耐食性を向上させるには支持
基体側の強磁性金属薄膜の層を上記角度の範囲内でさら
に小さい最小入射角度に設定することである。
少なくとも３層のＣｏを主体とする強磁性金属薄膜を順
次互いに隣接させて設けて成る水平記録型磁気記録媒体
において、前記強磁性金属薄膜はそれぞれ厚さが４００
〜１０００Åであり、前記強磁性金属薄膜のうち少なく
とも隣接する２層の蒸着入射方向が強磁性金属薄膜の面
の法線に関して互いに逆方向になっており、前記少なく
とも２層の各々における前記入射方向は、前記法線から
測って前記少なくとも２層の各々の表面付近で１０〜４
０度の最小入射角度を有しいることを特徴とする磁気記
録媒体を提供する。好ましくは、強磁性金属薄膜はモル
比でＣｏ約８０％、Ｎｉ約２０％の合金であり、好まし
くは、各強磁性金属薄膜の厚みが４００〜１０００Åで
ある。良好な特性は、前記少なくとも隣接する２層の強
磁性金属薄膜の一方に隣接する他の層の入射方向が該一
方の層の入射方向と逆の方向にあることであるが、前記
少なくとも隣接する２層の強磁性金属薄膜の一方に隣接
する他の層の入射方向が該一方の層の入射方向と同じ方
向にあっても良い。また、耐食性を向上させるには支持
基体側の強磁性金属薄膜の層を上記角度の範囲内でさら
に小さい最小入射角度に設定することである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、３層以上の構造にして逆方向
の成分を持たせながら最上層の磁性層の厚みをコントロ
ールすることにより7.0 MHz などの高域出力を向上させ
ることができ、また磁性層の全厚を厚くすることにより
0.75 MHzなどの低域出力も高くすることができる。従来
の多層構造では同一の全厚でも高い出力は期待できな
い。本発明は最小入射角を規定することにより磁性層の
耐食性を向上させることができる。
の成分を持たせながら最上層の磁性層の厚みをコントロ
ールすることにより7.0 MHz などの高域出力を向上させ
ることができ、また磁性層の全厚を厚くすることにより
0.75 MHzなどの低域出力も高くすることができる。従来
の多層構造では同一の全厚でも高い出力は期待できな
い。本発明は最小入射角を規定することにより磁性層の
耐食性を向上させることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】次ぎに本発明を詳しく説明する。
本発明で３層構造の強磁性金属薄膜を有する型の磁気記
録媒体に使用する強磁性金属材料としてはＣｏを主体と
する合金である。特にＣｏ−Ｎｉ合金、中でもＣｏがモ
ル比で約８０％、Ｎｉが約２０％より成る合金が好適で
ある。場合により１０％までの少量のＣｒを含有してい
ても良い。場合により少量の酸素を表面層に含有させて
耐久性を増すことも出来る。その他の金属成分を含有さ
せても良い（特開昭63-10315等に記載の金属が使用可
能）。
本発明で３層構造の強磁性金属薄膜を有する型の磁気記
録媒体に使用する強磁性金属材料としてはＣｏを主体と
する合金である。特にＣｏ−Ｎｉ合金、中でもＣｏがモ
ル比で約８０％、Ｎｉが約２０％より成る合金が好適で
ある。場合により１０％までの少量のＣｒを含有してい
ても良い。場合により少量の酸素を表面層に含有させて
耐久性を増すことも出来る。その他の金属成分を含有さ
せても良い（特開昭63-10315等に記載の金属が使用可
能）。
【０００９】各層の強磁性金属薄膜の厚みは約４００〜
１０００Åにすることが好ましい。好ましくは最上層か
ら下層に向けて厚さが増すことである。最上層の厚さが
４００Åより薄くなると7.0 MHz などの高域信号の記録
が充分にできなくなり出力が低下する。一方１０００Å
よりも厚くなると雑音が増えて信号体雑音比が低下す
る。強磁性金属薄膜の全厚は２０００Å以上にする。こ
れにより0.75MHz における出力を充分に大きくすること
ができる。
１０００Åにすることが好ましい。好ましくは最上層か
ら下層に向けて厚さが増すことである。最上層の厚さが
４００Åより薄くなると7.0 MHz などの高域信号の記録
が充分にできなくなり出力が低下する。一方１０００Å
よりも厚くなると雑音が増えて信号体雑音比が低下す
る。強磁性金属薄膜の全厚は２０００Å以上にする。こ
れにより0.75MHz における出力を充分に大きくすること
ができる。
【００１０】３層以上の強磁性金属薄膜はそれぞれ斜め
蒸着法により製作される。斜め蒸着装置及び方法は上に
引用した各種の文献に記載されているのでそれらの任意
のものを採用すれば良いのでここでは詳述しない。蒸着
は一般に回転するドラムの表面にポリエチレンテレフタ
レート等のフイルム（特開昭63-10315に記載の各種材料
が使用可能）を添わせて送りながら一個以上の定置金属
源から斜め蒸着をするものであるが、蒸発金属粒子のフ
イルムの法線に対して初期の最大入射角から最終の最小
入射角に及ぶ蒸着を行ない図１に図示の様に柱状粒子が
弧状に整列する様に成長させるのが一般である。なお、
金属粒子の入射方向と柱状結晶粒子の成長方向は比例関
係にあるが一致しないので、本明細書では方向を定める
のに金属粒子の入射方向を使用することにする。
蒸着法により製作される。斜め蒸着装置及び方法は上に
引用した各種の文献に記載されているのでそれらの任意
のものを採用すれば良いのでここでは詳述しない。蒸着
は一般に回転するドラムの表面にポリエチレンテレフタ
レート等のフイルム（特開昭63-10315に記載の各種材料
が使用可能）を添わせて送りながら一個以上の定置金属
源から斜め蒸着をするものであるが、蒸発金属粒子のフ
イルムの法線に対して初期の最大入射角から最終の最小
入射角に及ぶ蒸着を行ない図１に図示の様に柱状粒子が
弧状に整列する様に成長させるのが一般である。なお、
金属粒子の入射方向と柱状結晶粒子の成長方向は比例関
係にあるが一致しないので、本明細書では方向を定める
のに金属粒子の入射方向を使用することにする。
【００１１】本発明の好ましい実施例では最小入射角は
４０度以下、好ましくは１０〜４０度、更に好ましくは
１０〜３０度である。また最大入射角は９０度以下であ
る。最小入射角をこのように選定する理由は斜め蒸着法
の利点を保ちながら強磁性金属薄膜の密度を高めて緻密
化し耐食性を上昇させることにあり、また記録媒体の平
面性を高くするためである。すなわち最小入射角及び最
大入射角を小さく押えることにより蒸着効率を上げ、基
体のポリエステル等に対する熱的な損傷効果を最小限度
に押えることができるのである。
４０度以下、好ましくは１０〜４０度、更に好ましくは
１０〜３０度である。また最大入射角は９０度以下であ
る。最小入射角をこのように選定する理由は斜め蒸着法
の利点を保ちながら強磁性金属薄膜の密度を高めて緻密
化し耐食性を上昇させることにあり、また記録媒体の平
面性を高くするためである。すなわち最小入射角及び最
大入射角を小さく押えることにより蒸着効率を上げ、基
体のポリエステル等に対する熱的な損傷効果を最小限度
に押えることができるのである。
【００１２】次ぎに斜め蒸着の方向は隣接した強磁性金
属薄膜間で法線方向に関して交差することが好ましい。
各層内でも金属粒子の入射方向が変化する。少なくとも
２つの隣接強磁性金属薄膜の柱状結晶粒の成長方向は交
差する。これにより電磁変換特性の向上が見られる。
属薄膜間で法線方向に関して交差することが好ましい。
各層内でも金属粒子の入射方向が変化する。少なくとも
２つの隣接強磁性金属薄膜の柱状結晶粒の成長方向は交
差する。これにより電磁変換特性の向上が見られる。
【００１３】以下に本発明の実施例を述べる。 実施例１、２、３、６及び比較例１〜８ 厚さ７μのポリエチレンテレフタレートを円筒上冷却キ
ャンの周面に添わせて移動させ、アルゴンの１０-4とし
たチャンバー内でＣｏ８０％のＣｏ−Ｎｉ合金を溶解
し、各層とも最大入射角９０度、最小入射角２０度の条
件で第１表の様に入射角の方向を変えて３層の成膜を行
なった。なお第１表中Ｌ、Ｍ、Ｕは下層、中間層、最上
層の強磁性金属薄膜をそれぞれ表わす。得られた磁気記
録媒体の中心周波数０．７５ＭＨ及び７ＭＨｚのＣ／Ｎ
を測定した。測定はソニー株式会社製のＡ−３００ビデ
オデッキ、ヘッドとしてスパッタセンダスト製のものを
使用し、走行モードはＳＰモードで測定した。Ｃ／Ｎ比
はビデオテープのカラー信号の記録再生特性の評価に使
用される周知の指標である。またエンベロープ平坦度は
ＲＦ出力の単周期の変動すなわち（ＲＦmin ／ＲＦmax)
×１００％、また瞬間ヘッド目づまり回数は、ヘッドの
瞬間的に回復する目づまりであり、ドロップアウトはそ
のとき数千個発生する。測定はレベルレコーダの瞬間的
な出力低下を検出して行う。
ャンの周面に添わせて移動させ、アルゴンの１０-4とし
たチャンバー内でＣｏ８０％のＣｏ−Ｎｉ合金を溶解
し、各層とも最大入射角９０度、最小入射角２０度の条
件で第１表の様に入射角の方向を変えて３層の成膜を行
なった。なお第１表中Ｌ、Ｍ、Ｕは下層、中間層、最上
層の強磁性金属薄膜をそれぞれ表わす。得られた磁気記
録媒体の中心周波数０．７５ＭＨ及び７ＭＨｚのＣ／Ｎ
を測定した。測定はソニー株式会社製のＡ−３００ビデ
オデッキ、ヘッドとしてスパッタセンダスト製のものを
使用し、走行モードはＳＰモードで測定した。Ｃ／Ｎ比
はビデオテープのカラー信号の記録再生特性の評価に使
用される周知の指標である。またエンベロープ平坦度は
ＲＦ出力の単周期の変動すなわち（ＲＦmin ／ＲＦmax)
×１００％、また瞬間ヘッド目づまり回数は、ヘッドの
瞬間的に回復する目づまりであり、ドロップアウトはそ
のとき数千個発生する。測定はレベルレコーダの瞬間的
な出力低下を検出して行う。
【００１４】
【表１】
【００１５】上表から分かる様に、最上層の厚さが４０
０〜１０００Åであることが先ず重要であることが分か
る。下限より薄いと高域の出力特性がＣ／Ｎ比１．５以
上（比較例８を基準）にならない。上限値より厚いと同
様に高域のＣ／Ｎ比が低下するがこれは雑音Ｎの増加に
よるものと思われる。下側の層の厚みは本例ではいずれ
も同一の厚さに取ってあるが最上層と同等以下の厚さで
なければならないことが分かる。また強磁性金属薄膜の
全厚は約２０００Å以上であるときに電磁変換特性が良
くなる。これより薄いと低域高域とも充分なＣ／Ｎが取
れない。第１表のうち記号１−１、２−１、３−１、４
−１、５−１の試料のＣ／Ｎをグラフ化したものを図１
に示す。
０〜１０００Åであることが先ず重要であることが分か
る。下限より薄いと高域の出力特性がＣ／Ｎ比１．５以
上（比較例８を基準）にならない。上限値より厚いと同
様に高域のＣ／Ｎ比が低下するがこれは雑音Ｎの増加に
よるものと思われる。下側の層の厚みは本例ではいずれ
も同一の厚さに取ってあるが最上層と同等以下の厚さで
なければならないことが分かる。また強磁性金属薄膜の
全厚は約２０００Å以上であるときに電磁変換特性が良
くなる。これより薄いと低域高域とも充分なＣ／Ｎが取
れない。第１表のうち記号１−１、２−１、３−１、４
−１、５−１の試料のＣ／Ｎをグラフ化したものを図１
に示す。
【００１６】さらに２層構造に比べて３層構造にすると
磁気ヘッドに対する当たりが全く異なることが分った。
これを実施例１の試料と第１層、第２層共１０００Åの
試料とを比較したところ、エンベロープ平滑度は本発明
で９５％、比較試料で８７％であった。さらに瞬間目づ
まりはそれぞれ平均１回／２００時間及び１０回／２０
０時間であった。また、最小入射角の影響はかなり顕著
であり高域及び低域両方の電磁変換特性を改善するには
少なくとも３層のうち２層の間で金属粒子の入射方向が
交差していなければならない。
磁気ヘッドに対する当たりが全く異なることが分った。
これを実施例１の試料と第１層、第２層共１０００Åの
試料とを比較したところ、エンベロープ平滑度は本発明
で９５％、比較試料で８７％であった。さらに瞬間目づ
まりはそれぞれ平均１回／２００時間及び１０回／２０
０時間であった。また、最小入射角の影響はかなり顕著
であり高域及び低域両方の電磁変換特性を改善するには
少なくとも３層のうち２層の間で金属粒子の入射方向が
交差していなければならない。
【００１７】実施例９〜１０、比較例１１〜１５ 次ぎに先の実施例と同様にして、中間層７００Å、最上
層６００Å、全厚１５００Å〜２０００Åの強磁性金属
薄膜を有する磁気記録媒体を、各層の最小入射角を変え
て実験した。なお最大入射角は９０度とした。得られた
磁気記録媒体のカッピング、初透磁率、初期残留磁束密
度、及び６０℃及び相対湿度９０％で１週間保存後の残
留磁束密度減少率ΔＢｒを測定した。カッピングは基体
の変形の度合いを示す指標であり、テープ幅８ｍｍのサ
ンプルを光学式メジャースコープにより測定し高さを測
定した。結果を第２表に示す。
層６００Å、全厚１５００Å〜２０００Åの強磁性金属
薄膜を有する磁気記録媒体を、各層の最小入射角を変え
て実験した。なお最大入射角は９０度とした。得られた
磁気記録媒体のカッピング、初透磁率、初期残留磁束密
度、及び６０℃及び相対湿度９０％で１週間保存後の残
留磁束密度減少率ΔＢｒを測定した。カッピングは基体
の変形の度合いを示す指標であり、テープ幅８ｍｍのサ
ンプルを光学式メジャースコープにより測定し高さを測
定した。結果を第２表に示す。
【００１８】
【表２】
【００１９】第２表から明らかな様に最小入射角が大き
くなるとカッピングが大きくなる。従って、約４０度以
下の入射角が必要である。また入射角と高温高湿下の耐
久性は同様に入射角に大きく依存することが分かり、そ
の面でも４０度以下の入射角が重要であることが分か
る。これは入射角を小さく選択することにより強磁性金
属薄膜の表面が緻密化して水分の侵入を防止できること
によるものと考えられる。また２層及び単層の場合と比
較するとカッピングが著しく少なくなっており、平面性
の良い記録媒体を得るには３層以上の強磁性金属薄膜が
必須であることが分かる。比較例１４によると最上層の
最小入射角が耐候性にもっとも影響があることが分か
る。
くなるとカッピングが大きくなる。従って、約４０度以
下の入射角が必要である。また入射角と高温高湿下の耐
久性は同様に入射角に大きく依存することが分かり、そ
の面でも４０度以下の入射角が重要であることが分か
る。これは入射角を小さく選択することにより強磁性金
属薄膜の表面が緻密化して水分の侵入を防止できること
によるものと考えられる。また２層及び単層の場合と比
較するとカッピングが著しく少なくなっており、平面性
の良い記録媒体を得るには３層以上の強磁性金属薄膜が
必須であることが分かる。比較例１４によると最上層の
最小入射角が耐候性にもっとも影響があることが分か
る。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明によると、３層構造
で膜厚の相互関係を規定することにより電磁変換特性を
向上させることができた。更に最小入射角を押えること
により耐久性と磁気テープの平面性を向上することがで
きる。
で膜厚の相互関係を規定することにより電磁変換特性を
向上させることができた。更に最小入射角を押えること
により耐久性と磁気テープの平面性を向上することがで
きる。
【図１】３層の強磁性金属薄膜の最上層の膜厚と出力特
性の関係を示すグラフである。
性の関係を示すグラフである。
フロントページの続き (72)発明者 小林 康二 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (72)発明者 葉山 真志 東京都中央区日本橋一丁目13番１号ティ ーディーケイ株式会社内 (56)参考文献 特開 昭57−3223（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−134317（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/66
Claims (4)
- 【請求項１】 非磁性基体に少なくとも３層のＣｏを主
体とする強磁性金属薄膜を順次互いに隣接させて設けて
成る水平記録型磁気記録媒体において、前記強磁性金属
薄膜はそれぞれ厚さが４００〜１０００Åであり、前記
強磁性金属薄膜のうち少なくとも隣接する２層の蒸着入
射方向が強磁性金属薄膜の面の法線に関して互いに逆方
向になっており、前記少なくとも２層の各々における前
記入射方向は、前記法線から測って前記少なくとも２層
の各々の表面付近で１０〜４０度の最小入射角度を有し
いることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 強磁性金属薄膜はモル比でＣｏ約８０
％、Ｎｉ約２０％の合金である請求項１の磁気記録媒
体。 - 【請求項３】 前記少なくとも隣接する２層の強磁性金
属薄膜の一方に隣接する他の層の入射方向が該一方の層
の入射方向と逆の方向にある、前記請求項１ないし２の
いずれかの磁気記録媒体。 - 【請求項４】 前記少なくとも隣接する２層の強磁性金
属薄膜の一方に隣接する他の層の入射方向が該一方の層
の入射方向と同じ方向にある、前記請求項１ないし３の
いずれかの磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31661897A JP2882524B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31661897A JP2882524B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 磁気記録媒体 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63303900A Division JP2848833B2 (ja) | 1988-12-02 | 1988-12-02 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10116411A JPH10116411A (ja) | 1998-05-06 |
| JP2882524B2 true JP2882524B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=18079073
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31661897A Expired - Fee Related JP2882524B2 (ja) | 1997-11-04 | 1997-11-04 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882524B2 (ja) |
-
1997
- 1997-11-04 JP JP31661897A patent/JP2882524B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH10116411A (ja) | 1998-05-06 |
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