JPH06196323A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06196323A JPH06196323A JP29285592A JP29285592A JPH06196323A JP H06196323 A JPH06196323 A JP H06196323A JP 29285592 A JP29285592 A JP 29285592A JP 29285592 A JP29285592 A JP 29285592A JP H06196323 A JPH06196323 A JP H06196323A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体の保磁力を高めかつ保磁力の角
形比を小さくさせることにより、再生出力、記録密度及
びＳ／Ｎを改善する。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板上に、ＲＦマグネトロンス
パッタ法によりＨｆ添加ＣｏＣｒＴａ系／Ｃｒ膜を形成
する。Ｈｆを１〜９ａｔ％添加することによりＣｏＣｒ
Ｔａ系磁性膜の保磁力が高められかつ保磁力の角形比が
小さくできる。
形比を小さくさせることにより、再生出力、記録密度及
びＳ／Ｎを改善する。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板上に、ＲＦマグネトロンス
パッタ法によりＨｆ添加ＣｏＣｒＴａ系／Ｃｒ膜を形成
する。Ｈｆを１〜９ａｔ％添加することによりＣｏＣｒ
Ｔａ系磁性膜の保磁力が高められかつ保磁力の角形比が
小さくできる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハード磁気ディスク用
の長手薄膜媒体に関するものである。
の長手薄膜媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハード磁気ディスク用の高密度記録媒体
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するため、高出力、高記録密度特性及び高Ｓ
／Ｎ等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力が高く、保
磁力の角形比が小さい必要がある。
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するため、高出力、高記録密度特性及び高Ｓ
／Ｎ等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力が高く、保
磁力の角形比が小さい必要がある。
【０００３】そこで、高保磁力を得るために基板として
ディスク円周方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ
基板を用い、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁性膜
としてＣｏＮｉＣｒ膜、ＣｏＣｒＴａ膜及びＣｏＣｒＨ
ｆ膜等を形成する磁気記録媒体が提案されている。電子
情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１及びＣＰ
Ｍ８８−９２、１９８８年及び特開平２−１０３７１６
号公報あるいは特開平２−１６２５２７号公報、特開平
４−２１９２１号公報参照。
ディスク円周方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ
基板を用い、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁性膜
としてＣｏＮｉＣｒ膜、ＣｏＣｒＴａ膜及びＣｏＣｒＨ
ｆ膜等を形成する磁気記録媒体が提案されている。電子
情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１及びＣＰ
Ｍ８８−９２、１９８８年及び特開平２−１０３７１６
号公報あるいは特開平２−１６２５２７号公報、特開平
４−２１９２１号公報参照。
【０００４】また保磁力の角形比を小さくするために、
ＣｏＮｉＣｒ／Ｃｒ媒体においてＣｒ下地膜の膜厚を厚
くしたり（アイイーイーイー・トランザクションズ・オ
ン・マグネティクス（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏ
ｎ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）（Ｖｏｌ．２４、ｐ２
７２７−２７２９、１９８８年）、ＣｏＰｔＣｒ／Ｃｒ
媒体において高Ａｒガス圧で作製すること（ＩＥＥＥＴ
ｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ＭａｇｎｅｔｉｃｓＶ
ｏｌ．２６、ｐ１５７８−１５８０、１９９０年）等が
行われてきた。
ＣｏＮｉＣｒ／Ｃｒ媒体においてＣｒ下地膜の膜厚を厚
くしたり（アイイーイーイー・トランザクションズ・オ
ン・マグネティクス（ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏ
ｎ ｏｎ Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）（Ｖｏｌ．２４、ｐ２
７２７−２７２９、１９８８年）、ＣｏＰｔＣｒ／Ｃｒ
媒体において高Ａｒガス圧で作製すること（ＩＥＥＥＴ
ｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ ＭａｇｎｅｔｉｃｓＶ
ｏｌ．２６、ｐ１５７８−１５８０、１９９０年）等が
行われてきた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において媒体の保磁力、保磁
力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度
の現実のために改善する必要がある。
法による薄膜媒体作製技術において媒体の保磁力、保磁
力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度
の現実のために改善する必要がある。
【０００６】本発明の目的は、更に超高記録密度実現の
ため媒体の保磁力を高め、保磁力の角形比を小さくした
磁気記録媒体を提供することにある。
ため媒体の保磁力を高め、保磁力の角形比を小さくした
磁気記録媒体を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜とか
らなり、前記磁性膜がＣｏＣｒＴａ系合金膜にＨｆを添
加したことを特徴とする。
は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜とか
らなり、前記磁性膜がＣｏＣｒＴａ系合金膜にＨｆを添
加したことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本発明によれば、ＣｏＣｒＴａ系合金膜にＨｆ
を添加することにより、高保磁力で保磁力の角形比の小
さい磁気記録媒体を得る。
を添加することにより、高保磁力で保磁力の角形比の小
さい磁気記録媒体を得る。
【０００９】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。ターゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２a t ％Ｃｒ，２at ％Ｔａ）合金ターゲット上
にＨｆペレットを置く複合ターゲットを用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲm a x ＝４００オ
ングストローム（Ａとする））ＮｉＰ／Ａｌ基板を用い
た。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。ターゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２a t ％Ｃｒ，２at ％Ｔａ）合金ターゲット上
にＨｆペレットを置く複合ターゲットを用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲm a x ＝４００オ
ングストローム（Ａとする））ＮｉＰ／Ａｌ基板を用い
た。
【００１０】まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示
す。ここで、磁性膜でＨｆの添加量はＣｏＣｒＴａ合金
ターゲット上に置くＨｆペレットの個数により変化させ
た。
す。ここで、磁性膜でＨｆの添加量はＣｏＣｒＴａ合金
ターゲット上に置くＨｆペレットの個数により変化させ
た。
【００１１】このようにして作製した種々のＨｆ添加量
のＣｏＣｒＴａＨｆ／Ｃｒ媒体についてＶＳＭにより磁
気特性を測定した。その結果を図１に示す。図１は保磁
力（Ｈｃ）と角形比（Ｓ* ）のＨｆ添加量依存性を示す
図である。尚、Ｈｆ添加量はＥＰＭＡにより分析を行っ
た。図１から本発明のＨｆ添加媒体（但し、Ｈｆの添加
量が１ａｔ％以上９ａｔ％以下）は、Ｈｆ添加無しの従
来媒体と比較して保磁力Ｈｃが最大約２０００ｅ改善さ
れかつ保磁力の角形比Ｓ* が０．１〜０．３程度小さく
なることもわかった。
のＣｏＣｒＴａＨｆ／Ｃｒ媒体についてＶＳＭにより磁
気特性を測定した。その結果を図１に示す。図１は保磁
力（Ｈｃ）と角形比（Ｓ* ）のＨｆ添加量依存性を示す
図である。尚、Ｈｆ添加量はＥＰＭＡにより分析を行っ
た。図１から本発明のＨｆ添加媒体（但し、Ｈｆの添加
量が１ａｔ％以上９ａｔ％以下）は、Ｈｆ添加無しの従
来媒体と比較して保磁力Ｈｃが最大約２０００ｅ改善さ
れかつ保磁力の角形比Ｓ* が０．１〜０．３程度小さく
なることもわかった。
【００１２】次に、本発明の磁気記録媒体の記録再生特
性について述べる。本発明の媒体（表２のＮｏ２）はＨ
ｆ添加量は５ａｔ％とし、比較のためＨｆ添加無しの従
来の媒体（表２のＮｏ１）も作製した。尚、これら記録
再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＨｆ成膜後に保護膜として
３００Ａ厚のカーボンを成膜した。
性について述べる。本発明の媒体（表２のＮｏ２）はＨ
ｆ添加量は５ａｔ％とし、比較のためＨｆ添加無しの従
来の媒体（表２のＮｏ１）も作製した。尚、これら記録
再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＨｆ成膜後に保護膜として
３００Ａ厚のカーボンを成膜した。
【００１３】表２に磁気特性及び記録再生特性の評価結
果を示す。これらから本発明の媒体は従来の媒体と比較
して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められかつ保
磁力の角形比が小さくなっており、それにより記録再生
特性で再生電圧（Ｖ）、記録密度（Ｄ）及びＳ／Ｎが改
善された。さらに、媒体ノイズ（Ｎ）も低減された。
果を示す。これらから本発明の媒体は従来の媒体と比較
して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められかつ保
磁力の角形比が小さくなっており、それにより記録再生
特性で再生電圧（Ｖ）、記録密度（Ｄ）及びＳ／Ｎが改
善された。さらに、媒体ノイズ（Ｎ）も低減された。
【００１４】また、上記以外にＣｏＣｒＴａ系磁性膜と
してＣｏＣｒＴａＰｔ磁性膜を用いＨｆを添加した場合
についても実施した結果、同様な効果が得られた。
してＣｏＣｒＴａＰｔ磁性膜を用いＨｆを添加した場合
についても実施した結果、同様な効果が得られた。
【００１５】
【表１】
【００１６】
【表２】
【００１７】
【発明の効果】本発明のＨｆ添加媒体は以下に示す効果
があった。
があった。
【００１８】（１）本発明のＣｏＣｒＴａ系磁性膜に１
〜９ａｔ％のＨｆを添加することにより、従来媒体と比
較して磁気特性で保磁力が高められかつ保磁力の角形比
が小さくすることが可能となった。
〜９ａｔ％のＨｆを添加することにより、従来媒体と比
較して磁気特性で保磁力が高められかつ保磁力の角形比
が小さくすることが可能となった。
【００１９】（２）従来媒体と比較して本発明の媒体は
再生出力、記録密度、Ｓ／Ｎ及び媒体ノイズが改善され
た。
再生出力、記録密度、Ｓ／Ｎ及び媒体ノイズが改善され
た。
【図１】磁気特性で保磁力（Ｈｃ）と角形比（Ｓ＊）の
ＣｏＣｒＴａ膜へのＨｆ添加量依存性を示した図であ
る。
ＣｏＣｒＴａ膜へのＨｆ添加量依存性を示した図であ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上のＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の
磁性膜とからなる薄膜媒体において、前記磁性膜がＣｏ
ＣｒＴａ系合金膜にＨｆを添加したことを特徴とする磁
気記録媒体。 - 【請求項２】 Ｈｆの添加量が１ａｔ％以上９ａｔ以下
であることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292855A JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4292855A JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06196323A true JPH06196323A (ja) | 1994-07-15 |
| JPH07118418B2 JPH07118418B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=17787246
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4292855A Expired - Fee Related JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07118418B2 (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6313115A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-20 | Nec Corp | 磁気記録体及びその製造方法 |
| JPH03127322A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録体 |
| JPH0442424A (ja) * | 1990-06-08 | 1992-02-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP4292855A patent/JPH07118418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6313115A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-20 | Nec Corp | 磁気記録体及びその製造方法 |
| JPH03127322A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録体 |
| JPH0442424A (ja) * | 1990-06-08 | 1992-02-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07118418B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19960625 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081218 Year of fee payment: 13 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091218 Year of fee payment: 14 |
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