JPH06196323A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH06196323A JPH06196323A JP29285592A JP29285592A JPH06196323A JP H06196323 A JPH06196323 A JP H06196323A JP 29285592 A JP29285592 A JP 29285592A JP 29285592 A JP29285592 A JP 29285592A JP H06196323 A JPH06196323 A JP H06196323A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体の保磁力を高めかつ保磁力の角
形比を小さくさせることにより、再生出力、記録密度及
びS/Nを改善する。 【構成】 NiP/Al基板上に、RFマグネトロンス
パッタ法によりHf添加CoCrTa系/Cr膜を形成
する。Hfを1〜9at%添加することによりCoCr
Ta系磁性膜の保磁力が高められかつ保磁力の角形比が
小さくできる。
形比を小さくさせることにより、再生出力、記録密度及
びS/Nを改善する。 【構成】 NiP/Al基板上に、RFマグネトロンス
パッタ法によりHf添加CoCrTa系/Cr膜を形成
する。Hfを1〜9at%添加することによりCoCr
Ta系磁性膜の保磁力が高められかつ保磁力の角形比が
小さくできる。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ハード磁気ディスク用
の長手薄膜媒体に関するものである。
の長手薄膜媒体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】ハード磁気ディスク用の高密度記録媒体
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するため、高出力、高記録密度特性及び高S
/N等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力が高く、保
磁力の角形比が小さい必要がある。
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するため、高出力、高記録密度特性及び高S
/N等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力が高く、保
磁力の角形比が小さい必要がある。
【0003】そこで、高保磁力を得るために基板として
ディスク円周方向にテクスチャ溝をつけたNiP/Al
基板を用い、下地膜としてCr膜を形成し、次に磁性膜
としてCoNiCr膜、CoCrTa膜及びCoCrH
f膜等を形成する磁気記録媒体が提案されている。電子
情報通信学会技術研究報告、CPM88−91及びCP
M88−92、1988年及び特開平2−103716
号公報あるいは特開平2−162527号公報、特開平
4−21921号公報参照。
ディスク円周方向にテクスチャ溝をつけたNiP/Al
基板を用い、下地膜としてCr膜を形成し、次に磁性膜
としてCoNiCr膜、CoCrTa膜及びCoCrH
f膜等を形成する磁気記録媒体が提案されている。電子
情報通信学会技術研究報告、CPM88−91及びCP
M88−92、1988年及び特開平2−103716
号公報あるいは特開平2−162527号公報、特開平
4−21921号公報参照。
【0004】また保磁力の角形比を小さくするために、
CoNiCr/Cr媒体においてCr下地膜の膜厚を厚
くしたり(アイイーイーイー・トランザクションズ・オ
ン・マグネティクス(IEEE Transactio
n on Magnetics)(Vol.24、p2
727−2729、1988年)、CoPtCr/Cr
媒体において高Arガス圧で作製すること(IEEET
ransactions on MagneticsV
ol.26、p1578−1580、1990年)等が
行われてきた。
CoNiCr/Cr媒体においてCr下地膜の膜厚を厚
くしたり(アイイーイーイー・トランザクションズ・オ
ン・マグネティクス(IEEE Transactio
n on Magnetics)(Vol.24、p2
727−2729、1988年)、CoPtCr/Cr
媒体において高Arガス圧で作製すること(IEEET
ransactions on MagneticsV
ol.26、p1578−1580、1990年)等が
行われてきた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において媒体の保磁力、保磁
力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度
の現実のために改善する必要がある。
法による薄膜媒体作製技術において媒体の保磁力、保磁
力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度
の現実のために改善する必要がある。
【0006】本発明の目的は、更に超高記録密度実現の
ため媒体の保磁力を高め、保磁力の角形比を小さくした
磁気記録媒体を提供することにある。
ため媒体の保磁力を高め、保磁力の角形比を小さくした
磁気記録媒体を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、基板上にCrの下地膜とCo系合金膜の磁性膜とか
らなり、前記磁性膜がCoCrTa系合金膜にHfを添
加したことを特徴とする。
は、基板上にCrの下地膜とCo系合金膜の磁性膜とか
らなり、前記磁性膜がCoCrTa系合金膜にHfを添
加したことを特徴とする。
【0008】
【作用】本発明によれば、CoCrTa系合金膜にHf
を添加することにより、高保磁力で保磁力の角形比の小
さい磁気記録媒体を得る。
を添加することにより、高保磁力で保磁力の角形比の小
さい磁気記録媒体を得る。
【0009】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、RFマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。ターゲットは下地膜用と
して3NのCrターゲット、磁性膜用としてCoCrT
a(12a t %Cr,2at %Ta)合金ターゲット上
にHfペレットを置く複合ターゲットを用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき(表面粗さRm a x =400オ
ングストローム(Aとする))NiP/Al基板を用い
た。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、RFマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。ターゲットは下地膜用と
して3NのCrターゲット、磁性膜用としてCoCrT
a(12a t %Cr,2at %Ta)合金ターゲット上
にHfペレットを置く複合ターゲットを用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき(表面粗さRm a x =400オ
ングストローム(Aとする))NiP/Al基板を用い
た。
【0010】まず、本実施例のスパッタ条件を表1に示
す。ここで、磁性膜でHfの添加量はCoCrTa合金
ターゲット上に置くHfペレットの個数により変化させ
た。
す。ここで、磁性膜でHfの添加量はCoCrTa合金
ターゲット上に置くHfペレットの個数により変化させ
た。
【0011】このようにして作製した種々のHf添加量
のCoCrTaHf/Cr媒体についてVSMにより磁
気特性を測定した。その結果を図1に示す。図1は保磁
力(Hc)と角形比(S* )のHf添加量依存性を示す
図である。尚、Hf添加量はEPMAにより分析を行っ
た。図1から本発明のHf添加媒体(但し、Hfの添加
量が1at%以上9at%以下)は、Hf添加無しの従
来媒体と比較して保磁力Hcが最大約2000e改善さ
れかつ保磁力の角形比S* が0.1〜0.3程度小さく
なることもわかった。
のCoCrTaHf/Cr媒体についてVSMにより磁
気特性を測定した。その結果を図1に示す。図1は保磁
力(Hc)と角形比(S* )のHf添加量依存性を示す
図である。尚、Hf添加量はEPMAにより分析を行っ
た。図1から本発明のHf添加媒体(但し、Hfの添加
量が1at%以上9at%以下)は、Hf添加無しの従
来媒体と比較して保磁力Hcが最大約2000e改善さ
れかつ保磁力の角形比S* が0.1〜0.3程度小さく
なることもわかった。
【0012】次に、本発明の磁気記録媒体の記録再生特
性について述べる。本発明の媒体(表2のNo2)はH
f添加量は5at%とし、比較のためHf添加無しの従
来の媒体(表2のNo1)も作製した。尚、これら記録
再生用の媒体はCoCrTaHf成膜後に保護膜として
300A厚のカーボンを成膜した。
性について述べる。本発明の媒体(表2のNo2)はH
f添加量は5at%とし、比較のためHf添加無しの従
来の媒体(表2のNo1)も作製した。尚、これら記録
再生用の媒体はCoCrTaHf成膜後に保護膜として
300A厚のカーボンを成膜した。
【0013】表2に磁気特性及び記録再生特性の評価結
果を示す。これらから本発明の媒体は従来の媒体と比較
して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められかつ保
磁力の角形比が小さくなっており、それにより記録再生
特性で再生電圧(V)、記録密度(D)及びS/Nが改
善された。さらに、媒体ノイズ(N)も低減された。
果を示す。これらから本発明の媒体は従来の媒体と比較
して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められかつ保
磁力の角形比が小さくなっており、それにより記録再生
特性で再生電圧(V)、記録密度(D)及びS/Nが改
善された。さらに、媒体ノイズ(N)も低減された。
【0014】また、上記以外にCoCrTa系磁性膜と
してCoCrTaPt磁性膜を用いHfを添加した場合
についても実施した結果、同様な効果が得られた。
してCoCrTaPt磁性膜を用いHfを添加した場合
についても実施した結果、同様な効果が得られた。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】
【発明の効果】本発明のHf添加媒体は以下に示す効果
があった。
があった。
【0018】(1)本発明のCoCrTa系磁性膜に1
〜9at%のHfを添加することにより、従来媒体と比
較して磁気特性で保磁力が高められかつ保磁力の角形比
が小さくすることが可能となった。
〜9at%のHfを添加することにより、従来媒体と比
較して磁気特性で保磁力が高められかつ保磁力の角形比
が小さくすることが可能となった。
【0019】(2)従来媒体と比較して本発明の媒体は
再生出力、記録密度、S/N及び媒体ノイズが改善され
た。
再生出力、記録密度、S/N及び媒体ノイズが改善され
た。
【図1】磁気特性で保磁力(Hc)と角形比(S*)の
CoCrTa膜へのHf添加量依存性を示した図であ
る。
CoCrTa膜へのHf添加量依存性を示した図であ
る。
Claims (2)
- 【請求項1】 基板上のCrの下地膜とCo系合金膜の
磁性膜とからなる薄膜媒体において、前記磁性膜がCo
CrTa系合金膜にHfを添加したことを特徴とする磁
気記録媒体。 - 【請求項2】 Hfの添加量が1at%以上9at以下
であることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4292855A JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4292855A JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06196323A true JPH06196323A (ja) | 1994-07-15 |
JPH07118418B2 JPH07118418B2 (ja) | 1995-12-18 |
Family
ID=17787246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4292855A Expired - Fee Related JPH07118418B2 (ja) | 1992-10-30 | 1992-10-30 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH07118418B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6313115A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-20 | Nec Corp | 磁気記録体及びその製造方法 |
JPH03127322A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録体 |
JPH0442424A (ja) * | 1990-06-08 | 1992-02-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
-
1992
- 1992-10-30 JP JP4292855A patent/JPH07118418B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6313115A (ja) * | 1986-07-02 | 1988-01-20 | Nec Corp | 磁気記録体及びその製造方法 |
JPH03127322A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | 磁気記録体 |
JPH0442424A (ja) * | 1990-06-08 | 1992-02-13 | Nec Corp | 磁気記録媒体 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07118418B2 (ja) | 1995-12-18 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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