JPH04245016A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH04245016A JPH04245016A JP2902991A JP2902991A JPH04245016A JP H04245016 A JPH04245016 A JP H04245016A JP 2902991 A JP2902991 A JP 2902991A JP 2902991 A JP2902991 A JP 2902991A JP H04245016 A JPH04245016 A JP H04245016A
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- JP
- Japan
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- film
- magnetic
- medium
- recording medium
- magnetic recording
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- Pending
Links
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ−ド磁気ディスク用
の長手薄膜磁気記録媒体に関するものである。
の長手薄膜磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハ−ド磁気ディスク用の塗布媒体に代わ
って、高記録密度媒体として、スパッタ法による薄膜媒
体が現在主流となってきている。高記録密度を実現する
ため、この薄膜媒体は高出力、高記録密度特性等が要求
されている。これらの特性を向上させるには、その媒体
の磁気特性として保磁力、角形比が大きく、さらにディ
スクの円周方向への異方性も大きい必要がある。そこで
、上記特性を得るため、ディスク円周方向にテクスチャ
溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、下地膜としてＣｒ
膜を形成し、次に磁性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜またはＣ
ｏＣｒＴａ膜を形成する磁気記録媒体が提案されている
（電子情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１お
よびＣＰＭ８８−９２、１９８８年）。
って、高記録密度媒体として、スパッタ法による薄膜媒
体が現在主流となってきている。高記録密度を実現する
ため、この薄膜媒体は高出力、高記録密度特性等が要求
されている。これらの特性を向上させるには、その媒体
の磁気特性として保磁力、角形比が大きく、さらにディ
スクの円周方向への異方性も大きい必要がある。そこで
、上記特性を得るため、ディスク円周方向にテクスチャ
溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、下地膜としてＣｒ
膜を形成し、次に磁性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜またはＣ
ｏＣｒＴａ膜を形成する磁気記録媒体が提案されている
（電子情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１お
よびＣＰＭ８８−９２、１９８８年）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、角
形比、円周方向への異方性は良好なレベルにあるが、更
に超高記録密度の実現のためにそれらを改善する必要が
ある。本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、
特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、角
形比、円周方向への異方性は良好なレベルにあるが、更
に超高記録密度の実現のためにそれらを改善する必要が
ある。本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、
特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にＣｒ
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＰｔを添加したものよりなること
を特徴とする磁気記録媒体である。また、Ｐｔの添加量
は、３ａｔ％以上であることを好適とする。
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＰｔを添加したものよりなること
を特徴とする磁気記録媒体である。また、Ｐｔの添加量
は、３ａｔ％以上であることを好適とする。
【０００５】
【作用】本発明によれば、ＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元
素としてＰｔを添加することにより、磁性膜の構造が変
化し、高保磁力の磁気記録媒体が得られる。また、従来
媒体と比較して、再生出力、記録密度も改善される。
素としてＰｔを添加することにより、磁性膜の構造が変
化し、高保磁力の磁気記録媒体が得られる。また、従来
媒体と比較して、再生出力、記録密度も改善される。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＰｔチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。 また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲｍａｘ＝４
００オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。 まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、
磁性膜でＰｔの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上
に置くＰｔチップの個数により変化させた。このように
して作製した種々のＰｔ組成のＣｏＣｒＴａＰｔ／Ｃｒ
媒体について、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その
結果を図１に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を
行った。図１から本発明のＰｔ添加媒体は、Ｐｔ添加な
しの従来媒体と比較して保磁力が改善されていることが
わかった。特に、Ｐｔ添加量３ａｔ％以上で顕著であっ
た。
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＰｔチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。 また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲｍａｘ＝４
００オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。 まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、
磁性膜でＰｔの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上
に置くＰｔチップの個数により変化させた。このように
して作製した種々のＰｔ組成のＣｏＣｒＴａＰｔ／Ｃｒ
媒体について、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その
結果を図１に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を
行った。図１から本発明のＰｔ添加媒体は、Ｐｔ添加な
しの従来媒体と比較して保磁力が改善されていることが
わかった。特に、Ｐｔ添加量３ａｔ％以上で顕著であっ
た。
【０００７】
【表１】
【０００８】次に、本発明媒体の記録再生特性について
述べる。本発明の媒体はＰｔ添加量を３ａｔ％とし、比
較のためＰｔ添加無しの従来媒体も作製した。なお、こ
れら記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＰｔ成膜後に保護
膜として３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜し
た。表２に磁気特性を、および図２に記録再生特性の評
価結果、即ち、再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性
を示す。図中ＡおよびＢは、表２の記号ＡおよびＢに対
応する媒体である。これらから本発明の媒体は従来媒体
と比較して既に述べた通り、磁気特性で保磁力が高めら
れ、それにより記録再生特性で再生電圧および記録密度
が改善されていることがわかる。
述べる。本発明の媒体はＰｔ添加量を３ａｔ％とし、比
較のためＰｔ添加無しの従来媒体も作製した。なお、こ
れら記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＰｔ成膜後に保護
膜として３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜し
た。表２に磁気特性を、および図２に記録再生特性の評
価結果、即ち、再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性
を示す。図中ＡおよびＢは、表２の記号ＡおよびＢに対
応する媒体である。これらから本発明の媒体は従来媒体
と比較して既に述べた通り、磁気特性で保磁力が高めら
れ、それにより記録再生特性で再生電圧および記録密度
が改善されていることがわかる。
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＰｔ添加
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
【図１】保磁力（Ｈｃ）のＣｏＣｒＴａ膜へのＰｔ添加
量依存性を示した図である。
量依存性を示した図である。
【図２】本発明の一実施例による再生出力（Ｖ）の記録
密度（Ｄ）依存性を従来例による媒体と比較して示した
図である。
密度（Ｄ）依存性を従来例による媒体と比較して示した
図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上にＣｒよりなる下地膜とＣｏ系
合金膜よりなる磁性膜とが形成された長手薄膜媒体にお
いて、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＰ
ｔを添加したものよりなることを特徴とする磁気記録媒
体。 - 【請求項２】 Ｐｔの添加量が３ａｔ％以上である請
求項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2902991A JPH04245016A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2902991A JPH04245016A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04245016A true JPH04245016A (ja) | 1992-09-01 |
Family
ID=12264988
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2902991A Pending JPH04245016A (ja) | 1991-01-31 | 1991-01-31 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04245016A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06259767A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Nec Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01256017A (ja) * | 1988-04-04 | 1989-10-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03154222A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録体 |
| JPH03266402A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-27 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 |
| JPH04134718A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Mitsubishi Kasei Corp | 磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-01-31 JP JP2902991A patent/JPH04245016A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01256017A (ja) * | 1988-04-04 | 1989-10-12 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH03154222A (ja) * | 1989-11-10 | 1991-07-02 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録体 |
| JPH03266402A (ja) * | 1990-03-16 | 1991-11-27 | Hitachi Ltd | 面内磁気記録媒体、その製造方法及び磁気記憶装置 |
| JPH04134718A (ja) * | 1990-09-27 | 1992-05-08 | Mitsubishi Kasei Corp | 磁気記録媒体 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06259767A (ja) * | 1993-03-09 | 1994-09-16 | Nec Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
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