JP2990975B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP2990975B2 JP2990975B2 JP4271553A JP27155392A JP2990975B2 JP 2990975 B2 JP2990975 B2 JP 2990975B2 JP 4271553 A JP4271553 A JP 4271553A JP 27155392 A JP27155392 A JP 27155392A JP 2990975 B2 JP2990975 B2 JP 2990975B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- medium
- magnetic
- magnetic recording
- recording medium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気記録媒体に関し、特
にハード磁気デイスク用の長手薄膜媒体に関する。
にハード磁気デイスク用の長手薄膜媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】ハード磁気デイスク用の高密度記録媒体
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。
【０００３】この薄膜媒体は高密度記録を実現しるた
め、高出力、高記録密度特性等が要求されている。これ
らの特性を向上させるには媒体の磁気特性で保持力、角
形比が大きく、さらにデイスクの円周方向への異方性も
大きい必要がある。
め、高出力、高記録密度特性等が要求されている。これ
らの特性を向上させるには媒体の磁気特性で保持力、角
形比が大きく、さらにデイスクの円周方向への異方性も
大きい必要がある。
【０００４】そこで上記のような良好な特性を得るた
め、デイスク円周方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／
Ａｌ基板を用い、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁
性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成
する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学会
技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−９
２、１９８８年）。
め、デイスク円周方向にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／
Ａｌ基板を用い、下地膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁
性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成
する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学会
技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−９
２、１９８８年）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の磁気記
録媒体は、スパッタ法による薄膜媒体作製技術において
媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良好なレ
ベルにあるが、更に超高記録密度の実現のためにそれら
を改善する必要がある。
録媒体は、スパッタ法による薄膜媒体作製技術において
媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良好なレ
ベルにあるが、更に超高記録密度の実現のためにそれら
を改善する必要がある。
【０００６】本発明の目的は、更に超高記録密度実現の
ため特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供す
ることにある。
ため特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第１の発明の磁気記録媒
体は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜と
からなる長手薄膜媒体を有する磁気記録媒体において、
前記磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＰｄ
を添加したことを特徴としている。
体は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜と
からなる長手薄膜媒体を有する磁気記録媒体において、
前記磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＰｄ
を添加したことを特徴としている。
【０００８】また、第２の発明の磁気記録媒体は、第１
の発明においてＰｄの添加量が１ａｔ％以上８ａｔ％以
下であることを特徴としている。
の発明においてＰｄの添加量が１ａｔ％以上８ａｔ％以
下であることを特徴としている。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマ
グネトロン方式のスパッタ装置にて行なった。
グネトロン方式のスパッタ装置にて行なった。
【００１１】ターゲットは下地膜用として９９．９％の
Ｃｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（１２ａ
ｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金ターゲット上にＰｄペレ
ットを置く複合ターゲットを用いた。
Ｃｒターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（１２ａ
ｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金ターゲット上にＰｄペレ
ットを置く複合ターゲットを用いた。
【００１２】また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さ
Ｒｍａｘ＝４００オングストローム）ＮｉＰ／Ａｌ基板
を用いた。
Ｒｍａｘ＝４００オングストローム）ＮｉＰ／Ａｌ基板
を用いた。
【００１３】まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示
す。
す。
【００１４】
【表１】
【００１５】ここで、磁性膜でＰｄの添加量はＣｏＣｒ
Ｔａ合金ターゲット上に置くＰｄペレットの個数により
変化させた。
Ｔａ合金ターゲット上に置くＰｄペレットの個数により
変化させた。
【００１６】このようにして作製した種々のＰｄ組成の
ＣｏＣｒＴａＰｄ／Ｃｒ媒体についてＶＳＭにより磁気
特性を測定した。その結果を図１に示す。なお、組成は
ＥＰＭＡにより分析を行なった。
ＣｏＣｒＴａＰｄ／Ｃｒ媒体についてＶＳＭにより磁気
特性を測定した。その結果を図１に示す。なお、組成は
ＥＰＭＡにより分析を行なった。
【００１７】図１に示すように、本実施例のＰｄ添加媒
体（但し、Ｐｄの添加量が１ａｔ％以上８ａｔ％以下）
は、Ｐｄ添加なしの従来媒体と比較して保磁力が改善さ
れていることがわかる。
体（但し、Ｐｄの添加量が１ａｔ％以上８ａｔ％以下）
は、Ｐｄ添加なしの従来媒体と比較して保磁力が改善さ
れていることがわかる。
【００１８】次に、本実施例の記録再生特性について述
べる。
べる。
【００１９】サンプルとした媒体はＰｄ添加量は４ａｔ
％とし、比較のためＰｄ添加なしの従来媒体も作製し
た。なお、これら記録再生用の媒体は、ＣｏＣｒＴａＰ
ｄ成膜後に保護膜として３００オングストローム厚のカ
ーボンを成膜した。
％とし、比較のためＰｄ添加なしの従来媒体も作製し
た。なお、これら記録再生用の媒体は、ＣｏＣｒＴａＰ
ｄ成膜後に保護膜として３００オングストローム厚のカ
ーボンを成膜した。
【００２０】表２に磁気特性の評価結果を、図２に記録
再生特性の評価結果を示す。
再生特性の評価結果を示す。
【００２１】
【表２】
【００２２】表２において、Ｈｃ1 は磁気デイスクの円
周方向の保磁力成分を、Ｈｃ2 は磁気デイスクの半径方
向の保磁力成分を示し、Ｓは角形比を示す。
周方向の保磁力成分を、Ｈｃ2 は磁気デイスクの半径方
向の保磁力成分を示し、Ｓは角形比を示す。
【００２３】図２は再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依
存性を示している。
存性を示している。
【００２４】これらより、本実施例の媒体は従来媒体と
比較して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められ、
それにより記録再生特性で再生電圧および記録密度が改
善されていることがわかる。
比較して既に述べた通り磁気特性で保磁力が高められ、
それにより記録再生特性で再生電圧および記録密度が改
善されていることがわかる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、ＣｏＣｒＴａ膜に１〜８ａｔ％のＰｄを添加す
ることにより、従来媒体と比較して保磁力が改善され、
再生出力、記録密度を大幅に改善できるという効果を有
する。
媒体は、ＣｏＣｒＴａ膜に１〜８ａｔ％のＰｄを添加す
ることにより、従来媒体と比較して保磁力が改善され、
再生出力、記録密度を大幅に改善できるという効果を有
する。
【図１】本発明の磁気記録媒体の一実施例の保磁力のＰ
ｄ添加量依存性を示す特性図である。
ｄ添加量依存性を示す特性図である。
【図２】本発明の磁気記録媒体の一実施例と従来媒体と
の再生出力と記録密度依存性を示す特性図である。
の再生出力と記録密度依存性を示す特性図である。
１ 本実施例の媒体 ２ 従来媒体
Claims (1)
- 【請求項１】基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁
性膜とからなる長手薄膜媒体を有する磁気記録媒体にお
いて、前記磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素とし
て１ａｔ％以上８ａｔ％以下のＰｄを添加したことを特
徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4271553A JP2990975B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4271553A JP2990975B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06124428A JPH06124428A (ja) | 1994-05-06 |
| JP2990975B2 true JP2990975B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=17501678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4271553A Expired - Fee Related JP2990975B2 (ja) | 1992-10-09 | 1992-10-09 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2990975B2 (ja) |
-
1992
- 1992-10-09 JP JP4271553A patent/JP2990975B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06124428A (ja) | 1994-05-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0714142A (ja) | 薄膜磁気記録媒体 | |
| US5851628A (en) | Magnetic recording medium and method for manufacturing the same | |
| JPH0750008A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2990975B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3013598B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2540479B2 (ja) | 磁気記憶体 | |
| JPH0650683B2 (ja) | 磁気記憶体 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05109042A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2527616B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH04245016A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2964596B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP3098245B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JPH0514325B2 (ja) | ||
| JPH05151553A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0750009A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH07118418B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2527618B2 (ja) | 金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JPH0467251B2 (ja) | ||
| JPH0714712A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH05189740A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH1040527A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0467249B2 (ja) | ||
| JPH03102616A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH06259767A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071015 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081015 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091015 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |