JPH05151553A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05151553A JPH05151553A JP33785691A JP33785691A JPH05151553A JP H05151553 A JPH05151553 A JP H05151553A JP 33785691 A JP33785691 A JP 33785691A JP 33785691 A JP33785691 A JP 33785691A JP H05151553 A JPH05151553 A JP H05151553A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- coercive force
- medium
- recording medium
- magnetic
- Prior art date
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体について、高保磁力でかつ保磁
力の角形比を低下させ、記録再生特性でＳ／Ｎを改善す
る。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板上に、ＲＦマグネトロンス
パッタ法によりＶを１〜１２ａｔ％添加したＣｏＣｒＴ
ａ／Ｃｒ膜を形成する。Ｖの添加によりＣｏＣｒＴａ膜
の高保磁力を保持しつつ、保磁力の角形比が低下する。
力の角形比を低下させ、記録再生特性でＳ／Ｎを改善す
る。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板上に、ＲＦマグネトロンス
パッタ法によりＶを１〜１２ａｔ％添加したＣｏＣｒＴ
ａ／Ｃｒ膜を形成する。Ｖの添加によりＣｏＣｒＴａ膜
の高保磁力を保持しつつ、保磁力の角形比が低下する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ―ド磁気ディスク用
の長手薄膜媒体に関するものである。
の長手薄膜媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハ―ド磁気ディスク用の高密度記録媒体
として、塗布媒体に代わってスパッタ法による金属薄膜
媒体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密
度記録を実現するため、高出力、高記録密度特性および
高Ｓ／Ｎ等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力を高
く、かつ保磁力の角形比を小さくする必要がある。そこ
で、上記のような良好な特性を得るため、従来ＣｏＮｉ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｒ下地膜の膜厚を厚くしたり
（IEEE Trans. Magn. ，24，p2727-，1988）、ＣｏＰｔ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｏＰｔＣｒ膜を高Ａｒガス圧
で作製すること（IEEE Trans. Magn. ，26，p1578-，19
90）が行われてきた。
として、塗布媒体に代わってスパッタ法による金属薄膜
媒体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密
度記録を実現するため、高出力、高記録密度特性および
高Ｓ／Ｎ等が要求され、媒体の磁気特性で保磁力を高
く、かつ保磁力の角形比を小さくする必要がある。そこ
で、上記のような良好な特性を得るため、従来ＣｏＮｉ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｒ下地膜の膜厚を厚くしたり
（IEEE Trans. Magn. ，24，p2727-，1988）、ＣｏＰｔ
Ｃｒ／Ｃｒ媒体においてＣｏＰｔＣｒ膜を高Ａｒガス圧
で作製すること（IEEE Trans. Magn. ，26，p1578-，19
90）が行われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、保
磁力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密
度の実現のためにそれらを改善する必要がある。本発明
の目的は、更に超高記録密度実現のため、媒体の保磁力
が高く、かつ保磁力の角形比が低い磁気記録媒体を提供
することにある。
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、保
磁力の角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密
度の実現のためにそれらを改善する必要がある。本発明
の目的は、更に超高記録密度実現のため、媒体の保磁力
が高く、かつ保磁力の角形比が低い磁気記録媒体を提供
することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にＣｒ
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＶを添加したものよりなることを
特徴とする磁気記録媒体である。ここでＶの添加量は１
ａｔ％以上，１２ａｔ％以下であることが好ましい。
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＶを添加したものよりなることを
特徴とする磁気記録媒体である。ここでＶの添加量は１
ａｔ％以上，１２ａｔ％以下であることが好ましい。
【０００５】
【作用】本発明によれば、ＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元
素としてＶを添加することにより、高保磁力で、かつ保
磁力の角形比の低い磁気記録媒体が得られる。
素としてＶを添加することにより、高保磁力で、かつ保
磁力の角形比の低い磁気記録媒体が得られる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＶチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。ま
た、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲmax＝４００
オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ま
ず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、磁
性膜でＶの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上に置
くＶチップの個数により変化させた。このようにして作
製した種々のＶ組成のＣｏＣｒＴａＶ／Ｃｒ媒体につい
て、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その結果を図１
に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を行った。図
１から本発明のＶ添加媒体は、Ｖ添加なしの従来媒体と
比較して保磁力（Ｈｃ）がほぼ同じ約１，５００ Ｏｅ
の高い値で、保磁力の角形比（Ｓ*）が約０．１低い値
となることがわかった。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＶチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。ま
た、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲmax＝４００
オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ま
ず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、磁
性膜でＶの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上に置
くＶチップの個数により変化させた。このようにして作
製した種々のＶ組成のＣｏＣｒＴａＶ／Ｃｒ媒体につい
て、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その結果を図１
に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を行った。図
１から本発明のＶ添加媒体は、Ｖ添加なしの従来媒体と
比較して保磁力（Ｈｃ）がほぼ同じ約１，５００ Ｏｅ
の高い値で、保磁力の角形比（Ｓ*）が約０．１低い値
となることがわかった。
【０００７】
【表１】
【０００８】次に、本発明媒体の記録再生特性について
述べる。本発明の媒体はＶ添加量を５ａｔ％とし、比較
のためＶ添加無しの従来媒体も作製した。なお、これら
記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＶ成膜後に保護膜とし
て３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜した。表
２に磁気特性（保磁力：Ｈｃ，角形比：Ｓ*）および記
録再生特性（孤立波再生出力：Ｖ，記録密度：Ｄ，Ｓ／
Ｎ）の評価結果を示す。これらから本発明の媒体は従来
媒体と比較して記録再生特性で特にＳ／Ｎが改善されて
いることがわかる。
述べる。本発明の媒体はＶ添加量を５ａｔ％とし、比較
のためＶ添加無しの従来媒体も作製した。なお、これら
記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＶ成膜後に保護膜とし
て３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜した。表
２に磁気特性（保磁力：Ｈｃ，角形比：Ｓ*）および記
録再生特性（孤立波再生出力：Ｖ，記録密度：Ｄ，Ｓ／
Ｎ）の評価結果を示す。これらから本発明の媒体は従来
媒体と比較して記録再生特性で特にＳ／Ｎが改善されて
いることがわかる。
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＶ添加媒
体は、従来媒体と比較して磁気特性で高保磁力を保ちつ
つ、保磁力の角形比を低くすることが可能となり、記録
再生特性で特にＳ／Ｎが改善された。
体は、従来媒体と比較して磁気特性で高保磁力を保ちつ
つ、保磁力の角形比を低くすることが可能となり、記録
再生特性で特にＳ／Ｎが改善された。
【図１】保磁力（Ｈｃ）および保磁力の角形比（Ｓ*）
について、ＣｏＣｒＴａ膜のＶ添加量依存性を示した図
である。
について、ＣｏＣｒＴａ膜のＶ添加量依存性を示した図
である。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上にＣｒよりなる下地膜とＣｏ系合
金膜よりなる磁性膜とが形成された長手薄膜媒体におい
て、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＶを
添加したものよりなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 Ｖの添加量が１ａｔ％以上，１２ａｔ％
以下である請求項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33785691A JPH05151553A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33785691A JPH05151553A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05151553A true JPH05151553A (ja) | 1993-06-18 |
Family
ID=18312629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33785691A Pending JPH05151553A (ja) | 1991-11-28 | 1991-11-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05151553A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312816A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Kubota Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-11-28 JP JP33785691A patent/JPH05151553A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312816A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Kubota Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
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