JPH0750008A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0750008A JPH0750008A JP21214693A JP21214693A JPH0750008A JP H0750008 A JPH0750008 A JP H0750008A JP 21214693 A JP21214693 A JP 21214693A JP 21214693 A JP21214693 A JP 21214693A JP H0750008 A JPH0750008 A JP H0750008A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- layer
- coercive force
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高保磁力及び低ノイズの磁気記録媒体を提案
する。 【構成】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁性
層、保護層を設けてなる磁気記録媒体であり、前記磁性
層はＣｏ６０〜８０ａｔ％とＣｒ５〜２０ａｔ％とＰｔ
１〜２０ａｔ％とＮｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａのうちの
１種以上０．５〜６ａｔ％とからなる合金組成を有する
薄膜媒体である。
する。 【構成】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁性
層、保護層を設けてなる磁気記録媒体であり、前記磁性
層はＣｏ６０〜８０ａｔ％とＣｒ５〜２０ａｔ％とＰｔ
１〜２０ａｔ％とＮｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａのうちの
１種以上０．５〜６ａｔ％とからなる合金組成を有する
薄膜媒体である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク、磁気ド
ラム、磁気テープなどの磁気記録媒体に関する。
ラム、磁気テープなどの磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録媒体においては、高記録
密度が要求され、そのために連続薄膜媒体が注目されて
いる。このような連続薄膜媒体の磁性層としては、Ｃｏ
ＣｒＴａ系、ＣｏＣｒＰｔ系などの合金が知られてい
て、スパッタ等の方法により成膜される。
密度が要求され、そのために連続薄膜媒体が注目されて
いる。このような連続薄膜媒体の磁性層としては、Ｃｏ
ＣｒＴａ系、ＣｏＣｒＰｔ系などの合金が知られてい
て、スパッタ等の方法により成膜される。
【０００３】そして、高記録密度のためには、高保磁力
（以下、保磁力をＨｃと記載する）及び低ノイズが要求
される。
（以下、保磁力をＨｃと記載する）及び低ノイズが要求
される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ＣｏＣｒＴａ系の合金は、低ノイズに関しては優れてい
るが高保磁力（Ｈｃ≧１５００ｏｅ）の点では不十分で
あり、ＣｏＣｒＰｔ系の合金は、高保磁力に関しては優
れているが低ノイズの点では不十分であった。したがっ
て、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足する磁気記録
媒体が嘱望されていた。
ＣｏＣｒＴａ系の合金は、低ノイズに関しては優れてい
るが高保磁力（Ｈｃ≧１５００ｏｅ）の点では不十分で
あり、ＣｏＣｒＰｔ系の合金は、高保磁力に関しては優
れているが低ノイズの点では不十分であった。したがっ
て、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足する磁気記録
媒体が嘱望されていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記高保磁力及び低ノイ
ズの両特性を満足させるため、本発明は、非磁性基体層
上に、Ｃｏと、Ｃｒと、Ｐｔと、Ｎｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔ
ｉ，Ｔａのうちの１種以上とからなる磁性層を形成し、
その組成割合をＣｒ５〜２０ａｔ％、Ｐｔ１〜２０ａｔ
％、Ｎｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａのうちの１種以上０．
５〜６ａｔ％、残部Ｃｏに設定した磁気記録媒体に関す
るものである。
ズの両特性を満足させるため、本発明は、非磁性基体層
上に、Ｃｏと、Ｃｒと、Ｐｔと、Ｎｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔ
ｉ，Ｔａのうちの１種以上とからなる磁性層を形成し、
その組成割合をＣｒ５〜２０ａｔ％、Ｐｔ１〜２０ａｔ
％、Ｎｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａのうちの１種以上０．
５〜６ａｔ％、残部Ｃｏに設定した磁気記録媒体に関す
るものである。
【０００６】本発明に先立ち、本発明者はＡｒ圧６ｍＴ
ｏｒｒ、投入パワー４Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２３０℃で
ＤＣマグネトロンスパッタリング法によりＴＥＸを施し
たＮｉＰメッキ基板上に形成したＣｏＣｒＰｔＮｂ合金
磁性膜の記録再生特性を測定した。このとき、ＣｏＣｒ
ＰｔＮｂの組成割合は、ＣｏＣｒターゲットにＮｂ及び
Ｐｔチップを埋め込むことによりコントロールした。そ
の結果、ＣｏＣｒＰｔＮｂ合金磁性膜は、従来のＣｏＣ
ｒＰｔ磁性膜に比べて媒体ノイズが低減していることが
見出された。このような効果は、Ｎｂ０．５ａｔ％以
上、Ｐｔ２０ａｔ％以下の条件で認められた。また、Ｎ
ｂをＨｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａに代えても同様の効果が認め
られた。一方、このＮｂ、Ｈｆ、Ｗ、Ｔｉ、Ｔａの添加
により、磁性膜の飽和磁束密度が低下するが、その含有
量が６ａｔ％以下であれば実用上十分な値を有すること
がわかった。同様に、Ｃｒの含有量が２０ａｔ％以下で
あれば飽和磁束密度の低下も実用上問題ない。また、Ｃ
ｒ、Ｐｔの含有量がそれぞれ５ａｔ％以下、１ａｔ％以
下の条件ではＨｃが低下し、面内磁気記録媒体としては
好ましくない。さらに記録再生特性を向上させるために
は、Ｐｔの含有量を３〜２０ａｔ％とすることが望まし
い。
ｏｒｒ、投入パワー４Ｗ／ｃｍ2 、基板温度２３０℃で
ＤＣマグネトロンスパッタリング法によりＴＥＸを施し
たＮｉＰメッキ基板上に形成したＣｏＣｒＰｔＮｂ合金
磁性膜の記録再生特性を測定した。このとき、ＣｏＣｒ
ＰｔＮｂの組成割合は、ＣｏＣｒターゲットにＮｂ及び
Ｐｔチップを埋め込むことによりコントロールした。そ
の結果、ＣｏＣｒＰｔＮｂ合金磁性膜は、従来のＣｏＣ
ｒＰｔ磁性膜に比べて媒体ノイズが低減していることが
見出された。このような効果は、Ｎｂ０．５ａｔ％以
上、Ｐｔ２０ａｔ％以下の条件で認められた。また、Ｎ
ｂをＨｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａに代えても同様の効果が認め
られた。一方、このＮｂ、Ｈｆ、Ｗ、Ｔｉ、Ｔａの添加
により、磁性膜の飽和磁束密度が低下するが、その含有
量が６ａｔ％以下であれば実用上十分な値を有すること
がわかった。同様に、Ｃｒの含有量が２０ａｔ％以下で
あれば飽和磁束密度の低下も実用上問題ない。また、Ｃ
ｒ、Ｐｔの含有量がそれぞれ５ａｔ％以下、１ａｔ％以
下の条件ではＨｃが低下し、面内磁気記録媒体としては
好ましくない。さらに記録再生特性を向上させるために
は、Ｐｔの含有量を３〜２０ａｔ％とすることが望まし
い。
【０００７】また、面内磁気記録としてＨｃを再現よく
高い値に保つため、非磁性基体層と磁性層との間にＣｒ
またはＣｒ合金からなる非磁性金属下地層を１００〜３
０００Åの膜厚で設けることが望ましい。
高い値に保つため、非磁性基体層と磁性層との間にＣｒ
またはＣｒ合金からなる非磁性金属下地層を１００〜３
０００Åの膜厚で設けることが望ましい。
【０００８】さらに、上記磁気記録媒体の表面に５０〜
５００Åの非磁性被覆膜を形成させることにより、耐久
性及び耐蝕性を向上させることができる。
５００Åの非磁性被覆膜を形成させることにより、耐久
性及び耐蝕性を向上させることができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。
【００１０】［製造方法］；日電アネルバ製ＩＬＣ−３
１０８を用い、ＤＣマグネトロンスパッタリング法でス
パッタを行った。非磁性基体層としては、ＮｉＰメッキ
Ａｌ板（９５ｍｍφ）を用いた。ターゲットは、Ｃｒ／
ＣｏＣｒ合金／Ｃで、ＣｏＣｒ合金ターゲット上にＰ
ｔ、Ｍ（Ｎｂ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔａ）を埋め込んで実
験を行った。Ｃｏ合金の組成割合は、ペレットの数によ
りコントロールした。
１０８を用い、ＤＣマグネトロンスパッタリング法でス
パッタを行った。非磁性基体層としては、ＮｉＰメッキ
Ａｌ板（９５ｍｍφ）を用いた。ターゲットは、Ｃｒ／
ＣｏＣｒ合金／Ｃで、ＣｏＣｒ合金ターゲット上にＰ
ｔ、Ｍ（Ｎｂ，Ｔｉ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔａ）を埋め込んで実
験を行った。Ｃｏ合金の組成割合は、ペレットの数によ
りコントロールした。
【００１１】次に、上記製造方法により製造された磁気
記録媒体の静磁気特性並びに記録再生特性を調べた。静
磁気特性は振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて測定
し、記録再生特性は、ギャップ長０．４μｍ、トラック
幅１０μｍ、フライングハイト０．１μｍのＭＩＧヘッ
ドを使用し、測定記録密度３６ＫＦＣＩ（半径２０ｍ
ｍ）にて測定し、その結果を表１に示した。
記録媒体の静磁気特性並びに記録再生特性を調べた。静
磁気特性は振動式磁気特性装置（ＶＳＭ）を用いて測定
し、記録再生特性は、ギャップ長０．４μｍ、トラック
幅１０μｍ、フライングハイト０．１μｍのＭＩＧヘッ
ドを使用し、測定記録密度３６ＫＦＣＩ（半径２０ｍ
ｍ）にて測定し、その結果を表１に示した。
【００１２】
【表１】
【００１３】上記表１より、本発明の実施例１〜７で
は、高保磁力、低ノイズ、低ビットシフトが得られるこ
とが確認された。
は、高保磁力、低ノイズ、低ビットシフトが得られるこ
とが確認された。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足し、高密
度記録が可能な磁気ディスク、磁気ドラム、磁気テープ
などを得ることができるものである。
媒体は、高保磁力及び低ノイズの両特性を満足し、高密
度記録が可能な磁気ディスク、磁気ドラム、磁気テープ
などを得ることができるものである。
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性基体層上に非磁性金属下地層、磁
性層、保護層を設けてなる磁気記録媒体において、前記
磁性層はＣｏ６０〜８０ａｔ％とＣｒ５〜２０ａｔ％と
Ｐｔ１〜２０ａｔ％とＮｂ，Ｈｆ，Ｗ，Ｔｉ，Ｔａのう
ちの１種以上０．５〜６ａｔ％とからなる合金組成を有
する薄膜媒体であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気記録媒体におい
て、磁性層中のＰｔの含有量が３〜２０ａｔ％であるこ
とを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項３】 非磁性金属下地層のＣｒまたはＣｒ合金
を用い、その膜厚が１００〜３０００Åであることを特
徴とする請求項１乃至２に記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21214693A JPH0750008A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21214693A JPH0750008A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0750008A true JPH0750008A (ja) | 1995-02-21 |
Family
ID=16617656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21214693A Pending JPH0750008A (ja) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0750008A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5945190A (en) * | 1997-02-17 | 1999-08-31 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6071607A (en) * | 1996-04-26 | 2000-06-06 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6129981A (en) * | 1998-02-20 | 2000-10-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording disk device |
| US6506508B1 (en) | 1999-12-28 | 2003-01-14 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, method of production and magnetic storage apparatus |
| US6740383B2 (en) | 1998-05-27 | 2004-05-25 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium possessing a ratio of Hc(perpendicular) to Hc(horizontal) that is not more than 0.22 and magnetic recording disk device |
| WO2004109829A1 (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-16 | Symyx Technologies, Inc. | Platinum-titanium-tungsten fuel cell catalyst |
| US7422994B2 (en) | 2005-01-05 | 2008-09-09 | Symyx Technologies, Inc. | Platinum-copper-tungsten fuel cell catalyst |
| US7700521B2 (en) | 2003-08-18 | 2010-04-20 | Symyx Solutions, Inc. | Platinum-copper fuel cell catalyst |
-
1993
- 1993-08-05 JP JP21214693A patent/JPH0750008A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6071607A (en) * | 1996-04-26 | 2000-06-06 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US5945190A (en) * | 1997-02-17 | 1999-08-31 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic disk device |
| US6129981A (en) * | 1998-02-20 | 2000-10-10 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium and magnetic recording disk device |
| US6740383B2 (en) | 1998-05-27 | 2004-05-25 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium possessing a ratio of Hc(perpendicular) to Hc(horizontal) that is not more than 0.22 and magnetic recording disk device |
| US6506508B1 (en) | 1999-12-28 | 2003-01-14 | Fujitsu Limited | Magnetic recording medium, method of production and magnetic storage apparatus |
| WO2004109829A1 (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-16 | Symyx Technologies, Inc. | Platinum-titanium-tungsten fuel cell catalyst |
| US7608560B2 (en) | 2003-06-06 | 2009-10-27 | Symyx Technologies, Inc. | Platinum-titanium-tungsten fuel cell catalyst |
| US7700521B2 (en) | 2003-08-18 | 2010-04-20 | Symyx Solutions, Inc. | Platinum-copper fuel cell catalyst |
| US7422994B2 (en) | 2005-01-05 | 2008-09-09 | Symyx Technologies, Inc. | Platinum-copper-tungsten fuel cell catalyst |
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