JPH0684159A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0684159A JPH0684159A JP23792592A JP23792592A JPH0684159A JP H0684159 A JPH0684159 A JP H0684159A JP 23792592 A JP23792592 A JP 23792592A JP 23792592 A JP23792592 A JP 23792592A JP H0684159 A JPH0684159 A JP H0684159A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- medium
- recording medium
- cocrtapt
- Prior art date
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体について高飽和磁束および高角
形比を保ちつつ保磁力を高め、記録再生特性において出
力，記録密度，及びＳ／Ｎを改善する。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板４上に、ＲＦマグネトロン
スパッタ法により下地膜としてＣｒ膜３を成膜後、磁性
膜としてＣｏＣｒＴａＰｔ膜２１とＣｏＣｒＴａ膜２２
とを交互に形成する。この磁性膜を積層することによ
り、磁性膜を高飽和磁束，高角形比に保ちつつ保磁力を
改善させる。
形比を保ちつつ保磁力を高め、記録再生特性において出
力，記録密度，及びＳ／Ｎを改善する。 【構成】 ＮｉＰ／Ａｌ基板４上に、ＲＦマグネトロン
スパッタ法により下地膜としてＣｒ膜３を成膜後、磁性
膜としてＣｏＣｒＴａＰｔ膜２１とＣｏＣｒＴａ膜２２
とを交互に形成する。この磁性膜を積層することによ
り、磁性膜を高飽和磁束，高角形比に保ちつつ保磁力を
改善させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はハード磁気ディスク用の
長手薄膜媒体に関するものである。
長手薄膜媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハード磁気ディスク用の高密度記録媒体
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するために高出力及び高記録密度特性等が要
求され、媒体の磁気特性で飽和磁束，保磁力，及び角形
比を高くする必要がある。
として、塗布媒体に代わりスパッタ法による金属薄膜媒
体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高密度
記録を実現するために高出力及び高記録密度特性等が要
求され、媒体の磁気特性で飽和磁束，保磁力，及び角形
比を高くする必要がある。
【０００３】そこで、上記の特性を満たす媒体として、
これまでにＣｏＮｉＣｒ／Ｃｒ媒体(IEEE Trans. Mag
n.,21,p1429-,1985)及びＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体(IEEE
Trans.Magn.,22,p352-,1986)の開発が行われてきた。
これまでにＣｏＮｉＣｒ／Ｃｒ媒体(IEEE Trans. Mag
n.,21,p1429-,1985)及びＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体(IEEE
Trans.Magn.,22,p352-,1986)の開発が行われてきた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記に示した従来開発
の媒体において飽和磁束，保磁力，及び角形比は良好な
レベルにあるが、更に超高記録密度の実現のためにそれ
らを改善する必要がある。
の媒体において飽和磁束，保磁力，及び角形比は良好な
レベルにあるが、更に超高記録密度の実現のためにそれ
らを改善する必要がある。
【０００５】本発明の目的は、更に超高記録密度実現の
ために媒体の高飽和磁束，高角形比を保ちつつ保磁力を
改善した磁気記録媒体を提供することにある。
ために媒体の高飽和磁束，高角形比を保ちつつ保磁力を
改善した磁気記録媒体を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜とを
有する長手薄膜媒体において、前記磁性膜はＣｏＣｒＴ
ａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交互に積層するようにし
て構成されている。
は、基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の磁性膜とを
有する長手薄膜媒体において、前記磁性膜はＣｏＣｒＴ
ａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交互に積層するようにし
て構成されている。
【０００７】また、本発明の磁気記録媒体において、前
記磁気膜はＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交
互に四層に積層して構成されている。
記磁気膜はＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交
互に四層に積層して構成されている。
【０００８】
【作用】ＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交互
に積層した磁性膜を用いることにより、高飽和磁束，高
角形比を保ちつつ保磁力を改善した磁気記録媒体を得る
ことができる。
に積層した磁性膜を用いることにより、高飽和磁束，高
角形比を保ちつつ保磁力を改善した磁気記録媒体を得る
ことができる。
【０００９】
【実施例】以下、本発明について図面を参照しながら説
明する。
明する。
【００１０】図１は本発明の第一の実施例を示す説明図
である。同図において本発明による磁気記録媒体は２層
の磁性膜２１，２２を有している。
である。同図において本発明による磁気記録媒体は２層
の磁性膜２１，２２を有している。
【００１１】本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマ
グネトロン方式のスパッタ装置にて行った。ターゲット
は、下地膜用として３ＮのＣｒターゲット（下地膜
３），磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（１２ａｔ％Ｃｒ，
２ａｔ％Ｔａ）合金ターゲット（磁性膜２２）及びＣｏ
ＣｒＴａＰｔ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ，４ａｔ
％Ｐｔ）合金ターゲット（磁性膜２１），保護膜として
５ＮのＣターゲット（保護膜１）をそれぞれ用いた。ま
た、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲｍａｘ＝４０
０オングストローム）ＮｉＰ／Ａｌ基板４を用いた。
グネトロン方式のスパッタ装置にて行った。ターゲット
は、下地膜用として３ＮのＣｒターゲット（下地膜
３），磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（１２ａｔ％Ｃｒ，
２ａｔ％Ｔａ）合金ターゲット（磁性膜２２）及びＣｏ
ＣｒＴａＰｔ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ，４ａｔ
％Ｐｔ）合金ターゲット（磁性膜２１），保護膜として
５ＮのＣターゲット（保護膜１）をそれぞれ用いた。ま
た、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲｍａｘ＝４０
０オングストローム）ＮｉＰ／Ａｌ基板４を用いた。
【００１２】図２は本発明の第二の実施例を示す説明図
である。同図において本発明による磁気記録媒体は４層
の磁性膜２１，２２，２１ａ，２２ａを有している。
である。同図において本発明による磁気記録媒体は４層
の磁性膜２１，２２，２１ａ，２２ａを有している。
【００１３】上記の第一および第二の実施例におけるス
パッタ条件を図３に示す。なお、従来例のＣｏＣｒＴａ
磁性膜単層媒体及び比較例としてのＣｏＣｒＴａＰｔ磁
性膜単層媒体（膜厚は共に６００オングストローム）も
作製した。
パッタ条件を図３に示す。なお、従来例のＣｏＣｒＴａ
磁性膜単層媒体及び比較例としてのＣｏＣｒＴａＰｔ磁
性膜単層媒体（膜厚は共に６００オングストローム）も
作製した。
【００１４】このようにして作製した媒体について磁気
特性をＶＳＭにより測定した。結果を図４に示す。同図
において従来のＣｏＣｒＴａ媒体（Ｎｏ３）は飽和磁束
Ｂｓおよび角形比Ｓは高いが、保磁力Ｈｃが低めであ
る。一方、ＣｏＣｒＴａＰｔ媒体（Ｎｏ４）は逆にＨｃ
は高いが、Ｂｓ及びＳは低い。従って、この両方の膜を
組み合わせた本発明の多層媒体（Ｎｏ１，２）は両者の
特長が活かされ、Ｂｓ，Ｓ及びＨｃが高い値が得られて
いる。
特性をＶＳＭにより測定した。結果を図４に示す。同図
において従来のＣｏＣｒＴａ媒体（Ｎｏ３）は飽和磁束
Ｂｓおよび角形比Ｓは高いが、保磁力Ｈｃが低めであ
る。一方、ＣｏＣｒＴａＰｔ媒体（Ｎｏ４）は逆にＨｃ
は高いが、Ｂｓ及びＳは低い。従って、この両方の膜を
組み合わせた本発明の多層媒体（Ｎｏ１，２）は両者の
特長が活かされ、Ｂｓ，Ｓ及びＨｃが高い値が得られて
いる。
【００１５】次に、記録再生特性について述べる。図５
に薄膜ヘッドで評価結果を示す。本発明の積層媒体は、
比較例のＣｏＣｒＴａＰｔ媒体と比較して記録密度Ｄ５
０は多少劣るものの、従来のＣｏＣｒＴａＰｔ媒体と比
較して出力Ｅｐ，Ｄ５０，及び媒体Ｓ／Ｎが改善されて
いる。また、積層数が増えるに従い、Ｓ／Ｎが改善され
ている。
に薄膜ヘッドで評価結果を示す。本発明の積層媒体は、
比較例のＣｏＣｒＴａＰｔ媒体と比較して記録密度Ｄ５
０は多少劣るものの、従来のＣｏＣｒＴａＰｔ媒体と比
較して出力Ｅｐ，Ｄ５０，及び媒体Ｓ／Ｎが改善されて
いる。また、積層数が増えるに従い、Ｓ／Ｎが改善され
ている。
【００１６】
【発明の効果】本発明の積層媒体は以下に示す効果があ
る。
る。
【００１７】（１）本発明のＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒ
ＴａＰｔ膜とを交互に積層することにより、従来媒体と
比較して磁気特性において高飽和磁束，高角形比を保ち
つつ保磁力を改善することができる。
ＴａＰｔ膜とを交互に積層することにより、従来媒体と
比較して磁気特性において高飽和磁束，高角形比を保ち
つつ保磁力を改善することができる。
【００１８】（２）従来媒体と比較して本発明の媒体は
記録再生特性において出力，記録密度，及びＳ／Ｎが改
善される。
記録再生特性において出力，記録密度，及びＳ／Ｎが改
善される。
【図１】本発明の第一の実施例を示す説明図。
【図２】本発明の第二の実施例を示す説明図。
【図３】スパッタ条件を示す説明図。
【図４】磁気特性を示す説明図。
【図５】記録再生特性を示す説明図。
１ 保護膜 ２１，２１ａ 磁性膜（ＣｏＣｒＴａＰｔ） ２２，２２ａ 磁性膜（ＣｏＣｒＴａ） ３ 下地膜 ４ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上にＣｒの下地膜とＣｏ系合金膜の
磁性膜とを有する長手薄膜媒体において、前記磁性膜は
ＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを交互に積層す
ることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の磁気記録媒体において、
前記磁気膜はＣｏＣｒＴａ膜とＣｏＣｒＴａＰｔ膜とを
交互に四層に積層することを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23792592A JPH0684159A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23792592A JPH0684159A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0684159A true JPH0684159A (ja) | 1994-03-25 |
Family
ID=17022492
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23792592A Withdrawn JPH0684159A (ja) | 1992-09-07 | 1992-09-07 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0684159A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997034295A1 (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-18 | Seagate Technology, Inc. | High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers |
| KR100729416B1 (ko) * | 2004-04-20 | 2007-06-18 | 정경균 | 자연력을 이용한 전기 및 동력발생장치가 구비된 선박 |
-
1992
- 1992-09-07 JP JP23792592A patent/JPH0684159A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997034295A1 (en) * | 1996-03-11 | 1997-09-18 | Seagate Technology, Inc. | High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers |
| US5763071A (en) * | 1996-03-11 | 1998-06-09 | Seagate Technology, Inc. | High areal density magnetic recording medium with dual magnetic layers |
| KR100378495B1 (ko) * | 1996-03-11 | 2003-10-10 | 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 | 이중자기층을갖는고면적밀도자기기록매체 |
| KR100729416B1 (ko) * | 2004-04-20 | 2007-06-18 | 정경균 | 자연력을 이용한 전기 및 동력발생장치가 구비된 선박 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991130 |