JP2725506B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JP2725506B2
JP2725506B2 JP32353591A JP32353591A JP2725506B2 JP 2725506 B2 JP2725506 B2 JP 2725506B2 JP 32353591 A JP32353591 A JP 32353591A JP 32353591 A JP32353591 A JP 32353591A JP 2725506 B2 JP2725506 B2 JP 2725506B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハード磁気ディスク等
の磁気記録媒体に関し、特に超高記録密度記録用の垂直
磁気記録媒体に関する。
【０００２】
【従来の技術】次世代の超高記録密度が期待される垂直
磁気記録について実用化を目指して研究開発が精力的に
進められている。つまり、垂直記録方式は、記録信号が
短波長になるすなわち記録密度を増大していくにつれ、
減磁界が小さくなり記録磁化が安定化するという原理的
な性質があるので、長手記録方式より高密度記録に有利
である。
【０００３】この記録方式の媒体には、スパッタあるい
は蒸着などにより形成されるＣｏＣｒおよびＣｏＣｒＴ
ａ合金等の磁性膜がきわめて優れたものとして提案され
ている（日本応用磁気学会誌、Ｖｏｌ．８，Ｎｏ．１，
１９８４，１７ｐ）。ここで、高出力および高記録密度
の特性を得るためには、垂直磁気異方性を高めると共
に、できるだけ垂直方向の保磁力を高めなければならな
い。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来、磁気記録媒体の
垂直方向の保磁力は膜厚方向にほぼ一様であるのに対
し、磁気ヘッドから発生される記録磁界の強度は、磁気
記録媒体の表面から膜厚深さ方向にしたがって減少す
る。そのため、磁気記録媒体の下層部では記録磁界が低
くなるため十分記録できない。したがって、再生出力及
び記録密度などを改善するために磁気記録媒体の下層部
を低保磁力にする必要がある。
【０００５】本発明の目的は、磁気記録媒体の下層部分
が低保磁力となるような磁気記録媒体を提供することに
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上に低保
磁力の磁性層と高保磁力の垂直磁化膜とを有する磁気記
録媒体において、前記低保磁力層がＣｏＣｒＴａ合金膜
に第４元素としてＺｒを含むことを特徴とする。
【０００７】
【作用】ＣｏＣｒＴａ膜は六方最密充填構造をとり、膜
面に対して垂直方向にｃ軸が良好に配向されるので、垂
直異方性磁界及び垂直保磁力が大きくなるが、第４元素
としてＺｒを含有させることにより、低保磁力層を得る
ことができる。
【０００８】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
【０００９】図１は、本発明の磁気記録媒体の一実施例
の断面図である。
【００１０】本実施例の製造にはＲＦマグネトロン方式
のスパッタ装置を用いた。また、基板１はＮｉＰ／Ａｌ
基板を用いた。ターゲットは低保磁力層用として８０Ｃ
ｏ−１７Ｃｒ−３Ｔａ（ａｔ％）合金とＺｒチップを組
み合わせた複合ターゲット、垂直磁化膜用として８０Ｃ
ｏ−１７Ｃｒ−３Ｔａ（ａｔ％）合金ターゲットおよび
保護膜用としてカーボンターゲットをそれぞれ用いた。
表１に成膜条件の詳細を示す。
【００１１】
【表１】
【００１２】まず、ＣｏＣｒＴａ合金ターゲット上にの
せるＺｒチップの個数を変えてＺｒの添加量を変化さ
せ、種々のＣｏＣｒＴａＺｒ合金膜２（７００オングス
トローム）を形成した。
【００１３】図２に、Ｚｒの添加量に対する保磁力の変
化を示す。なお、ＥＰＭＡにより組成を分析し、ＶＳＭ
により磁気特性を測定した。その結果、図２よりＺｒ添
加量が３．０ａｔ％以上で、低保磁力となることがわか
った。
【００１４】次に、本発明の磁気記録媒体の記録再生特
性について述べる。ここで、低保磁力層（７００オング
ストローム）としてＺｒ４ａｔ％添加のＣｏＣｒＴａＺ
ｒ膜２を用い、この低保磁力層上に高保磁力層としてＣ
ｏＣｒＴａ合金膜３（１，３００オングストローム）を
形成し、最後に保護膜としてカーボン（３００オングス
トローム）を形成した。また、比較のため同じ基板で低
保磁力層無しのＣｏＣｒＴａ合金膜（２，０００オング
ストローム）のみの従来の磁気記録媒体も作製した。
【００１５】
【表２】
【００１６】図３に、本発明の磁気記録媒体Ａと従来の
磁気記録媒体Ｂについて、薄膜磁気ヘッドにより、Ｒ／
Ｗ特性を比較した結果を示す。これから本発明の磁気記
録媒体は従来の磁気記録媒体に比べて再生出力および記
録密度が改善されることがわかった。
【００１７】
【発明の効果】本発明により媒体の下層部が低保磁力に
なり、再生出力および記録密度等が改善された。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録媒体の断面図である。
【図２】磁気特性で保磁力（Ｈｃ）のＣｏＣｒＴａ膜へ
のＺｒ添加量依存性を示した図である。
【図３】本発明の磁気記録媒体の記録密度特性について
従来の磁気記録媒体と比較した図である。
【符号の説明】
１ 基板 ２ ＣｏＣｒＴａ＋Ｚｒ合金膜 ３ ＣｏＣｒＴａ合金膜

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】基板上に低保磁力の磁性層と高保磁力の垂
    直磁化膜とを有する磁気記録媒体において、前記低保磁
    力層がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＺｒを含む
    ことを特徴とする磁気記録媒体。
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