JPH05109042A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH05109042A JPH05109042A JP3291894A JP29189491A JPH05109042A JP H05109042 A JPH05109042 A JP H05109042A JP 3291894 A JP3291894 A JP 3291894A JP 29189491 A JP29189491 A JP 29189491A JP H05109042 A JPH05109042 A JP H05109042A
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- JP
- Japan
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- film
- target
- medium
- magnetic
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体の保磁力を高め、再生出力およ
び記録密度を改善する。 【構成】 ＲＦマグネトロンスパッタ法により、ＮｉＰ
／Ａｌ基板上にＮｂ添加ＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ下地膜を形
成する。Ｎｂを１〜９ａｔ％添加することによりＣｏＣ
ｒＴａ膜の保磁力が高められる。
び記録密度を改善する。 【構成】 ＲＦマグネトロンスパッタ法により、ＮｉＰ
／Ａｌ基板上にＮｂ添加ＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ下地膜を形
成する。Ｎｂを１〜９ａｔ％添加することによりＣｏＣ
ｒＴａ膜の保磁力が高められる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ−ド磁気ディスク用
の長手薄膜磁気記録媒体に関するものである。
の長手薄膜磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ハ−ド磁気ディスク用の高記録密度媒体
として、塗布媒体に代わってスパッタ法による金属薄膜
媒体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高記
録密度を実現するため、高出力、高記録密度特性等が要
求されている。これらの特性を向上させるには、その媒
体の磁気特性で保磁力、角形比が大きく、さらにディス
クの円周方向への異方性も大きい必要がある。そこで、
上記のような良好な特性を得るため、ディスク円周方向
にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、下地
膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁性膜としてＣｏＮｉＣ
ｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成する磁気記録媒体が提
案されている（電子情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ
８８−９１およびＣＰＭ８８−９２、１９８８年）。
として、塗布媒体に代わってスパッタ法による金属薄膜
媒体が現在主流となってきている。この薄膜媒体は高記
録密度を実現するため、高出力、高記録密度特性等が要
求されている。これらの特性を向上させるには、その媒
体の磁気特性で保磁力、角形比が大きく、さらにディス
クの円周方向への異方性も大きい必要がある。そこで、
上記のような良好な特性を得るため、ディスク円周方向
にテクスチャ溝をつけたＮｉＰ／Ａｌ基板を用い、下地
膜としてＣｒ膜を形成し、次に磁性膜としてＣｏＮｉＣ
ｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成する磁気記録媒体が提
案されている（電子情報通信学会技術研究報告、ＣＰＭ
８８−９１およびＣＰＭ８８−９２、１９８８年）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、角
形比、円周方向への異方性は良好なレベルにあるが、更
に超高記録密度の実現のためにそれらを改善する必要が
ある。本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、
特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力、角
形比、円周方向への異方性は良好なレベルにあるが、更
に超高記録密度の実現のためにそれらを改善する必要が
ある。本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、
特に媒体の保磁力を改善した磁気記録媒体を提供するこ
とにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にＣｒ
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＮｂを添加したものよりなること
を特徴とする磁気記録媒体である。また、Ｎｂの添加量
は、１ａｔ％以上９ａｔ％以下であることを好適とす
る。
よりなる下地膜とＣｏ系合金膜よりなる磁性膜とが形成
された長手薄膜媒体において、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合
金膜に第４元素としてＮｂを添加したものよりなること
を特徴とする磁気記録媒体である。また、Ｎｂの添加量
は、１ａｔ％以上９ａｔ％以下であることを好適とす
る。
【０００５】
【作用】本発明によれば、ＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元
素としてＮｂを添加することにより、高保磁力の磁気記
録媒体が得られる。また、従来媒体と比較して、再生出
力、記録密度も改善される。
素としてＮｂを添加することにより、高保磁力の磁気記
録媒体が得られる。また、従来媒体と比較して、再生出
力、記録密度も改善される。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＮｂチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。
また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲmax＝４０
０オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ま
ず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、磁
性膜でＮｂの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上に
置くＮｂチップの個数により変化させた。このようにし
て作製した種々のＮｂ組成のＣｏＣｒＴａＮｂ／Ｃｒ媒
体について、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その結
果を図１に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を行
った。図１から本発明のＮｂ添加媒体（ただし、Ｎｂの
添加量は１ａｔ％以上９ａｔ％以下）は、Ｎｂ添加なし
の従来媒体と比較して保磁力が改善されていることがわ
かった。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲット上
にＮｂチップを置く複合タ−ゲットをそれぞれ用いた。
また、基板はテクスチャ溝つき（表面粗さＲmax＝４０
０オングストロ―ム）のＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。ま
ず、本実施例のスパッタ条件を表１に示す。ここで、磁
性膜でＮｂの添加量はＣｏＣｒＴａ合金タ−ゲット上に
置くＮｂチップの個数により変化させた。このようにし
て作製した種々のＮｂ組成のＣｏＣｒＴａＮｂ／Ｃｒ媒
体について、ＶＳＭにより磁気特性を測定した。その結
果を図１に示す。なお、組成はＥＰＭＡにより分析を行
った。図１から本発明のＮｂ添加媒体（ただし、Ｎｂの
添加量は１ａｔ％以上９ａｔ％以下）は、Ｎｂ添加なし
の従来媒体と比較して保磁力が改善されていることがわ
かった。
【０００７】
【表１】
【０００８】次に、本発明媒体の記録再生特性について
述べる。本発明の媒体はＮｂ添加量を５ａｔ％とし、比
較のためＮｂ添加なしの従来媒体も作製した。なお、こ
れら記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＮｂ成膜後に保護
膜として３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜し
た。表２に磁気特性を、および図２に記録再生特性の評
価結果、即ち、再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性
を示す。図２中、ＡおよびＢは、表２の記号ＡおよびＢ
に対応する媒体である。これらから本発明の媒体は従来
媒体と比較して既に述べた通り、磁気特性で保磁力が高
められ、それにより記録再生特性で再生電圧および記録
密度が改善されていることがわかる。
述べる。本発明の媒体はＮｂ添加量を５ａｔ％とし、比
較のためＮｂ添加なしの従来媒体も作製した。なお、こ
れら記録再生用の媒体はＣｏＣｒＴａＮｂ成膜後に保護
膜として３００オングストロ―ム厚のカ―ボンを成膜し
た。表２に磁気特性を、および図２に記録再生特性の評
価結果、即ち、再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性
を示す。図２中、ＡおよびＢは、表２の記号ＡおよびＢ
に対応する媒体である。これらから本発明の媒体は従来
媒体と比較して既に述べた通り、磁気特性で保磁力が高
められ、それにより記録再生特性で再生電圧および記録
密度が改善されていることがわかる。
【０００９】
【表２】
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のＮｂ添加
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
【図面の簡単な説明】
【図１】保磁力（Ｈｃ）のＣｏＣｒＴａ膜へのＮｂ添加
量依存性を示した図である。
量依存性を示した図である。
【図２】本発明の一実施例による再生出力（Ｖ）の記録
密度（Ｄ）依存性を従来例による媒体と比較して示した
図である。
密度（Ｄ）依存性を従来例による媒体と比較して示した
図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上にＣｒよりなる下地膜とＣｏ系合
金膜よりなる磁性膜とが形成された長手薄膜媒体におい
て、磁性膜がＣｏＣｒＴａ合金膜に第４元素としてＮｂ
を添加したものよりなることを特徴とする磁気記録媒
体。 - 【請求項２】 Ｎｂの添加量が１ａｔ％以上９ａｔ％以
下である請求項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291894A JPH05109042A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3291894A JPH05109042A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05109042A true JPH05109042A (ja) | 1993-04-30 |
Family
ID=17774834
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3291894A Pending JPH05109042A (ja) | 1991-10-14 | 1991-10-14 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05109042A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312816A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Kubota Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
-
1991
- 1991-10-14 JP JP3291894A patent/JPH05109042A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0312816A (ja) * | 1989-06-09 | 1991-01-21 | Kubota Corp | 金属薄膜型磁気記録媒体 |
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Legal Events
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