JP2906480B2 - 磁気記録体 - Google Patents
磁気記録体Info
- Publication number
- JP2906480B2 JP2906480B2 JP26550989A JP26550989A JP2906480B2 JP 2906480 B2 JP2906480 B2 JP 2906480B2 JP 26550989 A JP26550989 A JP 26550989A JP 26550989 A JP26550989 A JP 26550989A JP 2906480 B2 JP2906480 B2 JP 2906480B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- magnetic recording
- layer
- noise
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、面内記録型のハードディスクを媒体等に利
用される、特に高保磁力を有し、かつ低ノイズで高密度
記録ができることを特徴とする磁気記録体に関する。
用される、特に高保磁力を有し、かつ低ノイズで高密度
記録ができることを特徴とする磁気記録体に関する。
（従来の技術） 近年、情報量の増大に伴い、記録密度の高い磁気記録
体の要望が高く、合金磁性薄膜を有する磁気記録体の研
究開発が活発である。磁気記録体には大別して面内方向
に磁気異方性を有する面内記録型と垂直方向に磁気異方
性を有する垂直記録型とがある。しかしながら垂直記録
型は磁気ヘッドの浮上量、CSS特性、耐久性などにおい
て現状技術では対応できないため、面内記録型の方が実
用レベルではすぐれている。
体の要望が高く、合金磁性薄膜を有する磁気記録体の研
究開発が活発である。磁気記録体には大別して面内方向
に磁気異方性を有する面内記録型と垂直方向に磁気異方
性を有する垂直記録型とがある。しかしながら垂直記録
型は磁気ヘッドの浮上量、CSS特性、耐久性などにおい
て現状技術では対応できないため、面内記録型の方が実
用レベルではすぐれている。
この種の面内磁気記録媒体としては非磁性基板上にCr
層を介してCo磁性合金層を形成してなるものが知られて
おり、その合金組成について種々検討され、高保磁力を
有するCo Cr Ni磁性合金層が提案されている（特開昭61
−120330号公報）。
層を介してCo磁性合金層を形成してなるものが知られて
おり、その合金組成について種々検討され、高保磁力を
有するCo Cr Ni磁性合金層が提案されている（特開昭61
−120330号公報）。
このCo Cr Ni系磁性合金の場合、下地Cr層の厚さが30
00ÅでCo Cr Ni磁性膜の厚さが500Åの磁気記録体ではN
i15原子％の含有量で最高の保磁力800エールステッド
（以下、Oeと略す）が得られている。
00ÅでCo Cr Ni磁性膜の厚さが500Åの磁気記録体ではN
i15原子％の含有量で最高の保磁力800エールステッド
（以下、Oeと略す）が得られている。
（発明が解決しようとする課題） しかしながら、最近の磁気記録分野では、ますます高
密度記録化が要求され、さらに高保磁力を有し、かつ低
ノイズのものが要求されるようになってきた。しかしな
がら、上記従来の技術ではその保磁力は800（Oe）程度
であり、かつノイズが大きく、これらの要求を満すこと
ができない。
密度記録化が要求され、さらに高保磁力を有し、かつ低
ノイズのものが要求されるようになってきた。しかしな
がら、上記従来の技術ではその保磁力は800（Oe）程度
であり、かつノイズが大きく、これらの要求を満すこと
ができない。
本発明は上記目的を達成するために、磁気記録体の磁
性合金層の組成について鋭意検討した結果、CoCrZrHf組
成の磁性合金層によって、より高性能のものが得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。
性合金層の組成について鋭意検討した結果、CoCrZrHf組
成の磁性合金層によって、より高性能のものが得られる
ことを見出し、本発明を完成するに至った。
（課題を解決するための手段） すなわち、本発明の要旨は、非磁性基材表面上にCr層
を介して磁性金属層を形成してなる磁気記録体におい
て、前記磁性金属層は、Ｘ、Ｙ、Ｗを原子％としたと
き、Co100-(X+Y+W)CrXHfYZrWで表わされ、5.0≦Ｘ≦18.
0、0.05≦Ｙ＜2.0、0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦Ｙ＋Ｗ≦3.0
の組成比を持つことを特徴とする磁気記録体に存する。
（以下、合金の組成含有量は原子％で示す）。
を介して磁性金属層を形成してなる磁気記録体におい
て、前記磁性金属層は、Ｘ、Ｙ、Ｗを原子％としたと
き、Co100-(X+Y+W)CrXHfYZrWで表わされ、5.0≦Ｘ≦18.
0、0.05≦Ｙ＜2.0、0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦Ｙ＋Ｗ≦3.0
の組成比を持つことを特徴とする磁気記録体に存する。
（以下、合金の組成含有量は原子％で示す）。
以下、さらに本発明について詳しく説明する。
本発明の非磁性基材はアルミニウム合金、ガラス、セ
ラミック等強度と平滑性が出せるものを使用する。
ラミック等強度と平滑性が出せるものを使用する。
該基材上に必要により、ニッケル・リンなどからなる
硬質層を設けてもよい。その表面をポリッシングマシン
などの精密研磨機で研磨し、表面粗さをRa30Å程度のも
のとする。次に磁性合金層が異方性配向しやすいよう
に、同芯円状の数100Å程度の溝をつける。この上に、
スパッタリング等によりCr層を作製する。例えばDCマグ
ネトロンスパッタリングの場合、電圧300〜800VでArガ
ス圧10-2〜10-3Torrで実施する。下地Cr層の膜厚は500
〜4000Åが好ましい。500Å未満では保磁力が低下し、4
000Åをこえてはスパッタリング時間がかかるので好ま
しくない。
硬質層を設けてもよい。その表面をポリッシングマシン
などの精密研磨機で研磨し、表面粗さをRa30Å程度のも
のとする。次に磁性合金層が異方性配向しやすいよう
に、同芯円状の数100Å程度の溝をつける。この上に、
スパッタリング等によりCr層を作製する。例えばDCマグ
ネトロンスパッタリングの場合、電圧300〜800VでArガ
ス圧10-2〜10-3Torrで実施する。下地Cr層の膜厚は500
〜4000Åが好ましい。500Å未満では保磁力が低下し、4
000Åをこえてはスパッタリング時間がかかるので好ま
しくない。
本発明における磁性合金層はスパッタリング法によ
り、付着させることが好ましい。Cr、Hf、Zrの組成はタ
ーゲットの材質を変えることによって変化させることが
でき、又その膜厚はスパッタリングの時間によって変え
ることができるが、磁性合金層の組成はCo100-(X+Y+W)C
rXHfYZrWで表わされ、5.0≦Ｘ≦18.0、0.05≦Ｙ＜2.0、
0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦Ｙ＋Ｗ≦3.0であるときに、800
（Oe）以上の高い保磁力を有し、かつ低ノイズの高密度
磁気記録体を得ることができる。さらに好ましくは10≦
Ｘ≦17、0.4≦Ｙ≦1.5、0.4≦Ｗ≦1.5、0.4≦Ｙ＋Ｗ≦
1.5であり、それによってより高い保磁力を有する磁気
記録体を得ることができる。これらの組成範囲外ではい
ずれも保磁力が小さく高密度記録には適していない。
り、付着させることが好ましい。Cr、Hf、Zrの組成はタ
ーゲットの材質を変えることによって変化させることが
でき、又その膜厚はスパッタリングの時間によって変え
ることができるが、磁性合金層の組成はCo100-(X+Y+W)C
rXHfYZrWで表わされ、5.0≦Ｘ≦18.0、0.05≦Ｙ＜2.0、
0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦Ｙ＋Ｗ≦3.0であるときに、800
（Oe）以上の高い保磁力を有し、かつ低ノイズの高密度
磁気記録体を得ることができる。さらに好ましくは10≦
Ｘ≦17、0.4≦Ｙ≦1.5、0.4≦Ｗ≦1.5、0.4≦Ｙ＋Ｗ≦
1.5であり、それによってより高い保磁力を有する磁気
記録体を得ることができる。これらの組成範囲外ではい
ずれも保磁力が小さく高密度記録には適していない。
又、磁性合金層の膜厚は200〜3000Åが好ましい。膜
厚200Å未満では磁荷が小さく所定の出力が出ない。300
0Åをこえてはスパッタリング時間が長くかかるととも
に、記録密度が小さくなる。
厚200Å未満では磁荷が小さく所定の出力が出ない。300
0Åをこえてはスパッタリング時間が長くかかるととも
に、記録密度が小さくなる。
次に磁性合金層の保護層としてカーボン膜をスパッタ
リングにより被着させる。この保護層の厚さは50〜500
Å位が好ましい。
リングにより被着させる。この保護層の厚さは50〜500
Å位が好ましい。
このようにして、第１図に示す構成の磁気記録体が得
られる。
られる。
第１図中、１はニッケル・リンメッキ膜などを有する
アルミニウム合金の非磁性基材であり、２は下地層とし
てのCr層、３は磁性金属層、４は保護膜としてのカーボ
ン保護層を示す。
アルミニウム合金の非磁性基材であり、２は下地層とし
てのCr層、３は磁性金属層、４は保護膜としてのカーボ
ン保護層を示す。
磁気記録体の保磁力は試料振動型磁力計を用いて膜面
に平行及び垂直に磁界を印加し、測定する。通常磁気記
録体の記録密度（BPI;ビット・パー・インチ）は保磁力
（Hc）と残留磁束密度（Br）、と磁性合金層の膜厚
（δ）に大きく依存する。
に平行及び垂直に磁界を印加し、測定する。通常磁気記
録体の記録密度（BPI;ビット・パー・インチ）は保磁力
（Hc）と残留磁束密度（Br）、と磁性合金層の膜厚
（δ）に大きく依存する。
又、この磁気記録体のノイズ特性の測定方法は各周波
数の信号を記録し、その再生時に生じるノイズスペクト
ルをスペクトルアナライザーを用いて測定することがで
きる。ノイズはHc、Br、δによって異なるのでHc及びBr
・δの値が同じ条件で比較する必要がある。
数の信号を記録し、その再生時に生じるノイズスペクト
ルをスペクトルアナライザーを用いて測定することがで
きる。ノイズはHc、Br、δによって異なるのでHc及びBr
・δの値が同じ条件で比較する必要がある。
これを第２図に従ってさらに説明すると、第２図は磁
性合金組成がCoCr13Hf2の磁気記録体と、比較例５の磁
性合金組成を有する磁気記録体について、第３表の測定
条件で測定したスペクトルを示す。すなわち、曲線Ａは
CoCr7.5Ni30（比較例５）の磁性合金層を有する磁気記
録体のノイズスペクトルの測定データを示し、曲線Ｂは
CoCr13Hf2の磁性合金層を有する磁性記録体のノイズス
ペクトルの測定データを示す。曲線Ｃはシステムノイズ
を示す。従って、磁気記録体のノイズは磁気記録体のノ
イズスペクトルとシステムノイズスペクトルとの間で囲
まれた面積が磁気記録体のノイズであり、その面積が小
さい程、ノイズレベルが低いことを意味する。
性合金組成がCoCr13Hf2の磁気記録体と、比較例５の磁
性合金組成を有する磁気記録体について、第３表の測定
条件で測定したスペクトルを示す。すなわち、曲線Ａは
CoCr7.5Ni30（比較例５）の磁性合金層を有する磁気記
録体のノイズスペクトルの測定データを示し、曲線Ｂは
CoCr13Hf2の磁性合金層を有する磁性記録体のノイズス
ペクトルの測定データを示す。曲線Ｃはシステムノイズ
を示す。従って、磁気記録体のノイズは磁気記録体のノ
イズスペクトルとシステムノイズスペクトルとの間で囲
まれた面積が磁気記録体のノイズであり、その面積が小
さい程、ノイズレベルが低いことを意味する。
〈実施例〉 以下に実施例をあげて、本発明を具体的に説明する。
（実施例１〜８、比較例１〜５） アルミニウム合金基板（外径95mm、内径25mm、厚さ1.
3mm）の表面に無電解メッキ法により膜厚20μｍのNi−
Ｐメッキ膜を形成し、その表面をラッピングマシンで精
密研磨し、非磁性基板を作製した。この非磁性基板上に
DCマグネトロンスパッタリング法により、下地層として
Cr層、磁性金属層CoCrZrHf、保護膜としてのカーボン層
を順次、次の製造条件で形成し、磁気記録体を作製し
た。
3mm）の表面に無電解メッキ法により膜厚20μｍのNi−
Ｐメッキ膜を形成し、その表面をラッピングマシンで精
密研磨し、非磁性基板を作製した。この非磁性基板上に
DCマグネトロンスパッタリング法により、下地層として
Cr層、磁性金属層CoCrZrHf、保護膜としてのカーボン層
を順次、次の製造条件で形成し、磁気記録体を作製し
た。
スパッタリングは直径20cmのターゲット３個を用い、
初期排気の到達真空度7.0×10-7Torr、Arガス圧５×10
-3Torr、基板温度230℃で実施した。
初期排気の到達真空度7.0×10-7Torr、Arガス圧５×10
-3Torr、基板温度230℃で実施した。
磁性金属層の組成を変えるためにベース合金であるC
087Cr13のターゲット（直径20cm）上に添加成分であるH
fのチップ（5mm×5mm）の個数を変化させてのせた。
087Cr13のターゲット（直径20cm）上に添加成分であるH
fのチップ（5mm×5mm）の個数を変化させてのせた。
これによって得られた磁気記録体は、Ni−Ｐメッキ膜
厚20μｍのアルミニウム合金の非磁性基材、1500Åの下
地Cr層、600Åの磁性金属層、300Åの保護膜としてのカ
ーボン層から構成されていた。
厚20μｍのアルミニウム合金の非磁性基材、1500Åの下
地Cr層、600Åの磁性金属層、300Åの保護膜としてのカ
ーボン層から構成されていた。
また比較のため、ターゲットを変えた以外は実施例１
〜８と同じ条件で磁気記録体を製造し、比較例１〜４の
Hf、Zr又はHf＋Zrは0.4％のもの及び比較例５の従来の
磁性金属組成CoCr7.5Ni30の磁気記録体を得た。実施例
１〜８、比較例１〜５の磁気記録体は試料振動型磁力計
を用いて、膜面に平行及び垂直に磁界を印加して、得ら
れた磁気特性を比較して判断した結果、すべて面内方向
に磁気異方性を持っていることを確認することができ
た。
〜８と同じ条件で磁気記録体を製造し、比較例１〜４の
Hf、Zr又はHf＋Zrは0.4％のもの及び比較例５の従来の
磁性金属組成CoCr7.5Ni30の磁気記録体を得た。実施例
１〜８、比較例１〜５の磁気記録体は試料振動型磁力計
を用いて、膜面に平行及び垂直に磁界を印加して、得ら
れた磁気特性を比較して判断した結果、すべて面内方向
に磁気異方性を持っていることを確認することができ
た。
またこれらの磁気記録体の保磁力を測定した結果、Hf
及びZrの含有量と保磁力の測定結果を第１表に示す。
及びZrの含有量と保磁力の測定結果を第１表に示す。
このとき、残留磁束密度と膜厚の積Br・δが500ガウ
ス・ミクロン（Ｇ・μｍ）となるように膜厚を調整し
た。その結果、0.05≦Ｙ＜2.0、0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦
Ｙ＋Ｗ≦3.0の範囲で保磁力が800（Oe）より大きく、特
に0.1≦Ｙ＜1.0、0.1≦Ｗ＜1.0、0.2≦Ｙ＋Ｗ≦2.0の範
囲では1000（Oe）以上の高保磁力を示した。これに対
し、比較例１〜４のＹ、Ｗ又はＹ＋Ｗが０、４％のもの
は保磁力の800（Oe）より低く、高密度記録には適さな
いことがわかった。比較例５の従来の磁性金属組成C0Cr
7.5Ni30の磁気記録体の保磁力は800（Oe）であった。
ス・ミクロン（Ｇ・μｍ）となるように膜厚を調整し
た。その結果、0.05≦Ｙ＜2.0、0.05≦Ｗ＜2.0、0.1≦
Ｙ＋Ｗ≦3.0の範囲で保磁力が800（Oe）より大きく、特
に0.1≦Ｙ＜1.0、0.1≦Ｗ＜1.0、0.2≦Ｙ＋Ｗ≦2.0の範
囲では1000（Oe）以上の高保磁力を示した。これに対
し、比較例１〜４のＹ、Ｗ又はＹ＋Ｗが０、４％のもの
は保磁力の800（Oe）より低く、高密度記録には適さな
いことがわかった。比較例５の従来の磁性金属組成C0Cr
7.5Ni30の磁気記録体の保磁力は800（Oe）であった。
それらの磁気記録体のノイズについて、前記した方法
によってスペクトルアナライザーを用いて第２表に示す
条件で測定した周波数2MHz〜10MHzの範囲でノイズスペ
クトルを測定し、前記した方法により、磁気記録体の測
定ノイズスペクトルとシステムノイズスペクトルで囲ま
れた面積より磁気記録体のノイズを算出した。その結果
を第３表に示す。
によってスペクトルアナライザーを用いて第２表に示す
条件で測定した周波数2MHz〜10MHzの範囲でノイズスペ
クトルを測定し、前記した方法により、磁気記録体の測
定ノイズスペクトルとシステムノイズスペクトルで囲ま
れた面積より磁気記録体のノイズを算出した。その結果
を第３表に示す。
この結果から明からなように実施例18は高い周波数ま
で、低ノイズを維持することが可能であるのに対し、従
来の磁性金属組成である比較例５のものは高いノイズを
示した。
で、低ノイズを維持することが可能であるのに対し、従
来の磁性金属組成である比較例５のものは高いノイズを
示した。
（発明の効果） 本願発明による磁気記録体は面内方向で高い保磁力を
有し、かつノイズの低減をはかることが可能であり、高
密度記録に好適であることが判明した。
有し、かつノイズの低減をはかることが可能であり、高
密度記録に好適であることが判明した。
【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の磁気記録体の断面図。 １は非磁性基材、２はCr層、３は磁性金属層、４はカー
ボン保護層。 第２図はスペクトルアナライザーによるノイズスペクト
ルの測定例である。 曲線ＡはCoCr7.5Ni30の磁性金属を有する磁気記録体の
ノイズスペクトル。 曲線ＢはCoCr13Hf2.0の磁性金属を有する磁気記録体の
ノイズスペクトル。 曲線Ｃはシステムノイズスペクトル。
ボン保護層。 第２図はスペクトルアナライザーによるノイズスペクト
ルの測定例である。 曲線ＡはCoCr7.5Ni30の磁性金属を有する磁気記録体の
ノイズスペクトル。 曲線ＢはCoCr13Hf2.0の磁性金属を有する磁気記録体の
ノイズスペクトル。 曲線Ｃはシステムノイズスペクトル。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭64−102724（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−103716（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−306420（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−102616（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G11B 5/66
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基材表面にCr層を介して磁性金属層
を形成してなる磁気記録体において、前記磁性金属層
は、下記組成比（Ｘ、Ｙ、Ｗを原子％を示す）を持つこ
とを特徴とする磁気記録体。 Co100-(X+Y+W)CrXHfYZrW （但し、5.0≦Ｘ≦18.0、0.05≦Ｙ＜2.0、0.05≦Ｗ＜2.
0を表わし、且つ、0.1≦Ｙ＋Ｗ≦3.0を表わす）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26550989A JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26550989A JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03127322A JPH03127322A (ja) | 1991-05-30 |
| JP2906480B2 true JP2906480B2 (ja) | 1999-06-21 |
Family
ID=17418150
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26550989A Expired - Fee Related JP2906480B2 (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 磁気記録体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2906480B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07118418B2 (ja) * | 1992-10-30 | 1995-12-18 | 日本電気株式会社 | 磁気記録媒体 |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP26550989A patent/JP2906480B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03127322A (ja) | 1991-05-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5736262A (en) | Magnetic recording medium | |
| US5908514A (en) | Magnetic alloy for improved corrosion resistance and magnetic performance | |
| JPH087250A (ja) | 磁気記録媒体及びこれを用いた磁気記憶装置 | |
| JPS59142738A (ja) | 磁気記憶体 | |
| US4792497A (en) | Magnetic recording media for longitudinal recording | |
| JP2906480B2 (ja) | 磁気記録体 | |
| US7029772B2 (en) | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus | |
| JPS61199224A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0773433A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法並びに磁気記録装置 | |
| JPH06243451A (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録装置 | |
| JPH0770037B2 (ja) | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 | |
| JP3864637B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3013598B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3044571B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2557381B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2000285431A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH11250438A (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録装置 | |
| JPS61199233A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04137217A (ja) | 磁気特性に優れた磁気ディスクの製造法 | |
| JPH0258723A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH01237926A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0527169B2 (ja) | ||
| JPH01237924A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH04245016A (ja) | 磁気記録媒体 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080402 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 10 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090402 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |