JPH0770037B2 - 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 - Google Patents
面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体Info
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- JPH0770037B2 JPH0770037B2 JP62170547A JP17054787A JPH0770037B2 JP H0770037 B2 JPH0770037 B2 JP H0770037B2 JP 62170547 A JP62170547 A JP 62170547A JP 17054787 A JP17054787 A JP 17054787A JP H0770037 B2 JPH0770037 B2 JP H0770037B2
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高密度磁気記録用として好適な金属薄膜型磁
気記録媒体、特に磁性膜面に平行な向きの磁化記録を行
う面内磁化記録用磁気記録媒体に関する。
気記録媒体、特に磁性膜面に平行な向きの磁化記録を行
う面内磁化記録用磁気記録媒体に関する。
〔従来の技術〕 高密度磁気記録技術は、磁気記録装置における記録再生
方式、磁気ヘッド、および磁気記録媒体等の改良により
近年急速に進歩しつつある。そのなかで、磁気記録媒体
については、主に磁性膜の保磁力（Hc）を大きくするこ
と、および残留磁束密度（Br）を大きくして媒体の厚さ
を極力薄くすること等により、磁気記録の高密度化の要
求に応えてきた。例えば、ウインチェスター型記録装置
に使用されるハードディスクについてみると、その非磁
性基体上に、強磁性粉末と有機バインダからなる磁性膜
を形成した、いわゆる塗布型記録媒体から、より高い磁
気特性を有し高密度記録の可能な金属薄膜を磁性膜とす
る、いわゆる金属薄膜型記録媒体へ変わりつつある。
方式、磁気ヘッド、および磁気記録媒体等の改良により
近年急速に進歩しつつある。そのなかで、磁気記録媒体
については、主に磁性膜の保磁力（Hc）を大きくするこ
と、および残留磁束密度（Br）を大きくして媒体の厚さ
を極力薄くすること等により、磁気記録の高密度化の要
求に応えてきた。例えば、ウインチェスター型記録装置
に使用されるハードディスクについてみると、その非磁
性基体上に、強磁性粉末と有機バインダからなる磁性膜
を形成した、いわゆる塗布型記録媒体から、より高い磁
気特性を有し高密度記録の可能な金属薄膜を磁性膜とす
る、いわゆる金属薄膜型記録媒体へ変わりつつある。
この金属薄膜型磁気記録媒体は、鉄族元素の単体、もし
くは合金、またはそれらと鉄族以外の元素からなる合金
等を、真空蒸着、スパッタリング、あるいはイオンビー
ム蒸着等の手法により、アルミニウム合金等の非磁性基
体上に所定の膜厚に成膜することによって製作される。
その金属薄膜の成分組成は、磁気的性質、記録再生特
性、耐候性等を中心とする耐久性等を総合的に評価して
選択決定されるが、一般的には、Co,Co-Ni系、Co-Cr系
が主に使用されている。
くは合金、またはそれらと鉄族以外の元素からなる合金
等を、真空蒸着、スパッタリング、あるいはイオンビー
ム蒸着等の手法により、アルミニウム合金等の非磁性基
体上に所定の膜厚に成膜することによって製作される。
その金属薄膜の成分組成は、磁気的性質、記録再生特
性、耐候性等を中心とする耐久性等を総合的に評価して
選択決定されるが、一般的には、Co,Co-Ni系、Co-Cr系
が主に使用されている。
その磁化記録方式には、磁性膜（磁気記録層）の厚さ方
向の磁化を利用した垂直磁化記録方式と、磁性膜面に平
行な向き（水平方向）の磁化記録を行う面内磁化記録方
式とがあり、浮上型磁気ヘッド技術が完成されているこ
ととの関連により、面内磁化記録方式が技術的に先行し
ている。
向の磁化を利用した垂直磁化記録方式と、磁性膜面に平
行な向き（水平方向）の磁化記録を行う面内磁化記録方
式とがあり、浮上型磁気ヘッド技術が完成されているこ
ととの関連により、面内磁化記録方式が技術的に先行し
ている。
面内磁化による磁気記録媒体においては、磁性膜に、そ
の水平方向に磁化容易軸が配向した磁気異方性を導入す
ることが必要であり、そのための手段として、非磁性基
体上にCr膜（膜厚約1300〜5000Å）を形成し、その膜面
上に磁性膜を積層成膜することが行われている。Cr（体
心立方格子）の結晶格子の（110）面の一辺 （ａ格子定数）と、磁性膜の主元素であるCo（最密六方
格子）の格子定数ｃとがほぼ等しく、Cr膜面上にCo基合
金磁性膜をエピタキシャル成長させることにより、積層
界面の整合性がよく、その磁性膜にｃ軸が面内方向に配
向した磁気異方性が導入されるからである。
の水平方向に磁化容易軸が配向した磁気異方性を導入す
ることが必要であり、そのための手段として、非磁性基
体上にCr膜（膜厚約1300〜5000Å）を形成し、その膜面
上に磁性膜を積層成膜することが行われている。Cr（体
心立方格子）の結晶格子の（110）面の一辺 （ａ格子定数）と、磁性膜の主元素であるCo（最密六方
格子）の格子定数ｃとがほぼ等しく、Cr膜面上にCo基合
金磁性膜をエピタキシャル成長させることにより、積層
界面の整合性がよく、その磁性膜にｃ軸が面内方向に配
向した磁気異方性が導入されるからである。
上記のように、金属薄膜型磁気記録媒体は、すぐれた磁
気特性を有し、高密度記録の可能な記録媒体であるが、
そのノイズ特性は必ずしも満足し得るものとは言い難
い。
気特性を有し、高密度記録の可能な記録媒体であるが、
そのノイズ特性は必ずしも満足し得るものとは言い難
い。
本発明は、上記に鑑み、面内磁化記録方式の金属薄膜型
磁気記録媒体において、Co-Ni系をベースとする磁性膜
のすぐれた磁気特性を損なうことなく、そのノイズレベ
ルを低減させた高品質・高性能磁気記録媒体を提供しよ
うとするものである。
磁気記録媒体において、Co-Ni系をベースとする磁性膜
のすぐれた磁気特性を損なうことなく、そのノイズレベ
ルを低減させた高品質・高性能磁気記録媒体を提供しよ
うとするものである。
本発明は、非磁性基体上にCr膜を介して形成された金属
系磁性膜を有する面内磁化記録用磁気記録媒体におい
て、該磁性膜が、下記一般式で示される組成を有するこ
とを特徴としている。
系磁性膜を有する面内磁化記録用磁気記録媒体におい
て、該磁性膜が、下記一般式で示される組成を有するこ
とを特徴としている。
(Co100-aNia)100-b-cCrbPc 但し、ａ、ｂおよびｃは原子パーセントを表わし、 ３≦ａ≦40 ２≦ｂ≦10 ２≦ｃ≦７ である。
前記一般式で示される組成を有するCo-Ni-Cr-P合金磁性
膜は、面内磁化記録を行う記録媒体の磁気記録層とし
て、Co-Ni合金磁性膜の本来のすぐれた磁気的性質をほ
ぼそのまま有すると共に、Co-Ni合金磁性膜にまさるす
ぐれたノイズ特性を兼ね備えている。そのノイズ特性の
改善効果は、後記実施例に示したように、CrまたはＰを
単独でCo-Ni合金に添加したのでは得られず、CrとＰと
の復合添加によりはじめて得られるものである。
膜は、面内磁化記録を行う記録媒体の磁気記録層とし
て、Co-Ni合金磁性膜の本来のすぐれた磁気的性質をほ
ぼそのまま有すると共に、Co-Ni合金磁性膜にまさるす
ぐれたノイズ特性を兼ね備えている。そのノイズ特性の
改善効果は、後記実施例に示したように、CrまたはＰを
単独でCo-Ni合金に添加したのでは得られず、CrとＰと
の復合添加によりはじめて得られるものである。
上記一般式で示される本発明における磁性膜のａの値を
３〜40としたのは、その範囲において、Co-Ni合金のす
ぐれた磁気特性、特に高保磁力（Hc）および高残留磁束
密度（Br）が確保されるからである。また、ｂを２〜10
に、ｃを２〜７の範囲にそれぞれ限定したのは、この範
囲内において、Co-Ni合金のすぐれた磁気的性質を損な
わずに、CrとＰの復合添加によるノイズレベルの顕著な
低減効果が得られるからである。
３〜40としたのは、その範囲において、Co-Ni合金のす
ぐれた磁気特性、特に高保磁力（Hc）および高残留磁束
密度（Br）が確保されるからである。また、ｂを２〜10
に、ｃを２〜７の範囲にそれぞれ限定したのは、この範
囲内において、Co-Ni合金のすぐれた磁気的性質を損な
わずに、CrとＰの復合添加によるノイズレベルの顕著な
低減効果が得られるからである。
上記Co-Ni-Cr-P合金磁性膜は、非磁性基体上に、例えば
スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着
法などの各種の成膜法により成膜することかできる。基
体は、非磁性であれば、その材質、形状は問わない。
スパッタリング法、イオンプレーティング法、真空蒸着
法などの各種の成膜法により成膜することかできる。基
体は、非磁性であれば、その材質、形状は問わない。
本発明の金属薄膜型磁気記録媒体は、磁気ディスクをは
じめ、各種磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等とし
て有用であり、いずれもそれらの公知の一般的な製作工
程および条件に従って製作することができる。例えば、
面内記録用磁気ディスクについて述べれば、アルミニウ
ム合金板等を基体とし、その表面に無電解めっきによ
り、15〜25μｍの膜厚を有する硬質のNi−Ｐめっき膜を
設けて精密研磨を加えたのち、その上面に、磁性膜を面
内異方性とするための下地層として、約1300〜5000Åの
膜厚のCr膜を形成する。そのCr膜面上に、前記組成をも
つCo-Ni-Cr-P合金磁性膜を、約500〜2000Åの膜厚とな
るように成膜し、ついで磁性膜の摩耗・損傷を防止する
ための保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備えた炭素質
膜を約150〜600Åの膜厚に成膜することにより、多層積
層構造を有する面内記録用磁気ディスクが得られる。
じめ、各種磁気ドラム、磁気テープ、磁気シート等とし
て有用であり、いずれもそれらの公知の一般的な製作工
程および条件に従って製作することができる。例えば、
面内記録用磁気ディスクについて述べれば、アルミニウ
ム合金板等を基体とし、その表面に無電解めっきによ
り、15〜25μｍの膜厚を有する硬質のNi−Ｐめっき膜を
設けて精密研磨を加えたのち、その上面に、磁性膜を面
内異方性とするための下地層として、約1300〜5000Åの
膜厚のCr膜を形成する。そのCr膜面上に、前記組成をも
つCo-Ni-Cr-P合金磁性膜を、約500〜2000Åの膜厚とな
るように成膜し、ついで磁性膜の摩耗・損傷を防止する
ための保護膜として、潤滑性と耐摩耗性を備えた炭素質
膜を約150〜600Åの膜厚に成膜することにより、多層積
層構造を有する面内記録用磁気ディスクが得られる。
なお、その積層構造は上記の例に限定されず、例えば、
磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、約100
〜500Åの膜厚のCr膜を形成することにより、耐候性の
すぐれた磁気ディスクに仕上げることもできる。Cr膜、
Co-Ni-Cr-P合金磁性膜および炭素質膜等の成膜は、例え
ば、スパッタリング法により、スパッタ室内のArガス圧
力を約１×10-3〜５×10-2torrに保持して好適に達成す
ることができる。また、Co-Ni-Cr-P合金磁性膜のスパッ
タリング成膜におけるターゲットとしては、磁性膜の構
成元素の各単体金属を組合せて用いてもよく、またはそ
れらの合金を用いてもよい。
磁性膜の上に、炭素質膜を成膜するに先立って、約100
〜500Åの膜厚のCr膜を形成することにより、耐候性の
すぐれた磁気ディスクに仕上げることもできる。Cr膜、
Co-Ni-Cr-P合金磁性膜および炭素質膜等の成膜は、例え
ば、スパッタリング法により、スパッタ室内のArガス圧
力を約１×10-3〜５×10-2torrに保持して好適に達成す
ることができる。また、Co-Ni-Cr-P合金磁性膜のスパッ
タリング成膜におけるターゲットとしては、磁性膜の構
成元素の各単体金属を組合せて用いてもよく、またはそ
れらの合金を用いてもよい。
〔Ｉ〕供試磁気ディスクの製作 アルミニウム合金基板（外径130mm、内径40mm、厚さ1.9
mm）の表面に、Ni−Ｐ無電解めっき膜（膜厚20μｍ）を
形成し、表面を精密研磨後これにマグネトロンスパッタ
リング法（但し、アルゴン雰囲気圧:2×10-2torr）を用
いてCr膜（磁性膜に面内異方性を付与するための下地
層）、磁性膜、および炭素質膜（磁性層保護膜、膜厚30
0Å）をこの順に積層形成することにより供試磁気ディ
スク（１）〜（５）および（101）〜（103）を製作し、
得られた各供試磁気ディスクについて、ノイズ特性を比
較評価した。なお、磁気ディスク同士のノイズ特性の正
当な比較を行うには、比較される各磁気ディスクの保磁
力（Hc）および残留磁束密度（Br）と膜厚（δ）の積
（Br・δ）を互いに略等しくしておくことが妥当である
と考えられるので、各供試磁気ディスクのCr膜厚および
磁性膜厚は、その保磁力（Hc）が約750 Oe、Br・δの値
が約600Gμとなるように、それぞれ成膜した。
mm）の表面に、Ni−Ｐ無電解めっき膜（膜厚20μｍ）を
形成し、表面を精密研磨後これにマグネトロンスパッタ
リング法（但し、アルゴン雰囲気圧:2×10-2torr）を用
いてCr膜（磁性膜に面内異方性を付与するための下地
層）、磁性膜、および炭素質膜（磁性層保護膜、膜厚30
0Å）をこの順に積層形成することにより供試磁気ディ
スク（１）〜（５）および（101）〜（103）を製作し、
得られた各供試磁気ディスクについて、ノイズ特性を比
較評価した。なお、磁気ディスク同士のノイズ特性の正
当な比較を行うには、比較される各磁気ディスクの保磁
力（Hc）および残留磁束密度（Br）と膜厚（δ）の積
（Br・δ）を互いに略等しくしておくことが妥当である
と考えられるので、各供試磁気ディスクのCr膜厚および
磁性膜厚は、その保磁力（Hc）が約750 Oe、Br・δの値
が約600Gμとなるように、それぞれ成膜した。
第１表に、供試磁気ディスク（１）〜（５）および（10
1）〜（103）の磁性膜の成分組成、Br・δ値（Ｇμ）、
および保磁力Hc（Oe）を示す。No.1〜５は発明例、No.1
01〜103は比較例である。比較例101〜103のうち、No.10
1は、磁性膜がCrおよびＰのいずれも含まないCo-Ni合金
の例（この組成比のものは、スパッタタイプのハードデ
ィスク用として広く使用されているものである）、No.1
02は、磁性膜がCo-Ni-Cr合金（Co-Ni合金にCrを単純添
加したもの）の例、またNo.103は、磁性膜が、Co-Ni-P
合金（Co-Ni合金にＰを単独添加したもの）の例であ
る。
1）〜（103）の磁性膜の成分組成、Br・δ値（Ｇμ）、
および保磁力Hc（Oe）を示す。No.1〜５は発明例、No.1
01〜103は比較例である。比較例101〜103のうち、No.10
1は、磁性膜がCrおよびＰのいずれも含まないCo-Ni合金
の例（この組成比のものは、スパッタタイプのハードデ
ィスク用として広く使用されているものである）、No.1
02は、磁性膜がCo-Ni-Cr合金（Co-Ni合金にCrを単純添
加したもの）の例、またNo.103は、磁性膜が、Co-Ni-P
合金（Co-Ni合金にＰを単独添加したもの）の例であ
る。
〔II〕ノイズ特性試験 各供試磁気ディスク（１）〜（５）および（101）〜（1
03）のそれぞれに信号を記録し、その再生時に生じるバ
ックグランドノイズのスペクトルをスペクトラムアナラ
イザーにより分析する。測定条件は次のとおりである。
03）のそれぞれに信号を記録し、その再生時に生じるバ
ックグランドノイズのスペクトルをスペクトラムアナラ
イザーにより分析する。測定条件は次のとおりである。
（ｉ） ヘッド:3370モノシリックタイプ （ii） ヘッド浮上量:0.25μｍ （iii） トラック幅:18μｍ （iv） ギャップ長さ:0.9μｍ （ｖ） 記録電流:45mAp-p （vi） 記録周波数:2.5MHz （vii） 記録位置:r＝31.5mm （viii） ディスク回転数:3600rpm （ix） スペクトラムアナライザー： 中心周波数5MHz、周波数スパン10MHz、分解能30KHz。
測定結果を第１図〜第８図に示す。各図とも、横軸は読
取り周波数（MHz）、縦軸は出力値（デシベル）であ
り、図中の曲線（Ａ）は、変調ノイズ、曲線（Ｂ）はシ
ステムノイズを表している。この曲線（Ａ）と（Ｂ）と
で囲まれた領域の面積が小さい程、ノイズレベルが低い
ことを意味している。
取り周波数（MHz）、縦軸は出力値（デシベル）であ
り、図中の曲線（Ａ）は、変調ノイズ、曲線（Ｂ）はシ
ステムノイズを表している。この曲線（Ａ）と（Ｂ）と
で囲まれた領域の面積が小さい程、ノイズレベルが低い
ことを意味している。
第１図〜第５図はそれぞれ発明例である供試磁気ディス
ク（１）〜（５）の測定結果、第６図〜第８図はそれぞ
れ比較例である供試磁気ディスク（101）〜（103）の測
定結果であり、この測定結果によるノイズレベルの評価
を第１表中、右欄に併記した。
ク（１）〜（５）の測定結果、第６図〜第８図はそれぞ
れ比較例である供試磁気ディスク（101）〜（103）の測
定結果であり、この測定結果によるノイズレベルの評価
を第１表中、右欄に併記した。
これらの結果に示されるように、本発明側No.1〜５にお
ける磁性膜は、これと同等の磁気的性質を有する比較例
のものに比し、ノイズレベルが低い。このことは本発明
の磁性膜が、より高密度の記録が可能なことを示すもの
である。なお、発明例No.1〜５と比較例No.102（Co-Ni-
Cr合金）、No.103（Co-Ni-P合金）との対比から明らか
なように、本発明のすぐれたノイズ特性は、CrまたはＰ
の単独添加では得られず、CrとＰの復合添加によりはじ
めて得られるものであることが判る。
ける磁性膜は、これと同等の磁気的性質を有する比較例
のものに比し、ノイズレベルが低い。このことは本発明
の磁性膜が、より高密度の記録が可能なことを示すもの
である。なお、発明例No.1〜５と比較例No.102（Co-Ni-
Cr合金）、No.103（Co-Ni-P合金）との対比から明らか
なように、本発明のすぐれたノイズ特性は、CrまたはＰ
の単独添加では得られず、CrとＰの復合添加によりはじ
めて得られるものであることが判る。
〔発明の効果〕 本発明の面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体は、従
来のCo-Ni合金磁性膜のすぐれた磁気的性質と、Co-Ni合
金磁性膜を凌ぐ良好なノイズ特性とを兼備しているの
で、磁気記録の一そうの高密度化、磁気記録媒体のコン
パクト化、高品質・高性能化を可能とするものである。
来のCo-Ni合金磁性膜のすぐれた磁気的性質と、Co-Ni合
金磁性膜を凌ぐ良好なノイズ特性とを兼備しているの
で、磁気記録の一そうの高密度化、磁気記録媒体のコン
パクト化、高品質・高性能化を可能とするものである。
第１図〜第８図は、磁気ディスクの記録再生時のバック
グランドノイズスペクトル分析を示すグラフである。 A:変調ノイズ、B:システムノイズ。
グランドノイズスペクトル分析を示すグラフである。 A:変調ノイズ、B:システムノイズ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 門脇 達彦 兵庫県尼崎市浜１丁目１番１号 久保田鉄 工株式会社技術開発研究所内 (56)参考文献 特開 昭62−298919（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】非磁性基体上にCr膜を介して形成された金
属系磁性膜を有する面内磁化記録用磁気記録媒体におい
て、該磁性膜が、下式： (Co100-aNia)100-b-cCrbPc 〔式中、a,bおよびｃは原子パーセントを示し、ａは３
〜40、ｂは２〜10、ｃは２〜７である〕 で示される組成を有することを特徴とするノイズ特性に
すぐれた面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62170547A JPH0770037B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 |
| US07/581,266 US5013616A (en) | 1987-07-07 | 1990-09-12 | Magnetic recording medium of thin metal film type |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62170547A JPH0770037B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413220A JPS6413220A (en) | 1989-01-18 |
| JPH0770037B2 true JPH0770037B2 (ja) | 1995-07-31 |
Family
ID=15906902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62170547A Expired - Lifetime JPH0770037B2 (ja) | 1987-07-07 | 1987-07-07 | 面内磁化記録用金属薄膜型磁気記録媒体 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5013616A (ja) |
| JP (1) | JPH0770037B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11589583B2 (en) | 2013-12-03 | 2023-02-28 | Fmc Corporation | Pyrrolidinones herbicides |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5093751A (en) * | 1990-03-21 | 1992-03-03 | Hitachi Electronics Engineering Co., Ltd. | Carry noise measuring system for magnetic recording medium |
| JPH05274644A (ja) * | 1992-01-29 | 1993-10-22 | Mitsubishi Kasei Corp | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
| JP5139461B2 (ja) * | 2010-03-11 | 2013-02-06 | 日立建機株式会社 | 作業機械のマフラ水抜き装置 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5798133A (en) * | 1980-12-05 | 1982-06-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
| JPS5948904A (ja) * | 1982-09-14 | 1984-03-21 | Victor Co Of Japan Ltd | 記録媒体 |
| JPS5972653A (ja) * | 1982-10-20 | 1984-04-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS59201224A (ja) * | 1983-04-28 | 1984-11-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPS62117135A (ja) * | 1985-11-18 | 1987-05-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
| JPH071535B2 (ja) * | 1986-06-18 | 1995-01-11 | 松下電器産業株式会社 | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-07-07 JP JP62170547A patent/JPH0770037B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-09-12 US US07/581,266 patent/US5013616A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11589583B2 (en) | 2013-12-03 | 2023-02-28 | Fmc Corporation | Pyrrolidinones herbicides |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6413220A (en) | 1989-01-18 |
| US5013616A (en) | 1991-05-07 |
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