JP3098245B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
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- JP3098245B2 JP3098245B2 JP02119781A JP11978190A JP3098245B2 JP 3098245 B2 JP3098245 B2 JP 3098245B2 JP 02119781 A JP02119781 A JP 02119781A JP 11978190 A JP11978190 A JP 11978190A JP 3098245 B2 JP3098245 B2 JP 3098245B2
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- Japan
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- medium
- film
- manufacturing
- magnetic
- recording medium
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は磁気記録媒体の製造方法に関し、さらに詳し
くは、ハード磁気ディスク用の長手薄膜媒体の製造方法
に関するものである。
くは、ハード磁気ディスク用の長手薄膜媒体の製造方法
に関するものである。
［従来の技術］ ハード磁気ディスク用の高記録密度媒体として、塗布
媒体に代わってスパッタ法による薄膜媒体が現在主流と
なってきている。高記録密度を実現するため、この薄膜
媒体は高出力、高記録密度特性等が要求されている。こ
れらの特性を向上させるにはその媒体の磁気特性として
保磁力、角形比が大きく、さらにディスクの円周方向へ
の異方性も大きい必要がある。
媒体に代わってスパッタ法による薄膜媒体が現在主流と
なってきている。高記録密度を実現するため、この薄膜
媒体は高出力、高記録密度特性等が要求されている。こ
れらの特性を向上させるにはその媒体の磁気特性として
保磁力、角形比が大きく、さらにディスクの円周方向へ
の異方性も大きい必要がある。
そこで、上記特性を得るため、基板としてディスク円
周方向にテクスチャ溝をつけたNiP/Al基板などを使用
し、純Arガスを用いてスパッタ法により基板上に下地膜
としてCr膜、磁性膜としてCoNiCr膜およびCoCrTa膜を形
成し、媒体を作製する方法が提案されている（電子情報
通信学会技術研究報告、CPM88−91およびCPM88−91、19
88年）。
周方向にテクスチャ溝をつけたNiP/Al基板などを使用
し、純Arガスを用いてスパッタ法により基板上に下地膜
としてCr膜、磁性膜としてCoNiCr膜およびCoCrTa膜を形
成し、媒体を作製する方法が提案されている（電子情報
通信学会技術研究報告、CPM88−91およびCPM88−91、19
88年）。
［発明が解決しようとする課題］ 上記の従来のスパッタ法による薄膜媒体作製技術にお
いても媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良
好なレベルにあるが、更に超高記録密度の実現のために
それらを改善する余地がある。
いても媒体の保磁力、角形比、円周方向への異方性は良
好なレベルにあるが、更に超高記録密度の実現のために
それらを改善する余地がある。
本発明の目的は、更に超高記録密度実現のため、特に
ディスク円周方向への異方性を改善した磁気記録媒体の
製造方法を提供することにある。
ディスク円周方向への異方性を改善した磁気記録媒体の
製造方法を提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、テスクチャ溝つき基板上にスパッタ法によ
りCrの下地膜とCoCrTaの磁性膜からなる薄膜媒体が形成
された磁気記録媒体の製造方法において、下地膜はArガ
スを雰囲気として形成し、磁性膜はArガスと水素ガスか
らなる混合ガスを雰囲気として形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法である。
りCrの下地膜とCoCrTaの磁性膜からなる薄膜媒体が形成
された磁気記録媒体の製造方法において、下地膜はArガ
スを雰囲気として形成し、磁性膜はArガスと水素ガスか
らなる混合ガスを雰囲気として形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法である。
［作用］ 本発明では、テクスチャ溝つき基板上にスパッタ法に
よりCrの下地膜とCoCrTaの磁性膜からなる薄膜媒体を作
製する際に、該下地膜はArガスを雰囲気として膜を形成
し、該磁性膜はArガスと水素ガスからなる混合ガスを雰
囲気として膜を形成する。磁性膜はその添加水素ガスの
影響により、ディスク円周方向への異方性がさらに高め
られる。その結果、出力、記録密度等が改善される。
よりCrの下地膜とCoCrTaの磁性膜からなる薄膜媒体を作
製する際に、該下地膜はArガスを雰囲気として膜を形成
し、該磁性膜はArガスと水素ガスからなる混合ガスを雰
囲気として膜を形成する。磁性膜はその添加水素ガスの
影響により、ディスク円周方向への異方性がさらに高め
られる。その結果、出力、記録密度等が改善される。
［実施例］ 以下に、本発明の実施例について説明する。
本発明に用いたスパッタ装置は、RFマグネトロン方式
のものである。ターゲットは下地膜用として3Nの純度を
有するCrターゲット、磁性膜用としてCoCrTa（12at％C
r、2at％Ta）合金ターゲットをそれぞれ用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき（表面粗さRmax＝400Å）NiP/A
l基板を用いた。
のものである。ターゲットは下地膜用として3Nの純度を
有するCrターゲット、磁性膜用としてCoCrTa（12at％C
r、2at％Ta）合金ターゲットをそれぞれ用いた。また、
基板はテクスチャ溝つき（表面粗さRmax＝400Å）NiP/A
l基板を用いた。
まず、本発明の実施例１によるスパッタ条件を第１表
に示す。また、比較のために、従来と同様にCoCrTa成膜
時に純Arガス雰囲気とした以外は第１表と同条件で作製
した媒体を比較例１とし、更にCr成膜時はArと５％水素
からなる混合ガスで、かつCoCrTa成膜時は純Ar雰囲気で
成膜した媒体を比較例２、両方共に５％H2とArとの混合
ガスで成膜したものを比較例３とする。
に示す。また、比較のために、従来と同様にCoCrTa成膜
時に純Arガス雰囲気とした以外は第１表と同条件で作製
した媒体を比較例１とし、更にCr成膜時はArと５％水素
からなる混合ガスで、かつCoCrTa成膜時は純Ar雰囲気で
成膜した媒体を比較例２、両方共に５％H2とArとの混合
ガスで成膜したものを比較例３とする。
これら４種類について磁気特性を試料振動型磁化測定
器（VSM）により測定した。ここで、ディスク円周方向
での保磁力をHcとし、ディスク半径方向での保磁力を
Hc⊥とする。その結果を第２表に示す。これから、本発
明の媒体は従来より磁気特性（特にディスクの円周方向
への異方性）が改善されていることがわかった。また、
Cr膜の成膜時に混合ガスを用いた場合には、磁気特性が
劣化することがわかった。
器（VSM）により測定した。ここで、ディスク円周方向
での保磁力をHcとし、ディスク半径方向での保磁力を
Hc⊥とする。その結果を第２表に示す。これから、本発
明の媒体は従来より磁気特性（特にディスクの円周方向
への異方性）が改善されていることがわかった。また、
Cr膜の成膜時に混合ガスを用いた場合には、磁気特性が
劣化することがわかった。
［発明の効果］ 本発明の製造方法により作製した磁気記録媒体は、Co
CrTa膜成膜時にArと水素との混合ガスを用いることによ
り、磁気特性、特にディスクの円周方向への異方性が改
善され、従来に比べて再生出力、記録密度等が更に改善
された。
CrTa膜成膜時にArと水素との混合ガスを用いることによ
り、磁気特性、特にディスクの円周方向への異方性が改
善され、従来に比べて再生出力、記録密度等が更に改善
された。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭62−114124（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−311626（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−133217（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−83225（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】テクスチャ溝付き基板上にスパッタ法によ
りCrの下地膜とCoCrTaの磁性膜からなる薄膜媒体が形成
された磁気記録媒体の製造方法において、下地膜はArガ
スを雰囲気として形成し、磁性膜はArガスと水素ガスか
らなる混合ガスを雰囲気として形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02119781A JP3098245B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02119781A JP3098245B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0417122A JPH0417122A (ja) | 1992-01-21 |
| JP3098245B2 true JP3098245B2 (ja) | 2000-10-16 |
Family
ID=14770067
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02119781A Expired - Lifetime JP3098245B2 (ja) | 1990-05-11 | 1990-05-11 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3098245B2 (ja) |
-
1990
- 1990-05-11 JP JP02119781A patent/JP3098245B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0417122A (ja) | 1992-01-21 |
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Legal Events
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