JP2792426B2 - 磁気記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体およびその製造方法Info
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- JP2792426B2 JP2792426B2 JP6063191A JP6319194A JP2792426B2 JP 2792426 B2 JP2792426 B2 JP 2792426B2 JP 6063191 A JP6063191 A JP 6063191A JP 6319194 A JP6319194 A JP 6319194A JP 2792426 B2 JP2792426 B2 JP 2792426B2
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
- medium
- magnetic recording
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ハードディスク装
置等で使用される高密度薄膜の磁気記録媒体およびその
製造方法に関する。
置等で使用される高密度薄膜の磁気記録媒体およびその
製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ハードディスク装置等で使用される
高密度記録媒体として、塗布式の磁気記録媒体に代わっ
てスパッタ法を用いた金属薄膜から成る磁気記録媒体が
現在主流となってきている。
高密度記録媒体として、塗布式の磁気記録媒体に代わっ
てスパッタ法を用いた金属薄膜から成る磁気記録媒体が
現在主流となってきている。
【０００３】この金属薄膜から成る磁気記録媒体は高密
度記録を実現するため、高出力、高記録密度特性および
高Ｓ／Ｎ比等が要求されている。また、磁気記録媒体の
磁気特性で言うと残留磁化および保磁力等が高い必要が
ある。
度記録を実現するため、高出力、高記録密度特性および
高Ｓ／Ｎ比等が要求されている。また、磁気記録媒体の
磁気特性で言うと残留磁化および保磁力等が高い必要が
ある。
【０００４】このような条件を満足する磁気記録媒体と
して、ＮｉＰ／Ａｌ基板上にＣｒ下地膜を形成した後、
磁性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜、ＣｏＣｒＴａ膜などを形
成する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学
会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−
９２、１９８８年）。ここで、ＮｉＰ／Ａｌ基板は円周
方向に沿ったテクスチャ溝を有していて、これにより円
周方向への磁気異方性となり保磁力が高められている。
して、ＮｉＰ／Ａｌ基板上にＣｒ下地膜を形成した後、
磁性膜としてＣｏＮｉＣｒ膜、ＣｏＣｒＴａ膜などを形
成する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学
会技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−
９２、１９８８年）。ここで、ＮｉＰ／Ａｌ基板は円周
方向に沿ったテクスチャ溝を有していて、これにより円
周方向への磁気異方性となり保磁力が高められている。
【０００５】さらに、円周方向への磁気異方性を高める
ために、Ｗを０．５ａｔ％（原子パーセント）ないし３
０ａｔ％の割合で含むＣｒ下地膜を設けたり（特開平３
−２０３８１０号公報参照）、真空加熱処理を施した基
板を用いてＣｏ系磁性膜をエピタキシャル成長させるこ
とにより（特開平３−１６５３１５号公報参照）、さら
に磁気記録媒体の保磁力を向上させている。
ために、Ｗを０．５ａｔ％（原子パーセント）ないし３
０ａｔ％の割合で含むＣｒ下地膜を設けたり（特開平３
−２０３８１０号公報参照）、真空加熱処理を施した基
板を用いてＣｏ系磁性膜をエピタキシャル成長させるこ
とにより（特開平３−１６５３１５号公報参照）、さら
に磁気記録媒体の保磁力を向上させている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の技術では、磁気記録媒体の円周方向への磁気異
方性を高めることは磁気記録媒体の保磁力を上げるのに
有効であり出力も増加するが、一方媒体ノイズも増加す
ることが分かった。
た従来の技術では、磁気記録媒体の円周方向への磁気異
方性を高めることは磁気記録媒体の保磁力を上げるのに
有効であり出力も増加するが、一方媒体ノイズも増加す
ることが分かった。
【０００７】従って、媒体のＳ／Ｎ比を改善するために
媒体ノイズを減少させる必要がある。
媒体ノイズを減少させる必要がある。
【０００８】本発明の主な目的は、上記問題点を解決
し、媒体ノイズを低減し、かつ媒体のＳ／Ｎ比を改善し
た磁気記録媒体および媒体の円周方向に高い保磁力を有
するとともに、磁気異方性を半径方向に容易に変化させ
ることができる磁気記録媒体の製造方法を提供すること
にある。
し、媒体ノイズを低減し、かつ媒体のＳ／Ｎ比を改善し
た磁気記録媒体および媒体の円周方向に高い保磁力を有
するとともに、磁気異方性を半径方向に容易に変化させ
ることができる磁気記録媒体の製造方法を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体
は、ＮｉＰ／Ａｌから成る基板上にＣｒから成る下地膜
を形成し、さらにＣｒから成る下地膜上に媒体の円周方
向に磁界を印加したときの保磁力をＨcc、媒体の半径方
向に磁界を印加したときの保磁力をＨcrと定義したと
き、半径方向への磁気異方性を表す関係式１．０＜Ｈcr
／Ｈcc≦１．４を満たすＣｏ系合金から成る磁性膜を形
成したことを特徴とする。
は、ＮｉＰ／Ａｌから成る基板上にＣｒから成る下地膜
を形成し、さらにＣｒから成る下地膜上に媒体の円周方
向に磁界を印加したときの保磁力をＨcc、媒体の半径方
向に磁界を印加したときの保磁力をＨcrと定義したと
き、半径方向への磁気異方性を表す関係式１．０＜Ｈcr
／Ｈcc≦１．４を満たすＣｏ系合金から成る磁性膜を形
成したことを特徴とする。
【００１０】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法
は、前記関係式を満たす前記磁性膜を有する前記磁気記
録媒体をスパッタ法により形成するとき、前記Ｃｒから
成る下地膜を成膜する際のＡｒガス圧を低圧側に制御し
て磁気異方性を媒体の円周方向から半径方向へ変化させ
ることを特徴とする。
は、前記関係式を満たす前記磁性膜を有する前記磁気記
録媒体をスパッタ法により形成するとき、前記Ｃｒから
成る下地膜を成膜する際のＡｒガス圧を低圧側に制御し
て磁気異方性を媒体の円周方向から半径方向へ変化させ
ることを特徴とする。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１２】本実施例の磁気記録媒体の成膜はＲＦマグ
ネトロン方式のスパッタ装置を用いて行われた。
ネトロン方式のスパッタ装置を用いて行われた。
【００１３】本実施例では、下地膜用として３ＮのＣｒ
ターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（ここで、Ｃ
ｒは１２ａｔ％（原子パーセント）、Ｔａは２ａｔ％）
合金ターゲット、保護膜として５ＮのＣターゲットをそ
れぞれ用いた。
ターゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴａ（ここで、Ｃ
ｒは１２ａｔ％（原子パーセント）、Ｔａは２ａｔ％）
合金ターゲット、保護膜として５ＮのＣターゲットをそ
れぞれ用いた。
【００１４】ここで、Ｎは媒体ノイズを表す。
【００１５】また、基板としてテクスチャ溝付き（表面
粗さＲmax＝４０ｎｍ）ＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。
粗さＲmax＝４０ｎｍ）ＮｉＰ／Ａｌ基板を用いた。
【００１６】まず初めに、本実施例におけるスパッタ条
件を表１に示す。
件を表１に示す。
【００１７】
【表１】
【００１８】このようにして形成されたＣｒ下地膜が色
々なＡｒガス圧から成るＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体につい
て、ＶＳＭにより半径方向における保磁力および半径方
向への磁気異方性を調べた。
々なＡｒガス圧から成るＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体につい
て、ＶＳＭにより半径方向における保磁力および半径方
向への磁気異方性を調べた。
【００１９】その結果を図１に示す。
【００２０】ここで、Ｈcは円周方向における保磁力、
Ｈccは円周方向での保磁力、Ｈcrは半径方向での保磁
力、ＰArはＣｒ下地膜のＡｒガス圧をそれぞれ表す。
Ｈccは円周方向での保磁力、Ｈcrは半径方向での保磁
力、ＰArはＣｒ下地膜のＡｒガス圧をそれぞれ表す。
【００２１】この図１におけるＨcr／Ｈccを表すグラフ
１の結果から、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArを５ｍＴｏ
ｒｒ以下の低圧側に制御すること、すなわちＮｉＰ／Ａ
ｌ基板へ直交入射するスパッタ粒子のエネルギーを高く
することにより半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccを
１．０以上の高い値に変化させることができるというこ
とが分かった。
１の結果から、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArを５ｍＴｏ
ｒｒ以下の低圧側に制御すること、すなわちＮｉＰ／Ａ
ｌ基板へ直交入射するスパッタ粒子のエネルギーを高く
することにより半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccを
１．０以上の高い値に変化させることができるというこ
とが分かった。
【００２２】ここで、図１におけるＨcを表すグラフ２
の結果から、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArを１ｍＴｏｒ
ｒ以下にしてしまうと、保磁力が急激に低下してしまう
のでＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArは１ｍＴｏｒｒ以上で
あることが要求される。
の結果から、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArを１ｍＴｏｒ
ｒ以下にしてしまうと、保磁力が急激に低下してしまう
のでＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArは１ｍＴｏｒｒ以上で
あることが要求される。
【００２３】従って、図１のグラフ１および２から本実
施例におけるＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArの最適値は、
１ｍＴｏｒｒ以上でかつ５ｍＴｏｒｒ以下であると考え
られる。
施例におけるＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰArの最適値は、
１ｍＴｏｒｒ以上でかつ５ｍＴｏｒｒ以下であると考え
られる。
【００２４】なお、望ましいＣｒ下地膜のＡｒガス圧の
絶対値は、チャンバーの形状あるいはＮｉＰ／Ａｌ基板
とターゲットとの間の距離などのスパッタ装置の特性に
依存するため、各スパッタ装置で図１のようなグラフを
作成し、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧の最適な範囲を決定す
る必要がある。
絶対値は、チャンバーの形状あるいはＮｉＰ／Ａｌ基板
とターゲットとの間の距離などのスパッタ装置の特性に
依存するため、各スパッタ装置で図１のようなグラフを
作成し、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧の最適な範囲を決定す
る必要がある。
【００２５】次に、本実施例の磁気記録媒体の記録再生
特性について説明する。
特性について説明する。
【００２６】表２は磁気特性と記録再生特性との評価結
果を示している。
果を示している。
【００２７】
【表２】
【００２８】この表２から本実施例における媒体は従来
の媒体と比べて、高い保磁力を有しながら高い磁気異方
性（磁気異方性が半径方向）を示し、媒体ノイズＮが低
減され、さらに媒体Ｓ／Ｎが改善されていることが分か
った。
の媒体と比べて、高い保磁力を有しながら高い磁気異方
性（磁気異方性が半径方向）を示し、媒体ノイズＮが低
減され、さらに媒体Ｓ／Ｎが改善されていることが分か
った。
【００２９】また、図２は媒体Ｓ／Ｎおよび媒体ノイズ
Ｎと半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccとの依存関係を
示すグラフである。
Ｎと半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccとの依存関係を
示すグラフである。
【００３０】この図２における媒体ノイズＮを表すグラ
フ３および媒体Ｓ／Ｎを表すグラフ４から、低い媒体ノ
イズＮでかつ高い媒体Ｓ／Ｎという特性を有する本実施
例の磁気記録媒体を得るためには、１．０＜Ｈcr／Ｈcc
≦１．４を満たす必要があることが分かった。
フ３および媒体Ｓ／Ｎを表すグラフ４から、低い媒体ノ
イズＮでかつ高い媒体Ｓ／Ｎという特性を有する本実施
例の磁気記録媒体を得るためには、１．０＜Ｈcr／Ｈcc
≦１．４を満たす必要があることが分かった。
【００３１】なお、ビッターを用いたＳＥＭ観測の結果
から、半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccが１．０以下
の領域で媒体ノイズＮが急激に増加する主な原因は磁化
遷移領域におけるジグザグ磁区であり、一方Ｈcr／Ｈcc
が１．４以上の領域で媒体ノイズＮが急激に増加する主
な原因はトラック端での磁区の乱れであることが分かっ
た。
から、半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccが１．０以下
の領域で媒体ノイズＮが急激に増加する主な原因は磁化
遷移領域におけるジグザグ磁区であり、一方Ｈcr／Ｈcc
が１．４以上の領域で媒体ノイズＮが急激に増加する主
な原因はトラック端での磁区の乱れであることが分かっ
た。
【００３２】さらに、本実施例における磁気記録媒体の
磁性膜の成分をＣｏＣｒＴａからＣｏＣｒＴａＰｔに代
えても同様の効果が得られた。
磁性膜の成分をＣｏＣｒＴａからＣｏＣｒＴａＰｔに代
えても同様の効果が得られた。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように本発明の磁気記録媒
体は、Ｃｏ系合金から成る磁性膜が、円周方向に磁界を
印加したときの保磁力をＨcc、半径方向に磁界を印加し
たときの保磁力をＨcrと定義したとき１．０＜Ｈcr／Ｈ
cc≦１．４の関係式を満たしているため、比較的高い保
磁力を有するとともに半径方向への磁気異方性を有し、
さらに媒体ノイズの低減化および媒体Ｓ／Ｎの向上を達
成している。
体は、Ｃｏ系合金から成る磁性膜が、円周方向に磁界を
印加したときの保磁力をＨcc、半径方向に磁界を印加し
たときの保磁力をＨcrと定義したとき１．０＜Ｈcr／Ｈ
cc≦１．４の関係式を満たしているため、比較的高い保
磁力を有するとともに半径方向への磁気異方性を有し、
さらに媒体ノイズの低減化および媒体Ｓ／Ｎの向上を達
成している。
【００３４】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法
は、Ｃｒ下地膜上にＣｏ系合金から成る磁性膜を上記関
係式１．０＜Ｈcr／Ｈcc≦１．４が満たされるようにス
パッタ法で形成するとき、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧を低
圧側に制御することにより、磁気記録媒体の磁気異方性
を円周方向から半径方向へ変化させることができる。
は、Ｃｒ下地膜上にＣｏ系合金から成る磁性膜を上記関
係式１．０＜Ｈcr／Ｈcc≦１．４が満たされるようにス
パッタ法で形成するとき、Ｃｒ下地膜のＡｒガス圧を低
圧側に制御することにより、磁気記録媒体の磁気異方性
を円周方向から半径方向へ変化させることができる。
【図１】半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccおよび円周
方向における保磁力ＨcとＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰAr
との依存関係を表す説明図である。
方向における保磁力ＨcとＣｒ下地膜のＡｒガス圧ＰAr
との依存関係を表す説明図である。
【図２】媒体Ｓ／Ｎおよび媒体ノイズＮと半径方向への
磁気異方性Ｈcr／Ｈccとの依存関係を表す説明図であ
る。
磁気異方性Ｈcr／Ｈccとの依存関係を表す説明図であ
る。
１ 半径方向への磁気異方性Ｈcr／Ｈccを示すグラフ ２ 円周方向における保磁力を示すグラフ ３ 媒体ノイズＮを示すグラフ ４ 媒体Ｓ／Ｎを示すグラフ
Claims (4)
- 【請求項１】 ＮｉＰ／Ａｌから成る基板上にＣｒから
成る下地膜を、前記下地膜上にＣｏ系合金から成る磁性
膜をそれぞれスパッタ法で形成した磁気記録媒体であ
り、 前記磁性膜は、媒体の円周方向に磁界を印加したときの
保磁力をＨcc、媒体の半径方向に磁界を印加したときの
保磁力をＨcrと定義したとき、 前記保磁力Ｈccは１６００Oe（１６００エルステッド）
以上であり、 半径方向への磁気異方性を表す関係式１．０＜Ｈcr／Ｈ
cc≦１．４を満たすことを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記磁性膜は、ＣｏＣｒＴａから成るこ
とを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 前記磁性膜は、ＣｏＣｒＴａＰｔから成
ることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体。 - 【請求項４】 ＮｉＰ／Ａｌから成る基板上にＣｒから
成る下地膜と、前記下地膜上にＣｏ系合金から成る磁性
膜を有する磁気記録媒体の製造方法であり、 前記磁性膜は、媒体の円周方向に磁界を印加したときの
保磁力をＨcc、媒体の半径方向に磁界を印加したときの
保磁力をＨcrと定義したとき、 半径方向への磁気異方性を表す関係式１．０＜Ｈcr／Ｈ
cc≦１．４を満たし、前記下地膜の膜厚は６０ｎｍであ
り、 前記磁気記録媒体をスパッタ法により形成するとき、前
記Ｃｒから成る下地膜を成膜する際のＡｒガス圧を１ｍ
Ｔｏｒｒ以上かつ５ｍＴｏｒｒ以下に制御して磁気異方
性を媒体の円周方向から半径方向へ変化させることを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6063191A JP2792426B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6063191A JP2792426B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07272240A JPH07272240A (ja) | 1995-10-20 |
| JP2792426B2 true JP2792426B2 (ja) | 1998-09-03 |
Family
ID=13222096
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6063191A Expired - Lifetime JP2792426B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2792426B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05325164A (ja) * | 1992-05-20 | 1993-12-10 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 磁気記録媒体とその製造方法 |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP6063191A patent/JP2792426B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07272240A (ja) | 1995-10-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980519 |