JPH0512647A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0512647A JPH0512647A JP19058291A JP19058291A JPH0512647A JP H0512647 A JPH0512647 A JP H0512647A JP 19058291 A JP19058291 A JP 19058291A JP 19058291 A JP19058291 A JP 19058291A JP H0512647 A JPH0512647 A JP H0512647A
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
- coercive force
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録媒体の保磁力を１５００Oe以上に向
上させて、より高密度に記録再生できるようにした。 【構成】 Ｃｏからなる第１の層およびＣｏＣｒ系合金
の磁性膜からなる第２の層を形成してなるディスク状磁
気記録媒体において、磁性膜がＡｒを０．０５原子％以
上含有するようにした。
上させて、より高密度に記録再生できるようにした。 【構成】 Ｃｏからなる第１の層およびＣｏＣｒ系合金
の磁性膜からなる第２の層を形成してなるディスク状磁
気記録媒体において、磁性膜がＡｒを０．０５原子％以
上含有するようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気ヘッドとの
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特に磁性膜の保磁力を大きくするために
磁性膜にＡｒを含有させたものである。
間において情報の記録および再生を行なうための磁気記
録媒体に関し、特に磁性膜の保磁力を大きくするために
磁性膜にＡｒを含有させたものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスク装置では、磁気記録媒体に
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気ディスク装置に対する記録の高密度化の要求に
伴い、磁気ヘッドではその記録再生特性の向上が要求さ
れ、磁気記録媒体では記録密度の高い磁性膜を用いるこ
とが要求されている。近年高密度記録ができるものとし
て垂直磁気記録方式が注目されているものの、充分な記
録再生特性が得にくいなど未だ多くの問題があり、広く
実用化されるにはいたっていない。このため広く実用化
されている面内に磁気異方性をもつ磁気記録媒体を用い
た磁気ディスク装置での改良が強く求められている。
微小間隔で磁気ヘッドを対向させ、磁気記録媒体に記録
された磁気情報を磁気ヘッドが読みとったり、磁気ヘッ
ドから磁気記録媒体に磁気的に記録するようになってい
る。磁気ディスク装置に対する記録の高密度化の要求に
伴い、磁気ヘッドではその記録再生特性の向上が要求さ
れ、磁気記録媒体では記録密度の高い磁性膜を用いるこ
とが要求されている。近年高密度記録ができるものとし
て垂直磁気記録方式が注目されているものの、充分な記
録再生特性が得にくいなど未だ多くの問題があり、広く
実用化されるにはいたっていない。このため広く実用化
されている面内に磁気異方性をもつ磁気記録媒体を用い
た磁気ディスク装置での改良が強く求められている。
【０００３】面内に異方性をもつ磁気記録媒体の磁性層
の記録密度を高めるためには、磁性層の保磁力を高めれ
ばよく、そのため非磁性基板上にＣｒ下地を介してＣｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ層を磁性層として成膜したものがある。し
かしこの磁性層は、保磁力がＣｒ下地層の厚みに大きく
依存し、層の厚さが厚くなるに従い保磁力が増加する。
高密度化のためには記録媒体の高保磁力化が必要である
が、この磁性層を形成した記録媒体においては、１００
０Oe以上の保磁力を得るために２０００Å以上のＣｒ層
を形成しなければならず、層形成に要する時間が長くな
り生産性を低下させるという問題があった。このため下
地Ｃｒ膜が薄くても高保磁力が得られるようにする研究
がされている（日本応用磁気学会誌，１４，５３，１９
９０）が、必ずしも満足し得る成果は得られていない。
の記録密度を高めるためには、磁性層の保磁力を高めれ
ばよく、そのため非磁性基板上にＣｒ下地を介してＣｏ
−Ｎｉ−Ｃｒ層を磁性層として成膜したものがある。し
かしこの磁性層は、保磁力がＣｒ下地層の厚みに大きく
依存し、層の厚さが厚くなるに従い保磁力が増加する。
高密度化のためには記録媒体の高保磁力化が必要である
が、この磁性層を形成した記録媒体においては、１００
０Oe以上の保磁力を得るために２０００Å以上のＣｒ層
を形成しなければならず、層形成に要する時間が長くな
り生産性を低下させるという問題があった。このため下
地Ｃｒ膜が薄くても高保磁力が得られるようにする研究
がされている（日本応用磁気学会誌，１４，５３，１９
９０）が、必ずしも満足し得る成果は得られていない。
【０００４】また非磁性基板上にＣｒ下地層を介してＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ膜を形成したものが提唱されており（Ｉ
ＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇｎ．ＭＡＧ−２３，１２
２，１９８７）、この媒体ではＣｒ層が１０００Åの厚
さでも１０００Oe以上の保磁力が得られるようになっ
た。しかし現在の段階では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金の
磁性層の保磁力を１５００Oe以上にする技術は達成され
ていない。
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ膜を形成したものが提唱されており（Ｉ
ＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｍａｇｎ．ＭＡＧ−２３，１２
２，１９８７）、この媒体ではＣｒ層が１０００Åの厚
さでも１０００Oe以上の保磁力が得られるようになっ
た。しかし現在の段階では、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系合金の
磁性層の保磁力を１５００Oe以上にする技術は達成され
ていない。
【０００５】また高保磁力の磁性膜を得るためには、ス
パッタリング時に基板にバイアス電圧を印加すればよい
ことが「信学技報（ＣＰＭ８８，１９８８）」に報告さ
れている。しかし、この場合においても高保磁力を得る
ためにはＣｒ下地膜の膜厚が１５００Å以上を要してお
り、生産性の点から更なる改善が望まれる。この他、ス
パッタ時に基板にバイアス電圧を印加する方法は、特開
平２−１５４３２２号公報や特開平２−１６１６１７号
公報にも記載されている。この場合、バイアス電圧−１
００〜−４００Ｖを基板に印加してスパッタリングを行
なうと、ＣｏやＣｒ等の金属イオンが加速されて基板に
打ち込まれ、表面の金属原子の拡散を活発にしてＣｒの
偏折を更に進行させるため極めて高い保磁力が得られる
としているが、Ｃｒ下地膜厚についての改善については
全く開示されていない。
パッタリング時に基板にバイアス電圧を印加すればよい
ことが「信学技報（ＣＰＭ８８，１９８８）」に報告さ
れている。しかし、この場合においても高保磁力を得る
ためにはＣｒ下地膜の膜厚が１５００Å以上を要してお
り、生産性の点から更なる改善が望まれる。この他、ス
パッタ時に基板にバイアス電圧を印加する方法は、特開
平２−１５４３２２号公報や特開平２−１６１６１７号
公報にも記載されている。この場合、バイアス電圧−１
００〜−４００Ｖを基板に印加してスパッタリングを行
なうと、ＣｏやＣｒ等の金属イオンが加速されて基板に
打ち込まれ、表面の金属原子の拡散を活発にしてＣｒの
偏折を更に進行させるため極めて高い保磁力が得られる
としているが、Ｃｒ下地膜厚についての改善については
全く開示されていない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】従来、磁気記録媒体の
記録密度の向上のために、基板にＣｒ下地層を設けた
り、基板にバイアス電圧を印加するなどして磁性層の保
磁力を大きくする提案がなされている。しかし、磁性層
の保磁力を大きくする要因は、下地Ｃｒ層の厚さ、基板
へ印加するバイアス電圧の大きさ、磁性層の厚さなどが
あり、それらをどのような設定値で磁気記録媒体を作成
すればより高い保磁力が得られるかが種々研究されてい
るが、現在のところ１５００Oe以上の保磁力を安定して
得る技術は達成されていない。そこで本発明は、保磁力
が１５００Oe以上の高保磁力となる磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
記録密度の向上のために、基板にＣｒ下地層を設けた
り、基板にバイアス電圧を印加するなどして磁性層の保
磁力を大きくする提案がなされている。しかし、磁性層
の保磁力を大きくする要因は、下地Ｃｒ層の厚さ、基板
へ印加するバイアス電圧の大きさ、磁性層の厚さなどが
あり、それらをどのような設定値で磁気記録媒体を作成
すればより高い保磁力が得られるかが種々研究されてい
るが、現在のところ１５００Oe以上の保磁力を安定して
得る技術は達成されていない。そこで本発明は、保磁力
が１５００Oe以上の高保磁力となる磁気記録媒体を提供
することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、磁気記録
媒体における保磁力を向上するため、従来、検討されて
いない要素を種々検討した結果、磁性膜にＡｒを含有さ
せることにより保磁力をより向上できることを知り、そ
れに基づき本発明の磁気記録媒体を提供する。すなわち
本発明は、Ｃｏからなる第１の層およびＣｏＣｒ系合金
磁性膜からなる第２の層を形成してなるディスク状磁気
記録媒体において、磁性膜がＡｒを０．０５原子％以上
含有していることを特徴とする。なお、Ａｒの含有量が
０．０５原子％より少ないと保磁力向上の効果が得られ
ず、３原子％まで含有量を増して行けばそれなりに保磁
力が向上できるが、３原子％より多く含有させてもそれ
なりの効果は得られないので、３原子％より少なく含有
させるのが望ましい。
媒体における保磁力を向上するため、従来、検討されて
いない要素を種々検討した結果、磁性膜にＡｒを含有さ
せることにより保磁力をより向上できることを知り、そ
れに基づき本発明の磁気記録媒体を提供する。すなわち
本発明は、Ｃｏからなる第１の層およびＣｏＣｒ系合金
磁性膜からなる第２の層を形成してなるディスク状磁気
記録媒体において、磁性膜がＡｒを０．０５原子％以上
含有していることを特徴とする。なお、Ａｒの含有量が
０．０５原子％より少ないと保磁力向上の効果が得られ
ず、３原子％まで含有量を増して行けばそれなりに保磁
力が向上できるが、３原子％より多く含有させてもそれ
なりの効果は得られないので、３原子％より少なく含有
させるのが望ましい。
【０００８】
【作用】上記の磁気記録媒体は、磁性膜に０．０５原子
％以上のＡｒを含んでいるため、磁性膜を構成する結晶
構造において、六方晶の頂点のＣｏ原子とＣｒ原子との
結合線途中にＡｒ原子が組込まれた構造になる。このた
め、Ａｒが組込まれたＣｏ原子とＣｒ原子間距離が拡げ
られ、結晶構造が歪みを生じる。このように磁性膜の結
晶構造に歪みが生じるため、磁性膜の保磁力は向上す
る。
％以上のＡｒを含んでいるため、磁性膜を構成する結晶
構造において、六方晶の頂点のＣｏ原子とＣｒ原子との
結合線途中にＡｒ原子が組込まれた構造になる。このた
め、Ａｒが組込まれたＣｏ原子とＣｒ原子間距離が拡げ
られ、結晶構造が歪みを生じる。このように磁性膜の結
晶構造に歪みが生じるため、磁性膜の保磁力は向上す
る。
【０００９】
【実施例】以下、本発明について実施例及び比較例等に
基づいて詳述する。ただし本発明の範囲が、これら実施
例により限定されるものではない。 （実施例１）３．５インチアルミニウム合金基板（外径
９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍ）の表面に
Ｎｉ−Ｐメッキ膜を５〜１５μｍ形成し、表面を鏡面加
工した。このディスク状基板を洗浄後、例えば、ＤＣマ
グネトロンスパッタ装置を使用し、スパッタ室内を１×
１０-5Ｔｏｒｒ以下に排気後、Ａｒガスを導入してスパ
ッタ室内を５ｍＴｏｒｒに保持し、投入電力２０００
Ｗ、成膜速度４００Å／分の条件で下地Ｃｒ層を５００
Åの厚さに成膜した。このスパッタの際、基板を他の部
分より電気的に浮かせ、ＤＣ電源により−４００Ｖのバ
イアス電圧を印加した。そして前記の下地層を成膜した
基板を数個作成した。
基づいて詳述する。ただし本発明の範囲が、これら実施
例により限定されるものではない。 （実施例１）３．５インチアルミニウム合金基板（外径
９５ｍｍ、内径２５ｍｍ、厚み１．２７ｍｍ）の表面に
Ｎｉ−Ｐメッキ膜を５〜１５μｍ形成し、表面を鏡面加
工した。このディスク状基板を洗浄後、例えば、ＤＣマ
グネトロンスパッタ装置を使用し、スパッタ室内を１×
１０-5Ｔｏｒｒ以下に排気後、Ａｒガスを導入してスパ
ッタ室内を５ｍＴｏｒｒに保持し、投入電力２０００
Ｗ、成膜速度４００Å／分の条件で下地Ｃｒ層を５００
Åの厚さに成膜した。このスパッタの際、基板を他の部
分より電気的に浮かせ、ＤＣ電源により−４００Ｖのバ
イアス電圧を印加した。そして前記の下地層を成膜した
基板を数個作成した。
【００１０】次に、前記により作成した数個の基板の各
下地層の上にそれぞれＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金からなる磁
性膜を成膜した。成膜には前記スパッタ装置を使用し、
スパッタ室内を１×１０-5Ｔｏｒｒ以下に排気後、Ａｒ
ガスを導入してスパッタ室内を５ｍＴｏｒｒに保持し、
投入電力２０００Ｗ、成膜速度１０００Å／分の条件で
５００Åの膜厚に成膜した。このスパッタ時には、基板
を他の部分より電気的に浮かせ、ＤＣ電源により表１に
示すように各基板には負の種々のバイアス電圧を印加
し、比較のためバイアス電圧を印加しないものも比較例
として作成した。なお、バイアス電圧を種々変更したの
は、その大きさにより磁性膜に含有されるＡｒ量が変化
するからである。
下地層の上にそれぞれＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ合金からなる磁
性膜を成膜した。成膜には前記スパッタ装置を使用し、
スパッタ室内を１×１０-5Ｔｏｒｒ以下に排気後、Ａｒ
ガスを導入してスパッタ室内を５ｍＴｏｒｒに保持し、
投入電力２０００Ｗ、成膜速度１０００Å／分の条件で
５００Åの膜厚に成膜した。このスパッタ時には、基板
を他の部分より電気的に浮かせ、ＤＣ電源により表１に
示すように各基板には負の種々のバイアス電圧を印加
し、比較のためバイアス電圧を印加しないものも比較例
として作成した。なお、バイアス電圧を種々変更したの
は、その大きさにより磁性膜に含有されるＡｒ量が変化
するからである。
【００１１】
【表１】
【００１２】上記により成膜したそれぞれの磁性膜上
に、保護膜としてのカーボン膜を、前記スパッタ装置を
使用して投入電力１０００Ｗ、成膜速度８０Å／分の条
件で、前記磁性膜上に３００Åの厚さに成膜して数個の
磁気記録媒体を作成した。作成した各磁気記録媒体の磁
性膜のＡｒ含有量（原子％）を測定するとともに、保磁
力を測定したところ表１に示すようになった。またＡｒ
含有量と保磁力との関係を図１に示した。図１からわか
るように、Ａｒ含有量が０．１原子％で保磁力が約１５
００Oeとなり、Ａｒ含有量が増加して３原子％に近づく
までは、保磁力が２０００Oeまで増加するが、それより
Ａｒ含有量が多くなっても、ほとんど保磁力は増加しな
いことがわかる。
に、保護膜としてのカーボン膜を、前記スパッタ装置を
使用して投入電力１０００Ｗ、成膜速度８０Å／分の条
件で、前記磁性膜上に３００Åの厚さに成膜して数個の
磁気記録媒体を作成した。作成した各磁気記録媒体の磁
性膜のＡｒ含有量（原子％）を測定するとともに、保磁
力を測定したところ表１に示すようになった。またＡｒ
含有量と保磁力との関係を図１に示した。図１からわか
るように、Ａｒ含有量が０．１原子％で保磁力が約１５
００Oeとなり、Ａｒ含有量が増加して３原子％に近づく
までは、保磁力が２０００Oeまで増加するが、それより
Ａｒ含有量が多くなっても、ほとんど保磁力は増加しな
いことがわかる。
【００１３】（実施例２）実施例１で作成した６種類の
磁気記録媒体について、それぞれの磁性膜を構成する結
晶構造の格子定数を測定したところ、表２に示すように
なった。表２からわかるように、Ａｒ含有量の変化と格
子定数の変化はほぼ同一の傾向があり、Ａｒ含有量が多
い程、格子定数が大きい。すなわちＡｒ含有量が多いほ
ど結晶の歪も大きくなり、保磁力も大きくなっているこ
とが認められる。なお、格子定数（ａ）は、六方晶の中
心から陵までの距離を表わし、格子定数（ｃ）は六方晶
の底面と上面の距離を表わす。
磁気記録媒体について、それぞれの磁性膜を構成する結
晶構造の格子定数を測定したところ、表２に示すように
なった。表２からわかるように、Ａｒ含有量の変化と格
子定数の変化はほぼ同一の傾向があり、Ａｒ含有量が多
い程、格子定数が大きい。すなわちＡｒ含有量が多いほ
ど結晶の歪も大きくなり、保磁力も大きくなっているこ
とが認められる。なお、格子定数（ａ）は、六方晶の中
心から陵までの距離を表わし、格子定数（ｃ）は六方晶
の底面と上面の距離を表わす。
【００１４】
【表２】
前記の各実施例では磁性膜をＣｏ−Ｃｒ−Ｔａで作
成したが、その他のＣｏＣｒ系合金で作成しても、前記
と同様の結果が得られることは容易に推測できる。
成したが、その他のＣｏＣｒ系合金で作成しても、前記
と同様の結果が得られることは容易に推測できる。
【００１５】
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体は、磁性膜にＡｒ
を含有させているので、磁性膜を構成する結晶構造に歪
みを生じさせることができ、それがために保磁力をより
１５００Oe以上に向上させることができる。よって本発
明によれば、より高密度に記録、再生できる磁気記録媒
体を作成することができる。
を含有させているので、磁性膜を構成する結晶構造に歪
みを生じさせることができ、それがために保磁力をより
１５００Oe以上に向上させることができる。よって本発
明によれば、より高密度に記録、再生できる磁気記録媒
体を作成することができる。
【図１】磁性膜のＡｒ含有量と保磁力との関係図であ
る。
る。
【図２】六方晶構造のモデルである。
Claims (2)
- 【請求項１】 非磁性基板上にＣｒからなる第１の層お
よびＣｏＣｒ系合金磁性膜からなる第２の層を形成して
なるディスク状磁気記録媒体において、磁性膜がＡｒを
０．０５原子％以上含有していることを特徴とする磁気
記録媒体。 - 【請求項２】 磁性膜が含むＡｒ量は３原子％以下であ
ることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19058291A JPH0512647A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19058291A JPH0512647A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0512647A true JPH0512647A (ja) | 1993-01-22 |
Family
ID=16260463
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19058291A Pending JPH0512647A (ja) | 1991-07-04 | 1991-07-04 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0512647A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6268036B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-07-31 | International Business Machines Corporation | Thin film disk with highly faulted crystalline underlayer |
| SG131748A1 (en) * | 2002-09-02 | 2007-05-28 | Inst Data Storage | Method of fabricating l10 ordered fept films with as a magnetic recording media |
| JP2010231860A (ja) * | 2009-03-28 | 2010-10-14 | Hoya Corp | 磁気ディスク |
-
1991
- 1991-07-04 JP JP19058291A patent/JPH0512647A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6268036B1 (en) | 1998-06-26 | 2001-07-31 | International Business Machines Corporation | Thin film disk with highly faulted crystalline underlayer |
| SG131748A1 (en) * | 2002-09-02 | 2007-05-28 | Inst Data Storage | Method of fabricating l10 ordered fept films with as a magnetic recording media |
| JP2010231860A (ja) * | 2009-03-28 | 2010-10-14 | Hoya Corp | 磁気ディスク |
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