JPH0536054A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0536054A JPH0536054A JP21307991A JP21307991A JPH0536054A JP H0536054 A JPH0536054 A JP H0536054A JP 21307991 A JP21307991 A JP 21307991A JP 21307991 A JP21307991 A JP 21307991A JP H0536054 A JPH0536054 A JP H0536054A
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- Japan
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- magnetic
- recording medium
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- magnetic recording
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- Pending
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 Ｃｏ系合金の磁性膜を用いた磁気記録媒体の
保磁力を高め、再生出力および記録密度を改善する。 【構成】 ＲＦマグネトロンスパッタ法によるＣｒ下地
膜の成膜時に酸素ガスを添加することによりｂｃｃ（１
００）配向をさせ、エピタキシャル的な成長によりｈｃ
ｐ（１１０）配向のＣｏＣｒＴａ膜を形成する。これに
より磁気特性で保磁力を高める。
保磁力を高め、再生出力および記録密度を改善する。 【構成】 ＲＦマグネトロンスパッタ法によるＣｒ下地
膜の成膜時に酸素ガスを添加することによりｂｃｃ（１
００）配向をさせ、エピタキシャル的な成長によりｈｃ
ｐ（１１０）配向のＣｏＣｒＴａ膜を形成する。これに
より磁気特性で保磁力を高める。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ハ−ド磁気ディスク用
の長手薄膜磁気記録媒体およびその製造方法に関するも
のである。
の長手薄膜磁気記録媒体およびその製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ハ−ド磁気ディスク用の塗布媒体に代わ
って、高記録密度媒体として、スパッタ法による薄膜媒
体が現在主流となってきている。高記録密度を実現する
ため、この薄膜媒体は高出力、高記録密度特性等が要求
されている。これらの特性を向上させるには、その媒体
の磁気特性として保磁力および角形比が大きい必要があ
る。そこで、上記特性を得るため、基板上に下地膜とし
てｂｃｃ（１１０）配向のＣｒ膜を形成し、次に磁性膜
としてｈｃｐ（１０１）およびｈｃｐ（１００）の混在
した構造のＣｏＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成
する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学会
技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−９
２、１９８８年）。
って、高記録密度媒体として、スパッタ法による薄膜媒
体が現在主流となってきている。高記録密度を実現する
ため、この薄膜媒体は高出力、高記録密度特性等が要求
されている。これらの特性を向上させるには、その媒体
の磁気特性として保磁力および角形比が大きい必要があ
る。そこで、上記特性を得るため、基板上に下地膜とし
てｂｃｃ（１１０）配向のＣｒ膜を形成し、次に磁性膜
としてｈｃｐ（１０１）およびｈｃｐ（１００）の混在
した構造のＣｏＮｉＣｒ膜またはＣｏＣｒＴａ膜を形成
する磁気記録媒体が提案されている（電子情報通信学会
技術研究報告、ＣＰＭ８８−９１およびＣＰＭ８８−９
２、１９８８年）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記の従来のスパッタ
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力およ
び角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度の
実現のためにそれらを改善する必要がある。本発明の目
的は、更に超高記録密度実現のため、特に媒体の保磁力
を改善した磁気記録媒体およびその製造方法を提供する
ことにある。
法による薄膜媒体作製技術において、媒体の保磁力およ
び角形比は良好なレベルにあるが、更に超高記録密度の
実現のためにそれらを改善する必要がある。本発明の目
的は、更に超高記録密度実現のため、特に媒体の保磁力
を改善した磁気記録媒体およびその製造方法を提供する
ことにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、基板上にｂｃ
ｃ（１００）配向のＣｒの下地膜とｈｃｐ（１１０）配
向のＣｏ系合金の磁性膜とが形成されてなることを特徴
とする磁気記録媒体である。また、本発明の磁気記録媒
体の製造方法は、Ｃｒ下地膜をＡｒガスと酸素ガスとの
混合ガス中で成膜することにより、ｂｃｃ（１００）配
向させることを特徴とする。
ｃ（１００）配向のＣｒの下地膜とｈｃｐ（１１０）配
向のＣｏ系合金の磁性膜とが形成されてなることを特徴
とする磁気記録媒体である。また、本発明の磁気記録媒
体の製造方法は、Ｃｒ下地膜をＡｒガスと酸素ガスとの
混合ガス中で成膜することにより、ｂｃｃ（１００）配
向させることを特徴とする。
【０００５】
【作用】本発明によれば、ｂｃｃ（１００）配向のＣｒ
下地膜の影響により、Ｃｏ系合金の磁性膜をＣ軸の面内
配向したｈｃｐ（１１０）構造にすることができ、高保
磁力の磁気記録媒体が得られる。また、Ｃｒ下地膜の成
膜時に、通常のＡｒガス以外に酸素ガスを導入すると、
この酸素ガスの影響によりｂｃｃ（１００）配向が可能
となる。
下地膜の影響により、Ｃｏ系合金の磁性膜をＣ軸の面内
配向したｈｃｐ（１１０）構造にすることができ、高保
磁力の磁気記録媒体が得られる。また、Ｃｒ下地膜の成
膜時に、通常のＡｒガス以外に酸素ガスを導入すると、
この酸素ガスの影響によりｂｃｃ（１００）配向が可能
となる。
【０００６】
【実施例】以下に、本発明の実施例について説明する。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲットを
それぞれ用いた。なお、基板は５インチの強化ガラス基
板を用いた。まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示
す。ここで、Ｃｒ成膜時にＡｒガスと５％の酸素ガスと
の混合ガスを用いた。
本実施例の磁気記録媒体の成膜は、ＲＦマグネトロン方
式のスパッタ装置にて行った。タ−ゲットは下地膜用と
して３ＮのＣｒタ−ゲット、磁性膜用としてＣｏＣｒＴ
ａ（１２ａｔ％Ｃｒ，２ａｔ％Ｔａ）合金タ−ゲットを
それぞれ用いた。なお、基板は５インチの強化ガラス基
板を用いた。まず、本実施例のスパッタ条件を表１に示
す。ここで、Ｃｒ成膜時にＡｒガスと５％の酸素ガスと
の混合ガスを用いた。
【０００７】
【表１】
【０００８】このようにして作製したＣ／ＣｏＣｒＴａ
／Ｃｒ媒体についてＢ−Ｈメーターにより磁気特性を測
定した。その結果を表２に示す。また、Ｘ線回折装置に
より膜構造を調べた結果、Ｃｒ膜についてはｂｃｃ（１
００）配向が、ＣｏＣｒＴａ膜についてはｈｃｐ（１１
０）配向がそれぞれ確認された。さらに比較のために、
従来と同様（表１でＣｒの成膜時にＡｒガスのみを用い
た以外は同様な成膜条件）にして作製した従来例による
Ｃ／ＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体についての磁気特性も表２
に示した。また、Ｘ線回折によれば、Ｃｒ膜については
ｂｃｃ（１１０）配向が、ＣｏＣｒＴａ膜についてはｈ
ｃｐ（１１０）およびｈｃｐ（１０１）の構造がそれぞ
れ確認された。表２から本発明の媒体は、従来媒体と比
較して保磁力が改善されていることがわかる。
／Ｃｒ媒体についてＢ−Ｈメーターにより磁気特性を測
定した。その結果を表２に示す。また、Ｘ線回折装置に
より膜構造を調べた結果、Ｃｒ膜についてはｂｃｃ（１
００）配向が、ＣｏＣｒＴａ膜についてはｈｃｐ（１１
０）配向がそれぞれ確認された。さらに比較のために、
従来と同様（表１でＣｒの成膜時にＡｒガスのみを用い
た以外は同様な成膜条件）にして作製した従来例による
Ｃ／ＣｏＣｒＴａ／Ｃｒ媒体についての磁気特性も表２
に示した。また、Ｘ線回折によれば、Ｃｒ膜については
ｂｃｃ（１１０）配向が、ＣｏＣｒＴａ膜についてはｈ
ｃｐ（１１０）およびｈｃｐ（１０１）の構造がそれぞ
れ確認された。表２から本発明の媒体は、従来媒体と比
較して保磁力が改善されていることがわかる。
【０００９】
【表２】
【００１０】次に、本発明による媒体の記録再生特性に
ついて述べる。図１に記録再生特性の評価結果、即ち、
再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性を示す。図中Ａ
およびＢは、表２の記号ＡおよびＢに対応する媒体であ
る。これらから、本発明の媒体は従来媒体と比較して再
生電圧および記録密度が改善されていることがわかる。
なお、本実施例ではＣｏ系合金としてＣｏＣｒＴａ膜を
用いたが、ＣｏＮｉＣｒ膜でも同様の結果が得られた。
ついて述べる。図１に記録再生特性の評価結果、即ち、
再生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性を示す。図中Ａ
およびＢは、表２の記号ＡおよびＢに対応する媒体であ
る。これらから、本発明の媒体は従来媒体と比較して再
生電圧および記録密度が改善されていることがわかる。
なお、本実施例ではＣｏ系合金としてＣｏＣｒＴａ膜を
用いたが、ＣｏＮｉＣｒ膜でも同様の結果が得られた。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の磁気記録
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
媒体は、従来媒体と比較して磁気特性で保磁力が改善さ
れ、再生出力、記録密度が改善された。
【図１】本発明の一実施例による記録媒体について、再
生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性を従来例による媒
体と比較して示した図である。
生出力（Ｖ）の記録密度（Ｄ）依存性を従来例による媒
体と比較して示した図である。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板上にｂｃｃ（１００）配向のＣｒの
下地膜と、ｈｃｐ（１１０）配向のＣｏ系合金の磁性膜
とが形成されてなることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気記録媒体の製造方
法であって、Ｃｒ下地膜をＡｒガスと酸素ガスとの混合
ガス中で成膜することにより、ｂｃｃ（１００）配向さ
せることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21307991A JPH0536054A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21307991A JPH0536054A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0536054A true JPH0536054A (ja) | 1993-02-12 |
Family
ID=16633201
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21307991A Pending JPH0536054A (ja) | 1991-07-31 | 1991-07-31 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0536054A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6436248B1 (en) | 1998-11-05 | 2002-08-20 | International Business Machines Corporation | Thin film disk with barrier layer |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220217A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気記録媒体 |
| JPH0264913A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Tosoh Corp | 磁気記録媒体及びその製造法 |
| JPH02216609A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体とその製造方法 |
| JPH0482016A (ja) * | 1990-07-25 | 1992-03-16 | Nec Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
1991
- 1991-07-31 JP JP21307991A patent/JPH0536054A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01220217A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-09-01 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 磁気記録媒体 |
| JPH0264913A (ja) * | 1988-08-31 | 1990-03-05 | Tosoh Corp | 磁気記録媒体及びその製造法 |
| JPH02216609A (ja) * | 1989-02-16 | 1990-08-29 | Victor Co Of Japan Ltd | 磁気記録媒体とその製造方法 |
| JPH0482016A (ja) * | 1990-07-25 | 1992-03-16 | Nec Corp | 磁気記録媒体の製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6436248B1 (en) | 1998-11-05 | 2002-08-20 | International Business Machines Corporation | Thin film disk with barrier layer |
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