JP2002216339A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高い垂直方向保磁力および高い角形比を有す
る垂直磁気記録媒体を提供することである。 【解決手段】 非磁性体基板上に、Ｔｉ−Ｃｒ膜からな
る下地層を介して設けられたＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜からな
る垂直磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、下地
層の膜厚を４０ｎｍ以上５０ｎｍ以下とするか、垂直磁
性層の膜厚を３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下とするか、Ｃｏ
−Ｃｒ−Ｐｔ膜の組成をＣｏ−１７〜１９Ｃｒ−１５〜
１８Ｐｔ（ａｔｏｍ％）とする。さらに、上記垂直磁気
記録媒体に軟磁性層を設けると、より高い垂直方向保磁
力および角形比を有する垂直磁気記録媒体が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ディスク等に
用いられる垂直磁気記録媒体に関し、特に高い垂直方向
保磁力と角形比を有する垂直磁気記録媒体に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータやワーク
ステーションには記憶装置として大容量で小型な磁気記
録装置が搭載されてきている。このような背景から磁気
ディスクはさらなる高記録密度が要求されている。現
在、実用に用いられている磁気記録方式は磁化容易軸が
磁気記録媒体面に平行になる面内磁気記録方式である。
面内（長手）磁気記録方式において記録密度を向上する
には、記録媒体の磁性膜の残留磁化と磁性層膜厚の積を
小さくしたり、垂直方向保磁力を増大させ、磁気反転幅
を小さくする必要がある。このために結晶粒径を制御
し、磁性粒子の微細化によりビット長を短縮化したり、
磁性膜の膜厚を薄くする試みがなされている。しかしな
がら、面内磁気記録方式においては、ビット長短縮化に
つれ反磁界が増加して残留磁束密度が減少するため再生
出力が低下するという欠点を有し、また結晶粒の微細化
や薄膜化によって熱揺らぎによる問題も生じ、現在、こ
の方式による磁気ディスクなどのさらなる高密度化には
技術的に困難な面が予想される。

【０００３】一方、前述した問題を解決し、磁気記録密
度を向上させる方式として垂直磁気記録方式が検討され
ている。垂直磁気記録方式では、磁性膜の磁化容易軸が
基板綿に対し垂直方向に配向した磁気記録媒体であり、
磁化遷移領域において隣り合った磁化どうしが向き合っ
ていないためビット長が短くなっても磁化が安定で、長
手磁気記録のような磁束の減少の心配もなく、高磁気記
録媒体として適している。また、垂直磁気記録方式は、
面内磁気記録媒体よりも薄膜化は必要ないため、薄膜化
することによる超常磁性状態に起因する記録磁化の消失
という面においても面内磁気記録媒体より有利である。

【０００４】上記のように垂直磁気記録媒体は、長手記
録方式媒体よりも高磁気記録媒体として有利な点が多い
が、高密度化した垂直磁気記録媒体においては高密度記
録化ゆえに再生出力が小さく、媒体ノイズをできるだけ
低減することが求められる。すなわち、媒体ノイズが低
減するほど、再生出力特性はさらに向上し、高磁気記録
密度が達成できる。このため、従来から、高密度磁気記
録の達成や媒体ノイズの低減を図るべく、垂直磁気記録
媒体の構成を工夫する試みがなされている。

【０００５】公知の垂直磁気記録媒体の構成としては、
例えば、アルミ、ガラス等からなる非磁性基板上に軟磁
性の裏打ち層が形成され、その上に垂直磁気記録層が形
成され、さらにその上にカーボン等の保護層などが形成
されている２層型の垂直媒体が開示されている。また、
記録再生特性向上のため軟磁性層と磁性層の間に非磁性
層である下地層が形成されている垂直磁気記録媒体もあ
る。すなわち、高記録密度および再出力特性向上等を実
現するために、基板上に下地層を介した形成された垂直
磁化層を有する単層型の垂直磁気記録媒体や、高透磁率
の軟磁性層および垂直磁性層からなる２層型の垂直磁気
記録媒体など、高磁気記録密度および低ノイズ化するた
めの垂直磁気記録媒体の構成・構造に関する検討が現在
もなされている。研究されている垂直磁気記録層の組成
としては、Ｃｏ−Ｃｒ、Ｃｏ−Ｃｒ−ＴａなどのＣｏ基
合金垂直磁化膜、Ｐｔ／Ｃｏ合金やＰｄ／Ｃｏ合金など
の多層膜垂直磁化膜、ＴｂＦｅＣｏ、ＦｅＰｔなどの非
晶質垂直磁化膜などの多くの垂直磁気記録層が多く検討
されている。

【０００６】Ｃｒ、Ｃｏ、Ｐｔを主たる成分とする垂直
磁性層を有する垂直磁気記録記録媒体についても、媒体
ノイズを低減するための検討がなされている。

【０００７】例えば、特開平１１−２５４３９号公報
は、垂直磁化層がＣｏとＣｒとを主たる成分またはＣｏ
とＣｒとＰｔとを主たる成分であり、非磁性下地層がＴ
ｉまたはＴｉが主たる成分である垂直磁気記録媒体を開
示しており、磁気記録層に特定の多結晶体または多層構
造体を用いることで低ノイズ化を図っている。

【０００８】また、特開平１０−１３４３３５号公報で
は、Ｐｔを含有してよいＣｒとＣｏを主たる成分とする
垂直磁性層を有する垂直磁気記録記録媒体を開示してお
り、出力再生特性を向上させるべく、特定の垂直方向保
磁力等を有しかつ磁性層の厚さを制御した強磁性膜を垂
直磁性層に用いた垂直磁気記録媒体を得ている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、より優
れた高密度記録媒体を実現するためには、媒体ノイズを
さらに低減させる必要がある。媒体ノイズを低減するほ
ど再生出力特性はさらに向上し、高密度磁気記録媒体に
適するものとなる。

【００１０】垂直磁気記録媒体のノイズは、媒体表面に
発生する反磁界の作用で生ずる逆磁区や、媒体表面の磁
化の揺らぎにより発生する。媒体表面に存在する逆磁区
は磁化反転幅の大きさに依存するが、垂直磁気記録媒体
の媒体ノイズを低減するには磁化反転幅を小さくすれば
よく、磁化反転幅を小さくするためには、記録媒体の磁
性膜の残留磁化と磁性層膜厚の積を小さくすること、磁
性層の垂直方向保磁力を増大すること、および角形比
（飽和磁化に対する残留磁化の割合）を増大することで
達成できる。

【００１１】本発明の目的は、媒体ノイズを低減させて
記録再生特性を向上させるために、より高い垂直方向保
磁力と高い角形比を有する垂直磁気記録媒体を提供する
ものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、垂直磁気記録媒体における磁性層の膜厚、磁性層の
膜組成比、または非磁性層下地層や軟磁性裏打ち層につ
いて検討した結果、非常に高い垂直方向保磁力または角
形比を有する磁気記録媒体を作製できることが判明し
た。

【００１３】すなわち、本発明の垂直磁気記録媒体は、
非磁性体基板上にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜からなる垂直磁性
層を有する垂直磁気記録媒体であって、前記垂直磁性層
はＴｉ−Ｃｒ膜からなる下地層を介して設けられてい
る。

【００１４】本発明垂直磁気記録媒体の好ましい態様に
おいて、前記下地層のＴｉ−Ｃｒ膜厚は４０ｎｍ以上５
０ｎｍ以下である。

【００１５】本発明垂直磁気記録媒体の好ましい態様に
おいて、前記垂直磁性層のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜厚は３０
ｎｍ以上４０ｎｍ以下である。

【００１６】本発明垂直磁気記録媒体の好ましい態様に
おいて、前記垂直磁性層を形成するＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜
の組成はＣｏ−１７〜１９Ｃｒ−１５〜１８Ｐｔ（ａｔ
ｏｍ％）である。

【００１７】さらに、本発明垂直磁気記録媒体の好まし
い態様において、前記非磁性基板と下地層との間に軟磁
性膜からなる裏打ち層が設けられている。

【００１８】本発明垂直磁気記録媒体の好ましい態様に
おいて、前記軟磁性膜はＮｉ−Ｆｅ膜、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎ
ｂ膜、およびＦｅ−Ｔａ−Ｃ膜からなる群から選択され
る膜である。

【００１９】本発明垂直磁気記録媒体の好ましい態様に
おいて、前記裏打ち層の膜厚は１００ｎｍ以上３００ｎ
ｍ以下である。

【００２０】

【発明の実施の形態】上記のように、本発明垂直磁気記
録媒体は、非磁性体基板上にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜からな
る垂直磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、該垂
直磁性層がＴｉ−Ｃｒ膜からなる下地層を介して設けら
れている。磁性層にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ合金膜を用いた理
由は、Ｃｏ系合金、ＣｏＣｒ系合金、ＣｏＣｒＴａ系合
金などの他の合金よりもより高い垂直方向保磁力が得ら
れやすく、より高記録密度の媒体として適しているから
である。Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜は、高出力化のための飽和
磁化量が大きく、しかもスパッタ条件により垂直磁気異
方性エネルギーを大きくできる。磁気異方性エネルギー
の高い垂直磁化膜では逆磁区の発生を抑え、媒体ノイズ
をより低減できる。

【００２１】下地層は、基板に対して磁性層を垂直に配
向させるために設けたものであり、下地層がないと基板
の面内方向に磁性層が成長してしまう。また、下地層に
Ｔｉ−Ｃｒ膜を用いたのは、Ｃｒ含有率を適当に変える
ことで磁性膜の垂直配向性をより向上させることができ
るからである。したがって、Ｔｉ−Ｃｒ層の組成比の変
化も垂直方向保磁力・角形比に影響する。本発明の垂直
記録媒体においては、Ｔｉ−２０〜２５Ｃｒ（ａｔｏｍ
％）が好ましく、Ｔｉ−２２Ｃｒ（ａｔｏｍ％）が最も
好ましい。本発明垂直磁気記録媒体において、下地層の
膜厚を４０ｎｍ以上５０ｎｍ以下としたのは、下地層の
膜厚が４０ｎｍ未満の場合は垂直方向保磁力および角形
比、特に垂直方向保磁力が著しく低下してしまうためで
あり、一方、下地層の膜厚が５０ｎｍより大きい場合
は、垂直方向保磁力および角形比が低下してしまい、い
ずれの場合も良好な低ノイズ化が図れないからである。
また、膜厚が厚くなれば、記録再生にときに磁気ヘッド
との距離が狭くなり出力再生に好ましくない。下地層の
膜厚は、より好ましくは４５ｎｍ以上５０ｎｍ以下であ
る。

【００２２】また、上記垂直磁気記録媒体において、垂
直磁性層の膜厚を３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下としたの
は、記垂直磁性層の膜厚が３０ｎｍ未満となるかまたは
４０ｎｍより厚くとなると垂直方向保磁力が減少し、い
ずれも良好な再生出力特性が得られないからである。ま
た、膜厚が厚くなれば、記録再生にときに磁気ヘッドと
の距離が狭くなり出力再生に好ましくない。記垂直磁性
層の膜厚は、より好ましくは３０ｎｍ以上３５ｎｍ以下
である。

【００２３】上記垂直磁気記録媒体において、垂直磁性
層を形成するＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜の組成比をＣｏ−１７
〜１９Ｃｒ−１５〜１８Ｐｔ（ａｔｏｍ％）としたの
は、該組成範囲では垂直方向保磁力および角形比ともに
高い値を有し、媒体ノイズを大幅に低減することができ
るからである。Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜は、より好ましくは
Ｃｏ−１７〜１８Ｃｒ−１５〜１７Ｐｔ（ａｔｏｍ％）
である。

【００２４】さらに、本発明垂直磁気記録媒体では、非
磁性基板と下地層との間に軟磁性膜からなる裏打ち層を
設けたものも企図される。上記垂直磁気記録媒体におい
て、前記非磁性基板と下地層との間に軟磁性膜からなる
裏打ち層を設けたのは、より媒体ノイズを低減させ、記
録再生特性を向上させるためである。低周波数ノイズに
関係する縞状軸構造の形成を起こりにくくするため、軟
磁性層は高透磁率であるほどよい。

【００２５】上記垂直磁気記録媒体において、軟磁性膜
がＮｉ−Ｆｅ膜、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ膜、およびＦｅ−Ｔ
ａ−Ｃ膜からなる群から選択される膜である。軟磁性膜
をＮｉ−Ｆｅ膜、Ｃｏ−Ｚｒ−Ｎｂ膜、またはＦｅ−Ｔ
ａ−Ｃ膜としたのは、これらは透磁率が高く、軟磁性層
に発生する縞状磁区を抑制することができるからであ
る。

【００２６】上記垂直磁気記録媒体において、前記軟磁
性の裏打ち層の膜厚を１００ｎｍ以上３００ｎｍ以下と
したのは、膜厚が３００ｎｍより厚くなると垂直方向保
磁力・角形比が小さくなる上、周期的な縞状磁区構造が
観察されるようになり、これが媒体のノイズとして現
れ、磁気記録再生特性に悪影響を及ぼす。また、膜厚が
厚くなれば、記録再生にときに磁気ヘッドとの距離が狭
くなり出力再生に好ましくない。一方、膜厚が１００ｎ
ｍ未満になると垂直方向保磁力が著しく低下してしま
い、良好な低ノイズ化が図れない。軟磁性層の膜厚は、
好ましくは１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下であり、より
好ましくは約１００ｎｍ以上１５０ｎｍ以下である。

【００２７】上記本発明単層垂直磁気記録媒体において
は、垂直方向保磁力３０００Ｏｅ以上、角形比０．９以
上を達成でき、軟磁性下地層を含む本発明垂直磁気記録
媒体においては、垂直方向保磁力が４０００Ｏｅ以上、
好ましくは４５００Ｏｅ以上、角形比０．９以上を達成
でき、従来垂直磁気媒体と比較して高い垂直方向保磁力
および角形比が得られる。

【００２８】

【実施例】（実施例１）図１に本発明に係る単層垂直磁
気記録媒体の断面図を示す。以下この図面に基づき説明
する。本実施例の垂直磁気記録媒体は、ガラス基板１、
Ｔｉ−Ｃｒ下地層２、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔからなる垂直磁
性層３、カーボンからなる保護層４がこの順序に積層さ
れ、形成されたものである。

【００２９】本実施例では、種々のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ組
成比を有する垂直磁性層３を有する垂直磁気記録媒体を
調製し、該組成比と垂直磁性層の磁気特性との関係を調
べ、高い垂直方向保磁力と角形比を有する垂直磁気記録
媒体を得る。

【００３０】本実施例に係る垂直磁気記録媒体の製造方
法を説明する。基板は３．５インチの大きさのガラス基
板である。厚みは約１ｍｍである。基板の大きさや厚さ
は本質的には関係ない。非磁性基板は、Ｎｉ−Ｐがメッ
キされ適切なテクスチャーが形成されたＡｌ基板でもよ
い。基板はよく洗浄した後に成膜を行う。先ず最初に下
地層であるＴｉ−Ｃｒ層を成膜する。用いたターゲット
はＴｉ−２２Ｃｒ（ａｔｏｍ％）である。Ａｒガスでス
パッタを行い、膜厚約５０ｎｍの厚さに成膜した。成膜
は各層約２５０℃で行い、Ａｒガス圧は約１Ｐａとし
た。次に、このように形成されたＴｉ−Ｃｒ下地層２の
上にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ垂直磁性層を形成した。ターゲッ
トはＣｏ−１７Ｃｒ−１６Ｐｔ（ａｔｏｍ％）を用い
た。Ａｒガスを用い、マグネトロンスパッタにより、膜
厚約５０ｎｍの厚さに成膜した。成膜は各層約２５０℃
で行い、Ａｒガス圧は約１Ｐａとした。最後に表面に保
護層４としてカーボン膜を形成した。用いたターゲット
はカーボンである。Ａｒガスでスパッタを行い、膜厚約
１０ｎｍの厚さに成膜した。成膜は各層約２５０℃で行
い、Ａｒガス圧は約１Ｐａとした。このようにして成膜
した垂直磁気記録媒体を冷却し取り出した。

【００３１】表１にこのような製造方法で得られる垂直
磁気記録媒体の組成と磁気特性との関係を調べた結果を
示す。種々のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ組成比を有する磁気層
は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔターゲット上にＣｒおよびＰｔチ
ップを並べて、その個数を変化させることで組成を変化
させることにより作成した。

【００３２】

【表１】

【００３３】表１の結果より、本単層垂直磁気記録媒体
は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔの組成がＣｏ−１７〜１９Ｃｒ−
１５〜１８Ｐｔ（ａｔｏｍ％）の範囲の組成である垂直
磁気記録媒体は、垂直方向保磁力３０００エルステッド
以上の高い値を有し、かつ角形比も０．９以上の高い値
を示している。このように垂直方向保磁力および角形比
はＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜の組成比の違いによって大きく変
化する。垂直方向保磁力および角形比が大きければノイ
ズが低減でき、Ｓ／Ｎ比が向上し、再生出力を大きくす
ることができる。

【００３４】（実施例２）本実施例では、Ｔｉ−Ｃｒ下
地層の膜厚と垂直磁性層の磁気特性との関係を調べ、高
い垂直方向保磁力と角形比を有する垂直磁気記録媒体を
得る。

【００３５】実施例１と同様の製造方法を行って、種々
の膜厚を有するＴｉ−Ｃｒ下地層を有する本発明垂直磁
気記録媒体を作成した。すなわち、本実施例で用いる垂
直磁気記録媒体においては、下地層におけるＴｉ−Ｃｒ
膜厚を約２０〜５０ｎｍとし、Ｔｉ−Ｃｒ膜の組成はＴ
ｉ−２２Ｃｒ（ａｔｏｍ％）とした。また、磁性層のＣ
ｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜はＣｏ−１７．２Ｃｒ−１５．３Ｐｔ
（ａｔｏｍ％）であり、その膜厚は約５０ｎｍとした。

【００３６】図２および図３に、Ｔｉ−Ｃｒ下地層２の
膜厚を変化させた時の磁気特性の変化を示す。垂直方向
保磁力ＨｃはＴｉ−Ｃｒ膜厚が厚い方が大きくなってい
き、３０００エルステッド以上の高垂直方向保磁力を得
るためにはＴｉ−Ｃｒ下地層の膜厚が３０ｎｍ〜５０ｎ
ｍの必要であることがわかる。しかしながら、同時に高
い角形比を得るにはＴｉ−Ｃｒ下地層の膜厚が４０〜５
０ｎｍ必要であった。

【００３７】（実施例３）本実施例では、磁性層の膜厚
と垂直磁性層の磁気特性との関係を調べ、高い垂直方向
保磁力と角形比を有する垂直磁気記録媒体を得る。

【００３８】実施例１と同様の製造方法を行って、種々
の膜厚を有する磁性層を有する本発明垂直磁気記録媒体
を作成した。すなわち、本実施例で用いる垂直磁気記録
媒体において、磁性層のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜はＣｏ−１
７．２Ｃｒ−１５．３Ｐｔ（ａｔｏｍ％）であった。ま
た、下地層におけるＴｉ−Ｃｒ膜厚を約５０ｎｍとし、
その組成はＴｉ−２２Ｃｒ（ａｔｏｍ％）とした。

【００３９】図４に、上記Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜からなる
磁性層の膜厚を変化させた時の磁気特性の変化を示す。
磁性層の膜厚を２０〜５０ｎｍまで変化させた場合、３
５ｎｍ程度で垂直方向保磁力は最大となり、３０〜４０
ｎｍの範囲内では大きな垂直方向保磁力を有する。

【００４０】（実施例４）図５に、本発明に係る２層垂
直磁気記録媒体の断面図を示す。以下この図面に基づき
説明する。本実施例の２層垂直磁気記録媒体は、ガラス
基板１、軟磁性層５、Ｔｉ−Ｃｒ下地層２、Ｃｏ−Ｃｒ
−Ｐｔからなる垂直磁性層３、カーボンからなる保護層
４がこの順序に積層され、形成されたものである。軟磁
性層にはＮｉ−Ｆｅを用いた。

【００４１】本実施例では、軟磁性層の膜厚と垂直磁性
層の磁気特性との関係を調べ、より高い垂直方向保磁力
および角形比を有する垂直磁気記録媒体を得る。

【００４２】実施例に係る垂直磁気記録媒体の製造方法
を説明する。基板は３．５インチの大きさのは基板であ
る。厚みは１ｍｍである。基板の大きさや厚さは本質的
には関係ない。基板はＮｉ−Ｐがメッキされ適切なテク
スチャーが形成されたＡｌ基板でもよい。基板は洗浄し
た後に成膜を行う。先ず最初に軟磁性層であるＮｉ−Ｆ
ｅ層５を成膜する。ターゲットはＮｉ−２２Ｆｅ（ａｔ
ｏｍ％）を用いた。Ａｒガスを用い、マグネトロンスパ
ッタにより、膜厚約１００〜２００ｎｍに成膜した。成
膜は各層約２５０℃で行い、Ａｒガス圧は約１Ｐａとし
た。次に、下地層であるＴｉ−Ｃｒ層を成膜する。ター
ゲットは、Ｔｉ−２２Ｃｒ（ａｔｏｍ％）を用いた。Ａ
ｒガスを用い、マグネトロンスパッタにより膜厚約５０
ｎｍの厚さに成膜した。成膜は各層約２５０℃で行い、
Ａｒガス圧は約１Ｐａとした。このように磁性層３の下
地層をＴｉ合金にするのは、基板に対して磁性層を垂直
に配向させるためである。次に、上記Ｔｉ−Ｃｒ下地層
２の上にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔの垂直磁性層を形成した。タ
ーゲットはＣｏ−１７Ｃｒ−１６Ｐｔ（ａｔｏｍ％）を
用いた。Ａｒガスパッタを行い、膜厚約３５ｎｍの厚さ
に成膜した。成膜は各層約２５０℃で行い、Ａｒ圧は約
１Ｐａとした。最後に表面に保護層４としてカーボン膜
を形成する。ターゲットはカーボンを用いた。Ａｒガス
を用い、マグネトロンスパッタにより、膜厚約１０ｎｍ
の厚さに成膜した。成膜は各層約２５０℃で行い、Ａｒ
ガス圧は約１Ｐａである。このようにして成膜の終わっ
た垂直磁気媒体を冷却し取り出す。

【００４３】図６および図７には、上記方法で製造され
た、軟磁性裏打ち層を有する本発明磁気記録媒体の膜厚
と垂直方向保磁力および角形比との関係を示す。Ｎｉ−
Ｆｅ軟磁性層１００〜３００ｎｍの範囲では垂直方向保
磁力４５００Ｏｅ以上、角形比０．９以上となり、非常
に高い高垂直方向保磁力・高角形比が得られている。特
に、Ｎｉ−Ｆｅ軟磁性層１００ｎｍでは、垂直方向保磁
力４７００Ｏｅ、角形比０．９３を有しており、高垂直
方向保磁力かつ高角形比を有する、垂直磁気記録媒体が
得られた。

【００４４】

【発明の効果】上記のように、非磁性体基板上にＴｉ−
Ｃｒ膜からなる下地層を介して設けたＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ
膜からなる垂直磁性層を有する垂直磁気記録媒体におい
て、磁性層の組成比、下地層の膜厚、磁性層の膜厚の構
成により、高い保磁カおよび高角形比を有し、逆磁区ノ
イズの小さい、記録再生に有利な媒体を作製できた。さ
らに、上記本発明の垂直磁気記録媒体において、下地層
の下部に裏打ち層として軟磁性層を形成した場合には、
さらに高い垂直方向保磁力および高い角形比を有する記
録媒体が得られ、さらに媒体ノイズの小さい、記録再生
特性の良好な垂直媒体が得られた。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る単層垂直磁気記録媒体の断面図で
ある。

【図２】本発明に係る単層垂直磁気記録媒体のＴｉ−Ｃ
ｒ下地層の膜厚を変化させた場合の垂直方向保磁力の変
化を示す図である。

【図３】本発明に係る単層垂直磁気記録媒体のＴｉ−Ｃ
ｒ下地層の膜厚を変化させた場合の垂直方向角形比の変
化を示す図である。

【図４】磁性層の膜厚を変化させた場合の垂直方向保磁
力の変化を示す図である。

【図５】本発明に係る軟磁性層付き２層垂直磁気記録媒
体の断面図である。

【図６】本発明に係る軟磁性層付き２層垂直磁気記録媒
体のＮｉ−Ｆｅ軟磁性層の膜厚を変化させた場合の垂直
方向保磁力の変化を示す図である。

【図７】本発明に係る軟磁性層付き２層垂直磁気記録媒
体のＮｉ−Ｆｅ軟磁性層の膜厚を変化させた場合の垂直
方向角形比の変化を示す図である。

【符号の説明】

１．基板 ２．Ｔｉ−Ｃｒ層 ３．磁性層（垂直磁性層） ４．保護層 ５．軟磁性層

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 非磁性体基板上にＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜か
   らなる垂直磁性層を有する垂直磁気記録媒体であって、
   前記垂直磁性層はＴｉ−Ｃｒ膜からなる下地層を介して
   設けられていることを特徴とする垂直磁気記録媒体。
2. 【請求項２】 前記下地層のＴｉ−Ｃｒ膜厚が４０ｎｍ
   以上５０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記
   載の垂直磁気記録媒体。
3. 【請求項３】 前記垂直磁性層のＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ膜厚
   が３０ｎｍ以上４０ｎｍ以下であることを特徴とする請
   求項１または２に記載の垂直磁気記録媒体。
4. 【請求項４】 前記垂直磁性層を形成するＣｏ−Ｃｒ−
   Ｐｔ膜の組成がＣｏ−１７〜１９Ｃｒ−１５〜１８Ｐｔ
   （ａｔｏｍ％）であることを特徴とする請求項１から請
   求項３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
5. 【請求項５】 前記非磁性基板と下地層との間に軟磁性
   膜からなる裏打ち層が設けられていることを特徴とする
   請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の垂直磁気
   記録媒体。
6. 【請求項６】 前記軟磁性膜がＮｉ−Ｆｅ膜、Ｃｏ−Ｚ
   ｒ−Ｎｂ膜、およびＦｅ−Ｔａ−Ｃ膜からなる群から選
   択される膜であることを特徴とする請求項５に記載の垂
   直磁気記録媒体。
7. 【請求項７】 前記裏打ち層の膜厚が１００ｎｍ以上３
   ００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項５または６
   に記載の垂直磁気記録媒体。