JPH01256017A - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JPH01256017A
JPH01256017A JP63082778A JP8277888A JPH01256017A JP H01256017 A JPH01256017 A JP H01256017A JP 63082778 A JP63082778 A JP 63082778A JP 8277888 A JP8277888 A JP 8277888A JP H01256017 A JPH01256017 A JP H01256017A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、例えば磁気ディスク、磁気テープ等の磁気記
録媒体に関するものである。
(従来の技術) 近年、ヘッドの材質の改良や浮上量の低下などにより、
高い保磁力を持つ磁気記録媒体でも記録することが可能
となってきており、これにより、高い保磁力を持つ磁気
記録媒体による高密度記録が要求されてきている。
従来のスパッタ法によって製造された磁気記録媒体では
、Cr層上にCoCrTaの磁性層を形成したち。
のがCr層上にCoNi、 CoNiCr等の磁性層を
形成したものに比べ優れた磁気特性を有することがわか
っている。これは特願昭62−291519号に示され
ている。 また1982年11月の第6回応用磁気学会
と1983年11月の第7回応用磁気学会において、日
本電気−より、二元系媒体及び三元系媒体におけるCO
合金にptを添加する技術が公開されている。
そして、Cr)浮上にC0NiPtの磁性層を形成した
ものが特開昭62−141628号及び特開昭61−1
42524号に示されている。
(発明が解決しようとする課題) 磁気記録媒体は高密度記録を行なうために保磁力を高め
ることが要求されているが、従来の磁気記録媒体の保磁
力は約1000〜1200[Oel程度であり、特開昭
62−141628号の保磁力は約1200 [Oel
、特開昭61−142524号は約1000 [Oe]
である。
また第6回応用磁気学会、及び第7回応用磁気学会で示
されたCO合金にptを添加する技術による磁気記録媒
体は、少なくとも15[at%1程度のptを添加しな
ければ高い保磁力は得られず、ptが非常に高価なため
あまり実用的ではなかった。
(課題を解決するための手段) 上記課題を解決するための手段として、非磁性基体上に
Cr層を形成し、このCr層の上にCoCrTaPtの
四元系合金よりなる磁性層を形成することにより、保磁
力が飛躍的に向上した磁気記録媒体を提供しようとする
ものである。
(実施例) 本発明の磁気記録媒体の実施例及び比較例を以下に示す
[実施例1〕 NiPの基板上にDCマグネトロンスパッタ法により、
1000 [入1のCrlを形成し、その上に600[
入コのC0CrTaPt層を形成して、ディスクを作製
した。
そして、CoCr[aPtli9としてC083”11
.6Ta5.4のターゲット上にptデツプを適量置く
ことでpt添加間を調節し、そのときの磁気特性を測定
した。
なJ3、スパッタ条件は阜板加熱200[℃]、Arガ
ス圧5 [mTorr ]である。
[実施例2] 実施例1において、CoCrTaPt層として0082
.5−y”8.9 TayPt4.sとCOgz4−y
Crt3Ta、 Pt4.5 (1) 2種類を用い、
Ta添加量を調節して、そのときの磁気特性を測定した
し実施例3] 実施例1において、CoCrTaPt層として0088
.7−x”x ’5.4 Pt5.9と0082.5−
x”x Ta2.7 P【4.8の2種類を用い、Cr
添加Φを調節して、そのときの磁気特性を測定した。
[比較例1] 実施例1において、1000 [入]のCr層上に60
0[入]のC083”11.6■a5.4 ”を形成し
、ディスクを作製し、磁気特性を測定した。
[比較例2] 実施例1において、Cr15を形成せず、NiPの基板
上に直接C0Cr11.6Ta5.4 pt 6.3層
を形成し、ディスクを作製し、磁気特性を測定した。
[比較例3] 実施例1において、磁性体のC0CrTaPt層を75
0〔入]のCoNiPt13に換えてディスクを作製し
、CoNiPt層としてCoNi16のターゲット上に
ptチップを適量置くことでpt添添加を調整して磁気
特性を測定した。
し結 果] 実施例1、比較例1の結果を第1図及び第2図に表わす
第1図はP(添加量と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、保磁力はptの添加量が約6.3[at%]のとき
に1700[Oe]で最大となる。
そしてこの時の飽和磁化量Hsは約600[emu/c
clで、磁気記録媒体として充分な値となっている。
またptの添加量をより増加さU“ると保磁力は低下し
ていき、約17[at%]を越えると比較例1のCoC
rTa1を形成したディスク以上の効果は得られなくな
る。
また第2図はpt添加量と、角形比Rs、保磁力角形比
gの関係を表わしたグラフで、角形比Rs、保磁力角形
比S共にptの添加mが約10[%]を越えるまで変化
が少なく、Rs> 0.8.3”> 0.9を満たず優
れた特性を示している。
次に実施例2の結果を第3図に表わす。
第3図はTa添加聞と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、グラフAは0082.5−y”8.9 Ta、、 
Pt4.5を、グラフBはCO32,5−ycr13T
a、、 Pt、5を表わしている。
グラフからもわかるように、2種類ともTa添加聞が6
[at%]前後で保磁力が最大となり、それ以上の添加
量では急激に減少しており、Taの添加量は1≦Ta≦
8[at%〕が良い。
また実施例3の結果を第4図に表わす。
第4図はCr添加量と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、グラフCはC088,7−xCrx Ta5.a 
Pt5.9を、グラフDはCo    CrTaPt 
  を表わ82.5−x  X  2.7 4.8して
いる。
そしてグラフC1,tCrCr添加量1[at%]前後
で保磁力が最大となり、グラフDはCr添加量が18[
at%]前後で保磁力が最大となる。
ところがCr添加量が約18[at%]を越えると、飽
和磁化QH3の減少が大きくなり磁気記録媒体としては
良い特性が得られなくなるためCr添加量は1≦Cr≦
18[at%]が良い。
比較例2における磁気特性を下の表に示す。
表 但し、Hrは残留磁化量、ticは保磁力を表わす。
この磁気特性の保磁力ticや角形比Rsは実施例1に
比較して相当低いことがわかる。
そして、比較例3の結果を第5図に示す。
第5図はpt添添加的約13at%]で最大保持内約1
000 [Oelとなっており、実施例1の方が優れて
いることが分る。
(発明の効果) 本発明の磁気記録媒体は、高価なP【の含有量を少なく
した。F、約1700[Oelの高保磁力を実現でさ、
また飽和磁化量も磁気記録媒体として充分な値を有し、
これにより高密度記録の可能な磁気記録媒体が、製造可
能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は実施例1及び比較例1におけるpt添添加と保
磁力との関係を表わすグラフ、第2図は実施例1及び比
較例1におけるpt添加値とR3,S’との関係を表わ
すグラフ、第3図は実施例2におけるTa添添加と保磁
力との関係を表わすグラフ、第4図は実施例3における
Cr添加場と保磁力との関係を表わすグラフ、第5図は
比較例3におけるpt添加Mと保磁力との関係を表わす
グラフである。 特 許 出願人 日本ビクター株式会社代表者 垣木 
邦人 第 1 図 第 2 図 TaF*Xll1量 (at’/J Cr  hlJO%        (at’ム)第5
図 手続補正書 1、事件の表示 昭和63年特許願第82778号 2、発明の名称 磁気記録媒体 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人 住所 神奈川県横浜市神奈用区守屋町3丁目12@地、
′1.補正命令の日付 自発補正 \や、11.、・′ 6、補正の内容 (1)明細書中、第4頁第8行及び第6頁第9行の’ 
Coa2.5−yCra、 9Ta、 P t4. s
 Jをそれぞれ次の通り補正する。 rC086,8−y”8,7 TayP14.5 ’(
2)同、第4頁第14行及び第6頁第19行の「C08
2,5−x”x Ta2.7 Pt4.8 ’をそれぞ
れ次の通り補正する。 ”092.5−x”x Ta2.7 Pt4.8 ’(
3)同、第5頁第2行の ’ C0Cr11.eTas、4Pje、3Jを次の通
り補正する。 rC076,7”11.6■a5.4 Pt6.3 ’
(4)同、第5頁第7行の「C0N116」を次の通り
補正する。 ’ Co84N ! 16 J (5)図面、第1図、第3図、第4図及び第5図を別紙
の通り補正する。 pB/3加量  (a t’/J 第 1 図 Ta希加及<atoto) 兜 3 図 Cr A m it     (a t ’10)第 
4 図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】  非磁性基体上にCr層を形成し、このCr層の上にC
    oCrTaPtの四元系合金 (但し、各元素の比率は次の範囲) Cr:X1≦X≦18[at%] Ta:Y1≦Y≦8[at%] Pt:Z1≦Z≦15[at%] Co:残余 よりなる磁性層を形成したことを特徴とする磁気記録媒
    体。
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