JPS5988806A - 磁気記憶体 - Google Patents

磁気記憶体

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JPS5988806A
JPS5988806A JP57198568A JP19856882A JPS5988806A JP S5988806 A JPS5988806 A JP S5988806A JP 57198568 A JP57198568 A JP 57198568A JP 19856882 A JP19856882 A JP 19856882A JP S5988806 A JPS5988806 A JP S5988806A
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magnetic
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medium
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Masahiro Yanagisawa
雅広 柳沢
Hirotaka Yamaguchi
弘高 山口
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NEC Corp
Nippon Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction
    • G11B5/722Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction containing an anticorrosive material

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気的記憶装置(磁気ディスク装置および磁気
ドラム装置等)に用いられる磁気記憶体に関する。
現在実用化されている磁気記憶体は不アl!、M、媒体
を有するものが生餅、である。この不連続媒体のイ1°
R気記憶媒体は、γ−Fe2O3、Cro2. Ii”
e 、 Fe −Co等の磁性体粒子全有機樹脂からな
る結合剤中に混合分散して、基体上に塗布・乾燥・焼成
して製造するため、磁気記憶媒体は磁性体粒子の大きさ
のレベルで不連続である。
しかし、近年磁気記憶媒体の高記録密度化の要請により
、連続畑膜媒体からなる保磁力の大きい磁気記1’、t
、I媒体の仙究開発が盛んに行なわれている。
この連続沙1膜媒体は王にメッキ、真空蒸着、スパッタ
、イオンブレーティング等の手法により作られる金属薄
)漢からなるものと、真空蒸着、スパッメ、イオンブレ
ーティング等の手法によシ作られるFe3O4又はγ−
Fe2O3等の金属酸化物薄膜からなるものが知られて
いる。金属薄膜からなる磁気記録媒体(以下金属薄膜媒
体と称する)は高温、高湿下の様な劣悪な雰囲気では腐
食し易く、十分耐食件のある金属薄膜媒体はまだ知られ
ていない。
本発明の目的は上述の現況に鑑み優れた磁気特性を有し
かつ劇食性がきわめて優れた金属薄膜媒体を有する磁気
記憶体全提供するものである。
すなわち本発明の磁気記憶体は金属円盤上に非磁性金属
層又は非磁性金属酸化物層が被覆され、該非磁性&乱層
又は非磁性金属酸化物層上にクロムと白金とコバルトか
らなる合金又はタンタルと白金とコバルトからなる合金
の金属薄膜媒体が被覆され、該媒体上に保@膜が被覆さ
れて構成されている。
次に図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の磁気記憶体の部分断面図である。
第1図において磁気記憶体の金属円盤1としてアルミ合
金が4・t<て加工性が良く安価なことがら最も良く用
いられるが、場合によってはチタン合金が用いられるこ
ともある。基盤表面は磯樟加工により小さなうね9(円
周方向で50μm以下、半径方向で100μm以下)を
有する面に仕−ヒけられている。
次にこの基盤1の上に非磁性金属層2としてニッケルー
燐合金又は酸化アルミがめっきにより被覆され、この下
地体2の表面は機械的仙肋により最大表面孔さ0.03
μm以下に競1m+仕上げされる。
次に上記下地体2の鏡面研磨面上に金属磁性媒体3とし
てクロムと白金とコバルトからなる合金又はタンタルと
白金とコバルトからなる合金の金属薄膜媒体が高周波ス
パッタ法によシ被覆される。
次に」二記金属薄膜媒体3の」二に5in2に代表され
る保護膜4が高周波スパッタ法によ、!l) iA覆さ
れる。
金属薄膜媒体は抗磁力(He)500−1200oeに
ルステッド)、飽和磁束密度(Ba) 10,0OOG
(ガラス)以F、角形比(Br/ Bs) 0.7〜0
.9.保磁力角形比(S”)0.7〜0.9の範囲の磁
気記録媒体として優れたヒステリシス特性を示す。上記
特性は金属薄膜媒体中の白金およびクロムまたはタンタ
ルの量に大きく依存する。
第2又は3図は飽和磁束密度、損、磁力および角形性の
金属′Aす膜媒体中のクロムまたはタンタルの原子パー
セントによる変化を示したものでクロムは1〜17at
係タンタルは1〜Satチの範囲で高記録密度可能な磁
気記憶媒体として使用出来る。
以上の様に白金を含み、さらにクロムまたはタンタルを
それぞれ17原子パーセント以下及び8原子パーセント
以下含むコバルト合金からなる金属薄膜は磁気記録媒体
として優れていることが分る。
金属薄膜媒体3の上に被覆される保護膜は硬質であるこ
とが望ましく、オスミウム、ルテニウム。
イリジウム、マンガン、タングステン等の金属あるいは
ケイ素、チタン、タンタルまたはノ)ノニウムの酸化物
、窒化物捷たは炭化物あるいはホウ素。
炭素またはホウ素と炭素の合金あるいはポリ1F酸が望
ましい。
さらに保趙膜4の上にR−G(RはC数10〜40の飽
和又は不飽和炭化水素又はふっ素化炭化水素、GはC0
OH,OH,NH2、C0OR’、 5i(OR’)a
 。
CONH2などの官能基)からなる潤滑剤あるいけフッ
素化アルキルポリエーテル、ポリテトラフロロエチレン
テロマー等の潤滑剤全塗布することも出来る。
次にいくつかの例全あげて本発明全勝、明する。
実施例1 合金円盤1として旋盤加工および熱矯正によって十分少
さなうねり(円周方向で50μm以下および半径方向で
10μm以下)を有する曲に仕上げられたディスク状ア
ルミニウム合金盤上に非磁性合金2としてニッケルー燐
合金全豹50μmの厚さにめっきし、このニッケルー燐
めっき膜を最大表面粗さ0.02μm、厚さ30μmま
で鋳面研磨仕上げした。
次にこのニッケルー燐めっき膜の上に金JFA 磁性I
AI、体3として高周波スパッタ法によりアルゴン圧4
 X ] 0−2torr 、パワー”Pi’j 度I
 W/r、aにて膜厚5ooXクロム+C,W、子パー
セント、白金全15原子パーセント含むコバルト合金薄
膜を抜機した。さらにこの金属磁性媒体3の上にSjO
,全20OAの膜厚に旨周波スパッタ法により被覆して
磁気ディスクを作った。抗磁力He、残留磁宋密1毅B
r、角形性S。
保イみ方角形性はそれぞれ600oe、7000G。
0.80 、0.80であった。
実施例2 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体3としてタンタ
ル全8原子パーセントおよび白金全20原子パーセント
含むコバルト合金薄膜全膜厚500Aで被覆して磁気デ
ィスクを作った。HcBr、S。
およびSlはそれぞれ550oe、6000G、0.7
5゜075であった。
実施例3 実施例1と同様にして但し金属磁性媒体3としてクロム
全12原子パーセント白金を20原子パーセント含むコ
バルト合金薄膜を膜厚500Aで被覆して磁気ディスク
全作った。He、 Br、 S 、およびS7゛はそれ
ぞれ700oe、3000G 、0.75,0.75で
あった。
実施例4 実施例1と同様に但し金属磁性媒体3としてタンタルを
4原子パーセント、白金を20原子パーセント含むコバ
ルト合金薄膜全膜厚300Aにて被覆して出猟ディスク
を作った。
Hc 、B r + S r S ”はそれぞれ850
oe、7000G。
0.85 、0.85であった。
実施例5 実施例1と同様に但し金属磁性媒体3としてクロムを4
原子パーセント、白金を35原子ノく−セント含むコバ
ルト合金薄膜を膜厚500Xにて被覆して磁気ディスク
を作った。
Hc、Br、S、S”はそれぞれ700oe、7000
G 。
0.80 、0.80であった。
実施例6 実施例1と同様にして但しアルゴン圧4×1O−2to
rr 、パワーW1度15 w/ triにて磁気ディ
スクを作った。
実施例7 実施例1と同様にして但しアルゴン圧s x i o−
3torr、 パワー密度15W/ct!にて磁気ディ
スクを作った〇 実施例8 実施例2と同様にして但しアルゴン圧4 X 10−2
torr+パワ一賃度15W/−にて磁気ディスクを作
った。
実施例9 実施例2と同様にして但しアルゴン圧s x i o=
torr、パワー密度1.5 W/ crlにて磁気デ
ィスク全作った。
実施例10 実施例1と同様にして但し非磁性合金層としてアルミニ
ウム合金円盤1表面全陽極酸化により非磁性金属酸化物
層として酸化アルミを被覆しこの酸化アルミを最大表面
粗さ002μm4で鋳面前IP(1仕上げして、磁気デ
ィスクを作った。
実施例11 実施例1と同様にして但し保護膜として次の物質をそれ
ぞれスパッタ法により800Aの厚さにネル覆してそれ
ぞれ磁気ディスクを作った。
比較例I 実施例1と同様にして但しニッケルー燐めっき膜の上に
膜厚1μmのクロムを弁して金属磁性媒体3としてコバ
ルl膜厚500Aで被覆して磁気ディスクを作った。抗
磁力Hat残留磁束密度Br+角形性S、保磁力角形性
S1はそれぞれ6000e。
13600G 、0.8,0.8であった。
比較例2 実施例1と同様釦して白金を9at%残シがコバルトか
らなるコバルト合金薄膜全膜厚500Aで被覆して磁気
ディスクを作った。
抗磁力He、残留磁來智度Br、角形性S、保磁力角形
性S”はそれぞれ600oe、l100OG 、0.8
5゜0.85であった。
以上実施例1〜11および比軟例1,2で示した磁気デ
ィスクを用いて電磁変換特性およびヘッドとの摩耗試験
および環境試験および水浸漬腐食試験を行なった結果、
次の特性を得た。
電磁変換特性については実施例1〜11のディスクにつ
いて40.000〜80,0OOFRPIの記録密度が
Tflられたが、比較例1,2のディスクでは20.0
OOFRPIの記録密度しか得られなかった。ヘッドと
の摩耗試験は2万回のコンタクトスタートストップテス
トヲ行なったところディスク表面に傷は全く見られなか
った。又、温度80℃、相対湿度90%で6ケ月放置す
る環境試験全行なったところ実施例1〜11および比較
例2についてはエラーの増加数は全てゼロでβったが、
比較例1のディスクはエラーが100倍に増加した。
最後に実施例1〜11および比較例1,2のディスク全
切断して15+++mX15mmの切片全作シ、1ケ月
間25℃の水中に浸漬して飽和磁束密度Bsの変化を調
べたところ、第4図の様な結果が得られた。
第4図は磁気記憶体を25℃の水中に浸漬した時の飽和
磁束密度Baの変化率(Bs/ Bo、 Boは浸漬前
の飽和磁束密度)の時間変化を示したものであり、値が
1.0に近い程耐食性が良い。
すなわち実施例1〜11は1ケ月の水中浸漬後もBgの
変化は全くなかったが比較例1は50%。
比較例2は254Bsが減少した。
以上の結果から本発明の磁気記憶体は優れた制食性(直
1猿境性)及び附題粍性及び高記録密度特性を有してい
ることが分った。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の磁気記憶体の一実施例の部分断面図。 図中、■は基板、2は非磁性合金層、3は金属薄膜媒体
、4は保護膜でおる。 第2図および3図は本磁気記憶体に用いられる金属薄膜
媒体における飽和磁束密度、抗磁力、および角形性の金
属薄膜媒体中のクロムおよびタンタルの原子パーセント
による変化を示した特性図。 第4図は本磁気記憶体に用いられる金属薄膜媒体の水浸
漬時間による飽和磁束密度の変化率を示した特性図。 代理人弁理士 内 原  晋 第2図 第3図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属円盤上に非磁性金属層又は非磁性金属酸化物層
    が被覆され、該非磁性金属層又は非磁性金属酸化物層上
    にクロムと白金とコバルトからなる合金又はタンタルと
    白金とコバルトからなる合金の合金薄膜媒体が被覆され
    、目亥金属薄膜媒体上に保趨膜が被接されて構成された
    ことを特徴とする磁気記憶体。 2、非磁性金属がニッケルー燐である%許請求の範囲第
    1珀記載の磁気記憶体。 3、非磁性酸化物層が酸化アルミである特許請求の範囲
    第1項記載の磁気記憶体。 4、保護膜がオスミウム、ルテニウム、イリジウム、マ
    ンガン、タングステンである特許請求の範囲第1項記載
    の磁気記憶体。 5、保護膜がケイ素、チタン、タンタルまたはノ・フニ
    ウムの酸化物、蟹化物または炭化物である特許請求の範
    囲第1狙記載の磁気記憶体。 6、保詐j換がホウ素、炭素またはホウ素と炭素の合金
    である特許請求の範囲第1項記載の磁気記憶体。 7、保穫膜がポリ珪酸である特許請求の範囲第1項記載
    の磁気記憶体。
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