JPS59127235A - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は垂直磁気記録方式に用いられる垂直磁気記録
媒体に関する。

垂直磁気記録方式は、こ′ｉ″Ｌ筺での磁気記録方式と
は比較にならないほどの高密度記録を可能にする磁気記
録方式として近年活発に研究開発が進められている。

ところで、この垂直磁気記録方式はテープやディスクと
いった記録妹体の「厚さ方向Ｊ［ｆｆｌ気記録を行なお
うとする方式であることから、この記録媒体すなわち垂
直磁気記録媒体としてもおのずと従来の磁気バブル材料
とは異なった磁気特性をもつものが必要となる。このよ
うな垂直磁気記録媒体として、適宜な非磁性基板上に軟
磁性層としてのパーマロイ膜および垂直磁化膜としての
コバルト（ＣＯ）−クロム（Ｃｒ）膜を順次スパツクあ
るいは真空蒸着形成したものが好適であることは周知の
辿りである。すなわち、淀胆化σｎた缶化膜が上記垂直
磁化膜となり利る条件は、この垂直異方性エネルギＫＬ
が薄膜媒体の形状異方性エネルギ２πＭｓ　（Ｍｓは飽
和磁化）よりも大きいことであり、この点上記コバルト
ークロムの合金膜は、この中に１０〜２０チ含１れるク
ロムがコバルトのもつ飽和磁化Ｍｓを小さくして上記形
状異方性エネルギ２πＭｓを下げ、かつコバルトの結晶
構造である六方最密構造（以下ｈＣｐという）のＣ＠を
膜面に垂直に保って上記垂直異方性エイ・ルギＫＬを正
の値に保持することから、上記条件を十分に満足するよ
うになり、さらにこのコバルト−クロム合金膜の下地と
して形成される上記パーマロイ膜等の軟磁性膜は、例え
は補助磁極励磁型の垂直磁気ヘッドにて実際ＶｃＳｃ録
が行なわれると＠には該記録媒体の補助磁極よりの磁束
を主ｉ極倶Ｉに集中させ、また同様にして再生が行なわ
れると＠には上記垂直磁化膜の隣り合った垂直砒化モー
ドをこの軟磁性膜中で馬蹄形砒化モードにして、これら
記録再生時の感度を向上させるよう作用する。

タタシ、上記コバルト−クロム合金１ｊ％　Ｋおける垂
直異方性すなわちＣ軸配向性は同合金膜の膜厚に依存す
るものであシ、特にこの膜厚が５０００Ｘ以下であった
と＠には上記配向度は著しく低下する。また、このコバ
ルト−クロム合金膜の下地としてパーマロイ膜を形成し
た場合、確かに記録・再生にかかる感度は向上するが、
逆に上述したコバルト−クロム合金膜における垂直異方
性はこれによって低下することとなる。

したがって、上述した周知の垂直磁気記録媒体において
、十分な記録・再生感度を確保してかつ上記コバルト−
クロム合金膜から十分な垂直異方性を得ようとした場合
、換言すれば上記コバルト−クロム合金膜を垂直磁化膜
として有効に作用させようとした場合、パーマロイ膜を
含むこの全膜厚として少なくとも２μｍ程度の膜厚は必
要とでれた。このことは、垂直磁気６ビ録媒体を単に実
用化するだけでなく、将来、記録・町生効率の高い垂直
磁気記録媒体をより経済的ｖｃ製造する上で大きな障害
となる。

この発明は上述した点ＶＣ＠みてなされたもので、全膜
厚を大幅に削減することができ、またこのようＶＣ＆厚
を削減しても有効に記録・再生を行なうことができる垂
直磁気記録媒体を提供することを目的とする。

このような目的全達成するため、この発明では、コバル
ト膜をスパッタリング法で形成した場合Ｋ　ｈ　ｃ　ｐ
のＣ軸は膜と垂直な方向に向きやす＜、咬たその分散も
少ないこと、芒らにこのコパル）　１５は飽和出仕Δ／
ｉｓが太きいためこの膜厚を１００ＯＸ〜５０００Ｘ程
度の茫膜とした場合に面内缶化膜となってすなわち膜の
垂直力向に働く減磁界が結晶内の異方性磁界エリも強く
なって軟磁性を示すことに着目し、適宜な非鉤性基板士
に“まず上記コバルト膜の薄膜をスパックリング法によ
り形成してその上に前述した垂直磁化膜としてのコバル
ト−クロム合金）ＪＪ９を形成するようにする。すなわ
ちコバルト膜トコパルトークロム合金膜との２層膜構造
にする。このような構造とすることにより、上記コバル
ト−゛クロム合金膜を形成する際、この下地として形成
されたコバルト膜のｈｃｐＯ上に芒らに該合金膜のｈｃ
ｐが成長することになり、そのｃ　Ｉｉｉ＋の分散は非
常に少なくなる。したがって垂直磁化膜である上記コバ
ルト−クロム合金膜は良好な垂直異方性を示すことにな
り、この膜厚が例えば５０００Ｘ以下程度に薄くとも十
分な配向度を保持する。また、この垂直磁化膜の下地と
して上記のように形成キれたコバルト膜は、上述した辿
り軟磁性を示すことから、先に説明したパーマロイ膜と
同様に記録・再生時の感度を向上させるようにも作用す
る。しかもこのコバルト膜は、上記パーマロイ膜などの
通常用いられる軟磁性膜と比較して保磁力は大きいが飽
和磁化は２〜３倍太きいため、パーマロイ膜（７）１／
２’〜１／３の膜厚で上述し１ζいわゆる２￥膜什Ｃ造
　　□としての効呆を得ることができる。

このようにこの弁明にかかる垂面磁気記録媒体によれば
、全膜厚を大幅に削減することができるＣとから、経済
的にも、またこの製造を容易ｖｃする土でも肩オリにな
り、しかも高い記録・再生感度を得ることができる。

以下、この発明Ｋか力・る垂直磁気６ビ録媒体を添附図
面に示す実施例にしたがって詳ａＫ説明する。

第１図にこの発明にかかる垂直磁気記録媒体の一実施例
を示す。ただしここでは片面記録用のフレキシブルディ
スク媒体ｆＩ：想定してこの−部断面を示している。

、す１ｘわちこのフレキシブルディスクは、非磁性体基
板１として、ディスクの安定した走行を保障し、かつ図
示しない磁気ヘッド全一定圧力で抑圧して走行てせても
該ディスクと磁気へノドとのコンタクトが常に得られる
ような適切な剛性を有する厚与７０μｍ程度の耐熱性高
分子フィルムを用いておシ、この基５１の片面にコバル
トＭからなる磁性層２をスバ７り’）’／り法により】
０００Ａ〜５０００Ａの厚さに形成し、芒らにこの上面
にコバルト−クロム合金膜、からなる垂直磁化膜層３を
同じくスパッタリング法により例えば約５ｏｏｏＸの厚
さに形成することによって垂直磁気記録媒体特有のいわ
ゆる２層膜構造を実現している。最後にこ一！′Ｌｆ：
例えば直径２０口の円板状に打ち抜くことによって実用
に供するフレキシブルディスクが完成する。

なお、この第１図に示しｆｃ実施例に、上記非磁性体基
板１の厚与ヲ増すだけでハードディスク媒体への適用も
可能となシ、さらに上記コバルト膜からなる磁性層２お
よびコバルト−クロム合金膜からなる垂直磁化膜や３を
上記基板１の両面に形成するように′Ｆれば両面記録用
のディスク媒体ともなる。

またこの第１図に示した実施例をテープｖｃ適用する場
合には、上記非磁性体基板１の浮式をテープ七しての適
切な柔軟性が保てる程度１７ｉ：薄くすればよい。

第２ツ１は、第１図ＩＫ示したようなディスク媒体を製
造するためのスパッタＩＪ　７グ装置の−ｆ１）。

を模式的に示すものであ、す、最後に同列゛、２は１は
参照してこの製造方法の一例を説明する。

この方法では、予めコバルトターゲット１２とクロムタ
ーゲット１３０２つのターゲットを用意しておき、回転
している非磁性体基板１１に対して、まずコバルトター
ゲットＪ２だけを用いたスパッタリングを行なって前記
コバルト膜からなる磁性層２を形成し１、次にコバルト
ターゲット１２とクロムターゲット１３とを同時に用い
たスパッタリングを行なって前記コバルト−クロム合金
膜からなる垂直磁化膜層３を形成する。

このような製造方法は、コパル）　Ｎｆとコバルト−ク
ロム合金膜とで２層膜構造を実現するこの発明の平置磁
気記録媒体ならではの方法であり、これによってスパッ
タリング装置の簡略化を図ることができる。なお第２１
Ｔｈｌ　において、１０は真空容器であり、通常上述し
たスパッタリングはアルゴンガス雰囲気中で行なわれる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にか力・る垂直磁気記録媒体の一実施
例についてその構造を示す断面図、第２図は第１図に示
したような実施ｆｌｌ記録媒体を製造するためのヌパッ
タリング装置の−ｆｌｌを模式的に示す斜視図である。 １、】１・・・非磁性体基板である耐熱性高分子フィル
ム、　　２・−・磁性層であるコバルト８ｉ。 ３・・・垂直磁化膜層であるコバルト−クロム合金膜、
　】０・・・真空容器、　　】２・・・コバルトターゲ
ット、　　１３・・・クロムターゲット。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）非磁性基板上にコバルト膜Ｌコバルトークロム合
   金膜とをＪ順次スパッタ形成したことを特徴とする垂直
   磁気記録媒体。
2. （２）前記コバルト膜の膜厚を１ｏｏｏλ〜５０００Ｘ
   とする特許請求の範囲第（］）項記載の垂直磁気記録媒
   体。