JP3045797B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
- Publication number
- JP3045797B2 JP3045797B2 JP3053235A JP5323591A JP3045797B2 JP 3045797 B2 JP3045797 B2 JP 3045797B2 JP 3053235 A JP3053235 A JP 3053235A JP 5323591 A JP5323591 A JP 5323591A JP 3045797 B2 JP3045797 B2 JP 3045797B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- magnetic
- magnetic layer
- magnetic recording
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は性能の向上された垂直
磁気記録媒体に関するものである。
磁気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録の高密度化の要求にとも
ない、磁性層の膜厚方向に記録する、いわゆる垂直磁気
記録方法の研究が盛んに行われている。これら垂直磁気
記録媒体はおもに真空蒸着法、スパッタ法あるいはメッ
キ法によって作製され、特にスパッタ法により作製され
た垂直磁気記録媒体は、磁性膜の磁気特性の制御が容易
であるため盛んに研究がなされている。しかしながら高
密度の記録を行なう場合、記録されるビット長の大幅な
縮小や狭トラック化、広帯域化を必要とするため高Ｃ／
Ｎ化が必要とされてきている。このため、Co−Cr合金か
らなる垂直磁気記録層とベースフィルムとの間にNi−Fe
合金からなる軟磁性層を形成した、いわゆる「垂直磁気
記録２層媒体」と垂直磁気記録用単磁極ヘッドの組み合
わせによる記録方法が研究されてきている。この方法に
よれば、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極と垂直２
層媒体の軟磁性層との間に、強い磁気的相互作用が働
き、膜厚方向に対して垂直に磁力線を発生できるため、
高記録密度においても理想的な垂直磁気記録が行なえ、
再生時においても軟磁性層がリターンパスとなるため高
再生出力が得られている。この種の先行技術の一例とし
ては、本願人が先に出願した特願平１−299743号「垂直
磁気記録二層媒体及びその製造方法」があり、この先願
例は、非磁性基板上に膜面内に磁化容易軸を有する低保
持力磁性層と膜面に垂直方向の磁化容易軸を有する磁気
記録磁性層を順次形成してなる垂直磁気記録媒体におい
て、その磁気記録磁性層を飽和磁化のより小さい下部層
と飽和磁化のより大きい上部層とで形成し、これら一連
の磁性層を特定条件のスパッタリング法で形成し、高密
度化に適した性能のよい垂直磁気記録媒体を提供してい
る。
ない、磁性層の膜厚方向に記録する、いわゆる垂直磁気
記録方法の研究が盛んに行われている。これら垂直磁気
記録媒体はおもに真空蒸着法、スパッタ法あるいはメッ
キ法によって作製され、特にスパッタ法により作製され
た垂直磁気記録媒体は、磁性膜の磁気特性の制御が容易
であるため盛んに研究がなされている。しかしながら高
密度の記録を行なう場合、記録されるビット長の大幅な
縮小や狭トラック化、広帯域化を必要とするため高Ｃ／
Ｎ化が必要とされてきている。このため、Co−Cr合金か
らなる垂直磁気記録層とベースフィルムとの間にNi−Fe
合金からなる軟磁性層を形成した、いわゆる「垂直磁気
記録２層媒体」と垂直磁気記録用単磁極ヘッドの組み合
わせによる記録方法が研究されてきている。この方法に
よれば、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの主磁極と垂直２
層媒体の軟磁性層との間に、強い磁気的相互作用が働
き、膜厚方向に対して垂直に磁力線を発生できるため、
高記録密度においても理想的な垂直磁気記録が行なえ、
再生時においても軟磁性層がリターンパスとなるため高
再生出力が得られている。この種の先行技術の一例とし
ては、本願人が先に出願した特願平１−299743号「垂直
磁気記録二層媒体及びその製造方法」があり、この先願
例は、非磁性基板上に膜面内に磁化容易軸を有する低保
持力磁性層と膜面に垂直方向の磁化容易軸を有する磁気
記録磁性層を順次形成してなる垂直磁気記録媒体におい
て、その磁気記録磁性層を飽和磁化のより小さい下部層
と飽和磁化のより大きい上部層とで形成し、これら一連
の磁性層を特定条件のスパッタリング法で形成し、高密
度化に適した性能のよい垂直磁気記録媒体を提供してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本願発明は前記特願平
１−299743号記載の発明の効果をさらに別の立脚点に立
って推進したもので、いわば前記特願平の改良特許とも
言うべきものである。すなわち性能のよい垂直磁気記録
テープを実現しようとするにはCo−Cr／Ni−Fe垂直磁気
記録２層媒体の記録磁性層Co−Cr膜の結晶のＣ軸が非磁
性基板に対して垂直方向に配向していることも必要であ
る。そこで本発明の目的は、記録磁性層Co−Cr膜の結晶
のＣ軸配向性を改善し性能のよい垂直磁気記録媒体を提
供せんとするものである。
１−299743号記載の発明の効果をさらに別の立脚点に立
って推進したもので、いわば前記特願平の改良特許とも
言うべきものである。すなわち性能のよい垂直磁気記録
テープを実現しようとするにはCo−Cr／Ni−Fe垂直磁気
記録２層媒体の記録磁性層Co−Cr膜の結晶のＣ軸が非磁
性基板に対して垂直方向に配向していることも必要であ
る。そこで本発明の目的は、記録磁性層Co−Cr膜の結晶
のＣ軸配向性を改善し性能のよい垂直磁気記録媒体を提
供せんとするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らはかかる問題
に対し、鋭意検討の結果、従来のCo−Cr／Ni−Fe垂直磁
気記録２層媒体では、非磁性基板上に形成したNi−Fe膜
の結晶配向性が悪いため、結晶のＣ軸配向性のよい記録
磁性層Co−Cr膜を形成できないことを見いだした。そこ
で非磁性基板上に結晶配向性のよい膜厚0.0075μm 以上
のCo−Cr下地膜を形成することによって、その上に順次
形成するNi−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜がCo−Cr下地膜
の良好なhcp(002)面の結晶配向性を順次引き継いでヘテ
ロエピタキシャル成長し、Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr
膜の結晶配向性を改善できることを見いだした。すなわ
ち前述の目的を達成するための本発明垂直磁気記録媒体
は、非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有する単結晶
または多結晶のＮｉ−Ｆｅ系合金からなる低保磁力磁性
層と、前記膜面に垂直方向の磁化容易軸を有する単結晶
または多結晶のＣｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層を
順次に形成してなる磁気記録媒体において、前記非磁性
基板と前記低保磁力磁性層との間にＣｏ−Ｃｒ系合金で
あって、その厚みが少なくとも0.0075μｍから0.03μｍ
を越えない範囲、そのＣｏ原子含有率が少なくとも66原
子％から73原子％を越えない範囲である下地膜を設けた
ことを特徴とするものである。
に対し、鋭意検討の結果、従来のCo−Cr／Ni−Fe垂直磁
気記録２層媒体では、非磁性基板上に形成したNi−Fe膜
の結晶配向性が悪いため、結晶のＣ軸配向性のよい記録
磁性層Co−Cr膜を形成できないことを見いだした。そこ
で非磁性基板上に結晶配向性のよい膜厚0.0075μm 以上
のCo−Cr下地膜を形成することによって、その上に順次
形成するNi−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜がCo−Cr下地膜
の良好なhcp(002)面の結晶配向性を順次引き継いでヘテ
ロエピタキシャル成長し、Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr
膜の結晶配向性を改善できることを見いだした。すなわ
ち前述の目的を達成するための本発明垂直磁気記録媒体
は、非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有する単結晶
または多結晶のＮｉ−Ｆｅ系合金からなる低保磁力磁性
層と、前記膜面に垂直方向の磁化容易軸を有する単結晶
または多結晶のＣｏ−Ｃｒ系合金からなる記録磁性層を
順次に形成してなる磁気記録媒体において、前記非磁性
基板と前記低保磁力磁性層との間にＣｏ−Ｃｒ系合金で
あって、その厚みが少なくとも0.0075μｍから0.03μｍ
を越えない範囲、そのＣｏ原子含有率が少なくとも66原
子％から73原子％を越えない範囲である下地膜を設けた
ことを特徴とするものである。
【０００５】
【実施例】以下添付図面を参照し実施例により本発明を
説明する。図１に本発明に係わる垂直磁気記録媒体の基
本構成を模式的に示す。図１図示構成を説明すると、Co
−Cr下地膜が非磁性基板（例えばポリイミドフィルム）
１上に対向ターゲットスパッタ法により例えば0.01μm
の厚さに被着される。このCo−Cr下地膜２のCo原子含有
率は66〜73原子％であることが望ましい。続いて単結晶
または多結晶の低保磁力磁性層３が例えば0.1 μm の厚
さに被着され、さらに単結晶または多結晶の記録磁性層
４が例えば0.13μm の厚さに形成される。本発明者らは
実施例として図２に示した垂直磁気記録媒体を作製し
た。これは図１で、低保磁力磁性層３をNi−Fe膜７と
し、記録磁性層４をより小さい飽和磁化の下部層８とよ
り大きい飽和磁化の上部層９に２層化したものに相当す
る。これらの成膜条件を以下に具体例でより詳細に説明
する。Co−Cr下地膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：67原子％、Cr：33原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：25℃ 膜厚 ：0.0025〜0.03μm 飽和磁化 ：51(emu/cc)低保磁力磁性層のNi−Fe膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Ni−Fe（Ni：80原子％、Fe：20原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.1 μm記録磁性層の下部層のCo−Cr膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：67原子％、Cr：33原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.03μm 飽和磁化 ：51(emu/cc)記録磁性層の上部層のCo−Cr膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：79原子％、Cr：21原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.1 μm 飽和磁化 ：514(emu/cc) 以上のようにして、膜厚0.0025μm 以上のCo−Cr下地膜
上に膜厚0.1 μm のNi−Fe膜と膜厚0.13μm の２層から
なる記録磁性層Co−Cr膜が形成される。これらは具体例
のほんの一例である。図３に図２図示垂直磁気記録媒体
のCo−Cr下地膜の成長膜厚に対する低保磁力磁性層Ni−
Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のＸ線回折強度I(111)(kCPS)
およびI(002)(kCPS)とロッキング曲線の半値幅Δθ50(d
eg.)との変化の実験曲線を示した。図で白ぬき丸印、黒
丸印はそれぞれCo−Cr膜およびNi−Fe膜のＸ線回折強度
データを示し、強度が強い程この膜の単結晶化のすすん
でいることを示している。また同図で白ぬき四角印、黒
四角印はそれぞれCo−Cr膜およびNi−Fe膜のロッキング
曲線の半値幅を示し、半値幅が狭いほどやはり膜の単結
晶化がすすんでいることを示している。また(kCPS)とは
キロカウント／秒のことである。この図３図示データ曲
線よりCo−Cr下地膜の好適な膜厚は少なくとも0.0075μ
m であることがわかるであろう。またＸ線回折強度、ロ
ッキング曲線の半値幅は上述の数値以上では飽和する
が、最大許容膜厚はこの垂直磁気記録媒体の全膜厚によ
り規定され、全膜厚は極力薄いことが望まれるが、全体
のバランス上ほぼ0.03μm が好適とされる。またこの下
地膜のCo原子とCr原子それぞれの含有率はCo原子につい
て少なくとも66原子％から73原子％を越えない範囲のも
のが好適であることが本発明者らの種々の実験結果から
得られている。さらにまた、上述の条件によりCo−Cr系
合金からなる下地層を設ければ、その下地層の上に設け
られるべき低保磁力磁性層と記録磁性層の好適な条件は
前記特願平１−299743号明細書に記載された好適な条件
にほぼ一致することがさらに本願発明者により確かめら
れており、本発明請求項５，６，７，９に記載された内
容は前記特願平１−299743号明細書記載の内容が参照さ
れるべきものである。以上本発明を実施例により説明し
てきたが、本発明はこれに限定されることなく、特許請
求の範囲に記載された要旨内で各種の変形、変更が可能
であろう。
説明する。図１に本発明に係わる垂直磁気記録媒体の基
本構成を模式的に示す。図１図示構成を説明すると、Co
−Cr下地膜が非磁性基板（例えばポリイミドフィルム）
１上に対向ターゲットスパッタ法により例えば0.01μm
の厚さに被着される。このCo−Cr下地膜２のCo原子含有
率は66〜73原子％であることが望ましい。続いて単結晶
または多結晶の低保磁力磁性層３が例えば0.1 μm の厚
さに被着され、さらに単結晶または多結晶の記録磁性層
４が例えば0.13μm の厚さに形成される。本発明者らは
実施例として図２に示した垂直磁気記録媒体を作製し
た。これは図１で、低保磁力磁性層３をNi−Fe膜７と
し、記録磁性層４をより小さい飽和磁化の下部層８とよ
り大きい飽和磁化の上部層９に２層化したものに相当す
る。これらの成膜条件を以下に具体例でより詳細に説明
する。Co−Cr下地膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：67原子％、Cr：33原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：25℃ 膜厚 ：0.0025〜0.03μm 飽和磁化 ：51(emu/cc)低保磁力磁性層のNi−Fe膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Ni−Fe（Ni：80原子％、Fe：20原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.1 μm記録磁性層の下部層のCo−Cr膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：67原子％、Cr：33原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.03μm 飽和磁化 ：51(emu/cc)記録磁性層の上部層のCo−Cr膜の成膜条件 ターゲット組成 ：Co−Cr（Co：79原子％、Cr：21原
子％) スパッタアルゴン圧：１mTorr 投入パワー ：1.0kW 基板フィルム温度 ：130 ℃ 膜厚 ：0.1 μm 飽和磁化 ：514(emu/cc) 以上のようにして、膜厚0.0025μm 以上のCo−Cr下地膜
上に膜厚0.1 μm のNi−Fe膜と膜厚0.13μm の２層から
なる記録磁性層Co−Cr膜が形成される。これらは具体例
のほんの一例である。図３に図２図示垂直磁気記録媒体
のCo−Cr下地膜の成長膜厚に対する低保磁力磁性層Ni−
Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のＸ線回折強度I(111)(kCPS)
およびI(002)(kCPS)とロッキング曲線の半値幅Δθ50(d
eg.)との変化の実験曲線を示した。図で白ぬき丸印、黒
丸印はそれぞれCo−Cr膜およびNi−Fe膜のＸ線回折強度
データを示し、強度が強い程この膜の単結晶化のすすん
でいることを示している。また同図で白ぬき四角印、黒
四角印はそれぞれCo−Cr膜およびNi−Fe膜のロッキング
曲線の半値幅を示し、半値幅が狭いほどやはり膜の単結
晶化がすすんでいることを示している。また(kCPS)とは
キロカウント／秒のことである。この図３図示データ曲
線よりCo−Cr下地膜の好適な膜厚は少なくとも0.0075μ
m であることがわかるであろう。またＸ線回折強度、ロ
ッキング曲線の半値幅は上述の数値以上では飽和する
が、最大許容膜厚はこの垂直磁気記録媒体の全膜厚によ
り規定され、全膜厚は極力薄いことが望まれるが、全体
のバランス上ほぼ0.03μm が好適とされる。またこの下
地膜のCo原子とCr原子それぞれの含有率はCo原子につい
て少なくとも66原子％から73原子％を越えない範囲のも
のが好適であることが本発明者らの種々の実験結果から
得られている。さらにまた、上述の条件によりCo−Cr系
合金からなる下地層を設ければ、その下地層の上に設け
られるべき低保磁力磁性層と記録磁性層の好適な条件は
前記特願平１−299743号明細書に記載された好適な条件
にほぼ一致することがさらに本願発明者により確かめら
れており、本発明請求項５，６，７，９に記載された内
容は前記特願平１−299743号明細書記載の内容が参照さ
れるべきものである。以上本発明を実施例により説明し
てきたが、本発明はこれに限定されることなく、特許請
求の範囲に記載された要旨内で各種の変形、変更が可能
であろう。
【０００６】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明によれ
ば非磁性基板と垂直磁気記録２層媒体（Co−Cr／Ni−F
e）のうちのNi−Fe膜との間に薄膜Co−Cr下地膜が形成
されて、低保磁力磁性層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜
の単結晶化が前記下地膜によりエピタキシャル的に促進
されて、結晶配向性が従来例より大幅に改善され、高密
度記録に適した垂直磁気記録媒体が得られる。
ば非磁性基板と垂直磁気記録２層媒体（Co−Cr／Ni−F
e）のうちのNi−Fe膜との間に薄膜Co−Cr下地膜が形成
されて、低保磁力磁性層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜
の単結晶化が前記下地膜によりエピタキシャル的に促進
されて、結晶配向性が従来例より大幅に改善され、高密
度記録に適した垂直磁気記録媒体が得られる。
【図１】本発明に係るCo−Cr下地膜を有する垂直磁気記
録媒体の基本構成図。
録媒体の基本構成図。
【図２】実施例として作製したCo−Cr下地膜を有する垂
直磁気記録媒体の構成図。
直磁気記録媒体の構成図。
【図３】Co−Cr下地膜の成長膜厚に対する低保持力磁性
層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のＸ線回折強度とロッ
キング曲線の半値幅の変化を示した実験曲線。
層Ni−Fe膜と記録磁性層Co−Cr膜のＸ線回折強度とロッ
キング曲線の半値幅の変化を示した実験曲線。
１ 非磁性基板 ２ Co−Cr下地膜 ３ 低保磁力磁性層 ４ 記録磁性層 ５ 基板ポリイミドフィルム ６ Co−Cr下地膜（Co：67原子％、Cr：33原子％) ７ ３のNi−Fe膜（Ni：80原子％、Fe：20原子％) ８ ４の下部層Co−Cr膜（Co：67原子％、Cr：33原子
％) ９ ４の上部層Co−Cr膜（Co：79原子％、Cr：21原子
％)
％) ９ ４の上部層Co−Cr膜（Co：79原子％、Cr：21原子
％)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−132015（ＪＰ，Ａ) 「極薄膜ＣｏＣｒ層によるパーマロイ 下地膜の配向度制御」、電子情報通信学 会技術研究報告（ＭＲ90−３）、1990年 ５月15日 (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 5/667 G11B 5/738
Claims (2)
- 【請求項１】 非磁性基板上の膜面内に磁化容易軸を有
する単結晶または多結晶のＮｉ−Ｆｅ系合金からなる低
保磁力磁性層と、前記膜面に垂直方向の磁化容易軸を有
する単結晶または多結晶のＣｏ−Ｃｒ系合金からなる記
録磁性層を順次に形成してなる磁気記録媒体において、
前記非磁性基板と前記低保磁力磁性層との間にＣｏ−Ｃ
ｒ系合金であって、その厚みが少なくとも0.0075μｍか
ら0.03μｍを越えない範囲、そのＣｏ原子含有率が少な
くとも66原子％から73原子％を越えない範囲である下地
膜を設けたことを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】 請求項１記載の記録媒体において、前記
記録磁性層が飽和磁化のより小さい下部層と飽和磁化の
より大きい上部層とからなることを特徴とする垂直磁気
記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053235A JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3053235A JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04269814A JPH04269814A (ja) | 1992-09-25 |
| JP3045797B2 true JP3045797B2 (ja) | 2000-05-29 |
Family
ID=12937146
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3053235A Expired - Lifetime JP3045797B2 (ja) | 1991-02-26 | 1991-02-26 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3045797B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05282650A (ja) * | 1991-10-03 | 1993-10-29 | Censtor Corp | 局部緩和抑制現象を示す改善された垂直型磁気記録媒体 |
| US6387483B1 (en) | 1997-12-18 | 2002-05-14 | Nec Corporation | Perpendicular magnetic recording medium and manufacturing process therefor |
-
1991
- 1991-02-26 JP JP3053235A patent/JP3045797B2/ja not_active Expired - Lifetime
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 「極薄膜ＣｏＣｒ層によるパーマロイ下地膜の配向度制御」、電子情報通信学会技術研究報告（ＭＲ９０−３）、１９９０年５月１５日 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04269814A (ja) | 1992-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5851643A (en) | Magnetic recording media and magnetic recording read-back system which uses such media | |
| JP3099790B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US6881504B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus using the same | |
| JPH01158618A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| US20050227120A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus | |
| US6395413B1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium | |
| JP2991672B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2539349B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS63237210A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3045797B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US6348276B1 (en) | Magnetic recording media with a surface-oxidized nial sub-seedlayer | |
| JP3665221B2 (ja) | 面内磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH07105027B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US5496620A (en) | Magnetic recording medium | |
| JP3222141B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP3582435B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH04221418A (ja) | 磁気記録体 | |
| JPWO1996027187A1 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JPH09320033A (ja) | 磁気記録媒体及びそれを用いた磁気記憶装置 | |
| JP2725502B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP2898996B2 (ja) | 磁気記録媒体とその製造方法及びそれを用いた記録再生装置 | |
| JPH1041134A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPH06103555A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JP2760906B2 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPS58171717A (ja) | 磁気記録媒体 |