JP2539349B2 - 垂直磁気記録媒体 - Google Patents
垂直磁気記録媒体Info
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- JP2539349B2 JP2539349B2 JP58190729A JP19072983A JP2539349B2 JP 2539349 B2 JP2539349 B2 JP 2539349B2 JP 58190729 A JP58190729 A JP 58190729A JP 19072983 A JP19072983 A JP 19072983A JP 2539349 B2 JP2539349 B2 JP 2539349B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は垂直磁気記録用の記録媒体に係り、特に高密
度記録に好適な多層膜磁気記録媒体に関する。
度記録に好適な多層膜磁気記録媒体に関する。
従来の垂直磁気記録用媒体は、基体上にスパッタリン
グ法、真空蒸着法などでCo−Crを0.2〜５μｍ程度形成
することで作製されていた。一般にこれらの方法で薄膜
を形成すると膜厚が大きくなるに従い、結晶粒径も大き
くなり、そのため特に150kBPI（kilo bit per inch）程
度の高記録密度を達成しようとする場合にはCo−Cr膜厚
が0.2μｍ程度と薄い場合にでも、本媒体に記録を行う
と再生時に大きなノイズが発生し出力ノイズ比が劣化し
てしまうという欠点があった。
グ法、真空蒸着法などでCo−Crを0.2〜５μｍ程度形成
することで作製されていた。一般にこれらの方法で薄膜
を形成すると膜厚が大きくなるに従い、結晶粒径も大き
くなり、そのため特に150kBPI（kilo bit per inch）程
度の高記録密度を達成しようとする場合にはCo−Cr膜厚
が0.2μｍ程度と薄い場合にでも、本媒体に記録を行う
と再生時に大きなノイズが発生し出力ノイズ比が劣化し
てしまうという欠点があった。
〔発明の目的〕 本発明の目的は、150kBPI程度の高密度でいわゆるデ
ィジタル記録した場合にも出力ノイズ比の高い垂直磁気
記録用薄膜媒体を提供することにある。
ィジタル記録した場合にも出力ノイズ比の高い垂直磁気
記録用薄膜媒体を提供することにある。
本発明者らは、媒体の垂直配向性をそこなうことなく
結晶粒径を微細な状態に保つ膜形成方法について鋭意検
討した結果、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を
介して積層することで上記目的を達成できることが明ら
かになった。この媒体を150kBPI程度の高密度で記録し
た場合には、通常の方法で作製した媒体に比べ格段にノ
イズが低く、さらに本薄膜を高透磁率磁性層で裏打ちす
ることで出力ノイズ比の観点からさらに特性の優れた膜
が得られ、特にこの効果は、上記垂直磁気異方性を有す
る薄膜はCoを主体とした磁性金属である場合により顕著
であった。
結晶粒径を微細な状態に保つ膜形成方法について鋭意検
討した結果、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を
介して積層することで上記目的を達成できることが明ら
かになった。この媒体を150kBPI程度の高密度で記録し
た場合には、通常の方法で作製した媒体に比べ格段にノ
イズが低く、さらに本薄膜を高透磁率磁性層で裏打ちす
ることで出力ノイズ比の観点からさらに特性の優れた膜
が得られ、特にこの効果は、上記垂直磁気異方性を有す
る薄膜はCoを主体とした磁性金属である場合により顕著
であった。
本発明者らは、上記事実に基づき本発明を成したもの
で、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を介して積
層し、さらにより好ましくは該積層膜を高透磁率磁性層
で裏打ちし、さらにより好ましくは、該垂直磁気異方性
を有する薄膜はCoを主体とした磁性合金であることを特
徴とする、高密度での出力ノイズ比の高い垂直磁気記録
媒体を提供するものである。
で、垂直磁気異方性を有する薄膜を非磁性層を介して積
層し、さらにより好ましくは該積層膜を高透磁率磁性層
で裏打ちし、さらにより好ましくは、該垂直磁気異方性
を有する薄膜はCoを主体とした磁性合金であることを特
徴とする、高密度での出力ノイズ比の高い垂直磁気記録
媒体を提供するものである。
以下、本発明の一実施例を第１図により説明する。11
はガラス、Al、ポリエステル、ポリイミド、PETなどよ
り成る基板、12,12′はCo−Zr−Mo,Ni−Feなどから成る
高透磁率磁性合金薄膜、13,13′はCr,Ti,Al2Ｏ3などか
らなる非磁性層、14,14′はCo−Crなどから成る垂直磁
気異方性を有する薄膜、15,15′はCr,Ti,Al2Ｏ3,CrOな
どからなる非磁性層、16,16′はCo−Cr−Rh,Co−Cr−Mo
などからなる垂直磁気異方性を有する薄膜である。垂直
磁気薄膜各層の組成、材質は同一でも同一でなくても良
いが、同一の方が好ましい。
はガラス、Al、ポリエステル、ポリイミド、PETなどよ
り成る基板、12,12′はCo−Zr−Mo,Ni−Feなどから成る
高透磁率磁性合金薄膜、13,13′はCr,Ti,Al2Ｏ3などか
らなる非磁性層、14,14′はCo−Crなどから成る垂直磁
気異方性を有する薄膜、15,15′はCr,Ti,Al2Ｏ3,CrOな
どからなる非磁性層、16,16′はCo−Cr−Rh,Co−Cr−Mo
などからなる垂直磁気異方性を有する薄膜である。垂直
磁気薄膜各層の組成、材質は同一でも同一でなくても良
いが、同一の方が好ましい。
第2,第３図には別の実施例を示す、21,31はAl、ポリ
イミド、PETなどから成る基板、22はCo−Ze−W,Fe−Si
などから成る高透磁率磁性合金薄膜、23,25,27,29,32,3
2′,34,34′はCo−Cr,Co−Cr−Ｗなどよりなる垂直磁気
異方性膜、24,26,28,33,33′はCrO,Al2Ｏ3などから成る
非磁性層である。
イミド、PETなどから成る基板、22はCo−Ze−W,Fe−Si
などから成る高透磁率磁性合金薄膜、23,25,27,29,32,3
2′,34,34′はCo−Cr,Co−Cr−Ｗなどよりなる垂直磁気
異方性膜、24,26,28,33,33′はCrO,Al2Ｏ3などから成る
非磁性層である。
なおいずれも垂直磁気異方性膜の積層数は２〜４の場
合について示したが、さらに多層でも良い。
合について示したが、さらに多層でも良い。
発明の背景の項でも述べた様に、Co−Cr薄膜は膜厚が
大きくなるに従い、結晶粒径が大きくなり、150kBPI程
度の高記録密度を達成しようとする場合には、膜厚が0.
2μｍ程度と薄い場合でも再生時に大きなノイズが発生
してしまう。これは基板上に薄膜を形成すると、最初の
うちは粒径が小さな結晶粒が成長し、この領域を初期成
長層というが、Co−Cr薄膜の場合、この初期成長層の厚
さが0.2μｍ未満であるからである。本発明者らはかか
る点に鑑み、0.2μｍ未満の磁性膜を金属もしくは金属
酸化物から成る非磁性層を介して少なくとも２層積層す
る本発明を発明した。
大きくなるに従い、結晶粒径が大きくなり、150kBPI程
度の高記録密度を達成しようとする場合には、膜厚が0.
2μｍ程度と薄い場合でも再生時に大きなノイズが発生
してしまう。これは基板上に薄膜を形成すると、最初の
うちは粒径が小さな結晶粒が成長し、この領域を初期成
長層というが、Co−Cr薄膜の場合、この初期成長層の厚
さが0.2μｍ未満であるからである。本発明者らはかか
る点に鑑み、0.2μｍ未満の磁性膜を金属もしくは金属
酸化物から成る非磁性層を介して少なくとも２層積層す
る本発明を発明した。
本発明によれば、媒体の垂直配向性を損すことなく磁
性膜の結晶粒径を微細な状態に保てるため、ノイズを著
しく低減できる効果がある。これに対し、例えば有機物
から成る非磁性層を介して積層する場合は、結晶が綺麗
に揃って成長し易く、結晶粒径が大きくなるため、ノイ
ズの低減には好ましくない。
性膜の結晶粒径を微細な状態に保てるため、ノイズを著
しく低減できる効果がある。これに対し、例えば有機物
から成る非磁性層を介して積層する場合は、結晶が綺麗
に揃って成長し易く、結晶粒径が大きくなるため、ノイ
ズの低減には好ましくない。
膜厚が0.01,0.02,0.05,0.1,0.25であるCo−Cr薄膜
を、膜厚0.005μｍのTi薄膜を介してそれぞれ積層した
全膜厚を約0.5μｍとした媒体を150kBPI程度の高密度で
記録した場合の、媒体の垂直配向性を示すＸ線回折ピー
クの半値巾Δθ50と、媒体ノイズをそれぞれ第４図の4
1,42に示す。同図には、膜厚が0.5μｍのCo−Cr単層膜
のΔθ50、ノイズも示すが、同図からTiを介してCo−Cr
を積層した場合には、Co−Cr単層膜の場合に比べてノイ
ズが低減していることが分かる。また、ノイズを示す42
の値は膜厚0.2μｍ付近から増加の傾きが幾分急峻にな
っており、低ノイズ化には磁性薄膜１層分の厚さを0.2
μｍ未満とすれば良いことが分かる。さらに、Co−Cr1
層分の膜厚が0.15μｍ以上であれば、Δθ50も約４°以
下と小さく、単層膜と比べて同等の垂直配向性を有して
おり、積層化により確かに垂直磁気記録に適した膜とな
っていることが分かる。
を、膜厚0.005μｍのTi薄膜を介してそれぞれ積層した
全膜厚を約0.5μｍとした媒体を150kBPI程度の高密度で
記録した場合の、媒体の垂直配向性を示すＸ線回折ピー
クの半値巾Δθ50と、媒体ノイズをそれぞれ第４図の4
1,42に示す。同図には、膜厚が0.5μｍのCo−Cr単層膜
のΔθ50、ノイズも示すが、同図からTiを介してCo−Cr
を積層した場合には、Co−Cr単層膜の場合に比べてノイ
ズが低減していることが分かる。また、ノイズを示す42
の値は膜厚0.2μｍ付近から増加の傾きが幾分急峻にな
っており、低ノイズ化には磁性薄膜１層分の厚さを0.2
μｍ未満とすれば良いことが分かる。さらに、Co−Cr1
層分の膜厚が0.15μｍ以上であれば、Δθ50も約４°以
下と小さく、単層膜と比べて同等の垂直配向性を有して
おり、積層化により確かに垂直磁気記録に適した膜とな
っていることが分かる。
実際、膜厚0.1μｍのCo−Crと膜厚0.005μｍのAl2Ｏ3
とをそれぞれ２層積層して形成した垂直方向保磁力450O
e、飽和磁束密度350emu/ccのCo−Cr積層膜を、膜厚１μ
ｍのCo−Zr−Mo非晶質磁性合金で裏打した第１図に示し
た構造の媒体を用いて、垂直磁気記録再生を行ったとこ
ろ、第５図51に示すように高密度の記録再生特性が得ら
れた。同図には、膜厚が0.5μｍのCo−Cr単層膜を用い
た場合の特性も52として示すが、この場合もほぼ同様の
出力が得られている。しかし、150kBPIでの出力ノイズ
比を比べてみると、本発明の構造の媒体では約３倍の特
性が得られ、本発明の効果は著しかった。なおここで、
13,13′層を省いて、高透磁率層に直接Co−Cr層を形成
した第２図に示した様な構造とした媒体では、下地を結
晶質の高透磁率磁性合金Ni−Fe,Fe−Siなどにした場合
には特性が約５％低下したが、下地をCo−Zr−Mo,Co−Z
r−Nbなどの非晶質の高透磁率磁性合金とした場合には
特性は変わらなかった。しかしいずれの場合も従来の構
造の媒体に比べて３倍程度の出力ノイズ比が得られた。
とをそれぞれ２層積層して形成した垂直方向保磁力450O
e、飽和磁束密度350emu/ccのCo−Cr積層膜を、膜厚１μ
ｍのCo−Zr−Mo非晶質磁性合金で裏打した第１図に示し
た構造の媒体を用いて、垂直磁気記録再生を行ったとこ
ろ、第５図51に示すように高密度の記録再生特性が得ら
れた。同図には、膜厚が0.5μｍのCo−Cr単層膜を用い
た場合の特性も52として示すが、この場合もほぼ同様の
出力が得られている。しかし、150kBPIでの出力ノイズ
比を比べてみると、本発明の構造の媒体では約３倍の特
性が得られ、本発明の効果は著しかった。なおここで、
13,13′層を省いて、高透磁率層に直接Co−Cr層を形成
した第２図に示した様な構造とした媒体では、下地を結
晶質の高透磁率磁性合金Ni−Fe,Fe−Siなどにした場合
には特性が約５％低下したが、下地をCo−Zr−Mo,Co−Z
r−Nbなどの非晶質の高透磁率磁性合金とした場合には
特性は変わらなかった。しかしいずれの場合も従来の構
造の媒体に比べて３倍程度の出力ノイズ比が得られた。
膜厚0.15μｍ、保磁力800Oe、飽和磁化450emu/ccのCo
−Cer−Rhを、膜厚0.005μｍのTiを１層介して形成して
２層形成した第３図に示す構造の媒体に垂直磁気記録再
生を行ったところ、第６図61に示すような特性となり、
膜厚が0.5μｍの単一膜の媒体の特性62とほぼ同等の再
生出力であるが、例えば100kBPIでの出力ノイズ比は約
1.5倍向上した。本構成の媒体に膜厚1.5μｍのCo−Zr−
Nb非晶質高透磁率層を裏打ちすると、さらに出力ノイズ
比は約２倍向上した。
−Cer−Rhを、膜厚0.005μｍのTiを１層介して形成して
２層形成した第３図に示す構造の媒体に垂直磁気記録再
生を行ったところ、第６図61に示すような特性となり、
膜厚が0.5μｍの単一膜の媒体の特性62とほぼ同等の再
生出力であるが、例えば100kBPIでの出力ノイズ比は約
1.5倍向上した。本構成の媒体に膜厚1.5μｍのCo−Zr−
Nb非晶質高透磁率層を裏打ちすると、さらに出力ノイズ
比は約２倍向上した。
以上の効果は、Co酸化物、Co−Ptなどでも認められ、
本構造の媒体を用いることで極めて良好な垂直磁気記録
再生特性が得られた。
本構造の媒体を用いることで極めて良好な垂直磁気記録
再生特性が得られた。
本発明の垂直磁気記録媒体は、垂直磁気異方性を有す
る薄膜を比磁性層を介して積層することにより、高密度
で且つ出力ノイズ比の格段に高いものとなった。
る薄膜を比磁性層を介して積層することにより、高密度
で且つ出力ノイズ比の格段に高いものとなった。
第１図ないし第３図は本発明の媒体の断面図、第４図は
本発明の構造の膜特性を示すグラフ、第５図、第６図は
本発明の媒体の垂直磁気記録再生特性を示すグラフであ
る。 11,21,31……基板、12,12′,22……高透磁率層、14,1
4′,16,16′,23,25,27,29,32,32′,34,34′……垂直磁
気特性を有する層、13,13′,15,15′,24,26,28,33,33′
……非磁性中間層、41……本発明の膜のΔθ50,42……
ノイズ、51,61……本発明の媒体の記録再生特性を示す
曲線。
本発明の構造の膜特性を示すグラフ、第５図、第６図は
本発明の媒体の垂直磁気記録再生特性を示すグラフであ
る。 11,21,31……基板、12,12′,22……高透磁率層、14,1
4′,16,16′,23,25,27,29,32,32′,34,34′……垂直磁
気特性を有する層、13,13′,15,15′,24,26,28,33,33′
……非磁性中間層、41……本発明の膜のΔθ50,42……
ノイズ、51,61……本発明の媒体の記録再生特性を示す
曲線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 上坂 保太郎 国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式 会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 菱山 定夫 国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式 会社日立製作所中央研究所内 (72)発明者 品川 公成 国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式 会社日立製作所中央研究所内 (56)参考文献 特開 昭57−30118（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−179942（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】同一組成、同一膜厚のCoを主体とした磁性
金属からなる0.2μｍ未満の厚さの垂直磁気異方性を有
する磁性薄膜を、金属もしくは金属酸化物から成る非磁
性層を介して少なくとも２層積層したことを特徴とする
垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】上記積層した膜が高透磁率磁性層で裏打ち
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項３】上記磁性薄膜をCo−Cr,Co−Cr−Rh,Co−Cr
−Mo,Co−Cr−W,Co−O,Co−Ptから成る群から選ばれた
少なくとも１つの磁性金属で形成し、上記非磁性層をC
r,Ti,Al2Ｏ3,CrOから成る群から選ばれた少なくとも１
つの物質で形成したことを特徴とする特許請求の範囲第
１項記載の垂直磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190729A JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58190729A JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6083218A JPS6083218A (ja) | 1985-05-11 |
| JP2539349B2 true JP2539349B2 (ja) | 1996-10-02 |
Family
ID=16262823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58190729A Expired - Lifetime JP2539349B2 (ja) | 1983-10-14 | 1983-10-14 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2539349B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4717592A (en) * | 1984-12-24 | 1988-01-05 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Vertical magnetization type recording medium and manufacturing method therefor |
| FR2584847B1 (fr) * | 1985-07-15 | 1987-10-16 | Bull Sa | Support d'enregistrement perpendiculaire magnetiquement anisotrope |
| US4677032A (en) * | 1985-09-23 | 1987-06-30 | International Business Machines Corporation | Vertical magnetic recording media with multilayered magnetic film structure |
| US4749628A (en) * | 1986-04-29 | 1988-06-07 | International Business Machines Corporation | Multilayered vertical magnetic recording medium |
| JP2533860B2 (ja) * | 1986-09-24 | 1996-09-11 | 株式会社日立製作所 | 磁性超格子膜およびそれを用いた磁気ヘツド |
| US4847161A (en) * | 1986-12-19 | 1989-07-11 | Siemens Aktiengesellschaft | Magnetically anisotropic recording medium |
| EP0302706B1 (en) * | 1987-08-06 | 1994-07-27 | Sumitomo Metal Mining Company Limited | In-plane magnetic disc |
| US5023148A (en) * | 1987-12-30 | 1991-06-11 | Seagate Technology, Inc. | Tine film cobalt-containing recording medium |
| US5316631A (en) * | 1989-02-16 | 1994-05-31 | Victor Company Of Japan, Ltd. | Method for fabricating a magnetic recording medium |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5634138A (en) * | 1979-08-22 | 1981-04-06 | Ulvac Corp | Magnetic recording medium |
| JPS5730118A (en) * | 1980-07-30 | 1982-02-18 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Vertically magnetized medium and its manufacture |
| JPS57179942A (en) * | 1981-04-24 | 1982-11-05 | Canon Inc | Magnetic recording medium |
-
1983
- 1983-10-14 JP JP58190729A patent/JP2539349B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6083218A (ja) | 1985-05-11 |
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