JP2555683B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents

磁気記録媒体

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JP2555683B2 JP63082778A JP8277888A JP2555683B2 JP 2555683 B2 JP2555683 B2 JP 2555683B2 JP 63082778 A JP63082778 A JP 63082778A JP 8277888 A JP8277888 A JP 8277888A JP 2555683 B2 JP2555683 B2 JP 2555683B2
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Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば磁気ディスク、磁気テープ等の磁気
記録媒体に関するものである。
（従来の技術） 近年、ヘッドの材質の改良や浮上量の低下などによ
り、高い保磁力を持つ磁気記録媒体でも記録することが
可能となってきており、これにより、高い保磁力を持つ
磁気記録媒体による高密度記録が要求されてきている。
従来のスパッタ法によって製造された磁気記録媒体で
は、Cr層上にCoCrTaの磁性層を形成したものがCr層上に
CoNi、CoNiCr等の磁性層を形成したものに比べ優れた磁
気特性を有することがわかっている。これは特願昭62−
291519号に示されている。また1982年11月の第６回応用
磁気学会と1983年11月の第７回応用磁気学会において、
日本電気（株）より、二次系媒体及び三元系媒体におけ
るCo合金にPtを添加する技術が公開されている。
そして、Cr層上にCoNiPtの磁性層を形成したものが特
開昭62−141628号及び特開昭61−142524号に示されてい
る。
（発明が解決しようとする課題） 磁気記録媒体は高密度記録を行なうために保磁力を高
めることが要求されているが、従来の磁気記録媒体の保
磁力は約1000〜1200［Oe］程度であり、特開昭62−1416
28号の保磁力は約1200［Oe］、特開昭61−142524号は約
1000［Oe］である。
また第６回応用磁気学会、及び第７回応用磁気学会で
示されたCo合金にPtを添加する技術による磁気記録媒体
は、少なくとも15［at％］程度のPtを添加しなければ高
い保磁力は得られず、Ptが非常に高価なためあまり実用
的ではなかった。
（課題を解決するための手段） 上記課題を解決するための手段として、非磁性基体
と、前記非磁性基体上に形成されたCr層と、前記Cr層上
に形成された磁性層とを有し、前記磁性層はCoCrTaPtの
四元素合金で構成されており、かつCr,Ta,Ptの各元素の
比率が下記の範囲であることを特徴とする磁気記録媒
体。
Cr:X １≦Ｘ≦18［at％］ Ta:Y １≦Ｙ≦８［at％］ Pt:Z １≦Ｚ≦15［at％］ （実施例） 本発明の磁気記録媒体の実施例及び比較例を以下に示
す。
［実施例１］ NiPの基板上にDCマグネトロンスパッタ法により、100
0［Å］のCr層を形成し、その上に600［Å］のCoCrTaPt
層を形成して、ディスクを作製した。
そして、CoCrTaPt層としてCo83Cr11.6Ta5.4のターゲ
ット上にPtチップを適量置くことでPt添加量を調節し、
そのときの磁気特性を測定した。
なお、スパッタ条件は基板加熱200［℃］、Arガス圧
５［mTorr］である。
［実施例２］ 実施例１において、CoCrTaPt層としてCo86.8−ｙCr
8.7TayPt4.5とCo82.5−ｙCr13TayPt4.5の２種類を用い
て、Ta添加量を調節して、そのときの磁気特性を測定し
た。
［実施例３］ 実施例１において、CoCrTaPt層としてCo88.7−ｘCrxT
a5.4Pt5.9とCo92.5−ｘCrxTa2.7Pt4.8の２種類を用い、
Cr添加量を調節して、そのときの磁気特性を測定した。
［比較例１］ 実施例１において、1000［Å］のCr層上に600［Å］
のCo83Cr11.6Ta5.4層を形成し、ディスクを作製し、磁
気特性を測定した。
［比較例２］ 実施例１において、Cr層を形成せず、NiPの基板上に
直接Co76.7Cr11.6Ta5.4Pt6.3層を形成し、ディスクを作
製し、磁気特性を測定した。
［比較例３］ 実施例１において、磁性体のCoCrTaPt層を750［Å］
のCoNiPt層に換えてディスクを作製し、CoNiPt層として
Co84Ni16のターゲット上にPtチップを適量置くこでPt添
加量を調整して磁気特性を測定した。
［結 果］ 実施例１、比較例１の結果を第１図及び第２図に表わ
す。
第１図はPt添加量と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、保磁力はPtの添加量が約6.3［at％］のときに1700
［Oe］で最大となる。
そしてこの時の飽和磁化量Msは約600［emu/cc］で、
磁気記録媒体として充分な値となっている。
またPtの添加量をより増加させると保磁力は低下して
いき、約17［at％］を越えると比較例１のCoCrTa層を形
成したディスク以上の効果は得られなくなる。
また第２図はPt添加量と、角形比Rs、保持力角形比Ｓ
＊の関係を表わしたグラフで、角形比Rs、保磁力角形比
Ｓ＊共にPtの添加量が約10［％］を越えるまで変化が少
なく、Rs＞0.8、Ｓ＊＞0.9を満たす優れた特性を示して
いる。
次に実施例２の結果を第３図に表わす。
第３図はTa添加量と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、グラフＡはCo86.8−ｙCr8.7TayPt4.5を、グラフＢ
はCo82.5−ｙCr13TayPt4.5を表わしている。
グラフからもわかるように、２種類ともTa添加量が６
［at％］前後で保磁力が最大となり、それ以上の添加量
では急激に減少しており、Taの添加量は１≦Ta≦８［at
％］が良い。
また実施例３の結果を第４図に表わす。
第４図はCr添加量と保磁力との関係を表わしたグラフ
で、グラフＣはCo88.7−ｘCrxTa5.4Pt5.9を、グラフＤ
はCo92.5−ｘCrxTa2.7Pt4.8を表わしている。
そしてグラフＣはCr添加量が11［at％］前後で保磁力
が最大となり、グラフＤはCr添加量が18［at％］前後で
保磁力が最大となる。
ところがCr添加量が約18［at％］を越えると、飽和磁
化量Msの減少が大きくなり磁気記録媒体としては良い特
性が得られなくなるためCr添加量は１≦Cr≦18［at％］
が良い。
比較例２における磁気特性を以下の表に示す。
但し、Mrは残留磁化量、Hcは保磁力を表わす。
この磁気特性の保磁力Hcや角形比Rsは実施例１に比較
して相当低いことがわかる。
そして、比較例３の結果を第５図に示す。
第５図はPt添加量約13［at％］で最大保磁力約1000
［Oe］となっており、実施例１の方が優れていることが
分る。
（発明の効果） 本発明の磁気記録媒体は、高価なPtの含有量を少なく
した上、約1700［Oe］の高保磁力を実現でき、また飽和
磁化量も磁気記録媒体として充分な値を有し、これによ
り高密度記録の可能な磁気記録媒体が、製造可能になる
という効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は実施例１及び比較例１におけるPt添加量と保磁
力との関係を表わすグラフ、第２図は実施例１及び比較
例１におけるPt添加量とRs、Ｓ＊との関係を表わすグラ
フで、第３図は実施例２におけるTa添加量と保磁力との
関係を表わすグラフ、第４図は実施例３におけるCr添加
量と保磁力との関係を表わすグラフ、第５図は比較例３
におけるPt添加量と保磁力との関係を表わすグラフであ
る。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】非磁性基体と、 前記非磁性基体上に形成されたCr層と、 前記Cr層上に形成された磁性層とを有し、 前記磁性層はCoCrTaPtの四元素合金で構成されており、
    かつCr,Ta,Ptの各元素の比率が下記の範囲であることを
    特徴とする磁気記録媒体。 Cr:X １≦Ｘ≦18［at％］ Ta:Y １≦Ｙ≦８［at％］ Pt:Z １≦Ｚ≦15［at％］
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