JPH0758540B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0758540B2 JPH0758540B2 JP62133050A JP13305087A JPH0758540B2 JP H0758540 B2 JPH0758540 B2 JP H0758540B2 JP 62133050 A JP62133050 A JP 62133050A JP 13305087 A JP13305087 A JP 13305087A JP H0758540 B2 JPH0758540 B2 JP H0758540B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- recording medium
- underlayer
- layer
- magnetic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、磁気記録に用いられる磁気ディスク、磁気ド
ラム、磁気テープ、磁気カード等の磁気記録媒体に関す
るものである。
ラム、磁気テープ、磁気カード等の磁気記録媒体に関す
るものである。
従来、この種の磁気記録媒体としては、非磁性支持体上
に、Crからなる下地層（膜厚:2500Å）及びCo−Ni−Cr
からなる磁性層（膜厚:600Å）を順次積層したものや、
非磁性支持体上に、Ni−Ｐ合金からなるメッキ膜、Ptと
Niを含有するCo合金からなる磁性層及びSiO2膜を順次積
層したもの（特開昭59−61106号公報）があった。
に、Crからなる下地層（膜厚:2500Å）及びCo−Ni−Cr
からなる磁性層（膜厚:600Å）を順次積層したものや、
非磁性支持体上に、Ni−Ｐ合金からなるメッキ膜、Ptと
Niを含有するCo合金からなる磁性層及びSiO2膜を順次積
層したもの（特開昭59−61106号公報）があった。
しかしながら、従来の磁気記録媒体は、次のような問題
点があった。すなわち、Crからなる下地層とCo−Ni−Cr
からなる磁性層とを有する磁気記録媒体では、保磁力
（Hc）を向上させるためには、Cr下地層の膜厚を厚くす
るか、または磁性層の膜厚を薄くする必要がある。しか
し、Cr下地層は膜厚5000Å程度でHcの増加は飽和してし
まい、単に膜厚を厚くしてもHcは向上しない。一方、磁
気記録媒体に記録された情報の再生時の出力が、残留磁
化（Mr）と磁性層の膜厚（Ｔ）との積（以下、「MrT」
という。）に比例することから、Co−Ni−Crからなる磁
性層の膜厚を薄くしてHcを高める場合、この磁性層の膜
厚を薄くしすぎると前述した再生時の出力に支障が生じ
る。したがって、磁性層の膜厚（Ｔ）を薄くしてHcを高
めることにも限界がある。例えば、近年要求されている
3.7×10-3（emu/cm2）以上のMrTを得ようとすると、MrT
と同様に要求されている900（Oe）以上のHcを得ること
は困難であった。
点があった。すなわち、Crからなる下地層とCo−Ni−Cr
からなる磁性層とを有する磁気記録媒体では、保磁力
（Hc）を向上させるためには、Cr下地層の膜厚を厚くす
るか、または磁性層の膜厚を薄くする必要がある。しか
し、Cr下地層は膜厚5000Å程度でHcの増加は飽和してし
まい、単に膜厚を厚くしてもHcは向上しない。一方、磁
気記録媒体に記録された情報の再生時の出力が、残留磁
化（Mr）と磁性層の膜厚（Ｔ）との積（以下、「MrT」
という。）に比例することから、Co−Ni−Crからなる磁
性層の膜厚を薄くしてHcを高める場合、この磁性層の膜
厚を薄くしすぎると前述した再生時の出力に支障が生じ
る。したがって、磁性層の膜厚（Ｔ）を薄くしてHcを高
めることにも限界がある。例えば、近年要求されている
3.7×10-3（emu/cm2）以上のMrTを得ようとすると、MrT
と同様に要求されている900（Oe）以上のHcを得ること
は困難であった。
また、Co−Ni−Ptからなる磁性層は、前述したCo−Ni−
Crからなる磁性層よりも耐湿性が劣ることから、良好な
磁気記録媒体を得ることができなかった。また、前述し
た値のHc及びMrTを得るためには、Ptの含有率を10〜25
原子％の範囲しか選択できず製造コストの低減を行なう
ことができなかった。
Crからなる磁性層よりも耐湿性が劣ることから、良好な
磁気記録媒体を得ることができなかった。また、前述し
た値のHc及びMrTを得るためには、Ptの含有率を10〜25
原子％の範囲しか選択できず製造コストの低減を行なう
ことができなかった。
本発明は前述した問題点を除去するためになされたもの
で、その特徴は、非磁性支持体上に磁性層を設けた磁気
記録媒体において、前記非磁性支持体と前記磁性層との
間に下地層を設け、前記磁性層が、コバルト（Co）、ニ
ッケル（Ni）、クロム（Cr）及び白金（Pt）からなり、
かつ前記白金の含有量は１〜43原子％である磁気記録媒
体である。
で、その特徴は、非磁性支持体上に磁性層を設けた磁気
記録媒体において、前記非磁性支持体と前記磁性層との
間に下地層を設け、前記磁性層が、コバルト（Co）、ニ
ッケル（Ni）、クロム（Cr）及び白金（Pt）からなり、
かつ前記白金の含有量は１〜43原子％である磁気記録媒
体である。
本発明の実施態様は、下地層の膜厚が500Å以上であ
り、かつ磁性層の膜厚が400〜1000Åであること、また
下地層がクロム（Cr），モリブデン（Mo），チタン（T
i），タンタル（Ta）等の非磁性材料からなることであ
る。
り、かつ磁性層の膜厚が400〜1000Åであること、また
下地層がクロム（Cr），モリブデン（Mo），チタン（T
i），タンタル（Ta）等の非磁性材料からなることであ
る。
本発明の一実施例を第１図に基づき詳細に説明する。
先ず、ソーダライムガラスからなる非磁性支持体１の一
主表面上に、Crをターゲットとして、非磁性支持体１の
温度を室温とし、Arガス雰囲気（Arガス圧:6×10-1Pa）
中でマグネトロンスパッタリング法で、Crからなる非磁
性の下地層２（膜厚:3000Å）を成膜する。次にCo,Ni,C
r,及びPtからなる合金をターゲットとし、下地層２を成
膜したときと同様にマグネトロンスパッタリング法でC
o,Ni,Cr及びPtからなる磁性層３（膜厚は600Åで、Co,N
i,Cr及びPtのそれぞれの含有率（原子％）は、69.0,24.
3,4.9及び1.8である。）を下地層２上に積層する。な
お、この下地層２は、この上に積層する磁性層３の結晶
構造を制御する作用をする。次に、この磁性層３上に、
炭素（Ｃ）をターゲットとし、前述したマグネトロンス
パッタリング法で、Ｃからなる保護膜４（膜厚:300Å）
を積層し、磁気記録媒体５を製作する。
主表面上に、Crをターゲットとして、非磁性支持体１の
温度を室温とし、Arガス雰囲気（Arガス圧:6×10-1Pa）
中でマグネトロンスパッタリング法で、Crからなる非磁
性の下地層２（膜厚:3000Å）を成膜する。次にCo,Ni,C
r,及びPtからなる合金をターゲットとし、下地層２を成
膜したときと同様にマグネトロンスパッタリング法でC
o,Ni,Cr及びPtからなる磁性層３（膜厚は600Åで、Co,N
i,Cr及びPtのそれぞれの含有率（原子％）は、69.0,24.
3,4.9及び1.8である。）を下地層２上に積層する。な
お、この下地層２は、この上に積層する磁性層３の結晶
構造を制御する作用をする。次に、この磁性層３上に、
炭素（Ｃ）をターゲットとし、前述したマグネトロンス
パッタリング法で、Ｃからなる保護膜４（膜厚:300Å）
を積層し、磁気記録媒体５を製作する。
次に、前述した磁気記録媒体５の保磁力（Hc）及びMrT
を次の表に示す。なお、Co,Ni,Cr及びPtの含有率の異な
る他の実施例についても同様に示す。なお、比較例とし
て、磁性層がCo,Ni及びPtからなるものであるとき（他
の構成は本例と同様である。）の保磁力Hcも示す。
を次の表に示す。なお、Co,Ni,Cr及びPtの含有率の異な
る他の実施例についても同様に示す。なお、比較例とし
て、磁性層がCo,Ni及びPtからなるものであるとき（他
の構成は本例と同様である。）の保磁力Hcも示す。
また、前述した下地層２の膜厚を3000Åとし、磁性層３
のPt含有率を１〜45原子％の範囲で変化させ、残りのC
o,Ni,Crの含有率を原子比70:25:5で配分して含有させた
磁気記録媒体（保護膜も前述したと同様に積層されてい
る。）の保磁力と残留磁化力の良し悪しの一つの指標と
なるMrTを第２図に示す。なお、同図の線Ａは保磁力を
示し、同図の線ＢはMrTを示す。この図及び前述した表
によれば、Ptが１〜43原子％の範囲でかつ下地層２を有
していることから、保磁力は900Oe以上が保たれ、かつM
rTも3.7×10-3emu/cm2以上となる。したがって、従来の
Co−Ni−Crからなる磁性膜のときのように、保磁力を向
上させる場合、磁性層を薄くする必要もなく、また薄く
してもMrTは3.7×10-3emu/cm2以上を維持することがで
きる。なお、第２図においては、Ptの含有量１原子％未
満の保磁力を示していないが、１原子％未満であると急
激に低下する。また、Ptの範囲を広くとることができる
ことから、製造条件の管理を緩和することができ、かつ
従来のCo−Ni−Ptからなる磁性層よりもPtの含有率を下
げても（例えば１〜10原子％）、所望する保磁力及びMr
Tが得られることから製造コストの低減になる。さら
に、この磁性層は、従来のCo−Ni−Crからなる磁性層よ
りも耐湿性が優れていた。
のPt含有率を１〜45原子％の範囲で変化させ、残りのC
o,Ni,Crの含有率を原子比70:25:5で配分して含有させた
磁気記録媒体（保護膜も前述したと同様に積層されてい
る。）の保磁力と残留磁化力の良し悪しの一つの指標と
なるMrTを第２図に示す。なお、同図の線Ａは保磁力を
示し、同図の線ＢはMrTを示す。この図及び前述した表
によれば、Ptが１〜43原子％の範囲でかつ下地層２を有
していることから、保磁力は900Oe以上が保たれ、かつM
rTも3.7×10-3emu/cm2以上となる。したがって、従来の
Co−Ni−Crからなる磁性膜のときのように、保磁力を向
上させる場合、磁性層を薄くする必要もなく、また薄く
してもMrTは3.7×10-3emu/cm2以上を維持することがで
きる。なお、第２図においては、Ptの含有量１原子％未
満の保磁力を示していないが、１原子％未満であると急
激に低下する。また、Ptの範囲を広くとることができる
ことから、製造条件の管理を緩和することができ、かつ
従来のCo−Ni−Ptからなる磁性層よりもPtの含有率を下
げても（例えば１〜10原子％）、所望する保磁力及びMr
Tが得られることから製造コストの低減になる。さら
に、この磁性層は、従来のCo−Ni−Crからなる磁性層よ
りも耐湿性が優れていた。
本発明は前記実施例に限らず、下記のものであってもよ
い。先ず、非磁性支持体は、ソーダライムガラスからな
るものに限らず、アルミノシリケートガラス、石英ガラ
ス等の他のガラスや、Al合金やセラミックであってもよ
い。また、下地層はCrに限らず他の非磁性材料、例えば
Mo,Ti,Taであってもよい。また、磁性層及び下地層の膜
厚は、それぞれ600Å及び3000Åに限るものではない
が、望ましくは磁性層は400Å〜1000Åで、かつ下地層
は500Å以上がよい。すなわち、下地層が500Å未満であ
ると、前述した保持力が900Oe未満及びMrTが3.7×10-3e
mu/cm2未満となる場合があり、一方、磁性層が400Å〜1
000Åの範囲外であると、前述した下地層と同様な場合
がある。なお、下地層の膜厚は5000Åを上限すると、さ
らに磁気記録媒体の製造コスト等の実用性が向上する。
また、前記実施例ではPtを除く、残りのCo,Ni,Crの含有
率を原子比70:25:5で配分したが、他の配分、例えば76:
18:6であってもよい。また、前記実施例では、保護膜を
積層したがこれはなくてもよい。また保護膜を積層した
とき、前記実施例ではＣからなる保護膜であったが、こ
れに限らずSiO2や有機重合体からなる保護膜、さらに複
合層、例えば、Cr層とＣ層とを当接して積層したもの、
Cr層とSiO2層とを当接して積層したもの、Cr層とＣ層と
SiO2層とからなりこれらを適宜当接して積層したもの、
又前記複合層の材料を混合した混合層であってもよい。
い。先ず、非磁性支持体は、ソーダライムガラスからな
るものに限らず、アルミノシリケートガラス、石英ガラ
ス等の他のガラスや、Al合金やセラミックであってもよ
い。また、下地層はCrに限らず他の非磁性材料、例えば
Mo,Ti,Taであってもよい。また、磁性層及び下地層の膜
厚は、それぞれ600Å及び3000Åに限るものではない
が、望ましくは磁性層は400Å〜1000Åで、かつ下地層
は500Å以上がよい。すなわち、下地層が500Å未満であ
ると、前述した保持力が900Oe未満及びMrTが3.7×10-3e
mu/cm2未満となる場合があり、一方、磁性層が400Å〜1
000Åの範囲外であると、前述した下地層と同様な場合
がある。なお、下地層の膜厚は5000Åを上限すると、さ
らに磁気記録媒体の製造コスト等の実用性が向上する。
また、前記実施例ではPtを除く、残りのCo,Ni,Crの含有
率を原子比70:25:5で配分したが、他の配分、例えば76:
18:6であってもよい。また、前記実施例では、保護膜を
積層したがこれはなくてもよい。また保護膜を積層した
とき、前記実施例ではＣからなる保護膜であったが、こ
れに限らずSiO2や有機重合体からなる保護膜、さらに複
合層、例えば、Cr層とＣ層とを当接して積層したもの、
Cr層とSiO2層とを当接して積層したもの、Cr層とＣ層と
SiO2層とからなりこれらを適宜当接して積層したもの、
又前記複合層の材料を混合した混合層であってもよい。
また、前記実施例では、非磁性支持体上に下地層、磁性
層及び保護膜を順次積層したが、例えば、円板状の磁気
記録媒体（磁気ディスク）のとき、磁気ヘッドによる情
報の書き込み又は読み取り終了後、磁気ヘッドが配置さ
れるランディングゾーンを含む領域の、非磁性支持体と
下地層との間又は下地層と磁性層との間に磁性層や保護
膜層に凹凸を形成する層（例えばAl薄膜）を設けてもよ
い。
層及び保護膜を順次積層したが、例えば、円板状の磁気
記録媒体（磁気ディスク）のとき、磁気ヘッドによる情
報の書き込み又は読み取り終了後、磁気ヘッドが配置さ
れるランディングゾーンを含む領域の、非磁性支持体と
下地層との間又は下地層と磁性層との間に磁性層や保護
膜層に凹凸を形成する層（例えばAl薄膜）を設けてもよ
い。
本発明は前述したように、非磁性支持体と磁性層との間
に下地層を設け、磁性層がCo,Ni,Cr及びPtからなり、か
つPtの含有率を１〜43原子％であることから、良好な保
磁力と残留磁化力、並びに良好な耐湿性も得ることがで
きる。
に下地層を設け、磁性層がCo,Ni,Cr及びPtからなり、か
つPtの含有率を１〜43原子％であることから、良好な保
磁力と残留磁化力、並びに良好な耐湿性も得ることがで
きる。
第１図は本発明の磁気記録媒体の一実施例を示す断面図
であり、第２図は本発明の一実施例において磁性層のPt
含有率を変化させたときの保磁力及びMrTを示す特性図
である。 １……非磁性支持体、２……下地層、３……磁性層、４
……保護膜、５……磁気記録媒体
であり、第２図は本発明の一実施例において磁性層のPt
含有率を変化させたときの保磁力及びMrTを示す特性図
である。 １……非磁性支持体、２……下地層、３……磁性層、４
……保護膜、５……磁気記録媒体
Claims (3)
- 【請求項１】非磁性支持体上に磁性層を設けた磁気記録
媒体において、前記非磁性支持体と前記磁性層との間に
下地層を設け、前記磁性層が、コバルト、ニッケル、ク
ロム及び白金からなり、かつ前記白金の含有量は１〜43
原子％であることを特徴とする磁気記録媒体。 - 【請求項２】下地層の膜厚が500Å以上であり、かつ磁
性層の膜厚が400〜1000Åであることを特徴とする特許
請求の範囲第（１）項記載の磁気記録媒体。 - 【請求項３】下地層がCr,Mo,Ti,Ta等の非磁性材料から
なることを特徴とする特許請求の範囲第（１）項又は第
（２）項記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62133050A JPH0758540B2 (ja) | 1986-06-27 | 1987-05-28 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61-151148 | 1986-06-27 | ||
| JP15114886 | 1986-06-27 | ||
| JP62133050A JPH0758540B2 (ja) | 1986-06-27 | 1987-05-28 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106917A JPS63106917A (ja) | 1988-05-12 |
| JPH0758540B2 true JPH0758540B2 (ja) | 1995-06-21 |
Family
ID=26467487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62133050A Expired - Lifetime JPH0758540B2 (ja) | 1986-06-27 | 1987-05-28 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0758540B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5180640A (en) * | 1990-10-01 | 1993-01-19 | Komag, Inc. | Magnetic recording medium comprising a magnetic alloy layer of cobalt nickel, platinum and chromium formed directly on a nickel alloy amorphous underlayer |
| US5536585A (en) * | 1993-03-10 | 1996-07-16 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and fabrication method therefor |
| WO2006109353A1 (ja) | 2005-04-05 | 2006-10-19 | Nsk Ltd. | スラストころ軸受 |
| JP4912001B2 (ja) * | 2006-03-15 | 2012-04-04 | 荻野工業株式会社 | 揺動型歯車装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8202596A (nl) * | 1982-06-28 | 1984-01-16 | Philips Nv | Magnetisch registratiemedium. |
| JPS62223813A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-10-01 | Hitachi Metals Ltd | 磁気記録媒体 |
-
1987
- 1987-05-28 JP JP62133050A patent/JPH0758540B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63106917A (ja) | 1988-05-12 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |