JPS6035329A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPS6035329A JPS6035329A JP58144116A JP14411683A JPS6035329A JP S6035329 A JPS6035329 A JP S6035329A JP 58144116 A JP58144116 A JP 58144116A JP 14411683 A JP14411683 A JP 14411683A JP S6035329 A JPS6035329 A JP S6035329A
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Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/65—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition
- G11B5/656—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent characterised by its composition containing Co
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は簿膜堆積法によって形成される磁気記録媒体、
特に耐蝕性、磁性層の特性安定性に優れた磁気記録媒体
に関する。
特に耐蝕性、磁性層の特性安定性に優れた磁気記録媒体
に関する。
本発明は薄膜堆積法によって形成される磁気記録媒体、
特に耐蝕性の優れた磁気記録媒体に関するものである０ 近年、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法等の薄
膜堆積法によね磁気記録媒体を製造する研究開発が活発
化している。これらの製法によって作られた磁気記録媒
体は、■残留磁束密度が高い、■保磁力を大きくできる
、■磁性層を薄くできる等の高密度記録化のための条件
を非常によく満足している。従来、この記録媒体の磁性
羽村としては、ＣＯとＮ１を主成分とする合金が主に用
いられており、なかでもＧｏ−２０１Ｎｉ合金が多く検
討されている。その埋出はこの合金が比較的耐蝕性が良
いこと、７Ｑｗ１％以上のＣＯを含む合金はり、ｃ、ｐ
、構造をもち磁気異方性をコントロールしやすく面内異
方性を卓越させることが容易であるためといわれる。し
かしながら、この合金はＧＯを７０チ以上通常は８０％
前後も含んでいるために極めて高価であり、しかもＣＯ
は国際情勢の変化により価格が大きく変動するという問
題を有している。また耐蝕性も厳し℃・環境条件に対し
ては不十分である。
特に耐蝕性の優れた磁気記録媒体に関するものである０ 近年、真空蒸着法、スパッタリング法、メッキ法等の薄
膜堆積法によね磁気記録媒体を製造する研究開発が活発
化している。これらの製法によって作られた磁気記録媒
体は、■残留磁束密度が高い、■保磁力を大きくできる
、■磁性層を薄くできる等の高密度記録化のための条件
を非常によく満足している。従来、この記録媒体の磁性
羽村としては、ＣＯとＮ１を主成分とする合金が主に用
いられており、なかでもＧｏ−２０１Ｎｉ合金が多く検
討されている。その埋出はこの合金が比較的耐蝕性が良
いこと、７Ｑｗ１％以上のＣＯを含む合金はり、ｃ、ｐ
、構造をもち磁気異方性をコントロールしやすく面内異
方性を卓越させることが容易であるためといわれる。し
かしながら、この合金はＧＯを７０チ以上通常は８０％
前後も含んでいるために極めて高価であり、しかもＣＯ
は国際情勢の変化により価格が大きく変動するという問
題を有している。また耐蝕性も厳し℃・環境条件に対し
ては不十分である。
而して本発明は上記欠点を改善すべりｃｏの含有量を少
なくし、安価で安定供給が可能な磁気記録媒体を提供す
ると共に、その磁気特性及び耐蝕性及び磁性層の特性安
定性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を提供
することを主たる目的とする。
なくし、安価で安定供給が可能な磁気記録媒体を提供す
ると共に、その磁気特性及び耐蝕性及び磁性層の特性安
定性においても優れた性能を有する磁気記録媒体を提供
することを主たる目的とする。
本発明は堆積法により形成される磁気記録媒体において
磁性層がＦｅを主成分としｃｏ及びＮｉ 、 Ｏｒを含
み、さらにＭｎとｃｕの少なくとも一方を含むことを特
徴とするものであり、誘導加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法
、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンブレー
ティング法、メッキ法等を利用して形成できるものであ
る。
磁性層がＦｅを主成分としｃｏ及びＮｉ 、 Ｏｒを含
み、さらにＭｎとｃｕの少なくとも一方を含むことを特
徴とするものであり、誘導加熱蒸着法、抵抗加熱蒸着法
、電子ビーム蒸着法、スパッタリング法、イオンブレー
ティング法、メッキ法等を利用して形成できるものであ
る。
磁性層材料としてＩＯｏＣｏ元素θ元素の和が５゜ｗｔ
％以上で、Ｆｅが主成分となるようにＣｏ元素をＦｅ元
索に置換することにより磁気的特性は従来のＣｏ −Ｎ
ｉ合金と同等以上のものが得られることが認められた。
％以上で、Ｆｅが主成分となるようにＣｏ元素をＦｅ元
索に置換することにより磁気的特性は従来のＣｏ −Ｎ
ｉ合金と同等以上のものが得られることが認められた。
しかし、Ｃｏ元素をＦｅ元索で置換することにより耐蝕
性が劣化するが、Ｏｒ元素の添加が耐蝕性向上に有効で
ある。さらにＯｒ元素と同時に、ＭｎまたはＣｕの少々
くともどちらか一方の元素を添加することにより耐蝕性
の向上とともに磁気特性の安定性が改善されることが認
められた。
性が劣化するが、Ｏｒ元素の添加が耐蝕性向上に有効で
ある。さらにＯｒ元素と同時に、ＭｎまたはＣｕの少々
くともどちらか一方の元素を添加することにより耐蝕性
の向上とともに磁気特性の安定性が改善されることが認
められた。
本発明に用い、る磁性材料にお℃・て、Ｆｅ、 Ｎｉ、
ＣａｒＭｎ、Ｇｕの各元素は各々次の作用をするＯＦ
θ元素は原子１個あたりの磁気モーメントを高めＢｒ（
残留磁束密度）を増加させると同時に、展延性を増し磁
性層のワレ、ヒビの発生を防止する。一方前記した如く
Ｆθ元元素増すと耐蝕性が急激に悪くなると同時に、残
留磁束密度Ｂｒを増加させる効果はむしろ低下する。ま
た、Ｎｉは耐蝕性の効果及び展延性を向上させ、磁性層
のワレやヒビの発生を防止する。またＯｒは耐蝕性の改
善に寄与する。またＭｎおよびＣｕは単独又は両方同時
に添加することにより、耐蝕性を一層向上させる。また
特にＯｒは蒸気圧がＦｅ、 ＧｏおよびＮ１と大きく異
なるために磁性層の特性に変動を生じ易℃・がＣｒをＣ
ｕ又はＭｎで一部置き換えることにより磁気特性の安定
化を図ることができる。ただしＧｒ、 Ｍｎ、 Ｃｕと
もに添加量が多すぎるとＢｒが減少する等、磁性層の磁
気特性を低下させる。
ＣａｒＭｎ、Ｇｕの各元素は各々次の作用をするＯＦ
θ元素は原子１個あたりの磁気モーメントを高めＢｒ（
残留磁束密度）を増加させると同時に、展延性を増し磁
性層のワレ、ヒビの発生を防止する。一方前記した如く
Ｆθ元元素増すと耐蝕性が急激に悪くなると同時に、残
留磁束密度Ｂｒを増加させる効果はむしろ低下する。ま
た、Ｎｉは耐蝕性の効果及び展延性を向上させ、磁性層
のワレやヒビの発生を防止する。またＯｒは耐蝕性の改
善に寄与する。またＭｎおよびＣｕは単独又は両方同時
に添加することにより、耐蝕性を一層向上させる。また
特にＯｒは蒸気圧がＦｅ、 ＧｏおよびＮ１と大きく異
なるために磁性層の特性に変動を生じ易℃・がＣｒをＣ
ｕ又はＭｎで一部置き換えることにより磁気特性の安定
化を図ることができる。ただしＧｒ、 Ｍｎ、 Ｃｕと
もに添加量が多すぎるとＢｒが減少する等、磁性層の磁
気特性を低下させる。
以上の結果として良好な磁性層の組成は（Ｆｅ１−、ｚ
ｃｏｚ） １−（ａ＋ｂ−＋−ｃ）ＮｉａＯｒｂＸｃ、
Ｘ ＝ Ｍｎおよび／またはＧｕでｒ、ａ、ｂおよび
Ｃは重量組成比でＯ＜ Ｚ ＜０．５．０．０５ ＜ａ
＜０．２０および０．０１ ＜ｂ＜０．１５．０．０
０５ ＜Ｑ ＜０．１８の範囲のものであり、特にＱｕ
とＭｎが単独又は両方の合計で３〜１２ｗｔ％、Ｏｒが
１〜６ｗｔ％および（３ｒとＧｕまたはＭｎの合計が１
５ｗｔ％以下、Ｎ１が７〜１４ｗｔ％、ＣＯが２０〜３
０ ｗｔチ残りがＦｅのものが好適である。
ｃｏｚ） １−（ａ＋ｂ−＋−ｃ）ＮｉａＯｒｂＸｃ、
Ｘ ＝ Ｍｎおよび／またはＧｕでｒ、ａ、ｂおよび
Ｃは重量組成比でＯ＜ Ｚ ＜０．５．０．０５ ＜ａ
＜０．２０および０．０１ ＜ｂ＜０．１５．０．０
０５ ＜Ｑ ＜０．１８の範囲のものであり、特にＱｕ
とＭｎが単独又は両方の合計で３〜１２ｗｔ％、Ｏｒが
１〜６ｗｔ％および（３ｒとＧｕまたはＭｎの合計が１
５ｗｔ％以下、Ｎ１が７〜１４ｗｔ％、ＣＯが２０〜３
０ ｗｔチ残りがＦｅのものが好適である。
以下実施例により本発明を説明する。
第１図は、磁気記録媒体の１つである蒸着テープの製造
装置を示す。真空槽１内にフィルム巻出し軸２、巻取り
軸６、中間フリーローラ４、冷却キャン５、蒸着材料収
納容器７、電子ビーム発生源８が配置されている。幅１
００柵、厚さ１５ｐｍのポリエチレンテレフタレートの
フィルム９はフィルム巻出軸２から中間フリーローラ４
および冷却キャン５を経てフィルム巻取抄軸３に送られ
る。
装置を示す。真空槽１内にフィルム巻出し軸２、巻取り
軸６、中間フリーローラ４、冷却キャン５、蒸着材料収
納容器７、電子ビーム発生源８が配置されている。幅１
００柵、厚さ１５ｐｍのポリエチレンテレフタレートの
フィルム９はフィルム巻出軸２から中間フリーローラ４
および冷却キャン５を経てフィルム巻取抄軸３に送られ
る。
蒸着材料６は蒸着材料収納容器Ｚ内へ入れられ冷却キャ
ン５と対向して配置され、電子ビーム発生源８からの電
子ビームによって加熱される。加熱された蒸着材料は蒸
気流６′となり冷却キャン５上のフィルム９に付着して
磁性層を形成するが、防着板１１によりフィルム９上に
蒸着される蒸気流の入射角が６０〜９０°に制限される
。真空槽１内は排気装置１０により成膜中の真空度がＩ
Ｘ １０”−’〜５ Ｘ １０” Ｔｏｒｒに保持し
た０フィルム送り速度は毎分１０Ｆ７１で、形成された
磁性層の厚さはほぼ１０００Ａである。
ン５と対向して配置され、電子ビーム発生源８からの電
子ビームによって加熱される。加熱された蒸着材料は蒸
気流６′となり冷却キャン５上のフィルム９に付着して
磁性層を形成するが、防着板１１によりフィルム９上に
蒸着される蒸気流の入射角が６０〜９０°に制限される
。真空槽１内は排気装置１０により成膜中の真空度がＩ
Ｘ １０”−’〜５ Ｘ １０” Ｔｏｒｒに保持し
た０フィルム送り速度は毎分１０Ｆ７１で、形成された
磁性層の厚さはほぼ１０００Ａである。
第２図に上記の方法により作製した蒸着テープの磁性層
の組成と耐蝕性試験および特性安定性の結果を示す。
の組成と耐蝕性試験および特性安定性の結果を示す。
耐蝕性試験は上記実施例に従って作製したテープを６０
℃９０％の恒温恒湿槽内に１０００時間放置後の残留磁
束密度Ｂｒの変化を測定した。第２図中◎はＢｒの低下
が５％未満、○は５〜１０％、×は１０％以上を示す。
℃９０％の恒温恒湿槽内に１０００時間放置後の残留磁
束密度Ｂｒの変化を測定した。第２図中◎はＢｒの低下
が５％未満、○は５〜１０％、×は１０％以上を示す。
また、磁性層の特性安定性の試験は家庭用ＶＴＲデツキ
を用いて記録再生し、テープ長さｉｏｏｍ内で５チ以上
の出力変動を生ずる区間の長さを測定した。第２図中◎
は５％以上の出力変動を生じた区間が全体の２％以下、
△は６〜１０％であることを示す。
を用いて記録再生し、テープ長さｉｏｏｍ内で５チ以上
の出力変動を生ずる区間の長さを測定した。第２図中◎
は５％以上の出力変動を生じた区間が全体の２％以下、
△は６〜１０％であることを示す。
第６図に、家庭用ＶＴＲデツキを用い記録再生した時の
再生出力を示す０本発明のテープ悉４の再生出力は曲線
２０で、比較のため同一条件で作製したｃｏ −Ｎｉテ
ープ／１６９の再生出力が曲線２１で示されている。本
発明テープの再生出力は従来テープ腐８に比べ、同等々
いし２ＣＩＢ高い。第２図中のｉｉ １ 、 ｙｔｃ２
、 Ａ５〜腐８の組成のテープについてもＣ〇−旧テ
ープ同等以上の再生出力が得られた。
再生出力を示す０本発明のテープ悉４の再生出力は曲線
２０で、比較のため同一条件で作製したｃｏ −Ｎｉテ
ープ／１６９の再生出力が曲線２１で示されている。本
発明テープの再生出力は従来テープ腐８に比べ、同等々
いし２ＣＩＢ高い。第２図中のｉｉ １ 、 ｙｔｃ２
、 Ａ５〜腐８の組成のテープについてもＣ〇−旧テ
ープ同等以上の再生出力が得られた。
以上のように、本発明は従来のＧｏ −Ｎｉテープと比
較して、高価なＧｏの含有量を減らしながら耐蝕性、膜
特性の安定性、再生出力のいずれにおいても同等以上の
性能を持つ磁気記録媒体を提供し得るものである。
較して、高価なＧｏの含有量を減らしながら耐蝕性、膜
特性の安定性、再生出力のいずれにおいても同等以上の
性能を持つ磁気記録媒体を提供し得るものである。
第１図は本実施例で用いた蒸着テープの製造装置の説明
図である。 第２図は、磁性層の組成と耐蝕性及び膜特性の安定性の
テストの結果を示す表である。 第６図は、第２図の１６４のテープとＧｏ−Ｎｉテープ
／１６９の各周波数における再生出力の比較を示すグラ
フである。 １・・・真空槽 ２・・・フィルム巻出し軸６・・拳フ
ィルム巻承り軸 ４・・・中間フリーローラ５・・・冷
却キャン ６・・・蒸着材料７・・・蒸着材料収納容器
８・・・電子ビーム発生源９０・ポリエチレンテレフ
タレートフィルム１０・・・排気装置 １１・・・防着
板２０・・・本発明の実施例の再生出力曲線２１・・・
Ｇｏ−Ｎｉの再生出力曲線 特許出願人 キャノン株式会社 第 ２ 図 手続補正書（） 方式 １、事件の表示 昭和５８年 特許願 第 １４４１１６ 号２ 発明の
名称 磁気記録媒体 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 （１１すＩ 東京都人１」１区下丸’ｌ”−３−３０−
２名（！」・ （１００）ギヤノン株式会社律ヤノノ株
式会社内（電話７５８１１１１）５、補正命令の日付 昭和５８年１１月２９日（発送日付） ６、補正の対象 明細書 ｌ補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし）
図である。 第２図は、磁性層の組成と耐蝕性及び膜特性の安定性の
テストの結果を示す表である。 第６図は、第２図の１６４のテープとＧｏ−Ｎｉテープ
／１６９の各周波数における再生出力の比較を示すグラ
フである。 １・・・真空槽 ２・・・フィルム巻出し軸６・・拳フ
ィルム巻承り軸 ４・・・中間フリーローラ５・・・冷
却キャン ６・・・蒸着材料７・・・蒸着材料収納容器
８・・・電子ビーム発生源９０・ポリエチレンテレフ
タレートフィルム１０・・・排気装置 １１・・・防着
板２０・・・本発明の実施例の再生出力曲線２１・・・
Ｇｏ−Ｎｉの再生出力曲線 特許出願人 キャノン株式会社 第 ２ 図 手続補正書（） 方式 １、事件の表示 昭和５８年 特許願 第 １４４１１６ 号２ 発明の
名称 磁気記録媒体 ３ 補正をする者 事件との関係 特許出願人 （１１すＩ 東京都人１」１区下丸’ｌ”−３−３０−
２名（！」・ （１００）ギヤノン株式会社律ヤノノ株
式会社内（電話７５８１１１１）５、補正命令の日付 昭和５８年１１月２９日（発送日付） ６、補正の対象 明細書 ｌ補正の内容 明細書の浄書（内容に変更なし）
Claims (2)
- （１）非磁性基体上に薄膜堆積法により形成された磁性
層を有する磁気記録媒体において、磁性層がＦｅを主成
分とし、Ｇｏ、 Ｎ４およびＯｒを含み、さらにＣｕと
Ｍｎの少なくとも一方を含むことを特徴とする磁気記録
媒体。 - （２）磁性層の組成が （Ｆｅ１−ｘＧｏｘ） １−（ａ＋ｂ４−ｃ） Ｎ１ａ
ＣｒｂＸｃここでＸはＣｕおよび／またはＭｎであり、
重量組成比がＯ＜ ｘ ＜０．５．０．０５ ＜ａ ＜
０．２．０．０１（ｂ ＜、 ０．１５および０．００
５ ＜Ｃ＜０．１８ 、である特許請求の範囲第１項記
載の磁気記録媒体０
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144116A JPS6035329A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
| US06/637,279 US4835069A (en) | 1983-08-06 | 1984-08-03 | Magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58144116A JPS6035329A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6035329A true JPS6035329A (ja) | 1985-02-23 |
| JPH053657B2 JPH053657B2 (ja) | 1993-01-18 |
Family
ID=15354559
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58144116A Granted JPS6035329A (ja) | 1983-08-06 | 1983-08-06 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6035329A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
-
1983
- 1983-08-06 JP JP58144116A patent/JPS6035329A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5629A (en) * | 1979-06-15 | 1981-01-06 | Ulvac Corp | Vacuum-evaporated film type magnetic recording substance and its manufacture |
| JPS567231A (en) * | 1979-06-27 | 1981-01-24 | Ulvac Corp | Vapor deposition film type magnetic recording material and its production |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH053657B2 (ja) | 1993-01-18 |
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