JPS5998321A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPS5998321A JPS5998321A JP57207674A JP20767482A JPS5998321A JP S5998321 A JPS5998321 A JP S5998321A JP 57207674 A JP57207674 A JP 57207674A JP 20767482 A JP20767482 A JP 20767482A JP S5998321 A JPS5998321 A JP S5998321A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic
- thin film
- alloy
- recording medium
- magnetic recording
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 50
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 14
- 239000010955 niobium Substances 0.000 claims description 36
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 26
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 11
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 claims description 10
- WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N [Cr].[Co] Chemical class [Cr].[Co] WAIPAZQMEIHHTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N Zirconium Chemical compound [Zr] QCWXUUIWCKQGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 claims description 5
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 claims description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- GVGLGOZIDCSQPN-PVHGPHFFSA-N Heroin Chemical compound O([C@H]1[C@H](C=C[C@H]23)OC(C)=O)C4=C5[C@@]12CCN(C)[C@@H]3CC5=CC=C4OC(C)=O GVGLGOZIDCSQPN-PVHGPHFFSA-N 0.000 claims 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 9
- 230000004907 flux Effects 0.000 abstract description 7
- 239000008188 pellet Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 abstract description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 2
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910002058 ternary alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000684 Cobalt-chrome Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000788 chromium alloy Substances 0.000 description 2
- 239000010952 cobalt-chrome Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910020641 Co Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000016649 Copaifera officinalis Species 0.000 description 1
- 239000004859 Copal Substances 0.000 description 1
- 229910020520 Co—Zr Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001257 Nb alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 229920003055 poly(ester-imide) Polymers 0.000 description 1
- 229920003217 poly(methylsilsesquioxane) Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 235000021419 vinegar Nutrition 0.000 description 1
- 239000000052 vinegar Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
- G11B5/64—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent
- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は磁気記録媒体に係シ、特に垂直磁気記録ができ
る磁気記録媒体に関するものである。
る磁気記録媒体に関するものである。
近年、磁気記録媒体の記録密度を高めるため、垂直磁気
記録方式が検討されている。この記録方式に用いられる
磁気記録媒体は、基材と、その基材の表面に形成され７
を第１の磁性材薄膜と、その第１の磁性材薄膜の表面に
形成された第２の磁性材薄膜とから構成されている。そ
してこの第２の磁性材薄膜の膜厚方向、すなわち垂直方
向に磁化されることによシ、所望のデータが記録される
ように彦っている。
記録方式が検討されている。この記録方式に用いられる
磁気記録媒体は、基材と、その基材の表面に形成され７
を第１の磁性材薄膜と、その第１の磁性材薄膜の表面に
形成された第２の磁性材薄膜とから構成されている。そ
してこの第２の磁性材薄膜の膜厚方向、すなわち垂直方
向に磁化されることによシ、所望のデータが記録される
ように彦っている。
前記第１の磁性材薄膜は第２の磁性材薄膜を磁化すると
きに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁力が
低く、しかも透磁率ならびに飽和磁束密度がともに高い
ことが要求される。一方、第２の磁性材薄膜としては、
特に垂直方向に異方性を有することが要求され、この要
求に応えるものとして、コバルト−クロムの２成分系合
金あるいはこｔＬにロジウムなどの第３金属を添加した
３成分系合金などのコバルト−クロム系合金薄膜がある
。
きに磁路の一部を形成する役割を有しており、保磁力が
低く、しかも透磁率ならびに飽和磁束密度がともに高い
ことが要求される。一方、第２の磁性材薄膜としては、
特に垂直方向に異方性を有することが要求され、この要
求に応えるものとして、コバルト−クロムの２成分系合
金あるいはこｔＬにロジウムなどの第３金属を添加した
３成分系合金などのコバルト−クロム系合金薄膜がある
。
従来のこの種の磁気記録媒体では紀１の磁性材薄膜とし
て、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用いられて
いる。ところがこのものは透磁率ならびに飽和磁束密度
が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合金
から力る第２の磁性材薄膜との磁気特性上の所謂相性が
良くない。すなわち、結晶構造が面心立方晶系のパーマ
ロイからなる第１の磁性材薄膜の上に、コバルト−クロ
ム系合金の第２の磁性材薄膜を形成した場合、それの下
層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて（特に第２の
磁性料薄膜が薄いことも関係して）、そのコバルト−ク
ロム系合金薄膜の結晶構造が正規の六方晶系になり難い
。そのためクロム−コバルト系合金の特長である優れた
垂直異方性が十分に発揮されない。このようにパーマロ
イはコバルト−クロム系合金との磁気特性上の相性が良
くないことと、前述のように透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くないことが原因で、折角、磁気特性の優
れたコバルト−クロム系合金からなる第２の磁性材薄膜
を用いても、その特性が十分に発揮できない欠点があっ
た。
て、鉄−ニッケル合金からなるパーマロイが用いられて
いる。ところがこのものは透磁率ならびに飽和磁束密度
が十分に高くなく、しかも前記コバルト−クロム系合金
から力る第２の磁性材薄膜との磁気特性上の所謂相性が
良くない。すなわち、結晶構造が面心立方晶系のパーマ
ロイからなる第１の磁性材薄膜の上に、コバルト−クロ
ム系合金の第２の磁性材薄膜を形成した場合、それの下
層にあたるパーマロイ薄膜の影響を受けて（特に第２の
磁性料薄膜が薄いことも関係して）、そのコバルト−ク
ロム系合金薄膜の結晶構造が正規の六方晶系になり難い
。そのためクロム−コバルト系合金の特長である優れた
垂直異方性が十分に発揮されない。このようにパーマロ
イはコバルト−クロム系合金との磁気特性上の相性が良
くないことと、前述のように透磁率ならびに飽和磁束密
度が十分に高くないことが原因で、折角、磁気特性の優
れたコバルト−クロム系合金からなる第２の磁性材薄膜
を用いても、その特性が十分に発揮できない欠点があっ
た。
本発明の目的は、このような従来技術の欠点を解消し、
磁気特性の優ｔｚた磁気記録媒体を提供するにある。
磁気特性の優ｔｚた磁気記録媒体を提供するにある。
本発明者らは、スパッタリングなどによって得うレルア
モルファス合金薄膜について種々Ｗｆ 究した結果、コ
パル） （Ｃｏ） ’ｆｃ主成分とし、少量のジルコニ
ウム（Ｚｒ）とニオブ（Ｎｂ）を酢加し＊Ｃｏ−Ｚ ｒ
−Ｎｂの３成分系のアモルファス合金が、この種の磁気
記録媒体の第１の磁性材薄膜として優れた特性を有して
いることを見出しＲ０ 基板に結晶化ガラスを用い、コバルトディスク（直径・
１インチ、厚さ５ ｍｍ ）土にジルコニウム・のベレ
ットとニオブのベレット（いずれのペレットも縦、４＃
’ｔ １ ｏｍｒｎ、浮式１ｍｍ）ｉ中ｒ９より放射状
に父互に配ＩＮ、し、ターゲット上のペレットの数音調
整スることにより合金組成が震えられるようにする。そ
してアルゴンによる置挨ｇｔＪの真空疲が１ＸｌＯ〜６
Ｔｏｒｒ以下の冒真空にし、アルゴンの雰囲気中で、筋
周波電力２．０Ｗ／ｃｍ２でスパッタリングを行ない、
基板上にコバルトを主成分と１゛るＣ。
モルファス合金薄膜について種々Ｗｆ 究した結果、コ
パル） （Ｃｏ） ’ｆｃ主成分とし、少量のジルコニ
ウム（Ｚｒ）とニオブ（Ｎｂ）を酢加し＊Ｃｏ−Ｚ ｒ
−Ｎｂの３成分系のアモルファス合金が、この種の磁気
記録媒体の第１の磁性材薄膜として優れた特性を有して
いることを見出しＲ０ 基板に結晶化ガラスを用い、コバルトディスク（直径・
１インチ、厚さ５ ｍｍ ）土にジルコニウム・のベレ
ットとニオブのベレット（いずれのペレットも縦、４＃
’ｔ １ ｏｍｒｎ、浮式１ｍｍ）ｉ中ｒ９より放射状
に父互に配ＩＮ、し、ターゲット上のペレットの数音調
整スることにより合金組成が震えられるようにする。そ
してアルゴンによる置挨ｇｔＪの真空疲が１ＸｌＯ〜６
Ｔｏｒｒ以下の冒真空にし、アルゴンの雰囲気中で、筋
周波電力２．０Ｗ／ｃｍ２でスパッタリングを行ない、
基板上にコバルトを主成分と１゛るＣ。
−Ｚ ｒ−Ｎｂの３１５ｙ、分糸のアモルファス台金薄
膜を作成する。このようにして作成き７″した各棹組成
の合金試料が後述の各特性試験に使用さｔ’Ｌる。
膜を作成する。このようにして作成き７″した各棹組成
の合金試料が後述の各特性試験に使用さｔ’Ｌる。
第１図に、合金中のＺｒ含肩率が常に６虚量チになるよ
うにして、Ｎｂの含有率をイ隼々ダえた場合の保磁力（
Ｈｃ）の変化を測短しｆｃ結果を示す特性図である。従
ってこの図においてＮｂの含有率が０庫量襲の場合は、
Ｃｏ９４重量％−Ｚｒ６ 重電チの２成分系合金となる
。この合金も前述とＩｔ’ｓは同様の条件で作成きれる
。
うにして、Ｎｂの含有率をイ隼々ダえた場合の保磁力（
Ｈｃ）の変化を測短しｆｃ結果を示す特性図である。従
ってこの図においてＮｂの含有率が０庫量襲の場合は、
Ｃｏ９４重量％−Ｚｒ６ 重電チの２成分系合金となる
。この合金も前述とＩｔ’ｓは同様の条件で作成きれる
。
この図から明らかなように、ＣＯにＺｒを添加した２成
分系合金ではまだＨｅが高いが、これにさらにＮｂ を
少量添加することによシ、すなわちＣｏ −Ｚ ｒ −
Ｎ ｂの３成分系合金になるとＨｅは急に低下する。特
にＮｂ含有率が約２重量％以上、好ましくは約５重量−
以上になるとＨｅを０．１（Ｏｅ）付近まで下げること
ができる。Ｎｂの含有率が５重量％以上に彦るとＨｅの
値はほとんど一定であり、含有率が１７重量％を越える
と３成分系合金の飽和磁束密度Ｂ８が低くなるため好ま
しく彦い。従って合金中におけるＮｂの含有率を約２〜
１７重量％、好寸しくけ約５〜１５重量％の範囲に規制
する方が良い。このような傾向は、Ｚｒの含有率が多少
変化しても同様であることが実験で確認されている。こ
のようにＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂの３成分系合金にすることに
よシ、ＣＯ単独あるいはＣｏ−Ｚｒの２成分系合金よシ
もＨｅを極端に低く抑えることができ、またＺｒとＮｂ
の添加は透磁率μにも大きく影響する。
分系合金ではまだＨｅが高いが、これにさらにＮｂ を
少量添加することによシ、すなわちＣｏ −Ｚ ｒ −
Ｎ ｂの３成分系合金になるとＨｅは急に低下する。特
にＮｂ含有率が約２重量％以上、好ましくは約５重量−
以上になるとＨｅを０．１（Ｏｅ）付近まで下げること
ができる。Ｎｂの含有率が５重量％以上に彦るとＨｅの
値はほとんど一定であり、含有率が１７重量％を越える
と３成分系合金の飽和磁束密度Ｂ８が低くなるため好ま
しく彦い。従って合金中におけるＮｂの含有率を約２〜
１７重量％、好寸しくけ約５〜１５重量％の範囲に規制
する方が良い。このような傾向は、Ｚｒの含有率が多少
変化しても同様であることが実験で確認されている。こ
のようにＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂの３成分系合金にすることに
よシ、ＣＯ単独あるいはＣｏ−Ｚｒの２成分系合金よシ
もＨｅを極端に低く抑えることができ、またＺｒとＮｂ
の添加は透磁率μにも大きく影響する。
第２図はＺｒとＮｂのトータル含有車上μとの関係を測
定した結果を示す特性図で、ｚｒとＮｂとの重量比が常
にＺｒ ： Ｎｂ ＝６．５： １０．１になるよう調
贅芒れている。この図から明らかなようＫ、Ｃｏ中にＺ
ｒ とＮｂを添加することによりμが急激に高くなシ、
特にＺｒとＮｂのトータル含有率が約５〜２０重量％の
範囲でＩまμを４０００以上にすることができ、その中
でも特にＺｒ とＮｂのトータル含有率が約８〜１７重
量％の範囲のものはμが一定しており、品質の安定した
高透磁率のアモルファス合金がイＭられる。第２図に示
すような特性は、Ｚｒ とＮｂの重量比を多少変化して
も同様の傾向を示す。
定した結果を示す特性図で、ｚｒとＮｂとの重量比が常
にＺｒ ： Ｎｂ ＝６．５： １０．１になるよう調
贅芒れている。この図から明らかなようＫ、Ｃｏ中にＺ
ｒ とＮｂを添加することによりμが急激に高くなシ、
特にＺｒとＮｂのトータル含有率が約５〜２０重量％の
範囲でＩまμを４０００以上にすることができ、その中
でも特にＺｒ とＮｂのトータル含有率が約８〜１７重
量％の範囲のものはμが一定しており、品質の安定した
高透磁率のアモルファス合金がイＭられる。第２図に示
すような特性は、Ｚｒ とＮｂの重量比を多少変化して
も同様の傾向を示す。
第３図はＺｒ とＮｂのトータル含有率とＢｓとの関係
を測定した結果を示す特性図で、第２図の場合と同様に
Ｚｒ とＮｂとの重量比が常Ｋ Ｚ ｒ ａＮｂ ＝６
．５：１０．１になるように調整されている。
を測定した結果を示す特性図で、第２図の場合と同様に
Ｚｒ とＮｂとの重量比が常Ｋ Ｚ ｒ ａＮｂ ＝６
．５：１０．１になるように調整されている。
この図から明らかなように、ＺｒとＮｂのトータル含有
率が高くなるに従ってＢｓ ｔｒｉ低くなる傾向にあり
、特にＺｒ とＮｂのトータル含有率が約２０重県％を
越えるとＢｓはｌ０ＫＧ以下になってし寸う。この特性
は、ｚｒとＮｂの重量比が多少変化しても同様の傾向を
示す。
率が高くなるに従ってＢｓ ｔｒｉ低くなる傾向にあり
、特にＺｒ とＮｂのトータル含有率が約２０重県％を
越えるとＢｓはｌ０ＫＧ以下になってし寸う。この特性
は、ｚｒとＮｂの重量比が多少変化しても同様の傾向を
示す。
この第２図および第３図の特性曲線から明らかカように
、μならびにＢｓの高いアモルファス合金を得るために
は、ｚｒとＮｂのトータル含有率を約５〜２０重量％の
範囲に規制する必要がある。
、μならびにＢｓの高いアモルファス合金を得るために
は、ｚｒとＮｂのトータル含有率を約５〜２０重量％の
範囲に規制する必要がある。
このようにＺｒ とＮｂのトータル含有率を約５〜２０
重量％の範囲に規制しても、その中のＺｒ含有率が低く
過ぎるとＩ（ｅの高いアモルファス合金となる。第４跡
は、合金中のＮｂ含有率が常に１０重量％になるように
して、Ｚｒの含有率を種々変えた場合のＨｅの変化を測
定し大結果を示す特性図である。従ってこの図において
Ｚｒの含有率が０重量％の場合は、 Ｃｏ９０重量％−
ＮｂｌＯ重量係の２成分系合金となる。この合金も前
述とほぼ同様の条件で作成さハる。
重量％の範囲に規制しても、その中のＺｒ含有率が低く
過ぎるとＩ（ｅの高いアモルファス合金となる。第４跡
は、合金中のＮｂ含有率が常に１０重量％になるように
して、Ｚｒの含有率を種々変えた場合のＨｅの変化を測
定し大結果を示す特性図である。従ってこの図において
Ｚｒの含有率が０重量％の場合は、 Ｃｏ９０重量％−
ＮｂｌＯ重量係の２成分系合金となる。この合金も前
述とほぼ同様の条件で作成さハる。
この図から明らかなように、ＣｏＫＮｂを添加した２成
分系合金ならびにＺｒの含有率が２重量％までのＣｏ−
Ｚｒ−Ｎｂの３成分系合金は、ＩＩｃが高い。ところが
Ｚｒの含有率が約２．５重量％を越えるとＨｃは急激、
に低下し、約５重量％以上に々るとＨｅはＯ，ｌ （Ｏ
ｅ）以下にすることができる。このようにＣｏ −Ｚ
ｒ−Ｎｂの３成分系アモルファス合金において、Ｚｒ舎
約２．５重量％以上含有することにより、Ｈｃを低く抑
えることができるが、ｚｒの含有率が余シ高くなっても
Ｈｃｆ：低く抑える効果は同じでアリ、かえってＢｓが
低くなるため好１しくない。
分系合金ならびにＺｒの含有率が２重量％までのＣｏ−
Ｚｒ−Ｎｂの３成分系合金は、ＩＩｃが高い。ところが
Ｚｒの含有率が約２．５重量％を越えるとＨｃは急激、
に低下し、約５重量％以上に々るとＨｅはＯ，ｌ （Ｏ
ｅ）以下にすることができる。このようにＣｏ −Ｚ
ｒ−Ｎｂの３成分系アモルファス合金において、Ｚｒ舎
約２．５重量％以上含有することにより、Ｈｃを低く抑
えることができるが、ｚｒの含有率が余シ高くなっても
Ｈｃｆ：低く抑える効果は同じでアリ、かえってＢｓが
低くなるため好１しくない。
従ってＨｃ’を低く抑えしかもＢｓを高く維持するため
第５図は、本発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明す
るための図である。ポリエステル、ポリイミドなどの合
成樹脂あるいは陽極酸化しにアルミニウム板などからな
る基材１の表面に、ｃｏ含有率が８３．４ｉ景チ、Ｚｒ
含有率が６．５重量％、Ｎｂ含有率が１０．１重量％で
、Ｚｒ とＮｂのトータル含有率が１６．６重量−にな
るようにＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ の３成分系アモルファス
合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第１の磁
性材薄膜２とする。次にこの第１の磁性材薄膜２の表面
に、コバル）Ｔｈ主成分とし、こｉｌに少量のクロムを
添加しｆｃｃｏ−Ｃｒの２成分系合金薄膜をスパッタリ
ングによって形成して、第２の磁性相薄膜３とする。こ
の磁性材薄膜２，３の膜厚は、両者とも約０．３μｍで
ある。これら基材１と第１の磁性材薄膜２と第２の磁性
材薄膜３とからテープ状あるいはディスク状の磁気記録
媒体が構成される。前記磁性材薄膜２．３Ｆｉ基材１の
両面に設ける場合もある。
第５図は、本発明の実施例に係る磁気記録媒体を説明す
るための図である。ポリエステル、ポリイミドなどの合
成樹脂あるいは陽極酸化しにアルミニウム板などからな
る基材１の表面に、ｃｏ含有率が８３．４ｉ景チ、Ｚｒ
含有率が６．５重量％、Ｎｂ含有率が１０．１重量％で
、Ｚｒ とＮｂのトータル含有率が１６．６重量−にな
るようにＣｏ−Ｚｒ−Ｎｂ の３成分系アモルファス
合金薄膜をスパッタリングによって形成して、第１の磁
性材薄膜２とする。次にこの第１の磁性材薄膜２の表面
に、コバル）Ｔｈ主成分とし、こｉｌに少量のクロムを
添加しｆｃｃｏ−Ｃｒの２成分系合金薄膜をスパッタリ
ングによって形成して、第２の磁性相薄膜３とする。こ
の磁性材薄膜２，３の膜厚は、両者とも約０．３μｍで
ある。これら基材１と第１の磁性材薄膜２と第２の磁性
材薄膜３とからテープ状あるいはディスク状の磁気記録
媒体が構成される。前記磁性材薄膜２．３Ｆｉ基材１の
両面に設ける場合もある。
この磁気記録媒体を間に挾むようにして、主磁極５と補
助磁極６とが配置されている。奥磁極５は浮式が約１μ
程度のもので、ガラスやポリイミド樹脂などからなる非
磁性材の基板４上にスパッタリングによって形成される
。補助磁極６には、コイル７が所定ターン数だけ巻装さ
れている。このコイル７に記録されるべき信号電流を流
して主磁極５を補助磁極６側から励磁すると、主磁極５
の先端付近に強い垂直磁界が発生する。これによって主
磁極５の先端近傍にある磁性材薄膜２，３が厚さ方向に
磁化され、第２の磁性材薄膜３にデ−タが記録される。
助磁極６とが配置されている。奥磁極５は浮式が約１μ
程度のもので、ガラスやポリイミド樹脂などからなる非
磁性材の基板４上にスパッタリングによって形成される
。補助磁極６には、コイル７が所定ターン数だけ巻装さ
れている。このコイル７に記録されるべき信号電流を流
して主磁極５を補助磁極６側から励磁すると、主磁極５
の先端付近に強い垂直磁界が発生する。これによって主
磁極５の先端近傍にある磁性材薄膜２，３が厚さ方向に
磁化され、第２の磁性材薄膜３にデ−タが記録される。
第１の磁性料薄膜２は第２磁性材薄膜３にデータを磁気
記録する際、磁路の一部を構成するのに役立つ。
記録する際、磁路の一部を構成するのに役立つ。
本発明は前述のように、基材と、その基材の表面に形成
された第１の磁性材薄膜と、その第１の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第２の磁性材薄膜と
を備え、前記第２の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第１の磁性材薄膜が、コバ
ルトヲ主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオブ
を添加した３成分系のアモルファス合金から構成されて
いることを特徴とするものである。
された第１の磁性材薄膜と、その第１の磁性材薄膜の表
面に形成されて垂直異方性を有する第２の磁性材薄膜と
を備え、前記第２の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化される
磁気記録媒体において、前記第１の磁性材薄膜が、コバ
ルトヲ主成分とし、それに少量のジルコニウムとニオブ
を添加した３成分系のアモルファス合金から構成されて
いることを特徴とするものである。
前述のアモルファス合金は、保磁力が低く、透磁率なら
びに飽和磁束密度が高く、シかもコバルト−クロム系合
金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロム
系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。その
ため優れた記録、再生特性を有し、また第２の磁性材薄
膜を可及的に）：γくすることができる。
びに飽和磁束密度が高く、シかもコバルト−クロム系合
金との磁気特性がよく似通っており、コバルト−クロム
系合金の優れた磁気異方性がそのまま発揮できる。その
ため優れた記録、再生特性を有し、また第２の磁性材薄
膜を可及的に）：γくすることができる。
第１図はニオブの含有率と保磁力との関係を示す特性図
、第２図はジルコニウムとニオブのトータル含有率と透
磁率との関係を示す特性図、第３図ハジルコニウムとニ
オブのトータル含有率と飽和磁束密度との関係を示す特
性図、第４図はジルコニウムと保磁力との関係を示す特
性図１、第５図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体を
説明するための説明図である。 １・・・・・・基材、２・・・・・・第１の磁性材薄膜
、３・・・・・・第２の磁性材薄膜。 第１ＷＪ ０ ５ １０ １５
ｚＣ）第２ｒｌ！Ｊ ０ ５ １０ １５
２０ ２５Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％Ｊ 第３図 ０ ５ １０ １５
２０ ２５Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ
％） 第４図 ０ ５ ＩＱ １５ ２
０Ｚｒ（ｗｔ％） 第５ ？
、第２図はジルコニウムとニオブのトータル含有率と透
磁率との関係を示す特性図、第３図ハジルコニウムとニ
オブのトータル含有率と飽和磁束密度との関係を示す特
性図、第４図はジルコニウムと保磁力との関係を示す特
性図１、第５図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体を
説明するための説明図である。 １・・・・・・基材、２・・・・・・第１の磁性材薄膜
、３・・・・・・第２の磁性材薄膜。 第１ＷＪ ０ ５ １０ １５
ｚＣ）第２ｒｌ！Ｊ ０ ５ １０ １５
２０ ２５Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ％Ｊ 第３図 ０ ５ １０ １５
２０ ２５Ｚｒ＋Ｎｂ（ｗｔ
％） 第４図 ０ ５ ＩＱ １５ ２
０Ｚｒ（ｗｔ％） 第５ ？
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）、基材と、その基材の表面に形成された第１の磁
性材薄膜と、その第１の磁性材薄膜の表面に形成されて
垂直異方性を有する第２の磁性材薄膜とを備え、前記第
２の磁性材薄膜が膜厚方向に磁化感れる磁気記録媒体に
おいて、前記第１の磁性材薄膜が、コバルトを主成分と
し、それに少量のジル：ｆｆ ： ｒ）ムとニオブを添
加しに３成分系のアモルファス合金から構成されている
ことを特徴とする磁気記録媒体。 （２、特許請求の範囲第（１）項記載において、前８４
３Ｘ 分糸７．％ ルファス合金中におけるジルコニウ
ムとニオブのトータル含有率が約５〜２０重量％の範囲
に規制されていることを特徴とする磁気記録媒体。 （３）１％許請求の範囲第（１）項および第（２）項記
載において、前記３Ｉｙ、分糸アモルファス合金中にお
けるジルコニウムの含有率が約２．５重量−以上に規制
されていることを特徴とする磁気記録媒体。 （４）、特許請求の範囲第（１）項、第（２）項および
第（３）項記載において、前記第２の磁性材薄膜がコバ
ルトおよびクロムを含むコバルト−クロム系合金薄膜か
ら構成されていることを特徴とする磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207674A JPS5998321A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57207674A JPS5998321A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5998321A true JPS5998321A (ja) | 1984-06-06 |
| JPH0130218B2 JPH0130218B2 (ja) | 1989-06-16 |
Family
ID=16543683
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57207674A Granted JPS5998321A (ja) | 1982-11-29 | 1982-11-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5998321A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5242761A (en) * | 1990-07-03 | 1993-09-07 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium comprising NiFe and CoZr alloy crystalline magnetic alloy layers and a Co-Cr vertically magnetizable layer |
-
1982
- 1982-11-29 JP JP57207674A patent/JPS5998321A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5242761A (en) * | 1990-07-03 | 1993-09-07 | Digital Equipment Corporation Japan | Magnetic recording medium comprising NiFe and CoZr alloy crystalline magnetic alloy layers and a Co-Cr vertically magnetizable layer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0130218B2 (ja) | 1989-06-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5091266A (en) | Soft-magnetic film having saturation magnetic-flux density and magnetic head utilizing the same | |
| US20020064689A1 (en) | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus | |
| JPS60101710A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US4609593A (en) | Magnetic recording medium | |
| JPS60239916A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPH056738B2 (ja) | ||
| JP3018551B2 (ja) | 面内磁気記録媒体 | |
| JPS60101709A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS5998321A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0653039A (ja) | 耐食性磁性膜およびこれを用いた磁気ヘッド | |
| JPH05315135A (ja) | Ｃｏ／Ｎｉ人工格子膜、磁気抵抗素子、磁気ヘッド、磁気記録媒体およびＣｏ／Ｎｉ人工格子膜の製造方法 | |
| JPH08180360A (ja) | 垂直磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JPS6153769B2 (ja) | ||
| JPH1040528A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法 | |
| JPH0130219B2 (ja) | ||
| JPS6021507A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH023102A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| JPS6390025A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPH0380445A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP3386270B2 (ja) | 磁気ヘッド及び磁気記録装置 | |
| JPH0387005A (ja) | 磁性膜 | |
| JP2508639B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| KR890004255B1 (ko) | 자기 기록 매체 | |
| JPS6021509A (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JPS61151856A (ja) | 磁気記録媒体 |