JPH0744851A - 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
垂直磁気記録媒体及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH0744851A JPH0744851A JP19045393A JP19045393A JPH0744851A JP H0744851 A JPH0744851 A JP H0744851A JP 19045393 A JP19045393 A JP 19045393A JP 19045393 A JP19045393 A JP 19045393A JP H0744851 A JPH0744851 A JP H0744851A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- magnetic
- recording
- recording medium
- magnetic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は高い再生出力とＳ／Ｎ特性を有する垂
直磁気記録媒体を提供することを目的とする。 【構成】非磁性基板上に軟磁性裏打ち層と低ノイズ特性
を示す第一記録磁性層、高保磁力、高再生出力を示す第
二記録磁性層、保護層などを順次形成してなる垂直磁気
記録媒体であり、高い再生出力、記録密度特性Ｄ５０を
有しつつ高いＳ／Ｎ特性を示すことを特徴とする。
直磁気記録媒体を提供することを目的とする。 【構成】非磁性基板上に軟磁性裏打ち層と低ノイズ特性
を示す第一記録磁性層、高保磁力、高再生出力を示す第
二記録磁性層、保護層などを順次形成してなる垂直磁気
記録媒体であり、高い再生出力、記録密度特性Ｄ５０を
有しつつ高いＳ／Ｎ特性を示すことを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は垂直磁気記録に用いる磁
気記録媒体に関するものである。
気記録媒体に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、パーソナルコンピューター等の普
及に伴い、ハードディスクドライブに使用されている磁
気記録媒体の需要が急増しており、磁気記録媒体の高密
度化へ向けて高再生出力、高Ｓ／Ｎ特性等の要求が高く
なっている。垂直磁気記録方式は、垂直磁気記録媒体の
磁性層中に媒体面に対して磁化容易軸が垂直方向に配向
するように記録を行うものであって、高密度記録時に磁
性層内部の反磁界が減少するため高密度化に適してい
る。
及に伴い、ハードディスクドライブに使用されている磁
気記録媒体の需要が急増しており、磁気記録媒体の高密
度化へ向けて高再生出力、高Ｓ／Ｎ特性等の要求が高く
なっている。垂直磁気記録方式は、垂直磁気記録媒体の
磁性層中に媒体面に対して磁化容易軸が垂直方向に配向
するように記録を行うものであって、高密度記録時に磁
性層内部の反磁界が減少するため高密度化に適してい
る。
【０００３】垂直磁気記録において高い再生出力を得る
為には記録磁性層は適度に厚いことが望ましいが、高記
録密度特性を得るためにはヘッドと媒体の軟磁性裏打ち
層の磁気的相互作用を強めるために記録磁性層は薄い方
が好ましい（藤井、村岡、仲村：”垂直磁気記録用ハー
ドディスク媒体の高分解能化の検討”、テレビ学技報Ｖ
ＩＲ９３−３， １７（１９９３））。これは記録磁性
層が厚すぎるとヘッドと媒体の軟磁性裏打ち層の磁気的
相互作用が弱まってヘッド磁界分布の広がりや、媒体の
磁化飽和が困難になることによるものである。そこで、
高い記録密度を得るためには記録磁性層を薄くしなけれ
ばならない。従って、高い再生出力と高記録密度特性に
対する記録磁性層膜厚への要求は相反するものである。
そこで、高記録密度特性を得るために記録磁性層膜厚を
薄くしたまま高い再生出力を得るためには、反磁界に打
ち勝てる保磁力の大きさが重要となる。
為には記録磁性層は適度に厚いことが望ましいが、高記
録密度特性を得るためにはヘッドと媒体の軟磁性裏打ち
層の磁気的相互作用を強めるために記録磁性層は薄い方
が好ましい（藤井、村岡、仲村：”垂直磁気記録用ハー
ドディスク媒体の高分解能化の検討”、テレビ学技報Ｖ
ＩＲ９３−３， １７（１９９３））。これは記録磁性
層が厚すぎるとヘッドと媒体の軟磁性裏打ち層の磁気的
相互作用が弱まってヘッド磁界分布の広がりや、媒体の
磁化飽和が困難になることによるものである。そこで、
高い記録密度を得るためには記録磁性層を薄くしなけれ
ばならない。従って、高い再生出力と高記録密度特性に
対する記録磁性層膜厚への要求は相反するものである。
そこで、高記録密度特性を得るために記録磁性層膜厚を
薄くしたまま高い再生出力を得るためには、反磁界に打
ち勝てる保磁力の大きさが重要となる。
【０００４】垂直記録用磁性層としてのＣｏ基合金とし
てはＣｏＣｒ系合金が現在使用されており、保磁力の大
きな組成としては第三元素を添加したＣｏＣｒＰｔやＣ
ｏＣｒＴａ、さらに面内記録用の磁性材料として第四元
素を添加したＣｏＣｒＴａＰｔ等が知られている。さら
に、ＣｏＣｒ系合金膜の保磁力は膜構造と密接な関連が
ありＣｏＣｒ系合金膜が高い保磁力を有するような構造
になるまでにある程度の膜厚が必要とされている。
（Ｋ．Ｈｅｍｍｅｓ，Ｊ．Ｃ．Ｌｏｄｄｅｒ ａｎｄ
Ｔｈ．Ｊ．Ａ．Ｐｏｐｍａ：”ＳＵＲＦＡＣＥ ＡＮＤ
ＶＯＬＵＭＥ ＨＹＳＴＥＲＥＳＩＳ ＯＦ ＳＰＵ
ＴＴＥＲＥＤ ＣｏＣｒ”，ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳ，Ｖ
ＯＬ．ＭＡＧ−２３（１），１５０（１９８７）また
は、Ｊ．Ｗ．Ｌｅｅ，Ｂ．Ｇ．Ｄｅｍｃｙｚｙｋ，Ｋ．
Ｒ．Ｍｏｕｎｔｆｉｅｌｄ ａｎｄ Ｄ．Ｅ．Ｌａｕｇ
ｈｌｉｎ：”ＭＡＧＮＥＴＩＣ−ＳＴＲＵＣＵＲＡＬ
ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ ＩＮ Ｃｏ−Ｃｒ ＦＩＬＭ
Ｓ ＦＯＲ ＰＥＲＰＥＮＤＩＣＵＬＡＲ ＲＥＣＯＲ
ＤＩＮＧ ＭＥＤＩＡ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，
ＶＯＬ６３（８），２９０５（１９８８））
てはＣｏＣｒ系合金が現在使用されており、保磁力の大
きな組成としては第三元素を添加したＣｏＣｒＰｔやＣ
ｏＣｒＴａ、さらに面内記録用の磁性材料として第四元
素を添加したＣｏＣｒＴａＰｔ等が知られている。さら
に、ＣｏＣｒ系合金膜の保磁力は膜構造と密接な関連が
ありＣｏＣｒ系合金膜が高い保磁力を有するような構造
になるまでにある程度の膜厚が必要とされている。
（Ｋ．Ｈｅｍｍｅｓ，Ｊ．Ｃ．Ｌｏｄｄｅｒ ａｎｄ
Ｔｈ．Ｊ．Ａ．Ｐｏｐｍａ：”ＳＵＲＦＡＣＥ ＡＮＤ
ＶＯＬＵＭＥ ＨＹＳＴＥＲＥＳＩＳ ＯＦ ＳＰＵ
ＴＴＥＲＥＤ ＣｏＣｒ”，ＩＥＥＥ ＴＲＡＮＳ，Ｖ
ＯＬ．ＭＡＧ−２３（１），１５０（１９８７）また
は、Ｊ．Ｗ．Ｌｅｅ，Ｂ．Ｇ．Ｄｅｍｃｙｚｙｋ，Ｋ．
Ｒ．Ｍｏｕｎｔｆｉｅｌｄ ａｎｄ Ｄ．Ｅ．Ｌａｕｇ
ｈｌｉｎ：”ＭＡＧＮＥＴＩＣ−ＳＴＲＵＣＵＲＡＬ
ＤＥＶＥＬＯＰＭＥＮＴ ＩＮ Ｃｏ−Ｃｒ ＦＩＬＭ
Ｓ ＦＯＲ ＰＥＲＰＥＮＤＩＣＵＬＡＲ ＲＥＣＯＲ
ＤＩＮＧ ＭＥＤＩＡ”，Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，
ＶＯＬ６３（８），２９０５（１９８８））
【０００５】ＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａＰｔ合金膜は
高保磁力であり高い再生出力を示すが、ＣｏＰｔ系合金
の特徴として媒体ノイズが高いことが知られている（彦
坂、田中：”ＣｏＰｔ薄膜媒体の微細構造が磁気特性及
びノイズ特性に与える影響”、テレビ学技報 ＶＩＲ９
３−６，４１（１９９３））。また、ＣｏＣｒＴａ合金
膜は優れた低ノイズ特性を示し高いＳ／Ｎ特性を示す
が、その再生出力はＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａＰｔ合
金膜には及ばない。そこで、薄い記録磁性層膜厚でも高
保磁力を有しつつ、低ノイズ、高Ｓ／Ｎ特性を示す記録
磁性層の開発が望まれた。
高保磁力であり高い再生出力を示すが、ＣｏＰｔ系合金
の特徴として媒体ノイズが高いことが知られている（彦
坂、田中：”ＣｏＰｔ薄膜媒体の微細構造が磁気特性及
びノイズ特性に与える影響”、テレビ学技報 ＶＩＲ９
３−６，４１（１９９３））。また、ＣｏＣｒＴａ合金
膜は優れた低ノイズ特性を示し高いＳ／Ｎ特性を示す
が、その再生出力はＣｏＣｒＰｔ、ＣｏＣｒＴａＰｔ合
金膜には及ばない。そこで、薄い記録磁性層膜厚でも高
保磁力を有しつつ、低ノイズ、高Ｓ／Ｎ特性を示す記録
磁性層の開発が望まれた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】そこで本発明は、上記
のような問題点を解決するためになされたものであり、
薄い記録磁性層膜厚でも高保磁力を有しつつ、低ノイ
ズ、高Ｓ／Ｎ特性を示す記録磁性層高再生出力特性を示
すＣｏ基合金膜と高Ｓ／Ｎ特性を示すＣｏ基合金膜を組
み合わせて検討を重ねた結果、本発明を完成するに至っ
たものであり、高密度記録が可能な高出力、高Ｓ／Ｎ特
性を有する優れた垂直磁気記録媒体を得ることを目的と
する。
のような問題点を解決するためになされたものであり、
薄い記録磁性層膜厚でも高保磁力を有しつつ、低ノイ
ズ、高Ｓ／Ｎ特性を示す記録磁性層高再生出力特性を示
すＣｏ基合金膜と高Ｓ／Ｎ特性を示すＣｏ基合金膜を組
み合わせて検討を重ねた結果、本発明を完成するに至っ
たものであり、高密度記録が可能な高出力、高Ｓ／Ｎ特
性を有する優れた垂直磁気記録媒体を得ることを目的と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の垂直磁気記録媒
体は非磁性基板上の軟磁性裏打ち層に高再生出力特性を
示すＣｏ基合金膜層と高Ｓ／Ｎ特性を示すＣｏ基合金膜
層を組み合わせ形成することによって、高密度記録が可
能な高出力、高Ｓ／Ｎ特性を有する優れた垂直磁気記録
媒体が得られたもので、すなわち、非磁性基板上に軟磁
性裏打ち層と垂直磁気異方性を有し、かつ膜組成の異な
るＣｏ基合金からなる第一記録磁性層と第二記録磁性層
を積層してなる三層膜構造の垂直磁気記録媒体である。
前記第一記録磁性層には低ノイズ特性を示すＣｏＣｒＴ
ａ等であり、第二記録磁性層には高再生出力特性を示す
ＣｏＣｒＴａＰｔ等を用いた垂直磁気記録媒体である。
体は非磁性基板上の軟磁性裏打ち層に高再生出力特性を
示すＣｏ基合金膜層と高Ｓ／Ｎ特性を示すＣｏ基合金膜
層を組み合わせ形成することによって、高密度記録が可
能な高出力、高Ｓ／Ｎ特性を有する優れた垂直磁気記録
媒体が得られたもので、すなわち、非磁性基板上に軟磁
性裏打ち層と垂直磁気異方性を有し、かつ膜組成の異な
るＣｏ基合金からなる第一記録磁性層と第二記録磁性層
を積層してなる三層膜構造の垂直磁気記録媒体である。
前記第一記録磁性層には低ノイズ特性を示すＣｏＣｒＴ
ａ等であり、第二記録磁性層には高再生出力特性を示す
ＣｏＣｒＴａＰｔ等を用いた垂直磁気記録媒体である。
【０００８】また、その垂直磁気記録媒体を作成する際
に、非磁性基板上に形成された軟磁性裏打ち層上に第一
記録磁性層と第二記録磁性層を積層するが、前記第一記
録磁性層を形成後、その表面を清浄な状態に保ったまま
第２記録記録磁性層を連続して形成することで高密度記
録が可能な高出力、高Ｓ／Ｎ特性を有する優れた垂直磁
気記録媒体が得られた。
に、非磁性基板上に形成された軟磁性裏打ち層上に第一
記録磁性層と第二記録磁性層を積層するが、前記第一記
録磁性層を形成後、その表面を清浄な状態に保ったまま
第２記録記録磁性層を連続して形成することで高密度記
録が可能な高出力、高Ｓ／Ｎ特性を有する優れた垂直磁
気記録媒体が得られた。
【０００９】
【作用】本発明の垂直磁気記録媒体においては、非磁性
基板上に形成されている軟磁性裏打ち層上に低ノイズ特
性のＣｏＣｒＴａ層を形成し、さらにその上部に高保磁
力特性のＣｏＣｒＴａＰｔ層を形成することによって記
録磁性層膜厚が薄くても高い保磁力、大きな再生出力を
有しつつ低ノイズ特性を示す、記録密度特性、Ｓ／Ｎ特
性に優れた媒体を得ることができた。
基板上に形成されている軟磁性裏打ち層上に低ノイズ特
性のＣｏＣｒＴａ層を形成し、さらにその上部に高保磁
力特性のＣｏＣｒＴａＰｔ層を形成することによって記
録磁性層膜厚が薄くても高い保磁力、大きな再生出力を
有しつつ低ノイズ特性を示す、記録密度特性、Ｓ／Ｎ特
性に優れた媒体を得ることができた。
【００１０】しかしながら、スパッタリングなどにより
ＣｏＣｒＴａ層形成後に、ＣｏＣｒＴａ層を大気に晒す
とＣｏＣｒＴａ層表面が酸化されたり、汚染物が付着す
る等してＣｏＣｒＴａ層表面の清浄状態が悪くなる。そ
のような表面状態のＣｏＣｒＴａ層上にＣｏＣｒＴａＰ
ｔ層を形成すると、ＣｏＣｒＴａＰｔ層が高い保磁力を
有するようになるまでにかなりの膜厚を必要とし、結果
として高い再生出力を得るための高い保磁力を有するに
は記録層全体の膜厚が増す必要が生じ、高密度特性が得
られなくなる。
ＣｏＣｒＴａ層形成後に、ＣｏＣｒＴａ層を大気に晒す
とＣｏＣｒＴａ層表面が酸化されたり、汚染物が付着す
る等してＣｏＣｒＴａ層表面の清浄状態が悪くなる。そ
のような表面状態のＣｏＣｒＴａ層上にＣｏＣｒＴａＰ
ｔ層を形成すると、ＣｏＣｒＴａＰｔ層が高い保磁力を
有するようになるまでにかなりの膜厚を必要とし、結果
として高い再生出力を得るための高い保磁力を有するに
は記録層全体の膜厚が増す必要が生じ、高密度特性が得
られなくなる。
【００１１】そこで、ＣｏＣｒＴａ層形成後にその表面
を大気に晒すこと無く、高い清浄状態を保ったままで連
続してＣｏＣｒＴａＰｔ層を形成するとＣｏＣｒＴａＰ
ｔ層はＣｏＣｒＴａ層上にエピタキシャル成長するため
に薄い膜厚でも高い保磁力を有する膜構造を得ることが
可能となる。しかしながら、ＣｏＣｒＴａ層を形成後に
その表面を大気に晒て酸素等の付着が生じた時には、Ｃ
ｏＣｒＴａＰｔ層形成の前にＣｏＣｒＴａ層の表面をス
パッタエッチング等を用いて清浄な表面を形成する必要
がある。
を大気に晒すこと無く、高い清浄状態を保ったままで連
続してＣｏＣｒＴａＰｔ層を形成するとＣｏＣｒＴａＰ
ｔ層はＣｏＣｒＴａ層上にエピタキシャル成長するため
に薄い膜厚でも高い保磁力を有する膜構造を得ることが
可能となる。しかしながら、ＣｏＣｒＴａ層を形成後に
その表面を大気に晒て酸素等の付着が生じた時には、Ｃ
ｏＣｒＴａＰｔ層形成の前にＣｏＣｒＴａ層の表面をス
パッタエッチング等を用いて清浄な表面を形成する必要
がある。
【００１２】
【実施例】以下、添付の図面にしたがって本発明の実施
例について具体的に説明する。図１は本発明に係わる垂
直磁気記録媒体の概略の構成を示す断面図である。非磁
性基板１はアルミニウム基板であり、この非磁性基板１
の上に軟磁性裏打ち層２が形成される。この軟磁性裏打
ち層２の上に低ノイズ特性を示す第一記録磁性層３が形
成され、その第一記録磁性層表面の清浄状態を保ったま
ま、その上に高保磁力、高再生出力を示すＣｏ基合金の
第二記録磁性層４、更に、保護層５が形成される。
例について具体的に説明する。図１は本発明に係わる垂
直磁気記録媒体の概略の構成を示す断面図である。非磁
性基板１はアルミニウム基板であり、この非磁性基板１
の上に軟磁性裏打ち層２が形成される。この軟磁性裏打
ち層２の上に低ノイズ特性を示す第一記録磁性層３が形
成され、その第一記録磁性層表面の清浄状態を保ったま
ま、その上に高保磁力、高再生出力を示すＣｏ基合金の
第二記録磁性層４、更に、保護層５が形成される。
【００１３】非磁性基板１は通常、アルミニウム、アル
ミニウム合金、ガラス、セラミックス、プラスチック、
炭素、シリコンなど硬度が高く平滑性を容易に出すこと
ができ耐食性の優れているものが使用される。非磁性基
板１は化学的方法、機械的方法または物理的方法等によ
り平滑な表面に仕上げられていたり、その後に同心円状
の凹凸を有するテクスチャリングが形成されている。
ミニウム合金、ガラス、セラミックス、プラスチック、
炭素、シリコンなど硬度が高く平滑性を容易に出すこと
ができ耐食性の優れているものが使用される。非磁性基
板１は化学的方法、機械的方法または物理的方法等によ
り平滑な表面に仕上げられていたり、その後に同心円状
の凹凸を有するテクスチャリングが形成されている。
【００１４】軟磁性裏打ち層２は、ＣｕＭｏＮｉＦｅ、
ＮｉＦｅＮｂ等のＮｉＦｅ系合金、ＣｏＺｒＮｂ等のＣ
ｏＺｒ系合金、ＦｅＡｌ系合金、ＭｎＺｎフェライト等
の高透磁率を有する軟磁性合金を使用することができ
る。
ＮｉＦｅＮｂ等のＮｉＦｅ系合金、ＣｏＺｒＮｂ等のＣ
ｏＺｒ系合金、ＦｅＡｌ系合金、ＭｎＺｎフェライト等
の高透磁率を有する軟磁性合金を使用することができ
る。
【００１５】本発明における第一記録磁性層３としては
ＣｏＣｒＴａ等のような低ノイズの媒体であり、第二記
録磁性層４としてはＣｏＣｒＴａＰｔ等のような保磁力
が高く、大きな再生出力特性を有する媒体であることが
必要である。 更にＣｏＣｒＴａＰｔの合金組成はＣｏ
含有量５３〜８８原子％、Ｃｒ含有量１０〜２５原子
％、Ｔａ含有量１〜７原子％及びＰｔ含有量１〜１５原
子％であることが垂直磁気記録媒体として望ましい。
ＣｏＣｒＴａ等のような低ノイズの媒体であり、第二記
録磁性層４としてはＣｏＣｒＴａＰｔ等のような保磁力
が高く、大きな再生出力特性を有する媒体であることが
必要である。 更にＣｏＣｒＴａＰｔの合金組成はＣｏ
含有量５３〜８８原子％、Ｃｒ含有量１０〜２５原子
％、Ｔａ含有量１〜７原子％及びＰｔ含有量１〜１５原
子％であることが垂直磁気記録媒体として望ましい。
【００１６】保護層５は通常、炭素やＳｉ、Ｚｒ、Ｈ
ｆ、Ｃｒ等の酸化物、窒化物、炭化物などの保護膜で形
成する。また、保護膜の潤滑性を良くするため保護膜表
面に潤滑層を形成してもよい。
ｆ、Ｃｒ等の酸化物、窒化物、炭化物などの保護膜で形
成する。また、保護膜の潤滑性を良くするため保護膜表
面に潤滑層を形成してもよい。
【００１７】実施例として、外径９５ｍｍ、内径２５ｍ
ｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金の非磁性基板
１上に、軟磁性裏打ち層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆ
ｅ20（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）を形
成し、その上に第一記録磁性層３として４０ｎｍのＣｏ
78Ｃｒ17Ｔａ5 層、第二記録磁性層４として３０ｎｍの
Ｃｏ68Ｃｒ15Ｔａ4 Ｐｔ13層を真空を破らずに順次、ス
パッタリングにより形成しさらに保護層５として５ｎｍ
の炭素を形成し垂直磁気記録媒体（図２（ａ））を作成
した。
ｍ、厚み１．２７ｍｍのアルミニウム合金の非磁性基板
１上に、軟磁性裏打ち層２として厚さ７μｍのＮｉ80Ｆ
ｅ20（以下、磁性材料層の組成式は原子％で示す）を形
成し、その上に第一記録磁性層３として４０ｎｍのＣｏ
78Ｃｒ17Ｔａ5 層、第二記録磁性層４として３０ｎｍの
Ｃｏ68Ｃｒ15Ｔａ4 Ｐｔ13層を真空を破らずに順次、ス
パッタリングにより形成しさらに保護層５として５ｎｍ
の炭素を形成し垂直磁気記録媒体（図２（ａ））を作成
した。
【００１８】比較例１として、軟磁性裏打ち層２上に記
録磁性層として第一記録磁性層３のＣｏ78Ｃｒ17Ｔａ5
層のみを９０ｎｍ形成し対外は、実施例１と同様に垂直
磁気記録媒体（図２（ｂ））を作成した。
録磁性層として第一記録磁性層３のＣｏ78Ｃｒ17Ｔａ5
層のみを９０ｎｍ形成し対外は、実施例１と同様に垂直
磁気記録媒体（図２（ｂ））を作成した。
【００１９】比較例２として、軟磁性裏打ち層２上に記
録磁性層として第二記録磁性層４のＣｏ68Ｃｒ15Ｔａ4
Ｐｔ13層のみを９０ｎｍ形成し対外は、実施例１と同様
に垂直磁気記録媒体（図２（ｃ））を作成した。
録磁性層として第二記録磁性層４のＣｏ68Ｃｒ15Ｔａ4
Ｐｔ13層のみを９０ｎｍ形成し対外は、実施例１と同様
に垂直磁気記録媒体（図２（ｃ））を作成した。
【００２０】比較例３として、実施例１と同様に非磁性
基板１上に軟磁性裏打ち層２形成し、第一記録磁性層と
して４０ｎｍのＣｏ78Ｃｒ17Ｔａ5 層を形成後、大気に
晒した後に第二記録磁性層として３０ｎｍのＣｏ68Ｃｒ
15Ｔａ4 Ｐｔ13層を形成し、さらに保護層を形成した。
基板１上に軟磁性裏打ち層２形成し、第一記録磁性層と
して４０ｎｍのＣｏ78Ｃｒ17Ｔａ5 層を形成後、大気に
晒した後に第二記録磁性層として３０ｎｍのＣｏ68Ｃｒ
15Ｔａ4 Ｐｔ13層を形成し、さらに保護層を形成した。
【００２１】表１にはこれらの媒体の保磁力を振動試料
型磁力計（理研電子製、以下ＶＳＭと略称する）によっ
て測定した結果と、比較例３の媒体を除くこれらの媒体
の電磁変換特性を単磁極型垂直ヘッドを用いて測定した
結果を示す。
型磁力計（理研電子製、以下ＶＳＭと略称する）によっ
て測定した結果と、比較例３の媒体を除くこれらの媒体
の電磁変換特性を単磁極型垂直ヘッドを用いて測定した
結果を示す。
【００２２】
【表１】
【００２３】表１に示すように、実施例の垂直磁気記録
媒体は比較例１に比べて記録磁性層の保磁力が高い。ま
た、電磁変換特性では実施例の垂直磁気記録媒体は比較
例１よりも記録磁性層全体の膜厚が薄いにもかかわら
ず、高い再生出力を有しつつ比較例１、２の両媒体より
も高いＳ／Ｎ特性を得られている。
媒体は比較例１に比べて記録磁性層の保磁力が高い。ま
た、電磁変換特性では実施例の垂直磁気記録媒体は比較
例１よりも記録磁性層全体の膜厚が薄いにもかかわら
ず、高い再生出力を有しつつ比較例１、２の両媒体より
も高いＳ／Ｎ特性を得られている。
【００２４】さらに、図３にはこれらの垂直磁気記録媒
体の記録密度特性を示す。これから、実施例の垂直磁気
記録媒体は比較例１に比べて高い記録密度特性Ｄ５０
（記録密度に対する再生出力の値が低記録密度時の半分
になる記録密度）を示し、すべての記録密度において高
い再生出力を示していることがわかる。しかしながら、
比較例２の垂直磁気記録媒体は実施例より高い記録密度
特性と再生出力を示したがＳ／Ｎ特性は低く、低ノイズ
特性を満たしていない。
体の記録密度特性を示す。これから、実施例の垂直磁気
記録媒体は比較例１に比べて高い記録密度特性Ｄ５０
（記録密度に対する再生出力の値が低記録密度時の半分
になる記録密度）を示し、すべての記録密度において高
い再生出力を示していることがわかる。しかしながら、
比較例２の垂直磁気記録媒体は実施例より高い記録密度
特性と再生出力を示したがＳ／Ｎ特性は低く、低ノイズ
特性を満たしていない。
【００２５】さらに、比較例３の垂直磁気記録媒体では
実施例に比べて保磁力が低く、垂直磁気記録媒体として
不十分であったので電磁変換特性の測定を行わなかっ
た。
実施例に比べて保磁力が低く、垂直磁気記録媒体として
不十分であったので電磁変換特性の測定を行わなかっ
た。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、高い再生出力を有しつ
つ高いＳ／Ｎ特性を示す記録密度特性の良好な高密度記
録に適した垂直磁気記録媒体を得ることができる。
つ高いＳ／Ｎ特性を示す記録密度特性の良好な高密度記
録に適した垂直磁気記録媒体を得ることができる。
【図１】本発明の垂直磁気記録媒体の実施例を示す断面
図である。
図である。
【図２】（ａ）は実施例、比較例３における垂直磁気記
録媒体の断面図を示す。（ｂ）は比較例１における垂直
磁気記録媒体の断面図を示す。（ｃ）は比較例２におけ
る垂直磁気記録媒体の断面図を示す。
録媒体の断面図を示す。（ｂ）は比較例１における垂直
磁気記録媒体の断面図を示す。（ｃ）は比較例２におけ
る垂直磁気記録媒体の断面図を示す。
【図３】実施例、比較例１、比較例２における垂直磁気
記録媒体の記録密度に対する再生出力を示すグラフであ
る。
記録媒体の記録密度に対する再生出力を示すグラフであ
る。
１ 非磁性基板 ２ 軟磁性裏打ち層 ３ 第一記録磁性層 ４ 第二記録磁性層 ５ 保護層
Claims (3)
- 【請求項１】 非磁性基板上に軟磁性裏打ち層と垂直磁
気異方性を有し、かつ膜組成の異なるＣｏ基合金からな
る第一記録磁性層と第二記録磁性層とを積層してなる三
層膜構造の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項２】 前記第一記録磁性層がＣｏＣｒＴａであ
り、第二記録磁性層がＣｏＣｒＴａＰｔである請求項１
記載の垂直磁気記録媒体。 - 【請求項３】 非磁性基板上に形成された軟磁性裏打ち
層上に、垂直磁気異方性を有するＣｏ基合金からなる第
一記録磁性層を形成後、その表面を清浄な状態に保った
まま、垂直磁気異方性を有し第一記録磁性層とは異なる
Ｃｏ基合金からなる第二記録磁性層を形成することを特
徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19045393A JPH0744851A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19045393A JPH0744851A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0744851A true JPH0744851A (ja) | 1995-02-14 |
Family
ID=16258384
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19045393A Pending JPH0744851A (ja) | 1993-07-30 | 1993-07-30 | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0744851A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100738169B1 (ko) * | 2005-04-27 | 2007-07-10 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 자기 기록 매체 및 그 제조 방법과, 자기 기록 장치 및자기 기록 방법 |
| US7807278B2 (en) | 2003-09-30 | 2010-10-05 | Showa Denko K.K. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| CN115094380A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-09-23 | 山东麦格智芯机电科技有限公司 | 一种FeCoCr磁性材料及其制备方法和应用 |
-
1993
- 1993-07-30 JP JP19045393A patent/JPH0744851A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7807278B2 (en) | 2003-09-30 | 2010-10-05 | Showa Denko K.K. | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic storage apparatus |
| KR100738169B1 (ko) * | 2005-04-27 | 2007-07-10 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 자기 기록 매체 및 그 제조 방법과, 자기 기록 장치 및자기 기록 방법 |
| CN115094380A (zh) * | 2022-06-02 | 2022-09-23 | 山东麦格智芯机电科技有限公司 | 一种FeCoCr磁性材料及其制备方法和应用 |
| CN115094380B (zh) * | 2022-06-02 | 2023-06-02 | 山东麦格智芯机电科技有限公司 | 一种FeCoCr磁性材料及其制备方法和应用 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8758911B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and perpendicular magnetic recording medium manufacturing method | |
| US6713197B2 (en) | Perpendicular magnetic recording medium and magnetic recording apparatus | |
| JP4379817B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録装置 | |
| JP4219941B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
| JP5242109B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法、並びに磁気記録装置 | |
| JPWO2006003922A1 (ja) | 垂直磁気記録ディスク及びその製造方法 | |
| US6537638B2 (en) | Magnetic recording disk with perpendicular magnetic recording layer and multilayered underlayer structure | |
| JPWO2010038448A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| WO2006134952A1 (en) | Perpendicular magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus | |
| JP2002183940A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 | |
| JP3900999B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US20020076579A1 (en) | Magnetic recording medium, production process thereof, magnetic recording and reproducing apparatus, and medium substrate | |
| JP4864391B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
| JP3822387B2 (ja) | 磁気記録媒体 | |
| JP3892401B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体用ディスク基板の製造方法、並びに垂直磁気記録ディスクの製造方法 | |
| JPH0830951A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US6972157B2 (en) | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus | |
| JP2002133647A (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法、磁気記録再生装置、および媒体基板 | |
| JP3588039B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
| JPH0744851A (ja) | 垂直磁気記録媒体及びその製造方法 | |
| JPWO2008133035A1 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| US7029772B2 (en) | Magnetic recording medium, production process thereof, and magnetic recording and reproducing apparatus | |
| JP4626861B2 (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
| Uwazumi et al. | Recording performance of the perpendicular recording media with an electroless-plated Ni-P soft magnetic underlayer | |
| JP4037139B2 (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法および磁気記録再生装置 |