JPS62246128A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ビデオ、コンピュータ等の分野での高密度磁
気記録に適する磁気記録媒体に関する。

従来の技術 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体は、通
常、金属もしくは合金などを電子ビーム蒸着、スパッタ
リング等によって、基板である高分子フィルムに直接又
は下地薄膜を介して強磁性金属薄膜を蒸着形成すること
により製造され、短波長として記録された信号の再生出
力を大きくできることで、高密度磁気記録の担い手とし
て期待されている。

〔外国論文誌アイイーイーイー　トランスアクション　
オン　マグネティクス（ＩＥＥＥ　Ｔｒａｎｓａｃｔｉ
ｏｎｏｎ　Ｍａｇｎｅｔｉｃｓ）　Ｖｏｌ　、ＭＡＧ　
−２１，Ｐ　、　Ｐ　１２１７〜１２２０（１９８５）
参照〕 一方、磁気記鍔の高密度化を実現するには、狭ギャップ
長、狭トラツクの磁気ヘッドとの直接高速摺動が不可決
であり、磁気記録層の摩耗や損傷が問題となり、改良の
ため数多くの提案がなされている。

例えば強磁性金属薄膜表面上に潤滑剤を塗布する方法（
特公昭３９−２５２４６号公報参照）では潤滑剤が磁気
ヘッド、走行系等に拭きとられるため永続性に乏しかっ
た。又、磁気記録層の反対側の面に液状又は半固体状の
潤滑剤及び有機バインダを主成分とするバックコート層
を設ける方法（特公昭６７−２９７６９号公報参照）も
提案されたが、テープ状のものについて効果を奏するが
欠点として転写量が環境条件で異なる点とスチル状態に
対しては効果がない点、およびディスク状媒体に対して
は効果がない点があげられるものであった・ その他、フッ素系有機化合物のプラズマ重合保護層、ケ
イ素系有機化合物のプラズマ重合保護層、粒子を含むポ
リマー塗布層等の保護膜による耐久性向上あるいはこれ
ら該保護膜と潤滑剤の併用等は、強磁性金属薄膜がＣｏ
−Ｎｉ−○膜等の表面に酸化層をもつ場合には相当の改
良が確認されている（例えば特開昭５８−８８８２８号
、特開昭６７−８２２２９号、特開昭５８−６０４２７
号、特開昭６１−１１９３０号公報参照）。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記した構成では、Ｃｏ　−Ｃｒ系垂直
磁化膜等の磁気記録層を充分保護できないため、くり返
し記録再生を行うとエラー率が急増したり、損傷して出
力がでなくなる問題点があったっまた、Ｃｏ　−Ｎｉ　
−０系の膜であっても、磁気ヘッドが合金で構成されて
いる場合には上記した問題が湿度の高い環境下で起こる
ため改良が望まれていた。

本発明は上記した事情に鑑みなきれたもので、広範囲の
環境条件下での耐久性の改良された磁気記録媒体を１茫
供するものであるっ 問題点を解決するための手段 上記した問題点を解決するため、本発明の磁気記録媒体
は、ＣＯ系合金薄膜の柱状結晶の表面にＶ　、　Ｚｒ　
、　Ｎｂ　、　Ｂの中より選ばれた元素の高濃度層が配
されたものである。

作　　　用 本発明の磁気記録媒体は、上記した構成により、磁気記
録層の表層部の硬度が大きくなり、磁気ヘッドと高速摺
動しても拍動を受けなくなり、広範囲の環境下で高密度
磁気記録の耐久性を得ることができるものである。

実　　怖　例 以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。

第１図は本発明の実施例の磁気記録媒体の拡大断面であ
る。第１図において、１は厚み１０μｍのポリエチレン
テレフタレートフィルムのごとき高分子フィルムで、表
面粗さはピーク・トウ・バレー値で９０人である。２は
その而に塗布した粒子径３００人の高分子ラテックスよ
り成る粒状突起層で、粒子密度は１００万個／−とした
。３はＣｏ系合金薄膜の柱状結晶の表面、即ち、磁気ヘ
ッドと当接する側の表層部に、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂの中
より選ばれた元素の高濃度層を配した強磁性金属薄膜か
ら成る磁気記録層である。４はミリスチン酸の蒸着膜か
らなる潤滑膜で、厚みは約１６０人である。

また、高濃度層３は第２図に示した内部構成の蒸着機で
形成した。

第２図において、６は直径１ｍの円筒キャン、６は基板
フィルムで、了は差出し軸、８は巻取り軸、９はＣｏ　
蒸発源（又はＣｏ−Ｎｉ蒸発源）、１ｏは第１の蒸気流
、１１はＶ　、　Ｚｒ　、　Ｎｂ　、　Ｂのうちのいず
れかの蒸発源、１２は第２の蒸気流、１３゜１４は遮へ
い材である。基板フィルム６は矢印の方向に移動し、第
１の蒸気流で接線入射により蒸着を受け、蒸着が完了す
る→→部分で第２の蒸気流と混合することにより、柱状
結晶の一部分である表層部に高濃度層が形成されるもの
であるっ本実施例では高濃度層３をＣ０１００％と夫々
Ｖ。

Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂのいずれかの組み合わせで形成し、膜厚
は１２０ｏ入一定とし、表層部１２０八に■。

Ｚｒ　、　Ｎｂ　、　Ｅのいずれかが存在するような条
件で成膜したつ 尚、全体に酸素分圧が一番高くなるようにして蒸着し、
Ｖ　、　Ｚｒ　、　Ｎｂ　、　Ｂにより酸素導入量を調
節し、保磁力を１０５０〜１１ｏｏ（ｏｅ）のものとし
た。このような本実施例の磁気記録媒体に対して比較例
として、Ｃｏ　　蒸着膜（酸素は導入してイル。）を１
０００人形成した上にスパッタリング法で、微量の酸素
を導入しながらＢ　、　Ｖ　、　Ｚｒ。

Ｎｂ　の保護膜を厚さ１２０人形成したものを準備した
。

夫々を８７禰幅のテープとして、記録波長０．７５μｍ
を記録再生することで相対比較した。用いた磁気ヘッド
はセンダストをギャップ（ギャップ長０．３μｍ）近く
にスパッタ蒸着したものである。

温度湿度条件４０’ＣＢ　３　％　ＲＨ，４０℃１０％
ＲＨの両環境でＰＣＭ信号処理時のエラー率の比較を行
った。本実施例と比較例について３０分長のテープを準
備し、くり返し記録、再生を１００回目と２００回目で
比較した。本実施例は、元素によらず１．２Ｘ１０’〜
２．Ｉ　Ｘ　１０−４と安定し、良好であったが、比較
例はＶ　、　Ｚｒ　、　Ｎｂ　、　Ｂが夫々、１００回
目で３Ｘ１０　．８ＸＩ０　．５．５Ｘ１０　’９．４
Ｘ１０　　、また２００回目では４　Ｘ　１０−２〜３
．１×１０　　と実用水準からはずれていた。その他、
表層部を磁気ヘッドと当接する（１１１１のみにせず、
柱状結晶全体に表面偏析させたものでも本願に近い効果
が予測されるが、全体の飽和磁束密度が下がるので、高
密度磁気記録用としては、本願発明による方が好ましい
。

なお、以上の本実施例では、高分子フィルムとしてポリ
エチレンテレフタレ−１・とじたが、他にポリイミド、
ポリアミドイミド、ポリエチレンナフタレート等しても
よく、粒子塗布層の材料構成、形状は粒状以外にみみず
状突起などでもよく、また磁気記録層はＣｏ　、　Ｃｏ
　−Ｎｉ　、Ｃｏ−Ｃｒのいずれかをベースにするのが
好ましい。

そして潤滑層はミＩＪステン順に限らず、公知の脂肪酸
、脂、肪酸エステル、沸素化合物等いずれでもよい。

発明の効果 以上のように本発明によれば、Ｖ　、　Ｚｒ　、Ｎｂ　
、Ｂの中より選ばれた元素の高濃度層によって磁気記録
媒体の表面層の硬度を上げることができ、高密度磁気記
録のくり返し記録再生に於て、初期の良好な性能を多数
回維持できるといったすぐれた効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係る磁気記録媒体の拡大断面
図、第２図は本発明の磁気記録媒体の製造に用いた蒸着
装置の一例の内部構成図である。 １・・・・・・高分子フィルム、２・・・・・・粒状突
起層、３・・・・・・強磁性金属薄膜、６・・・・・・
円筒キャン、６・・・・・基板フィルム、１０・・・・
第１の蒸気流、１２・・・・・・第２の蒸気流。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. Ｃｏ系合金薄膜の柱状結晶の表面にＶ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｂ
   の中より選ばれた元素の高濃度層を配したことを特徴と
   する磁気記録媒体。