JPH03130919A - 磁気記録媒体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は強磁性金属薄膜を磁気記録層とする金属薄膜型
磁気ディス久　金属薄膜型テープなどの磁気記録媒体に
関するものであり、特にダイヤモンド状炭素膜上にカー
ボン保護膜と潤滑剤層とを備丸　スチル耐久法　走行耐
久性を向上させた磁気テープとコンタクト　スタート　
ストップ（Ｃ８Ｓ）特性を向上させた磁気ディスク等に
使用される磁気記録媒体に関する。

従来の技術 強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体におい
て（表　様々な技術により磁気テープについてはそのス
チル耐久性や耐久走行性の向上　磁気ディスクについて
はそのＣ３Ｓ特性の向上が続けられてきｔ４ たとえ（′Ｌ　第１に　金属薄膜上にカルボン酸やカル
ボン酸エステルの潤滑剤層を設け７）、第２に５ｉ（ｈ
等の非磁性保護膜を設は衣　第３にカーボンやダイヤモ
ンド状炭素の保護膜を設は瓜　等であも 発明が解決しようとする課題 しかし　これらの潤滑剤層や保護膜単独で（よ高テンシ
ョン下の金属薄膜型磁気テープのスチル耐久性や金属薄
膜型磁気ディスクのＣ８Ｓ特性は必ずしも十分ではなか
つｆ。

本発明は金属薄膜型磁気テープのスチル耐久性および金
属薄膜型磁気ディスクのＣ８Ｓ特性を飛躍的に向上させ
ることを可能にするた吹　高出力と高信頼性とのバラン
スがとれた磁気記録媒体を提供することを目的とすも 課題を解決するための手段 粒径が１００Ａ〜５００Ａの粒子を１０４〜１０・個／
ｍｍ”の密度で設けた非磁性基板上に形成された強磁性
金属薄膜と、前記強磁性金属薄膜上に形成されたダイヤ
モンド状炭素膜、　前記ダイヤモンド状炭素膜上に形成
されたカーボン保護膜さらにフッ素含有潤滑剤層とを有
する磁気記録媒体を構成する。

作用 上記構成によれば　まず微小でしかも均一な突起粒子を
備えた非磁性基板により、ヘッドと磁気記録媒体との接
触面積を低下させて摺動時の摩擦力が低下すも　さらに
この非磁性基板上に設けた強磁性金属薄膜の上に　ダイ
ヤモンド状炭素という硬い保護膜で覆うことにより、摺
動あるいは接触時にかかる応力に対する抵抗力を増す。

このダイヤモンド状炭素膜上に設けたカーボン保護膜と
フッソ含有潤滑剤層によって摩擦係数を下（ず、最終的
に高テンション下でのスチル耐久性やＣ３Ｓ特性に強い
構造としていも ここで非磁性基板上に突起を設ける手法として（友　所
望の粒径を有する粒子を結着材と共に塗布すればよＬ〜
　粒径の範囲は１００〜５００Ａ程嵐　非磁性基板上の
密度は１０４〜１０８個／ｍが程度が最も一般的である
。

また　ダイヤモンド状炭素膜は硬度が高いた△磁気記録
媒体の耐久性を向上させる上で大変重要であも −Ｘ　　カーボン保護膜は強磁性金属薄膜を保護すると
同時に　カーボン保護膜自体の摩耗により摩擦係数を下
げる役割を有すん さらに　最上層に設けたフッ素含有潤滑剤層はヘッドと
直接接し　カーボン保護膜の潤滑性を補助する役目を果
たす。

このダイヤモンド状炭素膜、　カーボン保護膜及びフッ
素含有潤滑剤層の３層保護膜と突起を有する基板との組
合せで構成した金属薄膜型磁気テープのスチル耐久性を
、各環境下で１７２インチＶＴＲにより測定した結電　
ダイヤモンド状炭素膜とフッ素含有潤滑剤層の２層の保
護膜を持つ従来の金属薄膜型磁気テープ負　カーボン膜
とフッソ含有潤滑剤層の２層の保護膜を持つ従来の金属
薄膜型磁気テープよりもスチル耐久性が著しく向上する
。

さらに　磁気ディスクとしても同様に　このダイヤモン
ド状炭素膜とカーボン保護膜とフッ素含有潤滑剤層の３
層保護膜と突起の組み合わせで構成された金属薄膜型磁
気ディスク（戴　２層構造の従来のディスクよりもＣ８
Ｓ特性が著しく向上すも 実施例 以下、本発明の一実施例における磁気記録媒体を第１図
に基づいて説明すも 基板７の上面へ　微小粒子層６を設けこの上に強磁性金
属薄Ｍ５を形成し　この強磁性金属薄膜５上にダイヤモ
ンド状炭素膜３を形成後この上へカーボン保護膜２とフ
ッソ含有潤滑剤層１をこの順に設けも 基板７に＆上　接触式の表面粗度計で例えばＩＯＡ程度
のオプティカルフラットなポリエチレンテレフタレート
（以後ＰＥＴと略す）、ポリイミド。

ポリアミド等の可撓性のある有機高分子フィルム及びア
ルミニウム等の非磁性金属板　ガラス等の剛性を有する
板状の材料が磁気記録媒体の形態に応じて使用される。

基板７上に設けた微小粒子層６（よ　微小粒子を分散し
た塗液を塗布することにより作製できも微小粒子とは１
００〜５００八程度の粒径を有すム　例えば二酸化珪素
（ＳｉＯ２）、　　硫酸バリウム（ＢａＳＯ４）、酸化
チタン（Ｔ　ｉ　Ｏ）、　　酸化アルミニウム（Ａ　Ｉ
　＊Ｏｓ）等を有機溶媒中に微粒子として懸濁したもの
等を適用できも　微粒子の粒径が１００Ａ未満であると
小さすぎるため現在の技術では信頼性に欠（す、また５
００Ａを越えると微小粒子層６上に形成する強磁性金属
薄Ｉ！５の特徴である高出力特性が損なわれる傾向にあ
も　また粒径が均一な方が本発明には適していることは
勿論であも基板７上の微小粒子層６の微粒子密度は１０
４〜１０１個／ｍｍ”の範囲が好まじりち　密度が１０
４個／ｍｍ”未満で（上　粒子１点当りの面圧が高くな
りすぎ磁気記録媒体に加わる剪断応力が高くなり、磁気
記録媒体を破壊する傾向が強くなも　また密度が１０８
個／　ｍｍ”を越えると、粒子１個１個分離して形成で
きる確率が減り粒子間の接触が多くなるたべ　突起が大
きくなり面圧が高くなると同時に　金属磁性薄膜とヘッ
ドとのギャップが増し出力特性が劣る傾向になん 微小粒子層６を塗布する際に用いる結着材として＆上　
基板７と微粒子とに接着性がある材料が適応され　例え
ばポリエステル系　ポリウレタン系ポリ　（塩化ビニル
・酢酸ビニル）系等が供されもこの中でもポリエステル
系が接着性とガラス転移温度（Ｔｇ）の点で好ましＬｓ
　　Ｍｔｒ材中の微粒子の含有量（上　用いる微粒子の
粒径及び塗布後の密度等に応じて決定されも　また結着
材及び微粒子と溶媒との量（よ　塗布法により最適濃度
が決定されも　なお塗布法としては通常のグラビアコー
タ。

ナイフコータ、　ブレードコータ等が適応できもなお磁
気記録媒体の形態がテープの場合には必要に応じて基板
７の粒子塗布面の反対面にバックコート層を形成しても
よ鶏 微小粒子層６上に設ける強磁性金属薄膜５の材料として
４友　Ｃｏ−Ｎｉ、　　Ｃｏ−○、Ｃｏ−Ｃｒ。

Ｃｏ−Ｐｔ−Ｂ等強磁性を有する金属合金が一般的に供
されも 強磁性金属薄膜５ζよ　真空蒸着法などの通常の手法で
形成され　また膜厚は各製品企画に応じて５００〜２０
００　Ａ程度形成されも 強磁性金属薄膜５上に形成されるダイヤモンド状炭素膜
３（上　炭化水素を熱分解し　例えばケミカル　ベイバ
ー　デボジッション（ＣＶＤ）法やイオンビームスパッ
タ法等で形成されもダイヤモンド状炭素膜３番よ　ビッ
カース硬度が２５００程度と高く、物理的にζよ　ラマ
ン分析で１３３３ｃｍ−’付近のダイヤモンド構造に基
づくピークが観察されも　この硬さを利用してダイヤモ
ンド状炭素膜を下層の強磁性金属薄膜の保護膜として使
用し　ダイヤモンド状炭素膜３の破損防止（よ　磁気記
録媒体の耐久性を向上させる上で大変重要であも ダイヤモンド状炭素膜３の膜厚（ヨ８０〜１６０Ａの範
囲が適当であり、８０Ａ未満の場合には強磁性金属薄膜
５が破壊され易くなる傾向が現れ　また１６ＯＡを越え
ると強磁性金属薄ＷＩ５とのギャップが大きくなるたべ
　ヘッドの読み取りもしくは書き込みの応答性が劣る所
謂スペーシングロスを引き起こす。

次にカーボン保護Ｍ２は強磁性金属薄膜５を保護すると
同時に　カーボン保護膜２自体が摩耗するため摩擦係数
を下げる役割を有すん　即ちカーボン保護膜２はダイヤ
モンド状炭素膜３と異なりビッカース硬度が低く、かつ
ラマン分析では１５５０ｃｍ−’付近のグラファイト構
造しか持っていなｕｌこのカーボン保護膜２の形状は薄
状あるいは粒状のどちらでも良い戟　どちらかといえば
粒状の方がその効果が増も　これＣヨ　　カーボン保護
膜自体でも突起を有する方力交　ヘッドと磁気記録媒体
との接触面積を低下させて摺動時の摩擦力が低下するた
めであム カーボン保護膜２の材料としてζよ　市販されている炭
素極　炭素粉末　グラファイトもしくは炭化水素等が原
料として適応でき、また形成法として（よ　蒸着法やス
パッタ法等通常の手法が適応できも またカーボン保護膜２の膜厚は２０〜５０Ａの範囲が好
ましく、２０Ａ未満ではカーボン保護膜２としての機能
が発揮し難く、ダイヤモンド状炭素膜３や強磁性金属薄
膜５を破壊し易い傾向が現し５０Ａを越えるとスペーシ
ングロスを引き起こす原因となん さらに最上層に設けたフッ素含有潤滑剤層ＩＣヨヘッド
と直接接し　カーボン保護膜の潤滑性を補助する役目を
果たれ　即ちフッ素含有潤滑剤の潤滑性により磁気記録
媒体自体の摩擦力を低下すると同時に　磁気記録媒体上
のフッ素含有潤滑剤の一部がヘッドに付着しヘッド自体
の摩擦力も低下させると想定される。

つまり、テンションの低い８　ｍｍＶ　Ｔ　Ｒや低テン
シタンのＣ８Ｓでは　ダイヤモンド状炭素膜と潤滑剤の
高硬度膜と摩擦低下剤が一層だけの媒体で十分である爪
　高テンションの１層２インチＶＴＲや高速のＣ８Ｓ試
験ではダイヤモンド状炭素膜が破損しやすいの玄　さら
に摩擦低下効果を上げるためダイヤモンド状炭素膜の上
へカーボン保護膜と潤滑剤層とを設けて、この２層によ
゛リスチル耐久性とＣ８Ｓ特性等を向上させも このフッ素含有潤滑剤層１のフッ素含有潤滑剤（友　分
子内にフッ素を含有し潤滑性のある材料であれば適応で
き、例えばフルオロアルキルもしくはパーフルオロアル
キルのカルボン酸　エステルアルコール及びアミン等が
挙げられる力交　その中でもカルボン酸もしくはエステ
ルが塗布性及びヘッド吸着性の観点で好ましＬｌ またフッ素含有潤滑剤層１は　溶媒と混合し塗布・乾燥
する方法或いは真空蒸着法などの周知のコーティング法
により形成できも 第２図に本発明の磁気記録媒体の別の実施例の概念断面
図を示も 基板７上に微粒子層６を設（す、その上に強磁性金属薄
膜５が形成されている。強磁性金属薄膜５の上にはプラ
ズマ重合膜４が形成され　プラズマ重合膜４の上に第１
図と同様のダイヤモンド状炭素膜３、カーボン保護膜２
及びフッ素含有潤滑剤層１が設けられていも プラズマ重合膜４　Ｅ　　ダイヤモンド状薄膜３形成時
に強磁性金属薄膜５の表面の酸化劣化を防ぐ機能を有し
　強磁性金属薄膜５の特性が引き出されるため好ましＬ
ｌ プラズマ重合膜４の材料として（上　シクロヘキサン又
はイソオクタン等の環状あるいは直鎖状の炭化水素　パ
ーフルオロシクロブタン等のフッ素含有炭化水素又はシ
ランガス等をプラズマ重合し成膜した膜である力ｔ　強
磁性金属薄膜５との密着性及び破壊防止の点で炭化水素
もしくはフッ素含有炭化水素等炭化水素を含有した材料
が好ましく１プラズマ重合膜４の膜厚ば　５〜２０Ａの
範囲が好ましく、５八未満であれば強磁性金属薄膜５の
酸化防止の効果が薄くなる傾向にあり、また２０Ａを越
えると密着強度が劣りスペーシングロスを引き起こす傾
向が現れも 以下具体的実施例を挙げて、本発明を更に詳細に説明す
る。

実施例１ 本発明の磁気記録媒体を製造する方法および比較試験結
果を、１７２インチビデオ用金属薄膜型テープと磁気デ
ィスクについて詳述すも 第１図に示したように　磁気テープには異常に大きな突
起のなｌ、Ｌ　　表面粗さのコントロールされた５００
ｍｍ幅のポリエチレンテレフタレート基板７の上面へ　
また磁気ディスクには厚み３ｍｍの鏡面仕上げされたガ
ラス板の上面へ　平均粒子径が９０．　１００、　５０
０．　６００Ａの各微小粒子を、それらの粒子の数が１
　ｍｍ”当り９Ｘ　１０４、　　１０４、　　１０８、
　　１．５Ｘ　１０８個になるようにブレードコーティ
ング法により微小粒子層６を各々形威しｔ４ この面へ真空蒸着法により酸素を導入しながらＣｏ（８
０）〜Ｎ１（２０）の強磁性金属薄膜５を磁気テープで
は１６００Ａ、　　磁気ディスクでは５００Ａ形成した
抵磁気テープの場合はバックコート層をグラビアコーテ
ィング法により０．５μｍの厚みで形威しｔもこの強磁
性金属薄Ｍ５上にＣＨａ／Ａｒの混合ガスを０、２５Ｔ
ｏｒｒの真空度で、ＤＣ電圧を８００ボルト印加して（
電極をプラスとする）プラズマＣＶＤ法によリダイヤモ
ンド状炭素膜３を７０．　８０〜１６０．　１７０Ａの
厚さで各々形成し九 さらにこの上へメタンガスを原料として電圧を３００ボ
ルトから４００ボルトにコントロールしてカーボン保護
膜２を成膜するか又Ｃヨ　　グラファイトをスパッタす
ることによりダイヤモンド状炭素膜３の上へ粒状のカー
ボン保護膜２を形成した　その厚みは１０．　２０〜５
０．　６０Ａ形成しｔう更に　リバースロールコータに
よりカーボン保護膜２の上に Ｃ＋ｙＦ−ｓ−Ｃ−ＣＯＯＨの含フツ素カルボン酸Ｃ１
・Ｈ２１ を固形分で２．５ｘ　１０−’ｇ／　ｔｎ”設けてフ・
ソ素含有潤滑剤層１を形成した その後磁気テープの場合にＣヨ　　スリ・ツタ−により
１／２インチ幅に裁断すも このようにして作成した１７２インチ用金属薄膜型テー
プを放送用１７２インチＶＴＲ（ＭＩＩＶＴＲ）により
評価し九 な耘　磁気ディスクの場合は基板７がガラスとなり、微
粒子層６の形成　強磁性金属薄膜５の形成　ダイヤモン
ド状炭素膜３の形成　カーボン保護膜２の形成及びフッ
素含有潤滑剤層１の形成の連続武威膜装置がバッチ式の
成膜装置となるが、その他は基本的には同様の材料で突
起と各種保護膜を構威しあ　またこの場合バックコート
層は不要であも な叙　磁気テープのスチル耐久性＋ｉ　　ＭＩＩＶＴＲ
の実機テンションにより、気温２３°Ｃ，湿度１０％と
気温５ａ　湿度８０％の２種類の特殊環境で行なＬ＼　
画質が劣化した時をスチルライフとしたまた磁気ディス
クのＣ８Ｓ特性ＣＬ　　ディスクにキズが発生するまで
のバス回数で表示し　測定環境は上記２種類の特殊環境
とした　装置はＣ３Ｓ試験機を用いた また比較のために　強磁性金属薄膜５より上の保護膜構
成を変えたサンプルを同様に試作し　評価しｔも その結果のべ　微粒子の粒径が１０　ＯＡ、　　密度が
１０′個／ｍｍ”でカーボン保護膜２にグラファイトを
用いた場合の磁気テープを第１表に　磁気ディスクを第
２表に示す。

第１表 第２表 第１表および第２表の結果をまとめると、ＭＩＩＶＴＲ
でも磁気ディスクでＬ　微小粒子層６中の微粒子の粒径
が１００Ａで密度を１０４個／ｍがの場合に（よ　カー
ボン保護膜２の厚みが２０〜５０Ａ１　　ダイヤモンド
状炭素膜３の厚みが８０〜１６０Ａの場合（条件Ｎｏ２
〜４、条件Ｎｏ６〜８及び条件Ｎｏ１Ｏと１１）に（戴
　これら３層の保護膜を組み合わせることにより、スチ
ル耐久性やＣ８Ｓ特性の各環境下での信頼性が著しく向
上していも なおり−ボン保護膜２の厚みを１０Ａ（条件Ｎ。

ｌ〉にすると、カーボンの潤滑性の効果が薄れるため信
頼性に欠ける傾向があも またカーボン保護［２の厚みを６０Ａ　（条件Ｎ。

１２）にすると、信頼性は向上する力支　出来上がった
磁気記録媒体の記録再生時のＳ／Ｎを調べた結電　カー
ボン保護膜が無い場合（即ち条件Ｎ。

１３及び１４）や膜厚が薄い場合（即ち条件Ｎ。

１〜８、　ｌＯｌ　１１及び１５）に比べ　読み取り及
び書き込みと言った磁気記録媒体自体に必要な特性が損
なわれてくる傾向がありｔも −Ｘ　ダイヤモンド状炭素膜単独による従来の構成（条
件Ｎｏ１３もしくは１４）では　スチル耐久性は両環境
下では同程度でＣ８Ｓ特性では若干低湿側で良好であっ
た力交　これは硬度が高いダイヤモンド状炭素膜により
ある程度保護された効果が現れているものＱ　本発明の
構成ではスチル耐久性では少なくとも倍以上　またＣ３
Ｓ特性では桁違いの信頼性が得られていも またカーボン保護膜単独による従来の構成（条件Ｎｏ１
５もしくは１６）では低湿側に弱点があった力ｔ　これ
は低湿側では水を介在した潤滑性が損なわれるためと考
えられ　しかもこれらは例え高湿側で使用しても本発明
の構成の半分以下から一桁少ない信頼性上の値しか得ら
れていな（１このように本発明の磁気記録媒体で（上　
常温低湿下でも低温高湿下でも優れた信頼性が得られし
かも記録再生時のＳ／Ｎも従来の磁気記録媒体（条件Ｎ
ｏ１３〜１６）に比べ少なくとも遜色はなかっｔも なお微粒子層６の微粒子の粒径及び密度に付いても同様
に実験を行った力ｔ　粒径が１００〜５００Ａの範囲及
び密度が１０４〜ｌＯ・個／ｍｍ″の範囲で（′！Ｓ　
数値のバラツキはあったものの基本的には第１表及び第
２表と同様の傾向を示した しかし粒径が９０ん　６００Ａ、　　もしくは密度が９
×ｔｏ’個／ｍｍ”、　　１．５Ｘ　１０＠個／ｍｍ２
の４ケースで（上　何れも何等かの点で劣っｔも 即ち密度が１０４個／ｍｍ２で粒径が９ＯＡの場合にζ
友磁気テープ及び磁気ディスク共に摩擦係数が上昇する
ことによって信頼性が低下した　これは接触面積が増す
ためと考えられも　例えば第１表の条件Ｎｏ８と同じ条
件で仮　低湿側のスチルが２０分、５℃８０％のスチル
は２２分であった また同一密度で粒径が６００Ａの場合には　摩擦係数が
低下するため信頼性自体は向上した力支　出力の低下が
大きく強磁性金属薄膜を用いた特色がなくなってしまっ
ｔも 粒径が１００Ａで密度が９Ｘ　１０４個／ｍｍ”の場合
にＣよ例えば第１表の条件Ｎｏ８と同じ条件での低湿側
のスチルは１５分、５℃８０％のスチルは２０分であり
、突起１点当りの剪断応力が大きくなるため信頼性が低
下しｔ４ さらに同一粒径で密度が１．５Ｘ１０４個／ｍがの場合
に？＆　　例えば第１表の条件Ｎｏ８と同じ条件での低
湿側のスチルは１０分、５℃８０％のスチルは１５分で
あり、やはり信頼性は低下し九　これは粒子１個１個が
分離し難くなり、大きい粒子群を形成し結果的に突起１
点当りの剪断応力が増すためと想定されも またカーボン保護膜２が炭素膜状に底膜した場合に付い
ても同様に実験を行った力ｔ　結果は何れも第１表及び
第２表より若干の劣りはあったが、従来構成よりははる
かに優れていた 即ち本発明の磁気記録媒体の範囲に置ける磁気テープの
結果だけを列挙すると、条件Ｎｏ２〜４の２３℃１０％
では各々８．　１０．　１５であり、また５℃８０％で
は各々１０．　１５．　１５であった　条件Ｎｏ６〜８
の結果は前者の環境では８．　１０．　２０であり、後
者の環境では＆　　１０．　２５であり、条件Ｎ０１０
及び１１の結果は前者の環境では１５．　２０であり、
後者の環境では１７．　２１であった　磁気ディスクの
結果も同様に第２表よりは劣っていた これらの結果が第１表もしくは第２表より劣っているの
（友　カーボン保護膜２の形態の相違によると考えられ
も 実施例２ 第２図に示したように　強磁性金属薄膜５の上に　真空
度０．１Ｔｏｒｒで１５　ＫＨｚの周波数で、パーフル
オロシクロブタンを原料として厚み３．　５．　１０．
　２０゜２５Ａ形戒したプラズマ重合膜４以外は　全て
実施例１と同様にして磁気記録媒体を作製し　実施例１
と同じ特殊環境下で同じ評価を行っｔラ　　なお比較の
た取　条件Ｎｏ１３〜１６のサンプルは　プラズマ重合
Ｍ４より上の保護膜構成を変えて作製し　同様に評価し
た その結果の四　微粒子の粒径が１００　Ａ、　　密度が
１０４個／ｍが℃　プラズマ重合膜４の膜厚を１ＯＡに
しカーボン保護膜２にグラファイトを用いた場合の磁気
テープを第３表紙　磁気ディスクを第４表に示も 第３表 第４表 第３表および第４表の結果をまとめると、基本的には実
施例１と同様ｉ、、ＭＩＩＶＴＲでも磁気ディスクでＬ
　微小粒子層６中の微粒子の粒径が１００Ａで密度を１
０′個／ｍｍ”でプラズマ重合膜４の厚みが１ＯＡの場
合に（よ　カーボン保護膜２の厚みが２０〜５０Ａ、　
　ダイヤモンド状炭素膜３の厚みが８０〜１６０Ａの場
合（条件Ｎｏ２〜４、条件Ｎｏ６〜８、条件Ｎｏ１Ｏ及
び１１）、これら３層の保護膜を組み合わせることによ
り、スチル耐久性とＣ８Ｓ特性との各環境下での信頼性
が著しく向上していもなおり−ボン保護膜２の厚みを１
ＯＡ（条件Ｎ。

１）にすると、カーボンの潤滑性の効果が薄れるため信
頼性に欠ける傾向があも またカーボン保護膜２の厚みを６ＯＡ　（条件Ｎ。

１２）にすると、信頼性は向上する戟　出来上がった磁
気記録媒体の記録再生時のＳ／Ｎを調べた結電　カーボ
ン保護膜が無い場合（即ち条件Ｎ。

１３及び１４）や膜厚が薄い場合（即ち条件Ｎ。

１〜８、１０、１１及び１５）に比べ　読み取り及び書
き込みと言った磁気記録媒体自体に必要な特性が損なわ
れてくる傾向があった 一Ｘ　　カーボン保護膜２もしくはダイヤモンド状炭素
膜３単独による従来の構＃？、（条件Ｎｏ１３〜１６）
の結果（よ　実施例１と同様に本発明の構成に比べ少な
くとも半分以下の信頼性しか得られていなく、これは実
施例１で述べたのと同じ原因が想定されも このように本発明の磁気記録媒体で（よ　常温低湿下で
も低温高湿下でも優れた信頼性が得られしかも記録再生
時のＳ／Ｎも従来の磁気記録媒体（条件Ｎ０１３〜１６
）に比べ少なくとも遜色はなかっｔら なお微粒子層６の微粒子の粒径及び密度に付いても同様
に実験を行った力交　粒径が１００〜５００Ａの範囲及
び密度が１０４〜１０８個／ｍｍ２の範囲で（上　数値
のバラツキはあったものの基本的には第３表及び第４表
と同様の傾向を示しｔう しかし粒径が９０ん　６００Ａもしくは密度が９×１０
１個／ｍｍ”、　　１．５Ｘ　１０８個／ｍｍ”の４ケ
ーステ（ヨ　　何れも何等かの点で劣っｔ４ 即ち密度が１０４個／ｍｍ”で粒径が９ＯＡの場合に４
１例えば第３表の条件Ｎｏ８と同じ条件でも低湿側のス
チルは７０分、５℃８０％のスチルは６０分であり、信
頼性の低下が見受けられｔも また同一密度で粒径が６０ＯＡの場合にＥ　　摩擦係数
が低下するため信頼性自体は向上した力支　出力の低下
が大きく強磁性金属薄膜を用いる特徴がなくなり実用上
問題があつｆ。

粒径が１００Ａで密度が９Ｘ　１０８個／ｍｍ”の場合
に（よ例えば第３表の条件Ｎｏ８と同じ条件でも低湿側
のスチルは６０分、５℃８０％のスチルは５０分であり
、信頼性の低下が見受けられた さらに同一粒径で密度が１．５Ｘ１０８個／ｍｍ”の場
合にＧｅｔ、、　　例えば第３表の条件Ｎｏ８と同じ条
件でも低湿側のスチルは５０分、５℃８０％のスチルは
５０分であり、信頼性の低下が見受けられた これらの特性の低下の原因（よ　実施例１中で述べたの
と同じ点であると想定できる。

またカーボン保護膜２が炭素膜状に底膜した場合に付い
ても同様に実験を行ったが、　結果は何れも第３表及び
第４表より若干の劣りはあった力交従来構成よりははる
かに優れていた 即ち本発明の磁気記録媒体の範囲に置ける磁気テープの
結果だけを列挙すると、条件Ｎｏ２〜４の２３℃１０％
では各々４０．　５０．　６０であり、また５℃８０％
では各々３０．　４０．　５０であッｆ”−０条件Ｎｏ
６〜８の結果は前者の環境では５０，６α　６０であり
、後者の環境では６０．　６０．　７０であり、条件Ｎ
ｏ１Ｏ及び１１の結果は前者の環境では５０．　６０で
あり、後者の環境では８０．　７０であっｆ、　　磁気
ディスクの結果も同様に第２表よりは劣ってい１゜ これらの結果が第３表もしくは第４表より劣っているの
（よ　実施例１と同様カーボン保護膜２の形態の相違に
よると考えられも さらに前述した磁気特性の結果に付いて実施例１と実施
例２とを比較すると、実施例２の方がプラズマ重合膜４
によるスペーシングロスが存在するにも関わらず優れて
いた力支　これはプラズマ重合膜４による強磁性金属薄
膜５表面の酸化劣化を防御する効果０光めと考えられも またプラズマ重合膜４の膜厚ｉ；＆５Ａ未満（即ち３Ａ
）では磁気特性が実施例１と殆ど差はなく、２０Ａを越
えた場合（即ち２５Ａ）では磁気特性が損なわれＳ／Ｎ
が低下しｔら 従ってプラズマ重合膜４の膜厚ば　５〜２０Ａの範囲が
適当であると言えも な抵　フッ素含有潤滑剤層ｌの塗工量を、１．０×１０
１〜４ｘ　ＩＱ−”ｇ／　ｍ”で変化させた力ｔ　少な
くともこの範囲では何れも良好であった力丈　これより
多いとフッ素含有潤滑剤層１のフッ素含有潤滑剤がヘッ
ドと磁気記録媒体との界面で粘着するため走行不良を引
き起こし　フッ素含有潤滑剤層１の塗工を全く行わなか
った場合にＣ戴　　条件Ｎｏ１３もしくは１４とほぼ同
様の結果しか得られなかつ？Ｑ）発明の効果 本発明によれζＬ　金属薄膜型磁気テープのスチル耐久
性および金属薄膜型磁気ディスクのＣ３Ｓ特性を飛躍的
に向上させ、高出力と高信頼性とのバランスがとれた磁
気記録媒体を提供することができも

【図面の簡単な説明】

第１図及び第２図は本発明の実施例における磁気記録媒
体の概略的な断面図であも １・・・フッソ含有潤滑剤凰　２・・・カーボン保護風
３・・・ダイヤモンド状炭素［５・・・強磁性金属薄焦
６・・・微小粒子Ｗｉ、７・・・基檻

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）粒径が１００Ａ〜５００Ａの粒子を１０＾４〜１
   ０＾８個／ｍｍ＾２の密度で設けた非磁性基板上に形成
   された強磁性金属薄膜と、前記強磁性金属薄膜上に形成
   されたダイヤモンド状炭素膜、前記ダイヤモンド状炭素
   膜上に形成されたカーボン保護膜さらにフッ素含有潤滑
   剤層を有することを特徴とする磁気記録媒体。 （２）カーボン保護膜が粒状体であることを特徴とする
   請求項１に記載の磁気記録媒体。（３）カーボン保護膜
   の厚さが２０Ａ〜５０Ａであることを特徴とする請求項
   １もしくは２のいずれかに記載の磁気記録媒体。 （４）ダイヤモンド状炭素膜の厚さが８０Ａ〜１６０Ａ
   であることを特徴とする請求項１に記載の磁気記録媒体
   。 （５）強磁性金属薄膜とダイヤモンド状炭素膜との間に
   、プラズマ重合膜を設けたことを特徴とする請求項１記
   載の磁気記録媒体。 （６）プラズマ重合膜が、炭化水素またはフッ素含有炭
   化水素のプラズマ重合膜であることを特徴とする請求項
   ５に記載の磁気記録媒体。 （７）プラズマ重合膜の厚さが５Ａ〜２０Ａであること
   を特徴とする請求項５に記載の磁気記録媒体。