JPH0152816B2 - - Google Patents
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Classifications
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B5/62—Record carriers characterised by the selection of the material
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- G11B5/66—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers
- G11B5/672—Record carriers characterised by the selection of the material comprising only the magnetic material without bonding agent the record carriers consisting of several layers having different compositions in a plurality of magnetic layers, e.g. layer compositions having differing elemental components or differing proportions of elements
Description
本発明は垂直磁気記録媒体に関するものであ
り、詳しくは高密度記録時の再生出力の大きな媒
体を提供するものである。 従来の長手(面内)磁化を用いる磁気記録方式
にかわり、近年原理的に高密度記録の可能な方式
として垂直磁化を用いる磁気記録方式が提案され
ている。(「日経エレクトロニクス」1978年8月7
日号、No.192参照)そして、この垂直磁化方式の
磁性膜としては、スパツタで作製されるhcp構造
でC軸が支持体表面の法線に配向した厚さ0.2〜
20μのCo−Cr合金膜が優れていることが知られて
いる。(電子通信学会研究会MR78−4参照)ま
た、記録感度と再生出力を増大さす方法として、
支持体有機高分子フイルムとCo−Cr垂直磁化膜
との間に軟磁性体層を設けることも既知である。
(「サイエンス」1980年1月号参照)そして、この
ような磁性合金膜の記録層を有する薄膜型の垂直
磁気記録媒体と垂直方向の磁界を発生する垂直ヘ
ツドとの組合せによる記録密度特性を見ると、主
磁極の厚み損失後に第2、第3の出力ピークを有
し、このようなピークを利用することにより高密
度記録再生が可能となる。(電子通信学会研究会
MR−80−4参照) しかしながら、本方式を実用化するには高密度
記録時の再生出力が高い安価な記録媒体が必要で
あり、その出現が望まれている。 本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、廉
価で高性能な垂直磁気記録媒体を提供することを
目的としたものである。すなわち本発明は支持基
板を非磁性支持体とした薄膜型の垂直磁気記録媒
体において、前記非磁性支持体がポリエチレンテ
レフタレート又はポリエチレンナフタレートから
なると共に、その垂直磁気記録層を設ける側の表
面の表面粗さ(CLA)が0.01μm以下で且つ該表
面の最大突起高さ(PV)が0.1μm以下であるこ
とを特徴とし、更に好ましくは垂直記録媒体の反
り(単位:%)が|Kp|30%である垂直磁気
記録媒体である。 以下本発明の詳細を説明する。まず本発明に到
る経過を説明する。前述の通り高密度記録時の再
生出力を十分に高める必要があるが、検討の結果
安価なポリエステルフイルムを支持体として用い
たのでは、フイルムの表面粗さの為に媒体とヘツ
ドとのスペーシングクロスの為に再生出力が大巾
に低下することが判明した。 そして鋭意検討の結果安価なポリエチレンテレ
フタレート又はポリエチレンナフタレートのフイ
ルムを支持体としても表面粗さ及び表面の最大突
起高さを一定のレベル以下とし、更に好ましくは
媒体の反りを一定のレベル以下とすることにより
前記の目的を達成できることを見出し、本発明に
到つたのである。 一方、フイルムの巻取り・巻出しといつたハン
ドリングの観点からはフイルムの表面が平滑であ
るとフイルム−フイルム相互の滑り性がわるくブ
ロツキング現象が発生し製品にはなり得ず、フイ
ルムの表面が適度に粗であることが要求される。
これらの観点より、両者の二律相反する要求を同
時に満足する支持体フイルムについても鋭意研究
した結果裏面に滑剤を塗布することにより解決で
きることを見出した。 ところで、本発明では、非磁性支持体をポリエ
チレンテレフタレート又はポリエチレンナフタレ
ートのフイルムとなしているが、より好ましくは
ポリエチレンテレフタレートフイルムを用いる方
がコストを低減できるのでよい。又ここにいうポ
リエチレンテレフタレート又はポリエチレンナフ
タレートは、ホモポリマーのみならず、繰り返し
単位の数の85%以上がそれぞれエチレンテレフタ
レート又はエチレンナフタレート単位よりなり、
残りが他の成分であるような共重合ポリマーを含
む。 該フイルムの表面Aの表面粗さを調整するに
は、例えばフイルム原料に用いる高分子中に不活
性無機化合物を添加したり、不溶性触媒残渣を生
成せしめたりする等の方法がある。 不活性無機化合物とは、熱可塑性樹脂に対し不
溶性であり、かつ反応しない物質が含まれる。配
合される物質として、例えばMgO,ZnO,
MgCO3,CaCO3,CaSO4,BaSO4,Al2O3,
SiO2,TiO2,例えば代表例としてシリカ、カオ
リン、陶土、珪藻土、炭酸カルシウム、アルミノ
珪酸塩およびその水和物、テレフタール酸カルシ
ウム、その他カーボンブラツク、燐酸カルシウム
等が挙げられる。 所望とする表面特性は、添加する不活性化合物
の粒度、添加量、製膜条件を適宜組合せることで
得ることができる。粒度は、添加剤の粉砕および
混合操作を含むこの分野に精通した人々により行
うことのできる種々の方法で得ることができる。
例えば炭酸カルシウムの場合は、エチレングリコ
ールのスラリーとして、分級装置(例えば巴工業
社製P−660スーパーデカンター)等を用いて分
級すると得られる。テレフタール酸カルシウムの
場合は、せん断、圧縮、衝撃等の荷重を加えるこ
とにより適当な大きさの塊状粒子を得、分級する
ことによつて得られる。燐酸カルシウムの場合
は、市販の燐酸塩の分散液を調製し、サンド・ミ
ル中で分散燐酸塩を粉砕する。分散液は粉砕操作
を一回、又はそれ以上の回数反復してスラリー中
の添加剤の粒度を所望の粒度まで下げることによ
り得ることができる。 不活性無機化合物の添加量は、粒径分布に依存
し、一義的に決められないが、通常0.01〜1wt%
が良い。 不溶性触媒残渣は、例えばポリエステルにおい
てエステル交換触媒と安定剤との適当量の組合せ
によつて不溶性触媒残渣を形成し、ポリエステル
フイルム表面に凹凸を形成し、表面特性を制御す
るものである。 以上述べた方法により、きわめて表面の平滑な
ものから適当に粗れた表面を有するものまで設計
することができるが、表面が非常に平滑なフイル
ムはフイルム−フイルム相互の滑り性が悪く、ブ
ロツキング現象が発生し、製品にはなり得ず、滑
り性を付与する必要がある。表面Bに滑り性を付
与するには、水又は溶剤に滑剤を分散せしめた溶
液を塗布して行なわれる。溶液を塗布して、滑り
性を付与する方法は、従来公知のすべての方法が
用いられる。例えば(滑剤+高分子系バインダー
+界面活性剤)の水系或いは溶剤系溶液をフイル
ム製膜時に塗布する等の方法が用いられる。 滑剤としてソルビタン等の有機滑剤、テフロ
ン、ポリエチレン等の有機高分子滑剤;アルミ
ナ、カオリン、シリカ、硫化モリブデン等の無機
滑剤が挙げられる。 高分子系バインダーとして共重合ポリエチレン
テレフタレート、ポリウレタン、ナイロン、メラ
ミン等が挙げられる。 (滑剤+高分子系バインダー+界面活性剤)を
水又は溶剤に分散したフイルム製膜時或いはフイ
ルム製膜後塗布、乾燥して滑り性を付与すること
ができる。この時勿論紫外線吸収剤、帯電防止剤
等を添加することは差しつかえない。 以下、不活性無機化合物の粒径構成比、その測
定法及びフイルム表面物性の測定法を示す。 1 不活性物質の粒径構成比 島津遠心沈降式粒度分布測定装置CP−50を
用いてストークス(Stokes)の式 〔T=18ηh/G(ρP−ρo)×d2 但し、式中T:沈降時間(sec) η:媒質の粘度(g/cm・sec=
poise) h:沈降距離(cm) G:重力の加速度(980cm/sec2) ρP:不活性物質の密度(g/cm2) ρO:媒体の密度(g/cm2) d:不活性物質の粒径(直径・
cm)〕 を用いて夫々の粒径に相当する沈降時間を算出
し、夫々の粒径の範囲に相当する沈降時間範囲
を求め、その沈降時間範囲内での不活性物質の
重量を求めて全不活性物質重量に対する割合を
%で表わし構成比とする。 2 CLA〔センター・ライン・アベレツジ
(Center Line Average・中心線平均粗さ)〕
JIS B0601に準じ、東京精密社(株)製の触針式表
面粗さ計(SURFCOM 3B)を使用して、針
の半径2μm、荷重0.07gの条件下にチヤートを
かかせ、フイルム表面粗さ曲線からその中心線
の方向に測定長さLの部分を抜き取り、この抜
き取り部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY
軸として、粗さ曲線をY=(x)で表わした
時、次の式で与えられた値をμm単位で表わ
す。 CLA=1/L0∫L|(x)|dx この測定は基準長を20mmとして8個測定し、
値の大きい方から3個除いた5個の平均値で表
わす。 3 PV値 上記、CLAの測定と同じく、SURFCOM
3Bを使用し、針の半径2μ、荷重0.07gの条件
下に、フイルム基準長2.6mmについて、基準長
方向を50倍、表面粗さ方向を5万倍に拡大し、
チヤートにかかせ、一番高い山と一番低い山と
の間隔を縦倍率で割つた値をミクロン単位で表
わし、10回の測定の平均値で表わす。 以上の支持体フイルム上に、通常は約0.2〜
1.5μmのNi−Fe合金膜(軟磁性体層)、さらに0.2
〜1.5μmのCo−Cr合金膜(垂直磁化層)を設け
垂直磁気記録媒体とする。また必要があれば、
Co−Cr合金膜上に耐摩耗性、耐食性を付与する
目的で適当な保護層を設けてもよい。以上の金属
膜を設ける手段は通常PVD法と呼ばれる方法、
とりわけ蒸着法とスパツタ法が用いられる。スパ
ツタ法にはRFスパツタ法、RF又はDCマグネト
ロンスパツタ法、対向ターゲツトスパツタ法
(1981年インターマグコンフアレンス、
SESSION32−3参照)等がある。 作製した磁気記録媒体のカツピングすなわち反
りKPを以下の様にして測定した。第1図に示す
ように、作製した媒体から長さl0mmの正方形のサ
ンプル2を切り抜き、カールした凸面を下にして
水平なスライドガラス1上にのせ4隅のスライド
ガラス面よりの高さh1,h2,h3,h4(単位:mm)
を測定した。そして、以下の式により反りKP(単
位・%)を算出した。 KP=(h1+h2+h3+h4)÷4/l0×100 なお、l0は通常10mmとした。また、上記測定に
おいて、金属膜を下にして測定した場合の反り
KPをプラスとし、逆をマイナスとした。 以下に、実施例を述べる。 実施例に用いた支持体フイルムは以下の様に作
製した。すなわち、ジメチルテレフタレート100
部(部は重量部を示す。以下同じ)及びエチレン
グリコール70部に触媒として酢酸亜鉛0.023部
(0.020モル%対ジメチルテレフタレート)を加
え、150℃〜240℃で4時間メタノールを留去しつ
つエステル交換反応を行い、次いで安定剤(燐化
合物のグリコール溶液)を一旦常温まで冷却後、
トリメチルホスフエート換算で0.014部添加する。
次に重縮合触媒として0.04部の三酸化アンチモン
を添加し、さらに次頁の第1表に記載した粒径及
び構成比を有する所定の不活性物質を所定量添加
して、1mmHg以下の高真空で4時間重縮合反応
を行い〔η〕=0.65(o−クロロフエノール溶媒、
25℃測定)のポリエチレンテレフタレートを得
た。該ポリマーを290℃で溶融押出し、40℃に保
持したキヤステイングドラム上に急冷固化せしめ
て厚さ210μmの未延伸フイルムを作成し、縦方
向に90℃で3.5倍、横方向に100℃で4.0倍逐次延
伸を行い、更に205℃で30秒間熱固定を行い厚さ
15μmのフイルムを作製した。 なお、第1表の試料No.1,2,7,8は、2軸
延伸後、熱固定前に次の組成の塗液をフイルム表
面Bに塗布した。 塗液の組成:変性ポリシロキサン 45部 MoS2 5部 アミノシラン 40部 界面活性剤 10部
り、詳しくは高密度記録時の再生出力の大きな媒
体を提供するものである。 従来の長手(面内)磁化を用いる磁気記録方式
にかわり、近年原理的に高密度記録の可能な方式
として垂直磁化を用いる磁気記録方式が提案され
ている。(「日経エレクトロニクス」1978年8月7
日号、No.192参照)そして、この垂直磁化方式の
磁性膜としては、スパツタで作製されるhcp構造
でC軸が支持体表面の法線に配向した厚さ0.2〜
20μのCo−Cr合金膜が優れていることが知られて
いる。(電子通信学会研究会MR78−4参照)ま
た、記録感度と再生出力を増大さす方法として、
支持体有機高分子フイルムとCo−Cr垂直磁化膜
との間に軟磁性体層を設けることも既知である。
(「サイエンス」1980年1月号参照)そして、この
ような磁性合金膜の記録層を有する薄膜型の垂直
磁気記録媒体と垂直方向の磁界を発生する垂直ヘ
ツドとの組合せによる記録密度特性を見ると、主
磁極の厚み損失後に第2、第3の出力ピークを有
し、このようなピークを利用することにより高密
度記録再生が可能となる。(電子通信学会研究会
MR−80−4参照) しかしながら、本方式を実用化するには高密度
記録時の再生出力が高い安価な記録媒体が必要で
あり、その出現が望まれている。 本発明はかかる現状に鑑みなされたもので、廉
価で高性能な垂直磁気記録媒体を提供することを
目的としたものである。すなわち本発明は支持基
板を非磁性支持体とした薄膜型の垂直磁気記録媒
体において、前記非磁性支持体がポリエチレンテ
レフタレート又はポリエチレンナフタレートから
なると共に、その垂直磁気記録層を設ける側の表
面の表面粗さ(CLA)が0.01μm以下で且つ該表
面の最大突起高さ(PV)が0.1μm以下であるこ
とを特徴とし、更に好ましくは垂直記録媒体の反
り(単位:%)が|Kp|30%である垂直磁気
記録媒体である。 以下本発明の詳細を説明する。まず本発明に到
る経過を説明する。前述の通り高密度記録時の再
生出力を十分に高める必要があるが、検討の結果
安価なポリエステルフイルムを支持体として用い
たのでは、フイルムの表面粗さの為に媒体とヘツ
ドとのスペーシングクロスの為に再生出力が大巾
に低下することが判明した。 そして鋭意検討の結果安価なポリエチレンテレ
フタレート又はポリエチレンナフタレートのフイ
ルムを支持体としても表面粗さ及び表面の最大突
起高さを一定のレベル以下とし、更に好ましくは
媒体の反りを一定のレベル以下とすることにより
前記の目的を達成できることを見出し、本発明に
到つたのである。 一方、フイルムの巻取り・巻出しといつたハン
ドリングの観点からはフイルムの表面が平滑であ
るとフイルム−フイルム相互の滑り性がわるくブ
ロツキング現象が発生し製品にはなり得ず、フイ
ルムの表面が適度に粗であることが要求される。
これらの観点より、両者の二律相反する要求を同
時に満足する支持体フイルムについても鋭意研究
した結果裏面に滑剤を塗布することにより解決で
きることを見出した。 ところで、本発明では、非磁性支持体をポリエ
チレンテレフタレート又はポリエチレンナフタレ
ートのフイルムとなしているが、より好ましくは
ポリエチレンテレフタレートフイルムを用いる方
がコストを低減できるのでよい。又ここにいうポ
リエチレンテレフタレート又はポリエチレンナフ
タレートは、ホモポリマーのみならず、繰り返し
単位の数の85%以上がそれぞれエチレンテレフタ
レート又はエチレンナフタレート単位よりなり、
残りが他の成分であるような共重合ポリマーを含
む。 該フイルムの表面Aの表面粗さを調整するに
は、例えばフイルム原料に用いる高分子中に不活
性無機化合物を添加したり、不溶性触媒残渣を生
成せしめたりする等の方法がある。 不活性無機化合物とは、熱可塑性樹脂に対し不
溶性であり、かつ反応しない物質が含まれる。配
合される物質として、例えばMgO,ZnO,
MgCO3,CaCO3,CaSO4,BaSO4,Al2O3,
SiO2,TiO2,例えば代表例としてシリカ、カオ
リン、陶土、珪藻土、炭酸カルシウム、アルミノ
珪酸塩およびその水和物、テレフタール酸カルシ
ウム、その他カーボンブラツク、燐酸カルシウム
等が挙げられる。 所望とする表面特性は、添加する不活性化合物
の粒度、添加量、製膜条件を適宜組合せることで
得ることができる。粒度は、添加剤の粉砕および
混合操作を含むこの分野に精通した人々により行
うことのできる種々の方法で得ることができる。
例えば炭酸カルシウムの場合は、エチレングリコ
ールのスラリーとして、分級装置(例えば巴工業
社製P−660スーパーデカンター)等を用いて分
級すると得られる。テレフタール酸カルシウムの
場合は、せん断、圧縮、衝撃等の荷重を加えるこ
とにより適当な大きさの塊状粒子を得、分級する
ことによつて得られる。燐酸カルシウムの場合
は、市販の燐酸塩の分散液を調製し、サンド・ミ
ル中で分散燐酸塩を粉砕する。分散液は粉砕操作
を一回、又はそれ以上の回数反復してスラリー中
の添加剤の粒度を所望の粒度まで下げることによ
り得ることができる。 不活性無機化合物の添加量は、粒径分布に依存
し、一義的に決められないが、通常0.01〜1wt%
が良い。 不溶性触媒残渣は、例えばポリエステルにおい
てエステル交換触媒と安定剤との適当量の組合せ
によつて不溶性触媒残渣を形成し、ポリエステル
フイルム表面に凹凸を形成し、表面特性を制御す
るものである。 以上述べた方法により、きわめて表面の平滑な
ものから適当に粗れた表面を有するものまで設計
することができるが、表面が非常に平滑なフイル
ムはフイルム−フイルム相互の滑り性が悪く、ブ
ロツキング現象が発生し、製品にはなり得ず、滑
り性を付与する必要がある。表面Bに滑り性を付
与するには、水又は溶剤に滑剤を分散せしめた溶
液を塗布して行なわれる。溶液を塗布して、滑り
性を付与する方法は、従来公知のすべての方法が
用いられる。例えば(滑剤+高分子系バインダー
+界面活性剤)の水系或いは溶剤系溶液をフイル
ム製膜時に塗布する等の方法が用いられる。 滑剤としてソルビタン等の有機滑剤、テフロ
ン、ポリエチレン等の有機高分子滑剤;アルミ
ナ、カオリン、シリカ、硫化モリブデン等の無機
滑剤が挙げられる。 高分子系バインダーとして共重合ポリエチレン
テレフタレート、ポリウレタン、ナイロン、メラ
ミン等が挙げられる。 (滑剤+高分子系バインダー+界面活性剤)を
水又は溶剤に分散したフイルム製膜時或いはフイ
ルム製膜後塗布、乾燥して滑り性を付与すること
ができる。この時勿論紫外線吸収剤、帯電防止剤
等を添加することは差しつかえない。 以下、不活性無機化合物の粒径構成比、その測
定法及びフイルム表面物性の測定法を示す。 1 不活性物質の粒径構成比 島津遠心沈降式粒度分布測定装置CP−50を
用いてストークス(Stokes)の式 〔T=18ηh/G(ρP−ρo)×d2 但し、式中T:沈降時間(sec) η:媒質の粘度(g/cm・sec=
poise) h:沈降距離(cm) G:重力の加速度(980cm/sec2) ρP:不活性物質の密度(g/cm2) ρO:媒体の密度(g/cm2) d:不活性物質の粒径(直径・
cm)〕 を用いて夫々の粒径に相当する沈降時間を算出
し、夫々の粒径の範囲に相当する沈降時間範囲
を求め、その沈降時間範囲内での不活性物質の
重量を求めて全不活性物質重量に対する割合を
%で表わし構成比とする。 2 CLA〔センター・ライン・アベレツジ
(Center Line Average・中心線平均粗さ)〕
JIS B0601に準じ、東京精密社(株)製の触針式表
面粗さ計(SURFCOM 3B)を使用して、針
の半径2μm、荷重0.07gの条件下にチヤートを
かかせ、フイルム表面粗さ曲線からその中心線
の方向に測定長さLの部分を抜き取り、この抜
き取り部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY
軸として、粗さ曲線をY=(x)で表わした
時、次の式で与えられた値をμm単位で表わ
す。 CLA=1/L0∫L|(x)|dx この測定は基準長を20mmとして8個測定し、
値の大きい方から3個除いた5個の平均値で表
わす。 3 PV値 上記、CLAの測定と同じく、SURFCOM
3Bを使用し、針の半径2μ、荷重0.07gの条件
下に、フイルム基準長2.6mmについて、基準長
方向を50倍、表面粗さ方向を5万倍に拡大し、
チヤートにかかせ、一番高い山と一番低い山と
の間隔を縦倍率で割つた値をミクロン単位で表
わし、10回の測定の平均値で表わす。 以上の支持体フイルム上に、通常は約0.2〜
1.5μmのNi−Fe合金膜(軟磁性体層)、さらに0.2
〜1.5μmのCo−Cr合金膜(垂直磁化層)を設け
垂直磁気記録媒体とする。また必要があれば、
Co−Cr合金膜上に耐摩耗性、耐食性を付与する
目的で適当な保護層を設けてもよい。以上の金属
膜を設ける手段は通常PVD法と呼ばれる方法、
とりわけ蒸着法とスパツタ法が用いられる。スパ
ツタ法にはRFスパツタ法、RF又はDCマグネト
ロンスパツタ法、対向ターゲツトスパツタ法
(1981年インターマグコンフアレンス、
SESSION32−3参照)等がある。 作製した磁気記録媒体のカツピングすなわち反
りKPを以下の様にして測定した。第1図に示す
ように、作製した媒体から長さl0mmの正方形のサ
ンプル2を切り抜き、カールした凸面を下にして
水平なスライドガラス1上にのせ4隅のスライド
ガラス面よりの高さh1,h2,h3,h4(単位:mm)
を測定した。そして、以下の式により反りKP(単
位・%)を算出した。 KP=(h1+h2+h3+h4)÷4/l0×100 なお、l0は通常10mmとした。また、上記測定に
おいて、金属膜を下にして測定した場合の反り
KPをプラスとし、逆をマイナスとした。 以下に、実施例を述べる。 実施例に用いた支持体フイルムは以下の様に作
製した。すなわち、ジメチルテレフタレート100
部(部は重量部を示す。以下同じ)及びエチレン
グリコール70部に触媒として酢酸亜鉛0.023部
(0.020モル%対ジメチルテレフタレート)を加
え、150℃〜240℃で4時間メタノールを留去しつ
つエステル交換反応を行い、次いで安定剤(燐化
合物のグリコール溶液)を一旦常温まで冷却後、
トリメチルホスフエート換算で0.014部添加する。
次に重縮合触媒として0.04部の三酸化アンチモン
を添加し、さらに次頁の第1表に記載した粒径及
び構成比を有する所定の不活性物質を所定量添加
して、1mmHg以下の高真空で4時間重縮合反応
を行い〔η〕=0.65(o−クロロフエノール溶媒、
25℃測定)のポリエチレンテレフタレートを得
た。該ポリマーを290℃で溶融押出し、40℃に保
持したキヤステイングドラム上に急冷固化せしめ
て厚さ210μmの未延伸フイルムを作成し、縦方
向に90℃で3.5倍、横方向に100℃で4.0倍逐次延
伸を行い、更に205℃で30秒間熱固定を行い厚さ
15μmのフイルムを作製した。 なお、第1表の試料No.1,2,7,8は、2軸
延伸後、熱固定前に次の組成の塗液をフイルム表
面Bに塗布した。 塗液の組成:変性ポリシロキサン 45部 MoS2 5部 アミノシラン 40部 界面活性剤 10部
【表】
【表】
このようにして得られた試料フイルムのA面
(塗液を塗布していない面)上に、以下の様にし
て対向ターゲツト式スパツタ法によりNi−Fe軟
磁性体層とCo−Cr垂直磁化膜層を逐次積層した。 すなわちNi−Fe軟磁性体層はNi−Fe合金ター
ゲツト(Ni:79wt%、80mmφ、5mm厚)2枚を
75mm間隔で対向させた対向ターゲツト式スパツタ
装置を用い、ターゲツト端部より60mmの所に配置
した60mm角の正方形の金わくに固定した試料フイ
ルム上に、アルゴンガス圧1.0Paでスパツタを行
い、堆積速度400Å/分で0.46μm厚のNi−Fe合
金膜として形成した。面内磁気M−H曲線より測
定した保磁力はいずれも10±2エルステツド
(Oe)であつた。 そして、Co−Cr垂直磁化膜層はCo−Cr合金タ
ーゲツト(Cr17wt%、100mmφ、5mm厚)2枚を
100mm間隔で対向させた対向ターゲツト式スパツ
タ装置を用い、ターゲツト端部よりの距離Lが25
mmの所に配置した40mm×50mmの矩形の金わくに固
定した前記のNi−Fe合金膜付の試料上に、アル
ゴンガス圧0.5Paでスパツタを行い、500Å/分の
堆積速度で0.50μm厚のCo−Cr合金膜として形成
した。なお、試料No.7,8においては距離L=35
mmとし、基板ホルダーにマイナス100ボルトの電
圧を印加しながらバイアススパツタで膜形成し
た。 得られた媒体の反りKpを第1表に、Co−Cr合
金膜のみの結晶特性及び磁気特性を次頁の第2表
に示した。第2表においてDXはX線回折の
(002)面のピークの比強度、△θ50はロツキング
曲線の半値巾、Hkは実効的異方性磁界、Hcv、
Hchはそれぞれ膜面に垂直方向と水平方向の保磁
力、Msは飽和磁化を示す。いずれも似たような
特性であり、良好な垂直磁化膜である。 以上のように作製した媒体を0.25インチ巾に切
断し、テープ駆動装置を用い、デイジタル信号の
記録密度対再生電圧特性を調べた。ヘツドは補助
磁極励磁形の垂直ヘツドを用い、主磁
(塗液を塗布していない面)上に、以下の様にし
て対向ターゲツト式スパツタ法によりNi−Fe軟
磁性体層とCo−Cr垂直磁化膜層を逐次積層した。 すなわちNi−Fe軟磁性体層はNi−Fe合金ター
ゲツト(Ni:79wt%、80mmφ、5mm厚)2枚を
75mm間隔で対向させた対向ターゲツト式スパツタ
装置を用い、ターゲツト端部より60mmの所に配置
した60mm角の正方形の金わくに固定した試料フイ
ルム上に、アルゴンガス圧1.0Paでスパツタを行
い、堆積速度400Å/分で0.46μm厚のNi−Fe合
金膜として形成した。面内磁気M−H曲線より測
定した保磁力はいずれも10±2エルステツド
(Oe)であつた。 そして、Co−Cr垂直磁化膜層はCo−Cr合金タ
ーゲツト(Cr17wt%、100mmφ、5mm厚)2枚を
100mm間隔で対向させた対向ターゲツト式スパツ
タ装置を用い、ターゲツト端部よりの距離Lが25
mmの所に配置した40mm×50mmの矩形の金わくに固
定した前記のNi−Fe合金膜付の試料上に、アル
ゴンガス圧0.5Paでスパツタを行い、500Å/分の
堆積速度で0.50μm厚のCo−Cr合金膜として形成
した。なお、試料No.7,8においては距離L=35
mmとし、基板ホルダーにマイナス100ボルトの電
圧を印加しながらバイアススパツタで膜形成し
た。 得られた媒体の反りKpを第1表に、Co−Cr合
金膜のみの結晶特性及び磁気特性を次頁の第2表
に示した。第2表においてDXはX線回折の
(002)面のピークの比強度、△θ50はロツキング
曲線の半値巾、Hkは実効的異方性磁界、Hcv、
Hchはそれぞれ膜面に垂直方向と水平方向の保磁
力、Msは飽和磁化を示す。いずれも似たような
特性であり、良好な垂直磁化膜である。 以上のように作製した媒体を0.25インチ巾に切
断し、テープ駆動装置を用い、デイジタル信号の
記録密度対再生電圧特性を調べた。ヘツドは補助
磁極励磁形の垂直ヘツドを用い、主磁
【表】
【表】
極の実効厚さは1.5μm、補助磁極巻線は記録用
100ターン、再生用500ターンのものを用い、テー
プ速度は記録時4.75cm/sec、再生時9.5cm/secで飽
和記録を行つた。 第2図に、試料No.1のものの記録密度特性を示
す。横軸は記録密度(KBPI)、縦軸は再生出力
(各logスケール)である。主磁極の厚みに対応
し、32KBPI付近で第1の出力A1がゼロに低下し
ているが、その後第2、第3、第4、第5のピー
クA2,…A5が出現し、各ピークA2,…A5はリン
グヘツドを用いた時のギヤツプ損失後のピークに
は見られない大きな出力を有し、超高密度記録が
可能なことが実証された。 各試料の第2ピークA2と第4ピークA4のピー
ク出力として夫々50KBPI及び140KBPIの出力を
第1表に示す。第1表において−印は出力ピーク
が観察されなかつたものである。又、この時のノ
イズレベルは4〜6μVであつた。第1表における
試料No.1,2,3,4,5のCLAと50KBPIの出
力との関係を第3図に示す。CLAの低下と共に
再生出力が増加する効果が顕著である。現状の市
販VTR用のベースフイルムの表面性は試料No.5
に代表されるような値であり、このような表面性
のものでは、垂直磁気記録媒体用の支持体フイル
ムとしてはまつたく不十分なものである。また試
料No.6に示されるように、CLAが十分な値を示
していてもPVが0.1μmより大きなものは十分な
出力が得られない。また、形成された媒体の反り
Kpの程度も重要であり、反りKpが30%より大き
いものは、ヘツドとなじみ、スペーシングがわる
く、記録密度特性が劣化する。 以上のように、支持体フイルムのCLAとPV
を、それぞれ0.01μmと0.1μm以下とし、かつ媒
体の反りKpを30%以下とした本発明の垂直磁気
記録媒体においてのみ良好な記録密度特性が得ら
れ、本発明により高性能で廉価な媒体を市場に提
供することが可能となつた。 なお、好ましくは、CLAとPVは、それぞれ
0.008μmと0.07μm以下である方が、より良い結
果を与える。 また、フイルムの走行性を以下の様に動摩擦係
数(μk)で評価した。25℃、相対湿度60%で支
持体フイルムB面を外径20mmφのSUS27固定棒
(表面粗さ0.3S)に接触角度θ=152゜で接触させ
25cm/secの速さで移動摩擦させる。そして、入口
のテンシヨン(T1)が30gとなるように調整し
た時の出口のテンシヨン(T2)より次式で動摩
擦係数(μk)を算出した。 μk=0.868logT2/T1 評価結果を下記の第3表に示す。
100ターン、再生用500ターンのものを用い、テー
プ速度は記録時4.75cm/sec、再生時9.5cm/secで飽
和記録を行つた。 第2図に、試料No.1のものの記録密度特性を示
す。横軸は記録密度(KBPI)、縦軸は再生出力
(各logスケール)である。主磁極の厚みに対応
し、32KBPI付近で第1の出力A1がゼロに低下し
ているが、その後第2、第3、第4、第5のピー
クA2,…A5が出現し、各ピークA2,…A5はリン
グヘツドを用いた時のギヤツプ損失後のピークに
は見られない大きな出力を有し、超高密度記録が
可能なことが実証された。 各試料の第2ピークA2と第4ピークA4のピー
ク出力として夫々50KBPI及び140KBPIの出力を
第1表に示す。第1表において−印は出力ピーク
が観察されなかつたものである。又、この時のノ
イズレベルは4〜6μVであつた。第1表における
試料No.1,2,3,4,5のCLAと50KBPIの出
力との関係を第3図に示す。CLAの低下と共に
再生出力が増加する効果が顕著である。現状の市
販VTR用のベースフイルムの表面性は試料No.5
に代表されるような値であり、このような表面性
のものでは、垂直磁気記録媒体用の支持体フイル
ムとしてはまつたく不十分なものである。また試
料No.6に示されるように、CLAが十分な値を示
していてもPVが0.1μmより大きなものは十分な
出力が得られない。また、形成された媒体の反り
Kpの程度も重要であり、反りKpが30%より大き
いものは、ヘツドとなじみ、スペーシングがわる
く、記録密度特性が劣化する。 以上のように、支持体フイルムのCLAとPV
を、それぞれ0.01μmと0.1μm以下とし、かつ媒
体の反りKpを30%以下とした本発明の垂直磁気
記録媒体においてのみ良好な記録密度特性が得ら
れ、本発明により高性能で廉価な媒体を市場に提
供することが可能となつた。 なお、好ましくは、CLAとPVは、それぞれ
0.008μmと0.07μm以下である方が、より良い結
果を与える。 また、フイルムの走行性を以下の様に動摩擦係
数(μk)で評価した。25℃、相対湿度60%で支
持体フイルムB面を外径20mmφのSUS27固定棒
(表面粗さ0.3S)に接触角度θ=152゜で接触させ
25cm/secの速さで移動摩擦させる。そして、入口
のテンシヨン(T1)が30gとなるように調整し
た時の出口のテンシヨン(T2)より次式で動摩
擦係数(μk)を算出した。 μk=0.868logT2/T1 評価結果を下記の第3表に示す。
【表】
なお、試料No.は第1表の同じNo.のフイルムを用
いたことを示す。但し試料No.9は、試料No.2と同
一のフイルムであるが滑剤を含有した塗液を塗布
しなかつたものである。試料No.9以外はすべて良
好な走行性を有し、フイルムのハンドリングも容
易であつた。
いたことを示す。但し試料No.9は、試料No.2と同
一のフイルムであるが滑剤を含有した塗液を塗布
しなかつたものである。試料No.9以外はすべて良
好な走行性を有し、フイルムのハンドリングも容
易であつた。
第1図は媒体の反りKpの測定法を示したもの、
第2図は試料No.1の記録密度特性を示したもの、
そして第3図は支持体フイルムのCLAと50KBPI
の再生出力との関係を示したものである。
第2図は試料No.1の記録密度特性を示したもの、
そして第3図は支持体フイルムのCLAと50KBPI
の再生出力との関係を示したものである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 支持基板を非磁性支持体となした薄膜型の垂
直磁気記録媒体において、前記非磁性支持体がポ
リエチレンテレフタレート又はポリエチレンナフ
タレートからなると共に、その垂直磁気記録層を
設ける側の表面の表面粗さ(CLA)が0.01μm以
下で且つ該表面の最大突起高さ(PV)が0.1μm
以下であることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 2 前記垂直磁気記録媒体の反りKp(単位:%)
が |Kp|30 である特許請求の範囲第1項記載の垂直磁気記録
媒体。 3 前記非磁性支持体をフイルムとなすと共に、
垂直磁気記録層を設けない面に滑剤を塗布した特
許請求の範囲第1項若しくは第2項記載の垂直磁
気記録媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56112258A JPS5814319A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 垂直磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP56112258A JPS5814319A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 垂直磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5814319A JPS5814319A (ja) | 1983-01-27 |
JPH0152816B2 true JPH0152816B2 (ja) | 1989-11-10 |
Family
ID=14582196
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP56112258A Granted JPS5814319A (ja) | 1981-07-20 | 1981-07-20 | 垂直磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5814319A (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS61271601A (ja) * | 1985-05-27 | 1986-12-01 | Teijin Ltd | 磁気記録再生方式 |
JPH0795369B2 (ja) * | 1985-12-25 | 1995-10-11 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体 |
JPH0690784B2 (ja) * | 1986-04-14 | 1994-11-14 | 帝人株式会社 | 磁気記録用テ−プ |
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-
1981
- 1981-07-20 JP JP56112258A patent/JPS5814319A/ja active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5814319A (ja) | 1983-01-27 |
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