JPH0152818B2 - - Google Patents

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JPH0152818B2
JPH0152818B2 JP56000009A JP981A JPH0152818B2 JP H0152818 B2 JPH0152818 B2 JP H0152818B2 JP 56000009 A JP56000009 A JP 56000009A JP 981 A JP981 A JP 981A JP H0152818 B2 JPH0152818 B2 JP H0152818B2
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JP
Japan
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magnetic
film
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magnetic recording
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JP56000009A
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Shigeru Shiozaki
Tomio Adachi
Takashi Tomie
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Teijin Ltd
Original Assignee
Teijin Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/851Coating a support with a magnetic layer by sputtering

Landscapes

  • Shaping By String And By Release Of Stress In Plastics And The Like (AREA)
  • Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は高密度磁気記録用媒体に関するもので
ある。更に詳しくは、雑音レベルが少なく、かつ
データ読取における信号対雑音比の良い、特に高
密度記録での再生時のノイズレベルの少ない、薄
膜磁気記録媒体に係るものである。
現用の磁気記録における普通の記録媒体は、適
当な基材例えば厚さ数μm〜数10μmの可撓性高
分子フイルム(ポリエステルフイルム等)の表面
上にγ−Fe2O3、Co−ドープ処理されたγ−
Fe2O3、CrO2又はFe等の強磁性体粉末が有機結
合剤の中に分散したものを数μmから約10μm程
度までの厚さとなるように塗布して磁気記録層を
形成せしめた積層体が実用に供されている。
磁気記録技術に要求される改良として、所定面
積当りの記録密度を増加させることが要求されて
いる。デイスク、ドラムまたはテープの記録装置
に使用される磁気メモリー素子において、記録密
度の限界は、フイルム保磁界に対する減磁界の比
率によつてきまる。また減磁界の強さは記録媒体
の飽和磁化および厚さに関係している。そして、
信号対雑音比の許容水準達成のためには、充分な
出力信号を得ることのできる薄い記録媒体層を得
ることが必要である。記録媒体のB−Hカーブの
飽和磁束密度および角形比が高くなるにつれて達
成が容易となる。かかる意味において本発明の目
的は、高い保磁力を有し、角形比の良いヒステリ
シスループをもち、かつ記録媒体層が薄く、しか
も高い残留磁気モーメントを有する磁気記録媒体
を提供しようとするもので、とりわけ雑音レベル
が低く、かつデータ読取時の信号対雑音比が良
く、特に高密度記録での再生時のノイズレベルの
少ない金属薄膜磁気記録媒体を提供しようとする
ものである。
近年高密度磁気記録媒体として、バインダーを
用いず、磁気記録層として金属薄膜を真空蒸着や
スパツタリングの如き真空沈着法又はメツキ法に
よつて非磁性支持体上に形成して、この強磁性金
属を薄膜磁気記録材としたものが提案されてい
る。例えばCoの蒸着テープ(特開昭54−147010
号公報)、Co−Cr合金からなる垂直磁化膜(特開
昭52−134706号公報)等が開示されている。この
ような蒸着、スパツタ又はイオンプレーテイング
等の薄膜形成手段によつて形成される金属薄膜
は、厚みが1.5μm以下で、磁性層の厚みが3μm以
上である従来の塗布型記録媒体と同等の性能が得
られる。ところで静的特性である保磁力Hc、ま
たはヒステリシスループの角形比のような磁気特
性は、用いられる非磁性支持体の表面状態あまり
依存しないと考えられる。このような考えによつ
たものの例として米国特許3787327号明細書に開
示されたような真空蒸着によるCo−Crの多層構
造の例が挙げられる。しかしながら形成される金
属薄膜厚さが薄く、非磁性支持体の表面状態(表
面凹凸)がそのまま磁性膜の凹凸として発現し、
それらが雑音の原因となることが欠点とされてい
た。
雑音の観点からは、非磁性支持体の表面状態が
出来るだけ平滑であることが好ましい。一方フイ
ルム巻取、巻出しといつたハンドリングの観点か
ら、フイルム表面が平滑であると、フイルム−フ
イルム相互の滑り性が悪くブロツキング現象や発
生し、製品にはなり得ず、また金属薄膜テープと
した時、磁気記録ヘツドとテープ相互の滑りが悪
く、再生出力電圧の変動が大きくまたテープが摩
耗し易くなるためベースフイルム表面が粗である
ことが要求される。
電磁変換特性という観点からは非磁性支持体の
表面が平滑であることが要求され、ハンドリング
性、走行性の観点からは粗であることが要求され
る。これら両者の二律相反する性質を同時に満足
する非磁性支持体からなる磁気記録媒体について
鋭意検討した結果本発明に到達したものである。
すなわち、本発明は、 非磁性支持体であつて、当該支持体の表面粗さ
〔CLA(単位・μm)〕及び突起物の突起高さ〔h
(単位・μm)〕の個数〔単位:個/mm2〕が以下の
式 0.005≦CLA≦0.051 ……(1) 0.27≦h≦0.54……10個/mm2以下 ……(2) で示される範囲にある支持体表面に強磁性体金属
を真空沈着又はメツキしてなる非磁性支持体上に
磁気薄膜を担持した磁気記録媒体である。
本発明に云う非磁性支持体とは、非磁性プラス
チツク材であり、ポリエチレン、ポリプロピレン
等のポリオレフイン、ナイロン6等のポリアミ
ド、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン
−2,6−ナフタレート等のポリエステルその他
熱可塑性樹脂一般が挙げられる。熱可塑性樹脂の
中では真空蒸着、スパツター、イオンプレーテイ
ング等の手段で金属薄膜を形成する場合には、耐
熱性が要求されるのでポリエステルが好ましい。
磁性薄膜形成の手段は従来公知のすべての方法
が用いられるが、殊に真空蒸着法、イオンプレー
テイング法、スパツタ法、無電解メツキ法が好ま
しく使用できる。
真空蒸着法の場合には、10-4〜10-6Torrの真
空下でタングステンボートやアルミナハース中の
蒸着金属を抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加
熱等により蒸発させ、上記支持体上に沈着せしめ
る。蒸着金属としてはFe、Ni、Co及びそれらの
合金が通常用いられる。また、本発明には、O2
雰囲気中でFeを蒸着させ酸化鉄薄膜を得る反応
蒸着法も適用できる。イオンプレーテイン法で
は、10-4〜10-3Torrの不活性ガスを主成分とす
る雰囲気中でDCグロー放電、RFグロー放電を起
し、その放電中で金属を蒸発さす。不活性ガスと
しては通常Arが用いられる。スパツタ法では
10-3〜10-1TorrのArを主成分とする雰囲気中で
グロー放電を起し、生じたArイオンでターゲツ
ト表面の原子をたたき出す。グロー放電を起す方
法として直流2極、3極スパツタ法及び高周波ス
パツタ法がある。又、マグネトロン放電を利用し
たマグネトロンスパツタ法もある。無電解メツキ
法ではCo−P、Co−Ni−Pメツキ膜がある。
本発明による磁気薄膜の厚さは高密度磁気記録
媒体として充分な信号出力を提供するものでなけ
ればならない。従つて磁気薄膜の厚さは薄膜形成
法、用途によつて異なるが、一般に0.02〜1.5μm
(200〜15000Å)の間にあることが好ましい。
オーデイオ、ビデオ、コンピユーター等の長手
記録用磁気薄膜の形成法としては、蒸着(熱蒸
着、電子ビーム蒸着法)、スパツタリング(2極
直流スパツタリング、高周波スパツタリング等)
等の方法が挙げられる。蒸着の場合磁化容易軸を
テープ水平方向に発現するようCo等の強磁性体
金属を非磁性プラスチツク支持体に対し連続的に
斜方蒸着を行い、繰り返し積層することで、結晶
磁気異方性、形状異方性をテープ水平方向に発現
させるものである。従つてトータルとしての金属
薄膜厚さは、0.02〜0.5μm(200〜5000Å)程度
であることが良い。また、上述の如きオーデイ
オ、ビデオ、コンピユーター等の長手記録用の他
に、高密度デジタル記録が可能な方法として
PCM、フレキシブルデイスク用に、磁化容易軸
を非磁性支持体の垂直方向に発現するよう、例え
ばCoにCrを適当量混入(10〜20%)して、発生
する減磁界を抑えて垂直方向に磁化容易軸を発現
させ、基礎面に対し垂直方向に記録を行う垂直磁
気記録法も適用できる。
通常スパツタ法で0.2〜1.5μ厚みのCo〜Cr合金
が用いられる。この時非磁性支持体と、垂直方向
に磁化容易軸を有する磁気記録層の間にパーマロ
イ(Fe−Ni)、スーパーマロイ等の高透磁率材料
からなる磁束集束体薄膜を配することができる。
磁束集束体としての高透磁率材料はスパツタリン
グによつて形成され、膜厚は0.1〜1μm(1000〜
10000Å)の低保磁力(50Oe以下)薄膜層であ
る。このときの磁気記録層のCo−Cr膜厚は、0.2
〜1.5μm(2000〜15000Å)程度に形成するとよ
い。
このように蒸着、スパツター等の手段で形成さ
れる金属薄膜厚さは最大1.5μmと薄く、非磁性プ
ラスチツク支持体の表面状態がそのまま磁性膜の
凹凸として発現し、雑音の原因となる。雑音の観
点から非磁性プラスチツク支持体の表面が平滑で
あることが好ましく、当該支持体の平均的表面粗
さCLA(単位・μm)が0.015μm以下で同時に突
起物の突起高さ〔h(単位・μm)〕0.27<h≦
0.54の個数が10個/mm2以下であることを満足する
ことが必要となる。好ましくは、 0.005≦CLA≦0.010 0.27<h≦0.54……5個/mm2以下、である。
また、更に好ましくは0.27<h≦0.54の範囲の
突起は無い(0個/mm2)ことである。
しかし、フイルムハンドリングの観点およびテ
ープ走行性の観点から中心線平均粗さCLAが
0.005μm以上である必要がある。
かかるフイルム表面特性を付与するためには、
例えばフイルム原料に用いる高分子中に不活性無
機化合物を添加したり、不溶性触媒残渣を生成せ
しめたり、機械的、化学的な粗面化処理を施す等
の方法がある。
不活性無機化合物とは、熱可塑性樹脂に対し不
溶性であり、かつ反応しない物質が含まれる。配
合される物質として、例えばMgO、ZnO、
MgCO3、CaCO3、CaSO4、BaSO4、Al2O3
SiO2、TiO2、例えば代表例としてシリカ、カオ
リン、陶土、珪藻土、炭酸カルシウム、アルミノ
珪酸塩およびその水和物、テレフタール酸カルシ
ウム、その他カーボンブラツク、燐酸カルシウム
等が挙げられる。
所望とする表面特性は、添加する不活性化合物
の粒度、添加量、製膜条件を適宜組合せることで
得ることができる。粒度は、添加剤の粉砕および
混合操作を含むこの分野に精通した人々により行
うことのできる種々の方法で得ることができる。
例えば炭酸カルシウムの場合は、エチレングリコ
ールのスラリーとして、分級装置(例えば巴工業
社製P−660スーパーデカンター)等を用いて分
級すると得られる。テレフタール酸カルシウムの
場合は、せん断、圧縮、衝撃等の荷重を加えるこ
とにより適当な大きさの塊状粒子を得、分級する
ことによつて得られる。燐酸カルシウムの場合
は、市販の燐酸塩の分散液を調製し、サンド・ミ
ル中で分散燐酸塩を粉砕する。分散液は粉砕操作
を一回、又はそれ以上の回数反復してスラリー中
の添加剤の粒度を所望の粒度まで下げることによ
り得ることができる。
不活性無機化合物の添加量は、粒径分布に依存
し、一義的に決められないが、通常0.01〜2wt%
が良い。好ましくは0.1〜1wt%が良い。
不活性無機化合物の粒径分布の好ましい範囲
は、粒径〔d(単位・μm)〕比率が以下の式 d>1.5……… 0% 1.5≧d>0.5……… 0〜15% 0.5≧d>0.2………20〜50% 0.2≧d……35〜80% で示される範囲にあることが好ましい。
不溶性触媒残渣は、例えばポリエステルにおい
てエステル交換触媒と安定剤との適当量の組合せ
によつて不溶性触媒残渣を形成し、ポリエステル
フイルム表面に凹凸を形成し、表面特性を制御す
るものである。
以下、不活性無機化合物の粒径構成比、その測
定法及びフイルム表面特性の測定法を示す。
1 不活性物質の粒径構成比 島津遠心沈降式粒度分布測定装置CP−50を
用いてストークス(Stokes)の式 T=18ηh/G(ρp−ρp)×d2 〔但し、式中T:沈降時間(sec) η:媒質の粘度(g/cm・sec=
poise) h:沈降距離(cm) G:重力の加速度(980cm/sec2) ρp:不活性物質の密度(g/cm3) ρp:媒質の密度(g/cm3) d:不活性物質の粒径(直径・cm)〕 を用いて夫々の粒径に相当する沈降時間を算出
し、夫々の粒径の範囲に相当する沈降時間範囲
を求め、その沈降時間範囲内での不活性物質の
重量を求めて全不活性物質重量に対する割合を
%で表わし構成比とする。
2 CLA〔センター・ライン・アベレツジ
(Center Line Average・中心線平均粗さ)〕
JIS B0601に準じ、東京精密社(株)製の触針式表
面粗さ計(SURFCOM 3B)を使用して、針
の半径2μm、荷重0.07gの条件下にチヤートを
かかせ、フイルム表面粗さ曲線からその中心線
の方向に測定長さLの部分を抜き取り、この抜
き取り部分の中心線をX軸、縦倍率の方向をY
軸として、粗さ曲線をY=f(x)で表わした
時、次の式で得られた値をμm単位で表わす。
RCLA=1/L∫L 0|f(x)|dx この測定は基準長を0.25mmとして8個測定
し、値の大きい方から3個除いた5個の平均値
で表わす。
3 表面般起数 表面を観察せんとするフイルム表面に400〜
500Å乃至それ以下の厚みにアルミニウムを均
一に真空蒸着し、反対の非蒸着面(フイルム
面)にコロジオン貼付けし、乾燥して後、可視
単色光多重干渉反射式顕微鏡(例えば、Carl
Zeiss JENA社製)を用い100倍で任意の10カ
所を撮り、各写真中の突起物の突起高さに対応
する突起数を求め1mm2当りに換算する。この時
写真10枚の視野は1.55mm2である。
以下に実施例で説明するが、如何なる理由でも
これらの方法に限定されるものではない。
実施例1〜4及び比較例1〜2 実施例1〜3、比較例1〜2は、ジメチルテレ
フタレートに対し、触媒として酢酸マンガン40ミ
リモル%、三酸化アンチモン20ミリモル%、亜リ
ン酸40ミリモル%を加えてエステル交換反応さ
せ、次いで表1に記載した粒径および構成比を有
する所定の不活性物質を所定量(表1参照、但し
比較例1は添加剤なし)添加して重縮合反応さ
せ、〔η〕0.65(o−クロロフエノールを溶媒とし
て用い25℃で測定した値)のポリエチレンテレフ
タレートを得た。
実施例4はエステル交換触媒として、酢酸ウル
シウム100ミリモル%、重合触媒として三酸化ア
ンチモン30ミリモル%、安定剤としてトリメチル
ホスフエート350ミリモル%を用い、リチウムグ
リコレート600ミリモル%を添加し、重縮合反応
させ、〔η〕0.65のポリエチレンテレフタレート
を得た。
このポリエチレンテレフタレートを160℃で乾
燥し、280℃で溶融押出し、40℃に保持したキヤ
ステイングドラム上に急冷固化せしめて、厚さ
130μmの未延伸フイルムを得た。
該未延伸フイルムを縦延伸温度90℃、縦延伸倍
率3.5倍、横延伸温度120℃、横延伸倍率3.8倍で
逐次二軸延伸し、205℃で10秒間熱固定し、厚さ
10μのフイルムを得た。
このようにして得られたフイルム上に○

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 非磁性支持体であつて、当該支持体の表面粗
    さ〔CLA(単位μm)〕及び突起物の突起高さ
    〔h(単位μm)〕の個数〔単位:個/mm2〕が以下
    の式 0.005≦CLA≦0.015 ……(1) 0.27<h≦0.54…10個/mm2以下 …(2) で示される範囲にある支持体表面に強磁性体金属
    を真空沈着又はメツキしてなる非磁性支持体上に
    磁気薄膜を担持した磁気記録媒体。 2 当該支持体の表面粗さ及び突起物の突起高さ
    の個数が以下の式 0.005≦CLA≦0.010 ……(1′) 0.27<h≦0.54…0〜5個/mm2 …(2′) で示される範囲にあることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項に記載の磁気記録媒体。 3 当該磁性薄膜の磁気薄膜厚みが1.5μm以下で
    ある特許請求の範囲第1項または第2項に記載の
    磁気記録媒体。
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