JPS61190719A - 磁気デイスク - Google Patents

磁気デイスク

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JPS61190719A
JPS61190719A JP3360285A JP3360285A JPS61190719A JP S61190719 A JPS61190719 A JP S61190719A JP 3360285 A JP3360285 A JP 3360285A JP 3360285 A JP3360285 A JP 3360285A JP S61190719 A JPS61190719 A JP S61190719A
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JP
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protective film
magnetic
magnetic layer
film
disk
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JP3360285A
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Mamoru Ishizuka
守 石塚
Tomohisa Komoda
智久 薦田
Atsuo Mukai
向井 厚雄
▲吉▼川 光彦
Mitsuhiko Yoshikawa
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は磁気記録用ハードディスクに関し、特に高密度
記録用ハードディスクの保護膜に関するものである。
〈従来の技術〉 近年、磁気記録の分野では高密度化の研究が進められて
おり、特に垂直磁気記録方式が発表されて以来、垂直・
面内を問わず磁気記録の限界を目脂して研究開発活動が
一段と活発に行なわれている。ハードディスクの分野に
おいても、こhまでの塗布型媒体から高保持力、高残留
磁束密度を有する連続薄膜媒体−ノブキ、スパッタ膜媒
体−の開発が精力的に行なわれている0しかしながら、
1高密度化“の実現に当っては媒体の磁気特性向上もさ
ることながら、ヘッド・媒体のエアーギャップ量の減少
化を図ることも重要な要素である。
現在、ハードディスクのエアーギヤツブ量ij0.25
μm程度の値まで狭小化された装置が実用化されている
が、線記録密度の大幅な向上を達成するためには、ヘッ
ド・媒体のスペーシング・ロスヲ小さくすることが必要
となり、従ってエアーギャップ量を更に減少させること
が要求さ九る。この点に関し、媒体保護層の形成はスペ
ーシング・ロスに直接係わるために保護層の薄層化は高
密度化に伴って一層重要な問題となる。
従来、メッキ・ディスクには外部衝撃や摩耗等に対する
表面保護層として潤滑剤を塗布した5102が広く用い
られている。しかしながら、これの薄層化についてはC
55(コンタクト・スタート・ストップ)をクリヤする
強度を確保する必要上、300λ程度の膜厚が実用限界
とされており、将来の高密度化に対して実用に供するに
は問題がある0更に、潤滑剤によるヘッド・媒体の吸着
の問題があり、今後媒体表面の平滑化が進むとますます
潤滑剤の塗布量の制御が難しくなると思われる。
このため、最近では5i02に代わる材料として、材料
そのものに潤滑性を持たせた膜が検討されでおり、特に
グラファイト膜について良好な結果が報告されている。
〈発明の目的〉 本発明は、上述の保護膜に関する問題点を考慮してなさ
れたものであり、グラファイト膜以上に耐久性と潤滑性
を兼ね備えた保護膜を有する高密度記録に適する磁気デ
ィスクを提供することを目的とする。
〈実施例〉 以下、本発明に用いられる保護膜について詳細に説明す
る。初めに保護層の材料であるガラス状カーボンについ
て述べる。ガラス状カーボン(製品名:グラハード、花
王石鹸株式会社!!iりf′i黒鉛状の微結晶が等方的
に分布した結晶化の幾分進んだアモルファス構造を有す
る。この材料は硬度が高く摩擦係数が小さい自己潤滑性
のある材料で、特に小荷重のもとての面接触において摩
耗しにくい特徴を持つ。これは一般のグラファイトを利
用した潤滑剤に見られる結晶面の剥離に基づく潤滑作用
とは性質を異にする。既に、この効果(自己潤滑性、耐
摩耗性)については、垂直磁気記録用単磁極ヘッドの基
板材料に用いられて良好な走行特性と耐久性が報告され
ている(岩崎、中村、岸根:昭和58年電子通信学会総
合全国大会1−200)。
このガラス状カーボン材料をターゲットとして下表に示
す条件のもとでRF2極スパッタ装置を用いて磁性媒体
上に保護膜を作製した。
磁性媒体上に得られた各々の膜は、ターゲツト材と同じ
光沢を示し、透過電顕による膜構造解析によればターゲ
ツト材と同じアモルファス構造をもっていることが判明
した。従って、上記ターゲットを用いてスパッタ法によ
り作製した膜の特性は、ガラス状カーボンと同様の特性
を示すものと考えられる。次にフェライトヘッドを用い
て膜厚200λのガラス状カーボン・スパッタ膜とグラ
ファイト・スパッタ膜を設けた各々の磁気ディスクにつ
いて低速走行テストを行なった。その結果、ヘッド荷重
の増加に対してガラス状カーボン・スパッタ膜の方が傷
がつきにくくて優れていることが確かめられた。以上の
ことからガラス状カーボンの薄膜は、高密度記録ハード
ディスク用保護膜として適しており厚さ300λ以下で
も十分利用することができることが認められる。しかも
広いスパッタ条件のもとて作製可能であることから、生
産性の向上にも寄与する。
添附図面は上記ガラス状カーボンを利用した本発明の!
実施例である磁気ディスクの模式断面構成図である。ハ
ードディスク基板1にCo−CrやN i −F e等
から成る高透磁率の磁性層2が層設され、この磁性層2
に情報が磁気記録される。磁性層2の表面には上述の自
己潤滑性を有するガラス状カーボンをリアクティブスパ
ッタリング法てよって薄膜状に被覆した保護膜3が形成
されている。
保護膜3の厚さは200λ程度に設定する。磁性層2に
対向してヘッド4が配置されヘッド4を介して記録情報
が再生される。この磁気ディスクは保護膜3の耐摩耗特
性に起因して耐久性が良く、高密度の記録情報を長期に
わたって再生可能とする0 〈発明の効果〉 以上詳説した如く、本発明によれば、ディスク表面の保
護膜が潤滑性を有しかつ耐摩耗特性が非常に優れている
ことから、ヘッド・記録媒体間のエアーギャップを極め
て小さくすることができ、高密度記録に対応する磁気デ
ィスクを作製することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
の模式断面構成図である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1、自己潤滑性を有するガラス状カーボンの薄膜を表面
    保護膜として被覆したことを特徴とする磁気ディスク。
JP60033602A 1985-02-19 1985-02-19 磁気デイスク Expired - Lifetime JPH0628107B2 (ja)

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