JPH03283016A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH03283016A JPH03283016A JP8194690A JP8194690A JPH03283016A JP H03283016 A JPH03283016 A JP H03283016A JP 8194690 A JP8194690 A JP 8194690A JP 8194690 A JP8194690 A JP 8194690A JP H03283016 A JPH03283016 A JP H03283016A
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Landscapes
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は薄膜磁気記録媒体に関し、特に低ノイズかつ高
記録密度特性に優れた薄膜磁気記録媒体に関する。
記録密度特性に優れた薄膜磁気記録媒体に関する。
磁気記録媒体の高密度化に伴い、従来の酸化鉄を用いた
塗布型記録媒体から金属磁性薄膜記録媒体に移行しつつ
ある。そのような磁性薄膜としては、純Ｃｒ１ｌｉｊ上
に００台金膜が形成されたものや、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ系
薄膜などが提案されており、一部既に実用化されている
。例えば、前者の媒体では、基体上に純Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ Ｃｒおよびカーボン保護膜が連続的に形成された
構造を成している。そして、Ｃｒｌ［上の磁性膜として
は、近年、前記膜に比較し、より磁気特性に優れたＣ０
−Ｃｒ −Ｔ ａ光薄膜なども研究されており（ＩＥＥ
Ｅ１’ｒａｎｓＭａｇ、ｖｏｌ、ＭＡＧ−２３，Ｎｏ、
ｌ、１９８７．１２２）、高記録密度化が推進されてい
る。
塗布型記録媒体から金属磁性薄膜記録媒体に移行しつつ
ある。そのような磁性薄膜としては、純Ｃｒ１ｌｉｊ上
に００台金膜が形成されたものや、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ系
薄膜などが提案されており、一部既に実用化されている
。例えば、前者の媒体では、基体上に純Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎ
ｉ Ｃｒおよびカーボン保護膜が連続的に形成された
構造を成している。そして、Ｃｒｌ［上の磁性膜として
は、近年、前記膜に比較し、より磁気特性に優れたＣ０
−Ｃｒ −Ｔ ａ光薄膜なども研究されており（ＩＥＥ
Ｅ１’ｒａｎｓＭａｇ、ｖｏｌ、ＭＡＧ−２３，Ｎｏ、
ｌ、１９８７．１２２）、高記録密度化が推進されてい
る。
また、磁性層が多層構造の薄膜媒体を用いて、再生出力
をさらに向上させ、それによって高記録密度化を達成し
ようとする動きもある（特開平１−２１７７２３号公報
）。確かに、多層構造とすることにより、Ｃｏ−Ｎｉ、
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ。
をさらに向上させ、それによって高記録密度化を達成し
ようとする動きもある（特開平１−２１７７２３号公報
）。確かに、多層構造とすることにより、Ｃｏ−Ｎｉ、
Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ。
Ｃｏ−Ｎｉ −Ｍｏ、 Ｃｏ−Ｎ１−Ｗ、およびＣ。
−ｐｔなとの磁性膜は出力向上に期待はできる。
しかしながら、本発明者らは、これら媒体では、記録時
の隣接ビット間の磁壁に由来すると考えられるノイズや
ビットシフトが従来の塗布型媒体に比べて大きいことを
知るとともに、より一層の高記録密度化を図るにはノイ
ズおよびビットシフトなどの特性を向上させることが必
要であることを知った。したがって、より一層の高記録
密度化をはかるためには、従来技術におけるこれらの不
具合事項の改善が急務である。
の隣接ビット間の磁壁に由来すると考えられるノイズや
ビットシフトが従来の塗布型媒体に比べて大きいことを
知るとともに、より一層の高記録密度化を図るにはノイ
ズおよびビットシフトなどの特性を向上させることが必
要であることを知った。したがって、より一層の高記録
密度化をはかるためには、従来技術におけるこれらの不
具合事項の改善が急務である。
本発明は上記不具合を改善するためになされたものであ
り、非磁性基体上にＣｒ系薄膜から成る下地層、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性層が順次形成され、更にその上に
Ｃｒ系薄膜非磁性層およびＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性
層が連続的に交互に繰り返されてなることを特徴とする
磁気記録媒体である。
り、非磁性基体上にＣｒ系薄膜から成る下地層、Ｃｏ−
Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性層が順次形成され、更にその上に
Ｃｒ系薄膜非磁性層およびＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性
層が連続的に交互に繰り返されてなることを特徴とする
磁気記録媒体である。
本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、ノイズおよびビッ
トシフトなどの記録再生特性を劣化させる原因が、磁性
層を構成する磁性結晶粒子間の磁気的相互作用にあるこ
とを見いだした。すなわち、薄膜が相互作用の強い粒子
から構成される場合、記録時における隣接ビット間の磁
壁は広くなり上記特性が劣化することを知った。
トシフトなどの記録再生特性を劣化させる原因が、磁性
層を構成する磁性結晶粒子間の磁気的相互作用にあるこ
とを見いだした。すなわち、薄膜が相互作用の強い粒子
から構成される場合、記録時における隣接ビット間の磁
壁は広くなり上記特性が劣化することを知った。
これらを向上させるには、磁性結晶粒子の粒界に非磁性
体を析出させ、粒間の磁気相互作用を弱めることが必要
である。そのためには、磁性層の面内方向だけでなく、
深さ方向での相互作用も制限することが有効である。Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜は、Ｃｒが粒界に偏析した結晶粒
子となり易く、また、該磁性層を間に非磁性中間層を挟
んだ多層構造とすることにより、著しく隣接ビット間の
磁壁を狭くすることができる。
体を析出させ、粒間の磁気相互作用を弱めることが必要
である。そのためには、磁性層の面内方向だけでなく、
深さ方向での相互作用も制限することが有効である。Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜は、Ｃｒが粒界に偏析した結晶粒
子となり易く、また、該磁性層を間に非磁性中間層を挟
んだ多層構造とすることにより、著しく隣接ビット間の
磁壁を狭くすることができる。
Ｃｒ系下地層および中間層（Ｃｒ系非磁性層）は磁気特
性発現のために用いられるものであり、他種の金属では
その上に形成された磁性膜の磁気特性を劣化させること
がある。ところで、Ｃｒ系下地層は膜厚により結晶配向
性が変化し、良好な磁気特性を得るためには１００ＯＡ
以下の厚みが好適である。さらに、中間層として設けら
れるＣｒ系薄膜は、厚すぎると磁気ヘッドによる情報記
録時にその下層の磁性層まで充分な磁界が到達しないた
め好ましくない、したがって、その厚みは２００Å以下
であることが必要であり、かつ磁性層間の磁気特性に不
具合を生じさせないためには、下地層と同一の結晶配向
性を有することが望ましい。
性発現のために用いられるものであり、他種の金属では
その上に形成された磁性膜の磁気特性を劣化させること
がある。ところで、Ｃｒ系下地層は膜厚により結晶配向
性が変化し、良好な磁気特性を得るためには１００ＯＡ
以下の厚みが好適である。さらに、中間層として設けら
れるＣｒ系薄膜は、厚すぎると磁気ヘッドによる情報記
録時にその下層の磁性層まで充分な磁界が到達しないた
め好ましくない、したがって、その厚みは２００Å以下
であることが必要であり、かつ磁性層間の磁気特性に不
具合を生じさせないためには、下地層と同一の結晶配向
性を有することが望ましい。
本発明において、Ｃｒ系薄膜とは、Ｃｒを主成分とする
ものであり、純Ｃｒ膜はもちろんのこと、Ｓｉ、Ｗ、Ｍ
ｏ、Ｖ、およびＭｎなどの元素を含むＣｒ膜などであっ
てもよい。
ものであり、純Ｃｒ膜はもちろんのこと、Ｓｉ、Ｗ、Ｍ
ｏ、Ｖ、およびＭｎなどの元素を含むＣｒ膜などであっ
てもよい。
また、本発明において使用される基板は、特に限定され
るものではなく、表面処理されたアルミ基板、ガラス基
板、チタンまたはステンレスから成る金属製基板なども
適用可能である。また、磁性膜保護のためには、炭素系
保Ｗ１膜あるいはＺｒＯ３などのセラミック膜が用いら
れ、さらに液体または固体の潤滑剤が塗布されていても
良い。
るものではなく、表面処理されたアルミ基板、ガラス基
板、チタンまたはステンレスから成る金属製基板なども
適用可能である。また、磁性膜保護のためには、炭素系
保Ｗ１膜あるいはＺｒＯ３などのセラミック膜が用いら
れ、さらに液体または固体の潤滑剤が塗布されていても
良い。
以下、実施例に従って本発明の作用・効果等をより詳し
く説明する。
く説明する。
（実施例１）
表面が鏡面に研磨された３、５インチＮ１−Ｐ被覆アル
ミ基板表面上に、研磨テープを用いて、溝入れ加工を行
う。次に、ターゲットが対向し、その間隙をディスク基
板が設置されたキャリアが移動する方式のインライン型
り、Ｃ，マグネトロン方式スパッタ装置を用いて、基板
を加熱後、同基板上にＣｒ膜を２００〜１００ＯＡ形成
する。
ミ基板表面上に、研磨テープを用いて、溝入れ加工を行
う。次に、ターゲットが対向し、その間隙をディスク基
板が設置されたキャリアが移動する方式のインライン型
り、Ｃ，マグネトロン方式スパッタ装置を用いて、基板
を加熱後、同基板上にＣｒ膜を２００〜１００ＯＡ形成
する。
その後すぐに８７％Ｃｏ−１０％Ｃｒ−３％Ｔ ａ（ａ
ｔ％）膜を約３００人、さらに、迅速に再びＣｒ膜を３
０〜１８０人、ＣｏＣｒ−Ｔａ膜を２゜０人形成する。
ｔ％）膜を約３００人、さらに、迅速に再びＣｒ膜を３
０〜１８０人、ＣｏＣｒ−Ｔａ膜を２゜０人形成する。
最後に、同一装置内でカーボン保護膜を約３００人成膜
して、真空装置内から取り出し、フロロカーボン系液体
潤滑剤を塗布する。
して、真空装置内から取り出し、フロロカーボン系液体
潤滑剤を塗布する。
得られたディスクを内周２４ｍｍの周上で、２３６０ｒ
ｐｍ、２２．８ＫＰＣＩ、浮上量０．２μｍの条件のも
と、ギャップ長０．６５μｍ、トラック幅１３μｍなる
諸元を有するヘッドを用いて測定を行った。このときの
媒体構成ならびに保磁力（Ｈｅ）、ビットシフト、Ｓ／
Ｎ比特性の測定結果を第１表に示す。なお、ビットシフ
トは最悪パターンであるＢ６Ｄ９書き込み時の値である
。
ｐｍ、２２．８ＫＰＣＩ、浮上量０．２μｍの条件のも
と、ギャップ長０．６５μｍ、トラック幅１３μｍなる
諸元を有するヘッドを用いて測定を行った。このときの
媒体構成ならびに保磁力（Ｈｅ）、ビットシフト、Ｓ／
Ｎ比特性の測定結果を第１表に示す。なお、ビットシフ
トは最悪パターンであるＢ６Ｄ９書き込み時の値である
。
（比較例１）
初めに下地層として、Ｃｒ１１（を２００〜１０００人
、次にＣｏ−Ｃｒ−Ｔａｉｌを５００人形成し、同一装
置内でカーボン保護膜を約３００人成膜して、真空装置
内から取り出し、フロロカーボン系液体潤滑剤を塗布し
て単層構造の磁性層とした以外は実施例１と全く同様に
して磁気記録媒体を形成し、その特性を測定した。その
結果を第１表に示す。
、次にＣｏ−Ｃｒ−Ｔａｉｌを５００人形成し、同一装
置内でカーボン保護膜を約３００人成膜して、真空装置
内から取り出し、フロロカーボン系液体潤滑剤を塗布し
て単層構造の磁性層とした以外は実施例１と全く同様に
して磁気記録媒体を形成し、その特性を測定した。その
結果を第１表に示す。
（比較例２）
初めに形成するＣｒ膜下地層を１５００Å以上、磁性層
間間のＣｒ膜非磁性層の厚さを２５０Å以上としたこと
以外は、全〈実施例１と同じにして多層膜の記録媒体を
得、その特性を測定した。結果を第１表に示す。
間間のＣｒ膜非磁性層の厚さを２５０Å以上としたこと
以外は、全〈実施例１と同じにして多層膜の記録媒体を
得、その特性を測定した。結果を第１表に示す。
（比較例３）
多層とする磁性膜を７５％Ｃｏ−２５％Ｎｉとした以外
は、実施例１と全く同様にして成膜した。
は、実施例１と全く同様にして成膜した。
その測定結果を第１表に示す。
（比較例４）
初めに形成するＣｒ膜を１５００Å以上とした以外は比
較例３と全く同様にして記録媒体を得た。
較例３と全く同様にして記録媒体を得た。
その特性測定結果も第１表に示す。
第１表
電磁変換特性測定結果
第１表より明かなように、本発明による磁気記録媒体は
、比較例１の単層磁性層の記録媒体に比べ遥かにビット
シフトやＳ／Ｎ比に優れる。また、多層化しても磁気特
性の劣化を生じていないことがわかる。一方、前述した
公知例（特開平１−２１７７２３号公報）に準じて作成
した磁性層を有する記録媒体（比較例２乃至４）では、
本発明のような初期Ｃｒ層が１００ＯＡ以下の厚みでは
充分な磁気特性が得られず、該公知発明の場合はかなり
厚いＣｒ層が必要な事がわかる。また、磁気特性が良好
となっても本発明はどのビットシフトやＳ／Ｎ比は得ら
れていないことも明らかである。
、比較例１の単層磁性層の記録媒体に比べ遥かにビット
シフトやＳ／Ｎ比に優れる。また、多層化しても磁気特
性の劣化を生じていないことがわかる。一方、前述した
公知例（特開平１−２１７７２３号公報）に準じて作成
した磁性層を有する記録媒体（比較例２乃至４）では、
本発明のような初期Ｃｒ層が１００ＯＡ以下の厚みでは
充分な磁気特性が得られず、該公知発明の場合はかなり
厚いＣｒ層が必要な事がわかる。また、磁気特性が良好
となっても本発明はどのビットシフトやＳ／Ｎ比は得ら
れていないことも明らかである。
以上述べたように、本発明においては、Ｃｒ下地層の厚
さを１０００Å以下とし、磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｔ
ａ系Ｓ＠を用い、かつＣｒ非磁性層とＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ
系磁性薄膜とを交互に積層して多層膜とすることにより
、低ノイズかつ高記録密度特性の薄膜磁気記録媒体を実
現できた。
さを１０００Å以下とし、磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｔ
ａ系Ｓ＠を用い、かつＣｒ非磁性層とＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ
系磁性薄膜とを交互に積層して多層膜とすることにより
、低ノイズかつ高記録密度特性の薄膜磁気記録媒体を実
現できた。
Claims (3)
- （１）非磁性基体上に、Ｃｒ系薄膜からなる下地層、Ｃ
ｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性層が順次形成され、更にその
上にＣｒ系薄膜非磁性層とＣｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性
層が交互に繰り返し積層されてなることを特徴とする磁
気記録媒体。 - （２）Ｃｒ系薄膜からなる下地層が１０００Å以下の厚
みであることを特徴とする請求項１記載の磁気記録媒体
。 - （３）Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系薄膜磁性層上に形成されたＣ
ｒ系薄膜非磁性層が２００Å以下の厚みであり、かつ下
地層と同一の結晶配向性を有することを特徴とする請求
項１記載の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194690A JPH03283016A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8194690A JPH03283016A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03283016A true JPH03283016A (ja) | 1991-12-13 |
Family
ID=13760670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8194690A Pending JPH03283016A (ja) | 1990-03-29 | 1990-03-29 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03283016A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5587235A (en) * | 1993-02-19 | 1996-12-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
-
1990
- 1990-03-29 JP JP8194690A patent/JPH03283016A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5587235A (en) * | 1993-02-19 | 1996-12-24 | Hitachi, Ltd. | Magnetic recording medium and magnetic recording apparatus |
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